JPH03239227A - 光導電型液晶ライトバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、投射型液晶表示装置などに用いられる光導電
型液晶ライトバルブに関する。

背景技術 第２図は、かかる投射型液晶表示装置の構成の一例を示
す。図において、光導電型液晶ライトバルブ１に像を書
き込む手段として、例えば、ＣＲＴ（陰極線管）及びこ
れに表示された像を光導電型液晶ライトバルブ１に導く
光ファイバーが結合されてなる光フアイバー管２が用い
られている。

光フアイバー管２は、ＣＲＴに表示された像を光導電型
液晶ライトバルブ１の光導電層に書き込む。

一方、光源３から発せられた光はミラー４及びコンデン
サレンズ５を経て偏光ビームスプリッタ６に入射する。

この入射光のうちＰ偏光成分はそのまま偏光ビームスプ
リッタ６を通過し、Ｓ偏光成分は偏光ビームスプリッタ
６で進行方向が直角に曲げられて光導電型液晶ライトバ
ルブ１に入射する。

ここで、光導電型液晶ライトバルブ１の液晶層に像が描
かれていると、光導電型液晶ライトバルブ１で反射され
た反射光中には液晶層の像の濃淡に応じて局部的にＰ偏
光成分が含まれることになる。そして、この反射光中の
Ｐ偏光成分のみが偏光ビームスプリッタ６をそのまま通
過することにより、このＰ偏光成分による像が投影レン
ズ７を介してスクリーン８上に投影されるのである。

第３図は、この投射型液晶表示装置に用いられる光導電
型液晶ライトバルブ］の構成を示す。第３図において、
液晶層１１の周りにはスペーサ１２が配され、液晶層１
１の両面には配向層１３゜１４が設けられている。非晶
質珪素からなる光導電層１５は、液晶層１１の配向層１
４上に誘電体からなる反射層１６及びプラセオジウム・
マンガン酸化物（ＰｒＸＭｎ＋−Ｘｏ、（ｘ、Ｙは有理
数））からなる光遮断層１７を介して積層されている。

反射層１６は読出し側から入射する投射光を反射する。

光遮断層１７は反射層１６からの漏光を吸収する。液晶
層１１の配向層１３の外側面にはインジウム・スズ酸化
物（１，Ｔ、　Ｏ，）からなる透明電極（導電層）１８
が配され、一方の光導電層１５の外側面には、二酸化ス
ズ（ＳｎＯ２）からなる透明電極（導電層）コ−９が配
されている。

これら一対のガラス基板によって液晶層１］、光導電層
１５等は挟持されている。

かかる構成の光導電型液晶ライトバルブコ−において、
透明電極１８．１９間には交流電圧が印加された場合、
図の右側（書込み側）から入射した画像書込み光によっ
て光導電層１５上に像を描いたとき、光導電層１５の内
部抵抗が像の濃淡に従って局部的に変化するために、こ
れらの部分に対応するところに隣接する液晶層１１には
、透明電極１８．１９間の交流電圧が像の濃淡に従って
空間変調されて印加されることになる。

この液晶層１１には、正の誘電異方性を持ったスメクテ
ィック液晶を、左右の電極面上で液晶分子の配列方向を
４５’ねじって（４５°ｔｗｉｓｔ）配向する、いわゆ
るＨ　Ｆ　Ｅ　（Ｈｙｂｒｉｄ　Ｆｉｅｌｄ　Ｅｆｆｅ
ｃｔ）配向しておく。透明電極１８．１９間に交流電圧
を印加しておくと、光導電層１５上に像が描かれている
部分では液晶分子は電界方向に向きを変えるので４５°
ｔｗｉｓｔ状態がくずれ、これによって図の左側（読出
し側）から入射した投射光に対する反射光像が変わる。

しかしながら、かかる光導電型液晶ライトバルブ１の製
造においては、ガラス基板２１上に透明電極１９が予め
成膜されたものの上に、光導電層１５、光遮断層１７お
よび反射層１６を順に積層するのであるが、装置の光ス
イツチング比を十分にとる為に非晶質珪素光導電層１５
の膜厚は数μｍの厚さが必要であり、またこの光導電層
上に十分な遮光をなす為に数μｍの膜厚の光遮断層１７
を積層するので、これら膜の成膜後の残留応力によって
、光導電層１５と透明電極１９とが剥離してしまうとい
う問題が生じていた。また、製造時には光導電層１５と
透明電極１９とが剥離しなくとも、完成後の光導電型液
晶ライトバルブの使用時の熱膨張などにより、これらが
剥離してしまうことにもなる。

発明の概要 ［発明の目的］ 本発明の目的は、光導電層と透明電極と間の剥離強度の
高い光導電型液晶ライトバルブを提供することにある。

［発明の構成］ 本発明による光導電型液晶ライトバルブは、対向する一
対の透明基板と、前記透明基板の各々の内側面に積層さ
れた対向する一対の透明電極と、前記透明電極間に光導
電層及び液晶層が反射層を介して積層された光導電型液
晶ライトバルブであって、前記光導電層と前記透明電極
との間に前記光導電層および前記透明電極に対して親和
性を有する中間層を介挿したことを特徴とする。

［発明の作用］ 以上の構成により、光導電型液晶ライトバルブにおいて
光導電層と透明電極と間の剥離強度が向上する。

実施例 以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本実施例による光導電型液晶ライトバルブ］
０の構造図であり、基本的な構造は第３図に示す従来の
ものと同じである。第１図において第３図と同一部材は
夫々同一符号にて示す。

本実施例の光導電型液晶ライトバルブ１０は、非晶質珪
素からなる光導電層１５と二酸化スズからなる透明電極
１９との間に、これら光導電層および透明電極に対して
親和性を有する窒化珪素（ＳｉＮｘ　（Ｘは有理数））
からなる中間層３０を介挿した点で従来のものと構造が
異なる。この中間層の存在により光導電層と透明電極と
間の密着性が向上し、剥離強度も高くなる。

本実施例の光導電型液晶ライトバルブ１０の製造は、以
下のように行われる。

まず、ガラス基板２１上に透明電極１９、中間層３０．
光導電層１５、光遮断層１７、反射層１６および配向層
１４を順に積層したものを作成する。

厚さ８００〜１０００人の二酸化スズの透明電極１９が
予め主面に成膜された厚さ１〜２ｍｍのガラス基板２１
を用い、プラズマＣＶＤ装置によって、二酸化スズの透
明電極上に厚さ数百人の窒化珪素中間層を第１表に示す
成膜条件で成膜し、続いて、厚さ数μｍの非晶質珪素の
光導電層を第２表に示す成膜条件で成膜する。

第２表 このようにして、透明電極１９、中間層３０および光導
電層１５が順に積層したガラス基板２１が得られる。

次に、高周波又は直流スパッタ装置あるいはＥＢ蒸着装
置などにより、ガラス基板２１の光導電層１５上にプラ
セオジウム拳マンガン酸化物からなる光遮断層１７、誘
電体からなる反射層１６及び液晶層１１の配向層１４を
積層する。

このように、ガラス基板２１上に透明電極１９、中間層
３０、光導電層１−５、光遮断層１７、反射層１６およ
び配向層１４を順に積層したものが得られる。

次に、ガラス基板２０上に透明電極１８および配向層１
３を順に積層したものを作成する。これも、高周波又は
直流スパッタ装置あるいはＥＢ蒸着装置などにより成膜
できる。なお、これらガラス基板２０．２１には、予め
各層が積層され液晶注入用通路が設けられている。

次に、得られたガラス基板２０．２１を、配向層１３、
］７４が向かい合いかつ後に液晶層１］となる空間を画
定するように、これら基板の周りにスペーサ１２を配し
て貼り合わす。

その後、液晶を当該空間へ注入し封止して光導電型液晶
ライトバルブが得られる。

発明の詳細 な説明したように、本発明による光導電型液晶ライトバ
ルブにおいては、対向する一対の透明基板と、透明基板
の各々の内側面に積層された対向する一対の透明電極と
、透明電極間に光導電層及び液晶層が反射層を介して積
層され、光導電層と透明電極との間に光導電層および透
明電極に対０ して親和性を有する中間層を介挿したので、光導電層と
透明電極と間の剥離強度が向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光導電型液晶ライトバルブの構造
図、第２図は投射型液晶表示装置の一例を示す構成図、
第３図は従来の光導電型液晶ライトバルブの構造図であ
る。 主要部分の符号の説明 １．１０・・・・・・光導電型液晶ライトバルブ２・・
・・・・光フアイバー管 ３・・・・・・光源 ６・・・・・・偏光ビームスプリッタ ８・・・・・・スクリーン １１・・・・・・液晶層 １５・・・・・・光導電層 １６・・・・・・反射層 １８．１９・・・・・・透明電極 ２０．２１・・・・・・ガラス基板

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）対向する一対の透明基板と、前記透明基板の各々
   の内側面に積層された対向する一対の透明電極と、前記
   透明電極間に光導電層及び液晶層が反射層を介して積層
   された光導電型液晶ライトバルブであって、前記光導電
   層と前記透明電極との間に前記光導電層および前記透明
   電極に対して親和性を有する中間層を介挿したことを特
   徴とする光導電型液晶ライトバルブ。
2. （２）前記光導電層は非晶質珪素からなり、前記透明電
   極はインジウム・スズ酸化物からなり、前記中間層は窒
   化珪素からなることを特徴とする請求項１記載の光導電
   型液晶ライトバルブ。
3. （３）前記光導電層及び前記反射層間に光遮断層を介挿
   したことを特徴とする請求項２記載の光導電型液晶ライ
   トバルブ。