JPH03236256A - 半導体用キャリアケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体用ウェハのキャリアケースに関するも
のである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の半導体用キャリアケースを示す斜視図、
第４図は第３図の縦断側面図であり、図において（１）
はケース本体、（２）はケース上蓋、（３）はウェハキ
ャリアである。

次に動作について説明する。ウェハキャリアｊ３）は、
ケース本体（Ｉに収納され、ケース上蓋（２）により蓋
をされ、密閉され保管及び運搬される。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体用キャリアケースでは、ケース上蓋（２）
を開けた場合、ウェハキャリア（３）の上部しか露出し
ないので、ケース本体（１）からウェハキャリア（３）
を取り出したり、ウェハキャリア（３）をケース本体（
１）に収納する場合、ウニノーキャリア＜３１の上部し
かハンドリングができず、ハンドリングが悪いという問
題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ウェハキャリアのケース本体への収納時及び
取り出し時のハンドリングがウェハキャリアの上部だけ
でなく側面からも可能にすることによりハンドリング９
向上が図れる半導体用キャリアケースな得ることを目的
とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体用キャリアケースはケース本体及
びケース上蓋のノ・メ合せ部に段差を設け、ケース本体
の一方の側面を低くしたものである。

〔作用〕

この発明における半導体用キャリアケースは、ケース本
体の一方の側面を低くした為、中に収納されたウェハキ
ャリアを側面からもノ１ンドリングすることができる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は斜視図、第２図は第１図の縦断側面図であり、前記
従来のものと同一または相当部分には同一符号を付して
説明を省略する。

図において、（４）はケース本体（１）とケース上蓋（
２）とのハメ合せ部で、段差（４ａ）を有する形状に形
成しである。

次に動作について説明する。ケース上蓋（２）を開けた
場合、ケース本体（１）に収納されたウェハキャリア（
３）はケース本体（１１から上部及び一方の側面が露出
するため、ウェハキャリア（３）をケース本体（１）か
ら出し入れする場合、ウェハキャリア１３）の上部及び
側面の両方からのハンドリングが可能となる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によればケース本体からウェハ
キャリヤを出し入れする場合、多様な構造及び方式によ
るハンドリングが可能になるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体用キャリアケ
ースを示す斜視図、第２図は第１図の縦断側面図、第３
図は従来の半導体用キャリアケースを示す斜視図、第４
図は第３図の縦断側面図である。 図において、（１）はケース本体、（２）はケース上蓋
、（３）はウェハキャリア、（４）はハメ合せ部、（４
ａ）は段差を示す。 なお、図中同一符号は同−又は相当部を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケース本体とケース上蓋とのハメ合せ部に段差を
   設け、ケース本体の一方の側面を低くしたことを特徴と
   する半導体用キャリアケース。