JPH03234634A - インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置Info
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- JPH03234634A JPH03234634A JP2949590A JP2949590A JPH03234634A JP H03234634 A JPH03234634 A JP H03234634A JP 2949590 A JP2949590 A JP 2949590A JP 2949590 A JP2949590 A JP 2949590A JP H03234634 A JPH03234634 A JP H03234634A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、インクを吐出してインクの液滴を形成するイ
ンクジェット記録ヘッドと、該記録ヘッドにより紙など
の被記録材に前記液滴を付着させることにより記録を行
なうインクジェット記録装置に関するものである。
ンクジェット記録ヘッドと、該記録ヘッドにより紙など
の被記録材に前記液滴を付着させることにより記録を行
なうインクジェット記録装置に関するものである。
インクジェット記録方式には種々のものがあるが、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出させる熱インクジェッ
ト方式(たとえば、米国特許第4723129号明細書
、米国特許第 4740796号明細書など)は、記録電気信号に対す
る応答性が良く、吐出口(オリフィス)の高密度マルチ
化が容易、記録中の騒音が小さいなどの利点を有する。
ネルギーを利用してインクを吐出させる熱インクジェッ
ト方式(たとえば、米国特許第4723129号明細書
、米国特許第 4740796号明細書など)は、記録電気信号に対す
る応答性が良く、吐出口(オリフィス)の高密度マルチ
化が容易、記録中の騒音が小さいなどの利点を有する。
特に、オンデマンド型の熱インクジェット方式は、マル
チノズル化が容易であることなどにより広く用いられて
いる。
チノズル化が容易であることなどにより広く用いられて
いる。
第9図はオンデマンド型のインクジェット記録ヘットの
従来例の一つを示す概略構成図である。
従来例の一つを示す概略構成図である。
このインクジェット記録ヘット80は、外部より供給さ
れるインクが貯えられる液室86と、インクを吐出して
飛翔液滴を形成する8個の吐出口821〜828と、液
室86に貯えられたインクを各吐出口82.〜828に
それぞれ供給する吐出口82.〜828に連通した8本
の液路831〜838と、液路831〜838の吐出口
821〜822側にそれぞれ設けられた、前記飛翔液滴
を形成するための熱エネルギー源である8個の発熱素子
841〜848と、各吐出口82、〜828および各液
路83、〜838を隔てる感光性樹脂から成る隔壁85
+〜859とが、シワコンから成る基板81上に形成さ
れており、ガラスから成る天板87が隔壁85.〜85
9の面に接合されることにより構成されている。
れるインクが貯えられる液室86と、インクを吐出して
飛翔液滴を形成する8個の吐出口821〜828と、液
室86に貯えられたインクを各吐出口82.〜828に
それぞれ供給する吐出口82.〜828に連通した8本
の液路831〜838と、液路831〜838の吐出口
821〜822側にそれぞれ設けられた、前記飛翔液滴
を形成するための熱エネルギー源である8個の発熱素子
841〜848と、各吐出口82、〜828および各液
路83、〜838を隔てる感光性樹脂から成る隔壁85
+〜859とが、シワコンから成る基板81上に形成さ
れており、ガラスから成る天板87が隔壁85.〜85
9の面に接合されることにより構成されている。
液室86および液路831〜838は、基板81上に、
硬化した前記感光性樹脂の隔壁851〜859をフォト
リソグラフィー工程によって形成することによって設け
られている。また、各発熱素子841〜848には、基
板81上に形成された不図示の電極が接続され、該電極
を介して電気エネルギーが供給され、また、前記インク
は天板87に設けられた不図示の貫通孔を介して外部か
ら供給される。
硬化した前記感光性樹脂の隔壁851〜859をフォト
リソグラフィー工程によって形成することによって設け
られている。また、各発熱素子841〜848には、基
板81上に形成された不図示の電極が接続され、該電極
を介して電気エネルギーが供給され、また、前記インク
は天板87に設けられた不図示の貫通孔を介して外部か
ら供給される。
このインクジェット記録ヘッド80では、画像信号に対
応して駆動されたパルス状の電気エネルギーが前記電極
を介して各発熱素子841〜848に供給されると、発
熱素子841〜848の発熱により、液室86から液路
831〜838を介して供給された発熱素子84.〜8
48上のインクに気泡が生成される。該気泡の圧力によ
り前記インクが各吐出口821〜828から吐出して、
不図示の被記録材に付着するため、該被記録材に画像が
形成される。ここで、前記電気エネルギーは実用的な記
録速度を得るために、1秒間に数百〜数万回の割合で発
熱素子84□〜848に与えられる。
応して駆動されたパルス状の電気エネルギーが前記電極
を介して各発熱素子841〜848に供給されると、発
熱素子841〜848の発熱により、液室86から液路
831〜838を介して供給された発熱素子84.〜8
48上のインクに気泡が生成される。該気泡の圧力によ
り前記インクが各吐出口821〜828から吐出して、
不図示の被記録材に付着するため、該被記録材に画像が
形成される。ここで、前記電気エネルギーは実用的な記
録速度を得るために、1秒間に数百〜数万回の割合で発
熱素子84□〜848に与えられる。
このような構成のインクジェット記録ヘッド80を用い
て高精細な画像を被記録材に形成する方法として、吐出
口82、〜828の配列ピッチを小さくする方法が一般
に用いられている。しかし、該方法には次に示すような
問題点がある。
て高精細な画像を被記録材に形成する方法として、吐出
口82、〜828の配列ピッチを小さくする方法が一般
に用いられている。しかし、該方法には次に示すような
問題点がある。
(1)吐出口821〜828の配列ピッチを小さくする
ためには、各液路83□〜838を隔てている隔壁85
.〜859の幅を小さくする必要があるが、前述したよ
うに隔壁851〜859は感光性樹脂をフォトリングラ
フイー工程によってパターニングして得られるので、精
度良く形成できる隔壁85、〜859の幅には限界があ
る。
ためには、各液路83□〜838を隔てている隔壁85
.〜859の幅を小さくする必要があるが、前述したよ
うに隔壁851〜859は感光性樹脂をフォトリングラ
フイー工程によってパターニングして得られるので、精
度良く形成できる隔壁85、〜859の幅には限界があ
る。
(2)発熱素子84、〜848および前記電極の配列密
度を上げる必要もあるが、該電極の幅を小さくすると電
力損失が大きくなるので、ヘッドの効率が下がる。
度を上げる必要もあるが、該電極の幅を小さくすると電
力損失が大きくなるので、ヘッドの効率が下がる。
この問題を解決したインクジェット記録ヘッドとして以
下のものがある。
下のものがある。
(1)両面に複数の溝を並列に設けた要素を、発熱体、
リード電極を設けた2枚の基板で吐出口が千鳥配置とな
るように挟んで構成されたインクジェット記録ヘッド(
特開昭62−39253号公報)。
リード電極を設けた2枚の基板で吐出口が千鳥配置とな
るように挟んで構成されたインクジェット記録ヘッド(
特開昭62−39253号公報)。
(2)吐出口が千鳥配置となるように、1枚の基板の両
面に発熱体、液路などを設けて構成されたインクジェッ
ト記録ヘッド(特開昭60−208252号公報)。
面に発熱体、液路などを設けて構成されたインクジェッ
ト記録ヘッド(特開昭60−208252号公報)。
(3)一方の面に液路となる複数の溝が並設され、他方
の面に複数の発熱素子を設置した基板を複数枚重ね合わ
せて構成されたインクジェット記録ヘッド(特開昭58
−11168号公報)。
の面に複数の発熱素子を設置した基板を複数枚重ね合わ
せて構成されたインクジェット記録ヘッド(特開昭58
−11168号公報)。
[発明が解決しようとする課題]
上述した3つのインクジェット記録ヘッドは、いずれも
、吐出口を千鳥状に複数列設けることにより該吐出口の
高密度化を図っているが、該吐出口の列間の距離は基板
の厚さ(通常500LLm以上)となり、同一列の該吐
出口の配列ピッチより大きくなるので、該吐出口から吐
出される液滴を被記録材の正確な位置に付着させるため
には、複雑な記録制御手段が必要になるという欠点があ
る。また、従来のインクジェット記録ヘッドには、第9
図に示した基板81と天板87との熱膨張率の違いから
、基板81が記録中の昇温によって反ってしまい、被記
録材に記録される画像の品質が落ちるという欠点がある
。
、吐出口を千鳥状に複数列設けることにより該吐出口の
高密度化を図っているが、該吐出口の列間の距離は基板
の厚さ(通常500LLm以上)となり、同一列の該吐
出口の配列ピッチより大きくなるので、該吐出口から吐
出される液滴を被記録材の正確な位置に付着させるため
には、複雑な記録制御手段が必要になるという欠点があ
る。また、従来のインクジェット記録ヘッドには、第9
図に示した基板81と天板87との熱膨張率の違いから
、基板81が記録中の昇温によって反ってしまい、被記
録材に記録される画像の品質が落ちるという欠点がある
。
本発明の目的は、複雑な記録制御手段を必要とせずに吐
出口の高密度化が行なえ、かつ記録中の昇温による画質
の劣化が生じないインクジェット記録ヘットを提供する
ことにある。
出口の高密度化が行なえ、かつ記録中の昇温による画質
の劣化が生じないインクジェット記録ヘットを提供する
ことにある。
[課題を解決するための手段]
本発明のインクジェット記録ヘットは、第1の隔壁が所
定のピッチで形成されている第1の基板と、第2の隔壁
が所定のピッチで形成されている第2の基板とを有し、
前記第1の隔壁と前記第2の隔壁により前記吐出口が等
間隔に形成されるように、前記第1の基板と前記第2の
基板とが接合されている。
定のピッチで形成されている第1の基板と、第2の隔壁
が所定のピッチで形成されている第2の基板とを有し、
前記第1の隔壁と前記第2の隔壁により前記吐出口が等
間隔に形成されるように、前記第1の基板と前記第2の
基板とが接合されている。
また、前記第1の基板と前記第2の基板とが同じ材質で
あってもよい。
あってもよい。
さらに、発熱素子および電極が、前記第1の基板および
前記第2の基板に形成されていてもよい。
前記第2の基板に形成されていてもよい。
本発明のインクジェット記録装置は、被記録材を搬送す
る手段と、請求項第1項、第2項または第3項記載のイ
ンクジェット記録ヘッドを有する。
る手段と、請求項第1項、第2項または第3項記載のイ
ンクジェット記録ヘッドを有する。
[作 用]
本発明のインクジェット記録ヘットでは、第1の基板と
第2の基板とに隔壁を形成することにより、該第1の基
板および該第2の基板における該隔壁のピッチは従来よ
りも大きくなるため、フォトリソグラフィー工程によっ
て該隔壁を形成する際の寸法精度を向上させることがで
きるので、吐出口の一列配列における高密度化が図れる
。
第2の基板とに隔壁を形成することにより、該第1の基
板および該第2の基板における該隔壁のピッチは従来よ
りも大きくなるため、フォトリソグラフィー工程によっ
て該隔壁を形成する際の寸法精度を向上させることがで
きるので、吐出口の一列配列における高密度化が図れる
。
また、前記第1の基板と前記第2の基板とを同じ材質と
することにより、記録中の昇温による該第1の基板およ
び該第2の基板の熱膨張率を等しくすることができるの
で、記録される画像の品質の低下を防止することができ
る。
することにより、記録中の昇温による該第1の基板およ
び該第2の基板の熱膨張率を等しくすることができるの
で、記録される画像の品質の低下を防止することができ
る。
さらに、発熱素子および電極を前記第1の基板、前記第
2の基板に形成することにより、記録時の昇温を前記第
1の基板と前記第2の基板とでほぼ等しくすることがで
きるので、さらに前記昇温による画像の品質の低下が防
げるとともに、前記電極の幅を従来よりも大きくするこ
とができるので、前記発熱素子における熱効率を向上さ
せることができる。
2の基板に形成することにより、記録時の昇温を前記第
1の基板と前記第2の基板とでほぼ等しくすることがで
きるので、さらに前記昇温による画像の品質の低下が防
げるとともに、前記電極の幅を従来よりも大きくするこ
とができるので、前記発熱素子における熱効率を向上さ
せることができる。
本発明のインクジェット記録装置は、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドを有するので、記録品位を向上させる
ことができる。
ェット記録ヘッドを有するので、記録品位を向上させる
ことができる。
[実 施 例]
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第1図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第1の実
施例を示す概略構成図、第2図は基板1と天板7とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第3図は基板
1と天板7とを接合した後の吐出口21〜25側から見
た部分正面図である。
施例を示す概略構成図、第2図は基板1と天板7とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第3図は基板
1と天板7とを接合した後の吐出口21〜25側から見
た部分正面図である。
本実施例のインクジェット記録ヘッド10では、基板1
上に、外部より供給されるインクが貯えられる液室6と
、インクを吐出して飛翔液滴を形成するための発熱素子
41〜48とが形成されている点については第9図に示
した従来例と同様であるが、第2図に示すように発熱素
子41〜48のピッチβの約−の幅(吐出口部の幅)W
を有する第1の隔壁5□〜54 (第1の隔壁5、と第
1の隔壁55とは両端にあるので、その幅Wは℃よりも
犬でも可)が、発熱素子4.〜48のピッチβの倍のピ
ッチ2I2で形成されている点が前記従来例と異なる。
上に、外部より供給されるインクが貯えられる液室6と
、インクを吐出して飛翔液滴を形成するための発熱素子
41〜48とが形成されている点については第9図に示
した従来例と同様であるが、第2図に示すように発熱素
子41〜48のピッチβの約−の幅(吐出口部の幅)W
を有する第1の隔壁5□〜54 (第1の隔壁5、と第
1の隔壁55とは両端にあるので、その幅Wは℃よりも
犬でも可)が、発熱素子4.〜48のピッチβの倍のピ
ッチ2I2で形成されている点が前記従来例と異なる。
また、天板7にも、第1の隔壁5□〜54と同一形状、
同一寸法の第2の隔壁8、〜84が、第1の隔壁5I〜
5.と同一ピッチ2I2でかつ第1の隔壁51〜55よ
りも発熱素子4、〜48のピッチ部分ずれて形成されて
いる。
同一寸法の第2の隔壁8、〜84が、第1の隔壁5I〜
5.と同一ピッチ2I2でかつ第1の隔壁51〜55よ
りも発熱素子4、〜48のピッチ部分ずれて形成されて
いる。
したがって、基板1と天板7とにパターニングにより形
成された不図示の位置合わせマークを用いて、基板1と
天板7とを貼り合わせ不図示のばねで接合させると、第
3図に示すように、第1の隔壁51〜59、第2の隔壁
81〜84、基板1、天板7により前記飛翔液滴を形成
する8個の吐出口21〜28 (図には5個の吐出口2
.〜25のみ示されている)が形成されると同時に、液
室6(第1図参照)から各吐出口2.〜28にインクを
供給する各吐出口2、〜28にそれぞれ連通した8本の
液路(図示せず)も形成される。
成された不図示の位置合わせマークを用いて、基板1と
天板7とを貼り合わせ不図示のばねで接合させると、第
3図に示すように、第1の隔壁51〜59、第2の隔壁
81〜84、基板1、天板7により前記飛翔液滴を形成
する8個の吐出口21〜28 (図には5個の吐出口2
.〜25のみ示されている)が形成されると同時に、液
室6(第1図参照)から各吐出口2.〜28にインクを
供給する各吐出口2、〜28にそれぞれ連通した8本の
液路(図示せず)も形成される。
該液路の形状は、第1の隔壁5I〜59および第2の隔
壁81〜84が第1図に示すように、液室6から発熱素
子4I〜48までの部分は直方体で、発熱素子41〜4
8を過ぎると吐出口2.〜28に進むにつれて幅が広が
る形状を有しているため、吐出口21〜28部がテーバ
状で、その他の部分は直方体断面の直管となるものであ
る。なお、図示していないが、天板7に設けられた貫通
孔を介して液室7に外部からインクが供給される。
壁81〜84が第1図に示すように、液室6から発熱素
子4I〜48までの部分は直方体で、発熱素子41〜4
8を過ぎると吐出口2.〜28に進むにつれて幅が広が
る形状を有しているため、吐出口21〜28部がテーバ
状で、その他の部分は直方体断面の直管となるものであ
る。なお、図示していないが、天板7に設けられた貫通
孔を介して液室7に外部からインクが供給される。
次に、本実施例と第9図に示した従来例との寸法精度の
比較を行なった結果について述べる。
比較を行なった結果について述べる。
発熱素子4□〜48のピッチβを63.5μm、第1の
隔壁5.〜59および第2の隔壁81〜84の高さを2
5μm、それらの吐出口2、〜28部の幅Wを43.5
μmとして、本実施例および従来例の構成のインクジェ
ット記録ヘッドを試作した。
隔壁5.〜59および第2の隔壁81〜84の高さを2
5μm、それらの吐出口2、〜28部の幅Wを43.5
μmとして、本実施例および従来例の構成のインクジェ
ット記録ヘッドを試作した。
本実施例の構成のものは、隔壁を基板lと天板7とに交
互に配設しているため、基板1および天板7における隔
壁間の距fiL、は、 L、〜212−W =2x63.5μm−43.5μm =83.5μm (1)と十分広いので
、パターニング後の隔壁の寸法精度は±1.0μm程度
であった。
互に配設しているため、基板1および天板7における隔
壁間の距fiL、は、 L、〜212−W =2x63.5μm−43.5μm =83.5μm (1)と十分広いので
、パターニング後の隔壁の寸法精度は±1.0μm程度
であった。
一方、従来の構成のものは、隔壁851〜859がすべ
て基板81に配設されているため、基板81における隔
壁851〜859間の距離L2は、 Lx”で−W :=53. 5μm−43,5μm =20μm (2)と隔
壁851〜859の高さ25μmよりも小さくなるので
、パターニングの際の露光条件を最適にしても光の回り
込みの影響で、隔壁851〜859の寸法精度は上2゜
5μmであった。
て基板81に配設されているため、基板81における隔
壁851〜859間の距離L2は、 Lx”で−W :=53. 5μm−43,5μm =20μm (2)と隔
壁851〜859の高さ25μmよりも小さくなるので
、パターニングの際の露光条件を最適にしても光の回り
込みの影響で、隔壁851〜859の寸法精度は上2゜
5μmであった。
したがって、本実施例のインクジェット記録ヘッド10
は従来例よりも前記寸法精度が向上しているため、吐出
口21〜28の配列が一列であってもその高密度化が達
成できる。
は従来例よりも前記寸法精度が向上しているため、吐出
口21〜28の配列が一列であってもその高密度化が達
成できる。
また、基板lと天板7とを同じ材料(たとえば、ガラス
、シリコン、人工サファイアなど記録ヘッドの材料とし
て使用し得る材料)で構成することにより、記録中の昇
温による画質の劣化も防げる。特に、入エサファイアを
用いると、コストは上がるが、熱伝導率が高いため放熱
性が良く、かつ透明であるため位置合わせが容易となる
。
、シリコン、人工サファイアなど記録ヘッドの材料とし
て使用し得る材料)で構成することにより、記録中の昇
温による画質の劣化も防げる。特に、入エサファイアを
用いると、コストは上がるが、熱伝導率が高いため放熱
性が良く、かつ透明であるため位置合わせが容易となる
。
第4図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第2の実
施例を示す、基板11と天板17とを接合する前の吐出
口側から見た正面図、第5図は基板11上の発熱素子1
4□、144.14s。
施例を示す、基板11と天板17とを接合する前の吐出
口側から見た正面図、第5図は基板11上の発熱素子1
4□、144.14s。
148および電極の分布を示す部分平面図である。
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、発熱素子14
□〜148および電極が基板11と天板17とに交互に
形成されている点、また基板11と天板17とを接合す
る際の位置合わせを、天板17の両側端部に設けられた
第1の位置合わせ用隔壁19□、19□と基板11の両
側端部に設けられた第2の位置合わせ用隔壁20+、2
0aとを用いて行なう点が、第1図に示した第1の実施
例と異なる。
□〜148および電極が基板11と天板17とに交互に
形成されている点、また基板11と天板17とを接合す
る際の位置合わせを、天板17の両側端部に設けられた
第1の位置合わせ用隔壁19□、19□と基板11の両
側端部に設けられた第2の位置合わせ用隔壁20+、2
0aとを用いて行なう点が、第1図に示した第1の実施
例と異なる。
すなわち、本実施例のインクジェット記録ヘッドでは、
4個の発熱素子141,143148.14?が天板1
7上に形成されており、他の4個の発熱素子14a 、
144.14g 。
4個の発熱素子141,143148.14?が天板1
7上に形成されており、他の4個の発熱素子14a 、
144.14g 。
148が基板ll上に形成されている。その結果、基板
11と天板17とには同数の発熱素子141〜148が
形成されているため、記録時の発熱量が基板11と天板
17とでほとんど同じになるので、昇温による画質の劣
化をさらに防止することができる。また、基板11上に
形成されている発熱素子14z 、144,146.1
4aの数は、第1図に示した第1の実施例の半分になっ
ているので、第5図に示すように電気エネルギーを供給
するために発熱素子14□、14414g、14aの両
端にそれぞれ接続されている第1の電極22□〜224
、第2の電極231〜234の幅を従来よりも約2倍と
ることができるので、電気抵抗値を従来のものの約半分
に下げることができる。実際に試作したものについて電
気抵抗値を測定したところ、発熱素子14□144.1
4s 、14sの電気抵抗値は76Ω、第1の電極22
+〜224および第2の電極231〜234の電気抵抗
値は18Ωであり、電極の電気抵抗値が35Ωであった
従来例に比較して、与えた電力のうち発熱素子で使われ
る電力の割合が、本実施例では81%、従来例では68
%となり、大幅に熱効率が改善された。なお、第5図に
示すように、第1の電極22□〜224、第2の電極2
3.〜234は、Hf B2の薄膜から成る発熱層21
.〜214上にEB蒸着法によって形成したAfl薄膜
から成り、基板11の反吐出口側に設けられた不図示の
穴を介して基板11の裏側に電気メツキ法により接続さ
れ、不図示のフレキシブルケーブルによって前記電気エ
ネルギーの供給を受けている。以上のことは天板17側
においても同様である。
11と天板17とには同数の発熱素子141〜148が
形成されているため、記録時の発熱量が基板11と天板
17とでほとんど同じになるので、昇温による画質の劣
化をさらに防止することができる。また、基板11上に
形成されている発熱素子14z 、144,146.1
4aの数は、第1図に示した第1の実施例の半分になっ
ているので、第5図に示すように電気エネルギーを供給
するために発熱素子14□、14414g、14aの両
端にそれぞれ接続されている第1の電極22□〜224
、第2の電極231〜234の幅を従来よりも約2倍と
ることができるので、電気抵抗値を従来のものの約半分
に下げることができる。実際に試作したものについて電
気抵抗値を測定したところ、発熱素子14□144.1
4s 、14sの電気抵抗値は76Ω、第1の電極22
+〜224および第2の電極231〜234の電気抵抗
値は18Ωであり、電極の電気抵抗値が35Ωであった
従来例に比較して、与えた電力のうち発熱素子で使われ
る電力の割合が、本実施例では81%、従来例では68
%となり、大幅に熱効率が改善された。なお、第5図に
示すように、第1の電極22□〜224、第2の電極2
3.〜234は、Hf B2の薄膜から成る発熱層21
.〜214上にEB蒸着法によって形成したAfl薄膜
から成り、基板11の反吐出口側に設けられた不図示の
穴を介して基板11の裏側に電気メツキ法により接続さ
れ、不図示のフレキシブルケーブルによって前記電気エ
ネルギーの供給を受けている。以上のことは天板17側
においても同様である。
本実施例のインクジェット記録ヘッドでは第4図に示す
ように、基板11と天板17とを接合する際の位置合わ
せは、天板17上に形成した第1の位置合わせ用隔壁1
9+、19□を、基板ll上に形成される第1の隔壁1
51と第2の位置合わせ用隔壁20.間の凹部および第
1の隔壁155と第2の位置合わせ用隔壁202間の凹
部とに嵌合することにより行なうので、前記位置合わせ
マークを用いて行なう第1の実施例と比較して、位置合
わせが容易になる。また、第1の隔壁15、〜156、
第2の隔壁18+−184の寸法精度も第1の実施例と
同様にして向上しているため、各吐出口から吐出される
飛翔液滴の大きさ、スピードの均一性が向上し、画質も
向上する。
ように、基板11と天板17とを接合する際の位置合わ
せは、天板17上に形成した第1の位置合わせ用隔壁1
9+、19□を、基板ll上に形成される第1の隔壁1
51と第2の位置合わせ用隔壁20.間の凹部および第
1の隔壁155と第2の位置合わせ用隔壁202間の凹
部とに嵌合することにより行なうので、前記位置合わせ
マークを用いて行なう第1の実施例と比較して、位置合
わせが容易になる。また、第1の隔壁15、〜156、
第2の隔壁18+−184の寸法精度も第1の実施例と
同様にして向上しているため、各吐出口から吐出される
飛翔液滴の大きさ、スピードの均一性が向上し、画質も
向上する。
第6図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第3の実
施例を示す、基板41と天板47とを接合する前の吐出
口側から見た部分正面図、第7図は基板41と天板47
とを接合した後の隔壁451〜456を液路に沿って切
断したときの部分断面図である。
施例を示す、基板41と天板47とを接合する前の吐出
口側から見た部分正面図、第7図は基板41と天板47
とを接合した後の隔壁451〜456を液路に沿って切
断したときの部分断面図である。
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、たとえば特開
昭60−204352号公報に掲載されているような、
吐出口から吐出される飛翔液滴の吐出エネルギーを増大
するために、各液路において発熱素子の後方(反吐出口
側)に、発熱素子により気泡を生成、成長させる際のパ
ワーが後方に逃げるのを防ぐバリアを設けたタイプのも
のである。
昭60−204352号公報に掲載されているような、
吐出口から吐出される飛翔液滴の吐出エネルギーを増大
するために、各液路において発熱素子の後方(反吐出口
側)に、発熱素子により気泡を生成、成長させる際のパ
ワーが後方に逃げるのを防ぐバリアを設けたタイプのも
のである。
本実施例では、基板41上に、発熱素子441〜446
、電極、隔壁451〜456が形成され、天板47に、
感光性樹脂から成るバリア48 l〜485が形成され
ている。前記気泡を生成、成長させる際のパワーが後方
に逃げないようにするには、バリア48.〜48.と隔
壁451〜456とのすき間を小さくする必要がある。
、電極、隔壁451〜456が形成され、天板47に、
感光性樹脂から成るバリア48 l〜485が形成され
ている。前記気泡を生成、成長させる際のパワーが後方
に逃げないようにするには、バリア48.〜48.と隔
壁451〜456とのすき間を小さくする必要がある。
しかし、従来のように基板41上に隔壁451〜456
とバリア48.〜48.とをともに形成すると、第1の
実施例で述べたのと同様の理由で、前記すき間がふさが
ってしまう可能性が高かった。本実施例では、バリア4
8、〜48 sは天板47上に形成するため、隔壁45
、〜456とバリア48.〜48.の寸法精度を向上す
ることができるので、精度よく前記すき間を設けること
が可能となる。試作した例によると、高さ25μm、幅
401.Lmの液路と対して、高さ25μm、幅30L
Lmのバリアが形成でき、前記すき間を5μmとするこ
とができた。
とバリア48.〜48.とをともに形成すると、第1の
実施例で述べたのと同様の理由で、前記すき間がふさが
ってしまう可能性が高かった。本実施例では、バリア4
8、〜48 sは天板47上に形成するため、隔壁45
、〜456とバリア48.〜48.の寸法精度を向上す
ることができるので、精度よく前記すき間を設けること
が可能となる。試作した例によると、高さ25μm、幅
401.Lmの液路と対して、高さ25μm、幅30L
Lmのバリアが形成でき、前記すき間を5μmとするこ
とができた。
以上の説明において、第1の実施例、第2の実施例に関
しては隔壁を基板と天板とに分けて形成するため、該基
板と該天板とを接合する際に位置ずれが生じ、吐出口の
面積が1つおきに変わってしまい、該吐出口から吐出さ
れる飛翔液滴の量に大小が生じる可能性がある。しかし
、該飛翔液滴の量の大小は規則的(1つおき)に生じる
ので、画像のムラなどを生じることはほとんどない。た
とえば1つおきに発熱素子に与える電気エネルギーの大
きさなどを変えることによっても対応可能である。
しては隔壁を基板と天板とに分けて形成するため、該基
板と該天板とを接合する際に位置ずれが生じ、吐出口の
面積が1つおきに変わってしまい、該吐出口から吐出さ
れる飛翔液滴の量に大小が生じる可能性がある。しかし
、該飛翔液滴の量の大小は規則的(1つおき)に生じる
ので、画像のムラなどを生じることはほとんどない。た
とえば1つおきに発熱素子に与える電気エネルギーの大
きさなどを変えることによっても対応可能である。
また、吐出口の個数は8個に限るものではない。
第3の実施例において、第2の実施例と同様にして、発
熱素子44.〜445と電極とを基板41、天板47に
交互に形成してもよい。
熱素子44.〜445と電極とを基板41、天板47に
交互に形成してもよい。
第8図は本発明のインクジェット記録装置の一実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
本実施例のインクジェット記録装置108は、第1図に
示したインクジェット記録ヘッド110および不図示の
インクタンクを一体化したインクジェットヘッドカート
リッジ109が装着されたキャリッジ111が、駆動モ
ータ113の駆動力を伝達する駆動ベルト112の一部
に連結されて、互いに平行に配設された2本のガイドシ
ャフト114A、114Bに対して摺動可能に取付けら
れており、前記駆動モータ113の駆動力により、前記
インクジェット記録ヘッド110が、該インクジェット
記録ヘッド110の吐出面に対向するように、不図示の
媒体給送装置からプラテン115上に給送される記録媒
体である記録紙の全幅にわたって往復運動して該記録紙
への記録を行なう構成となっている。
示したインクジェット記録ヘッド110および不図示の
インクタンクを一体化したインクジェットヘッドカート
リッジ109が装着されたキャリッジ111が、駆動モ
ータ113の駆動力を伝達する駆動ベルト112の一部
に連結されて、互いに平行に配設された2本のガイドシ
ャフト114A、114Bに対して摺動可能に取付けら
れており、前記駆動モータ113の駆動力により、前記
インクジェット記録ヘッド110が、該インクジェット
記録ヘッド110の吐出面に対向するように、不図示の
媒体給送装置からプラテン115上に給送される記録媒
体である記録紙の全幅にわたって往復運動して該記録紙
への記録を行なう構成となっている。
前述のインクジェット記録ヘッド110は、記録紙の記
録面に対向する吐出面に、熱エネルギーを利用してイン
クの吐出を行なうノズル群を備え、インクジェットヘッ
ドカートリッジ109内に一体化されたインクタンクか
らインクが供給される。
録面に対向する吐出面に、熱エネルギーを利用してイン
クの吐出を行なうノズル群を備え、インクジェットヘッ
ドカートリッジ109内に一体化されたインクタンクか
らインクが供給される。
また、本実施例のインクジェット記録装置108は、イ
ンクジェット記録ヘッド110の記録動作における往復
運動の範囲外で、ヘッド回復動作の際にインクジェット
記録ヘッド110が移動される位置(図中ガイドシャフ
ト114Aの左端、以下、回復ポジションと称す。)に
おいて、該インクジェット記録ヘッド110の吐出面に
対向して伝動機構119を介したモータ118の駆動力
によって駆動され、前記インクジェット記録ヘッド11
0の吐出面をキャッピングするキャップ部116Aを備
えたヘッド回復装置116が設けられている。このヘッ
ド回復装置116は、ヘッド回復動作の際、キャップ部
116Aによるインクジェット記録ヘッド110の吐出
面のキャッピングに関連して、適宜の吸引手段によるイ
ンク吸引もしくはインクジェット記録ヘッド110への
インク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧
送を行ない、インクを吐出口より強制的に排出させるこ
とによりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復
動作を行なう。
ンクジェット記録ヘッド110の記録動作における往復
運動の範囲外で、ヘッド回復動作の際にインクジェット
記録ヘッド110が移動される位置(図中ガイドシャフ
ト114Aの左端、以下、回復ポジションと称す。)に
おいて、該インクジェット記録ヘッド110の吐出面に
対向して伝動機構119を介したモータ118の駆動力
によって駆動され、前記インクジェット記録ヘッド11
0の吐出面をキャッピングするキャップ部116Aを備
えたヘッド回復装置116が設けられている。このヘッ
ド回復装置116は、ヘッド回復動作の際、キャップ部
116Aによるインクジェット記録ヘッド110の吐出
面のキャッピングに関連して、適宜の吸引手段によるイ
ンク吸引もしくはインクジェット記録ヘッド110への
インク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧
送を行ない、インクを吐出口より強制的に排出させるこ
とによりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復
動作を行なう。
さらに、ヘッド回復装置116の側面には、シリコンゴ
ムで形成されるワイピング部材としてのブレード117
がブレード保持部117Aによってカンチレバー形態で
保持され、ヘッド回復装置116と同様、モータ118
および伝動機構119によって動作し、インクジェット
記録ヘッド110の吐出面との係合が可能となる。これ
により、ヘッド回復装置116を用いた吐出回復動作後
に、ブレード117をインクジェット記録ヘッド110
の移動経路中に突出させ、該インクジェット記録ヘッド
110の移動動作に伴なってインクジェット記録ヘッド
110の吐出面における結露、濡れあるいは塵埃等をふ
きとる。
ムで形成されるワイピング部材としてのブレード117
がブレード保持部117Aによってカンチレバー形態で
保持され、ヘッド回復装置116と同様、モータ118
および伝動機構119によって動作し、インクジェット
記録ヘッド110の吐出面との係合が可能となる。これ
により、ヘッド回復装置116を用いた吐出回復動作後
に、ブレード117をインクジェット記録ヘッド110
の移動経路中に突出させ、該インクジェット記録ヘッド
110の移動動作に伴なってインクジェット記録ヘッド
110の吐出面における結露、濡れあるいは塵埃等をふ
きとる。
上述したインクジェット記録装置108は、不図示のキ
ーボードから入力された文書情報、制御コマンド等のデ
ータを不図示の本体および不図示のインタフェースケー
ブルを介して、不図示の印字制御部で受取り、受取った
データにしたがって文書情報の一連の記録動作および前
述のヘッド回復動作等を行なう。
ーボードから入力された文書情報、制御コマンド等のデ
ータを不図示の本体および不図示のインタフェースケー
ブルを介して、不図示の印字制御部で受取り、受取った
データにしたがって文書情報の一連の記録動作および前
述のヘッド回復動作等を行なう。
インクジェット記録ヘッド110としては、第4図また
は第6図に示したものであってもよい。
は第6図に示したものであってもよい。
以上のように本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもバブルジェット方式の記録ヘッド、記録装置にお
いて、優れた効果をもたらすものである。
中でもバブルジェット方式の記録ヘッド、記録装置にお
いて、優れた効果をもたらすものである。
その代表的な構成や原理については、たとえば、米国特
許第4723129号明細書、同第4740796号明
細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうもの
が好ましい。この方式は所謂オンデマント型、コンティ
ニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オン
デマンド型の場合には、液体(インク)が保持されてい
るシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体
に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度
上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、
記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆
動信号に一対一対応し液体(インク)内の気泡を形成で
きるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出
用開口を介して液体(インク)を吐出させて、少なくと
も一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とす
ると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特
に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成でき、よ
り好ましい。このパルス形状の駆動信号としては米国特
許第4463359号明細書、同第4345262号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第4
313124号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行なうことができる。
許第4723129号明細書、同第4740796号明
細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうもの
が好ましい。この方式は所謂オンデマント型、コンティ
ニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オン
デマンド型の場合には、液体(インク)が保持されてい
るシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体
に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度
上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、
記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆
動信号に一対一対応し液体(インク)内の気泡を形成で
きるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出
用開口を介して液体(インク)を吐出させて、少なくと
も一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とす
ると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特
に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成でき、よ
り好ましい。このパルス形状の駆動信号としては米国特
許第4463359号明細書、同第4345262号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第4
313124号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行なうことができる。
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ
構成(直線状液路または直角液路)の他に熱作用部が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
4558333号明細書、米国特許第4459600号
明細書にそれぞれ記載のものを用いた構成のものでもよ
い。
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ
構成(直線状液路または直角液路)の他に熱作用部が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
4558333号明細書、米国特許第4459600号
明細書にそれぞれ記載のものを用いた構成のものでもよ
い。
加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリッ
トを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭
59年第123670号公報や熱エネルギーの圧力波を
吸収する開孔を吐出部に対応せる構成を開示する特開昭
59年第138461号公報に基づいた構成としても本
発明は有効である。
トを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭
59年第123670号公報や熱エネルギーの圧力波を
吸収する開孔を吐出部に対応せる構成を開示する特開昭
59年第138461号公報に基づいた構成としても本
発明は有効である。
さらに、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応
した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとして
は、上述した明細書に開示されているような複数個の記
録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満たす構成
や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成の
いずれでもよいが、本発明は、上述した効果を一層有効
に発揮することができる。
した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとして
は、上述した明細書に開示されているような複数個の記
録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満たす構成
や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成の
いずれでもよいが、本発明は、上述した効果を一層有効
に発揮することができる。
加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ット自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記
録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ット自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記
録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
また、本発明の記録装置の構成として設けられる、記録
ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段などを付
加することは本発明の効果を一層安定できるので好まし
い。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての
、キャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは
吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子
あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録
とは別に吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安
定して記録を行なうために有効である。
ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段などを付
加することは本発明の効果を一層安定できるので好まし
い。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての
、キャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは
吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子
あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録
とは別に吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安
定して記録を行なうために有効である。
さらに、記録装置の記録モードとしては黒色などの主流
色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的
に構成するか複数個の組み合わせによってもよいが、異
なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少
なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効であ
る。
色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的
に構成するか複数個の組み合わせによってもよいが、異
なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少
なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効であ
る。
本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏するインクジェット記録ヘッドを提供でき
る。
する効果を奏するインクジェット記録ヘッドを提供でき
る。
第1の基板と第2の基板とに隔壁を形成することにより
、該隔壁をフォトリソグラフィー工程により該第1の基
板および該第2の基板のそれぞれに形成する際の寸法精
度を向上することができるため、吐出口の一列配列にお
ける高密度化が図れるという効果、すなわち複雑な記録
制御手段を必要とせずに前記吐出口の高密度化が行なえ
るという効果がある。
、該隔壁をフォトリソグラフィー工程により該第1の基
板および該第2の基板のそれぞれに形成する際の寸法精
度を向上することができるため、吐出口の一列配列にお
ける高密度化が図れるという効果、すなわち複雑な記録
制御手段を必要とせずに前記吐出口の高密度化が行なえ
るという効果がある。
また、前記第1の基板と前記第2の基板との材質を同じ
にすることにより、該第1の基板と該第2の基板の熱膨
張率を等しくすることができるため、記録中の昇温によ
る画質の低下を防げるという効果がある。
にすることにより、該第1の基板と該第2の基板の熱膨
張率を等しくすることができるため、記録中の昇温によ
る画質の低下を防げるという効果がある。
さらに、発熱素子と電極とを前記第1の基板、前記第2
の基板とに形成することにより、前記画質の低下を防げ
るという効果とともに、前記電極の幅を従来よりも大き
くすることができるため、前記発熱素子における熱効率
を向上させられるという効果がある。
の基板とに形成することにより、前記画質の低下を防げ
るという効果とともに、前記電極の幅を従来よりも大き
くすることができるため、前記発熱素子における熱効率
を向上させられるという効果がある。
また、このような各種効果を有するインクジェット記録
ヘットを搭載することにより、記録品位に優れたインク
ジェット記録装置を提供できる。
ヘットを搭載することにより、記録品位に優れたインク
ジェット記録装置を提供できる。
第1図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第1の実
施例を示す概略構成図、第2図は基板1と天板7とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第3図は基板
1と天板7とを接合した後の吐出口21〜2.側から見
た部分正面図、第4図は本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの第2の実施例を示す、基板11と天板17とを接
合する前の吐出口側から見た正面図、第5図は基板ll
上の発熱素子14□、144,146,148および電
極の分布を示す部分平面図、第6図は本発明のインクジ
ェット記録ヘットの第3の実施例を示す基板41と天板
47とを接合する前の吐出口側から見た部分正面図、第
7図は基板41と天板47とを接合した後の隔壁45、
〜456を液路に沿って切断したときの部分断面図、第
8図は本発明のインクジェット記録装置の一実施例を示
す斜視図、第9図はオンデマンド型のインクジェット記
録ヘッドの従来例の一つを示す概略構成図である。 11.41・・・基板、 21〜25 ・・・吐出口、 41〜4a、14+ 〜14a、44、〜445・・・
発熱素子、 51〜55,151〜155 ・・・第1の隔壁6・・
・液室、7,17.47・・・天板、8、〜84,18
.〜184 ・・・第2の隔壁10.110・・・イン
クジェット記録ヘット19、.19□ ・・・第1の位
置合わせ用隔壁、20、〜2I4 ・・・第2の位置合
わせ用隔壁、211〜214 ・・・発熱層、 22□〜224 ・・・第1の電極、 23、〜234 ・・・第2の電極、 451〜456 ・・・隔壁、 48、〜48.・・・バリア、 108・・・インクジェット記録装置、09 インクジェットヘットカートリッジ、 111・・・キャリッジ、 112・・・駆動ベルト、 113・・・駆動モータ、 114A、114B・・・ガイドシャフト、115・・
・プラテン、 116A・・・キャップ部、 117A・・・ブレード保持部、 118・・・モータ、 119・・・伝動機構、 W・・・幅、 β・・・ピッチ。
施例を示す概略構成図、第2図は基板1と天板7とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第3図は基板
1と天板7とを接合した後の吐出口21〜2.側から見
た部分正面図、第4図は本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの第2の実施例を示す、基板11と天板17とを接
合する前の吐出口側から見た正面図、第5図は基板ll
上の発熱素子14□、144,146,148および電
極の分布を示す部分平面図、第6図は本発明のインクジ
ェット記録ヘットの第3の実施例を示す基板41と天板
47とを接合する前の吐出口側から見た部分正面図、第
7図は基板41と天板47とを接合した後の隔壁45、
〜456を液路に沿って切断したときの部分断面図、第
8図は本発明のインクジェット記録装置の一実施例を示
す斜視図、第9図はオンデマンド型のインクジェット記
録ヘッドの従来例の一つを示す概略構成図である。 11.41・・・基板、 21〜25 ・・・吐出口、 41〜4a、14+ 〜14a、44、〜445・・・
発熱素子、 51〜55,151〜155 ・・・第1の隔壁6・・
・液室、7,17.47・・・天板、8、〜84,18
.〜184 ・・・第2の隔壁10.110・・・イン
クジェット記録ヘット19、.19□ ・・・第1の位
置合わせ用隔壁、20、〜2I4 ・・・第2の位置合
わせ用隔壁、211〜214 ・・・発熱層、 22□〜224 ・・・第1の電極、 23、〜234 ・・・第2の電極、 451〜456 ・・・隔壁、 48、〜48.・・・バリア、 108・・・インクジェット記録装置、09 インクジェットヘットカートリッジ、 111・・・キャリッジ、 112・・・駆動ベルト、 113・・・駆動モータ、 114A、114B・・・ガイドシャフト、115・・
・プラテン、 116A・・・キャップ部、 117A・・・ブレード保持部、 118・・・モータ、 119・・・伝動機構、 W・・・幅、 β・・・ピッチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数の吐出口と、該吐出口に連通した液路と、該液
路内の記録液に熱エネルギーを作用させる発熱素子と、
該発熱素子に電気エネルギーを供給する電極とを有する
インクジェット記録ヘッドにおいて、 第1の隔壁が所定のピッチで形成されている第1の基板
と、 第2の隔壁が所定ピッチで形成されている第2の基板と
を有し、 前記第1の隔壁と前記第2の隔壁により前記吐出口が等
間隔に形成されるように、前記第1の基板と前記第2の
基板とが接合されていることを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッド。 2、第1の基板と第2の基板とが同じ材質であることを
特徴とする請求項第1項記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 3、発熱素子および電極が、第1の基板および第2の基
板に形成されていることを特徴とする請求項第1項また
は第2項記載のインクジェット記録ヘッド。 4、被記録材を搬送する手段と、請求項第1項または第
2項または第3項記載のインクジェット記録ヘッドとを
備えたインクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2949590A JPH03234634A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2949590A JPH03234634A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03234634A true JPH03234634A (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=12277653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2949590A Pending JPH03234634A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03234634A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110242195A1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-Jet Recording Apparatus |
-
1990
- 1990-02-13 JP JP2949590A patent/JPH03234634A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110242195A1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-Jet Recording Apparatus |
US8801159B2 (en) * | 2010-03-31 | 2014-08-12 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet recording apparatus |
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