JPH03234634A - インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、インクを吐出してインクの液滴を形成するイ
ンクジェット記録ヘッドと、該記録ヘッドにより紙など
の被記録材に前記液滴を付着させることにより記録を行
なうインクジェット記録装置に関するものである。

〔従来の技術〕

インクジェット記録方式には種々のものがあるが、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出させる熱インクジェッ
ト方式（たとえば、米国特許第４７２３１２９号明細書
、米国特許第 ４７４０７９６号明細書など）は、記録電気信号に対す
る応答性が良く、吐出口（オリフィス）の高密度マルチ
化が容易、記録中の騒音が小さいなどの利点を有する。

特に、オンデマンド型の熱インクジェット方式は、マル
チノズル化が容易であることなどにより広く用いられて
いる。

第９図はオンデマンド型のインクジェット記録ヘットの
従来例の一つを示す概略構成図である。

このインクジェット記録ヘット８０は、外部より供給さ
れるインクが貯えられる液室８６と、インクを吐出して
飛翔液滴を形成する８個の吐出口８２１〜８２８と、液
室８６に貯えられたインクを各吐出口８２．〜８２８に
それぞれ供給する吐出口８２．〜８２８に連通した８本
の液路８３１〜８３８と、液路８３１〜８３８の吐出口
８２１〜８２２側にそれぞれ設けられた、前記飛翔液滴
を形成するための熱エネルギー源である８個の発熱素子
８４１〜８４８と、各吐出口８２、〜８２８および各液
路８３、〜８３８を隔てる感光性樹脂から成る隔壁８５
＋〜８５９とが、シワコンから成る基板８１上に形成さ
れており、ガラスから成る天板８７が隔壁８５．〜８５
９の面に接合されることにより構成されている。

液室８６および液路８３１〜８３８は、基板８１上に、
硬化した前記感光性樹脂の隔壁８５１〜８５９をフォト
リソグラフィー工程によって形成することによって設け
られている。また、各発熱素子８４１〜８４８には、基
板８１上に形成された不図示の電極が接続され、該電極
を介して電気エネルギーが供給され、また、前記インク
は天板８７に設けられた不図示の貫通孔を介して外部か
ら供給される。

このインクジェット記録ヘッド８０では、画像信号に対
応して駆動されたパルス状の電気エネルギーが前記電極
を介して各発熱素子８４１〜８４８に供給されると、発
熱素子８４１〜８４８の発熱により、液室８６から液路
８３１〜８３８を介して供給された発熱素子８４．〜８
４８上のインクに気泡が生成される。該気泡の圧力によ
り前記インクが各吐出口８２１〜８２８から吐出して、
不図示の被記録材に付着するため、該被記録材に画像が
形成される。ここで、前記電気エネルギーは実用的な記
録速度を得るために、１秒間に数百〜数万回の割合で発
熱素子８４□〜８４８に与えられる。

このような構成のインクジェット記録ヘッド８０を用い
て高精細な画像を被記録材に形成する方法として、吐出
口８２、〜８２８の配列ピッチを小さくする方法が一般
に用いられている。しかし、該方法には次に示すような
問題点がある。

（１）吐出口８２１〜８２８の配列ピッチを小さくする
ためには、各液路８３□〜８３８を隔てている隔壁８５
．〜８５９の幅を小さくする必要があるが、前述したよ
うに隔壁８５１〜８５９は感光性樹脂をフォトリングラ
フイー工程によってパターニングして得られるので、精
度良く形成できる隔壁８５、〜８５９の幅には限界があ
る。

（２）発熱素子８４、〜８４８および前記電極の配列密
度を上げる必要もあるが、該電極の幅を小さくすると電
力損失が大きくなるので、ヘッドの効率が下がる。

この問題を解決したインクジェット記録ヘッドとして以
下のものがある。

（１）両面に複数の溝を並列に設けた要素を、発熱体、
リード電極を設けた２枚の基板で吐出口が千鳥配置とな
るように挟んで構成されたインクジェット記録ヘッド（
特開昭６２−３９２５３号公報）。

（２）吐出口が千鳥配置となるように、１枚の基板の両
面に発熱体、液路などを設けて構成されたインクジェッ
ト記録ヘッド（特開昭６０−２０８２５２号公報）。

（３）一方の面に液路となる複数の溝が並設され、他方
の面に複数の発熱素子を設置した基板を複数枚重ね合わ
せて構成されたインクジェット記録ヘッド（特開昭５８
−１１１６８号公報）。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した３つのインクジェット記録ヘッドは、いずれも
、吐出口を千鳥状に複数列設けることにより該吐出口の
高密度化を図っているが、該吐出口の列間の距離は基板
の厚さ（通常５００ＬＬｍ以上）となり、同一列の該吐
出口の配列ピッチより大きくなるので、該吐出口から吐
出される液滴を被記録材の正確な位置に付着させるため
には、複雑な記録制御手段が必要になるという欠点があ
る。また、従来のインクジェット記録ヘッドには、第９
図に示した基板８１と天板８７との熱膨張率の違いから
、基板８１が記録中の昇温によって反ってしまい、被記
録材に記録される画像の品質が落ちるという欠点がある
。

本発明の目的は、複雑な記録制御手段を必要とせずに吐
出口の高密度化が行なえ、かつ記録中の昇温による画質
の劣化が生じないインクジェット記録ヘットを提供する
ことにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明のインクジェット記録ヘットは、第１の隔壁が所
定のピッチで形成されている第１の基板と、第２の隔壁
が所定のピッチで形成されている第２の基板とを有し、
前記第１の隔壁と前記第２の隔壁により前記吐出口が等
間隔に形成されるように、前記第１の基板と前記第２の
基板とが接合されている。

また、前記第１の基板と前記第２の基板とが同じ材質で
あってもよい。

さらに、発熱素子および電極が、前記第１の基板および
前記第２の基板に形成されていてもよい。

本発明のインクジェット記録装置は、被記録材を搬送す
る手段と、請求項第１項、第２項または第３項記載のイ
ンクジェット記録ヘッドを有する。

［作　　　用］ 本発明のインクジェット記録ヘットでは、第１の基板と
第２の基板とに隔壁を形成することにより、該第１の基
板および該第２の基板における該隔壁のピッチは従来よ
りも大きくなるため、フォトリソグラフィー工程によっ
て該隔壁を形成する際の寸法精度を向上させることがで
きるので、吐出口の一列配列における高密度化が図れる
。

また、前記第１の基板と前記第２の基板とを同じ材質と
することにより、記録中の昇温による該第１の基板およ
び該第２の基板の熱膨張率を等しくすることができるの
で、記録される画像の品質の低下を防止することができ
る。

さらに、発熱素子および電極を前記第１の基板、前記第
２の基板に形成することにより、記録時の昇温を前記第
１の基板と前記第２の基板とでほぼ等しくすることがで
きるので、さらに前記昇温による画像の品質の低下が防
げるとともに、前記電極の幅を従来よりも大きくするこ
とができるので、前記発熱素子における熱効率を向上さ
せることができる。

本発明のインクジェット記録装置は、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドを有するので、記録品位を向上させる
ことができる。

［実　施　例］ 次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。

第１図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実
施例を示す概略構成図、第２図は基板１と天板７とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第３図は基板
１と天板７とを接合した後の吐出口２１〜２５側から見
た部分正面図である。

本実施例のインクジェット記録ヘッド１０では、基板１
上に、外部より供給されるインクが貯えられる液室６と
、インクを吐出して飛翔液滴を形成するための発熱素子
４１〜４８とが形成されている点については第９図に示
した従来例と同様であるが、第２図に示すように発熱素
子４１〜４８のピッチβの約−の幅（吐出口部の幅）Ｗ
を有する第１の隔壁５□〜５４　（第１の隔壁５、と第
１の隔壁５５とは両端にあるので、その幅Ｗは℃よりも
犬でも可）が、発熱素子４．〜４８のピッチβの倍のピ
ッチ２Ｉ２で形成されている点が前記従来例と異なる。

また、天板７にも、第１の隔壁５□〜５４と同一形状、
同一寸法の第２の隔壁８、〜８４が、第１の隔壁５Ｉ〜
５．と同一ピッチ２Ｉ２でかつ第１の隔壁５１〜５５よ
りも発熱素子４、〜４８のピッチ部分ずれて形成されて
いる。

したがって、基板１と天板７とにパターニングにより形
成された不図示の位置合わせマークを用いて、基板１と
天板７とを貼り合わせ不図示のばねで接合させると、第
３図に示すように、第１の隔壁５１〜５９、第２の隔壁
８１〜８４、基板１、天板７により前記飛翔液滴を形成
する８個の吐出口２１〜２８　（図には５個の吐出口２
．〜２５のみ示されている）が形成されると同時に、液
室６（第１図参照）から各吐出口２．〜２８にインクを
供給する各吐出口２、〜２８にそれぞれ連通した８本の
液路（図示せず）も形成される。

該液路の形状は、第１の隔壁５Ｉ〜５９および第２の隔
壁８１〜８４が第１図に示すように、液室６から発熱素
子４Ｉ〜４８までの部分は直方体で、発熱素子４１〜４
８を過ぎると吐出口２．〜２８に進むにつれて幅が広が
る形状を有しているため、吐出口２１〜２８部がテーバ
状で、その他の部分は直方体断面の直管となるものであ
る。なお、図示していないが、天板７に設けられた貫通
孔を介して液室７に外部からインクが供給される。

次に、本実施例と第９図に示した従来例との寸法精度の
比較を行なった結果について述べる。

発熱素子４□〜４８のピッチβを６３．５μｍ、第１の
隔壁５．〜５９および第２の隔壁８１〜８４の高さを２
５μｍ、それらの吐出口２、〜２８部の幅Ｗを４３．５
μｍとして、本実施例および従来例の構成のインクジェ
ット記録ヘッドを試作した。

本実施例の構成のものは、隔壁を基板ｌと天板７とに交
互に配設しているため、基板１および天板７における隔
壁間の距ｆｉＬ、は、 Ｌ、〜２１２−Ｗ ＝２ｘ６３．５μｍ−４３．５μｍ ＝８３．５μｍ　　　　　　　　（１）と十分広いので
、パターニング後の隔壁の寸法精度は±１．０μｍ程度
であった。

一方、従来の構成のものは、隔壁８５１〜８５９がすべ
て基板８１に配設されているため、基板８１における隔
壁８５１〜８５９間の距離Ｌ２は、 Ｌｘ”で−Ｗ ：＝５３．　５μｍ−４３，５μｍ ＝２０μｍ　　　　　　　　　　　　　　　（２）と隔
壁８５１〜８５９の高さ２５μｍよりも小さくなるので
、パターニングの際の露光条件を最適にしても光の回り
込みの影響で、隔壁８５１〜８５９の寸法精度は上２゜
５μｍであった。

したがって、本実施例のインクジェット記録ヘッド１０
は従来例よりも前記寸法精度が向上しているため、吐出
口２１〜２８の配列が一列であってもその高密度化が達
成できる。

また、基板ｌと天板７とを同じ材料（たとえば、ガラス
、シリコン、人工サファイアなど記録ヘッドの材料とし
て使用し得る材料）で構成することにより、記録中の昇
温による画質の劣化も防げる。特に、入エサファイアを
用いると、コストは上がるが、熱伝導率が高いため放熱
性が良く、かつ透明であるため位置合わせが容易となる
。

第４図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実
施例を示す、基板１１と天板１７とを接合する前の吐出
口側から見た正面図、第５図は基板１１上の発熱素子１
４□、１４４．１４ｓ。

１４８および電極の分布を示す部分平面図である。

本実施例のインクジェット記録ヘッドは、発熱素子１４
□〜１４８および電極が基板１１と天板１７とに交互に
形成されている点、また基板１１と天板１７とを接合す
る際の位置合わせを、天板１７の両側端部に設けられた
第１の位置合わせ用隔壁１９□、１９□と基板１１の両
側端部に設けられた第２の位置合わせ用隔壁２０＋、２
０ａとを用いて行なう点が、第１図に示した第１の実施
例と異なる。

すなわち、本実施例のインクジェット記録ヘッドでは、
４個の発熱素子１４１，１４３１４８．１４？が天板１
７上に形成されており、他の４個の発熱素子１４ａ　、
１４４．１４ｇ　。

１４８が基板ｌｌ上に形成されている。その結果、基板
１１と天板１７とには同数の発熱素子１４１〜１４８が
形成されているため、記録時の発熱量が基板１１と天板
１７とでほとんど同じになるので、昇温による画質の劣
化をさらに防止することができる。また、基板１１上に
形成されている発熱素子１４ｚ　、１４４，１４６．１
４ａの数は、第１図に示した第１の実施例の半分になっ
ているので、第５図に示すように電気エネルギーを供給
するために発熱素子１４□、１４４１４ｇ、１４ａの両
端にそれぞれ接続されている第１の電極２２□〜２２４
、第２の電極２３１〜２３４の幅を従来よりも約２倍と
ることができるので、電気抵抗値を従来のものの約半分
に下げることができる。実際に試作したものについて電
気抵抗値を測定したところ、発熱素子１４□１４４．１
４ｓ　、１４ｓの電気抵抗値は７６Ω、第１の電極２２
＋〜２２４および第２の電極２３１〜２３４の電気抵抗
値は１８Ωであり、電極の電気抵抗値が３５Ωであった
従来例に比較して、与えた電力のうち発熱素子で使われ
る電力の割合が、本実施例では８１％、従来例では６８
％となり、大幅に熱効率が改善された。なお、第５図に
示すように、第１の電極２２□〜２２４、第２の電極２
３．〜２３４は、Ｈｆ　Ｂ２の薄膜から成る発熱層２１
．〜２１４上にＥＢ蒸着法によって形成したＡｆｌ薄膜
から成り、基板１１の反吐出口側に設けられた不図示の
穴を介して基板１１の裏側に電気メツキ法により接続さ
れ、不図示のフレキシブルケーブルによって前記電気エ
ネルギーの供給を受けている。以上のことは天板１７側
においても同様である。

本実施例のインクジェット記録ヘッドでは第４図に示す
ように、基板１１と天板１７とを接合する際の位置合わ
せは、天板１７上に形成した第１の位置合わせ用隔壁１
９＋、１９□を、基板ｌｌ上に形成される第１の隔壁１
５１と第２の位置合わせ用隔壁２０．間の凹部および第
１の隔壁１５５と第２の位置合わせ用隔壁２０２間の凹
部とに嵌合することにより行なうので、前記位置合わせ
マークを用いて行なう第１の実施例と比較して、位置合
わせが容易になる。また、第１の隔壁１５、〜１５６、
第２の隔壁１８＋−１８４の寸法精度も第１の実施例と
同様にして向上しているため、各吐出口から吐出される
飛翔液滴の大きさ、スピードの均一性が向上し、画質も
向上する。

第６図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の実
施例を示す、基板４１と天板４７とを接合する前の吐出
口側から見た部分正面図、第７図は基板４１と天板４７
とを接合した後の隔壁４５１〜４５６を液路に沿って切
断したときの部分断面図である。

本実施例のインクジェット記録ヘッドは、たとえば特開
昭６０−２０４３５２号公報に掲載されているような、
吐出口から吐出される飛翔液滴の吐出エネルギーを増大
するために、各液路において発熱素子の後方（反吐出口
側）に、発熱素子により気泡を生成、成長させる際のパ
ワーが後方に逃げるのを防ぐバリアを設けたタイプのも
のである。

本実施例では、基板４１上に、発熱素子４４１〜４４６
、電極、隔壁４５１〜４５６が形成され、天板４７に、
感光性樹脂から成るバリア４８　ｌ〜４８５が形成され
ている。前記気泡を生成、成長させる際のパワーが後方
に逃げないようにするには、バリア４８．〜４８．と隔
壁４５１〜４５６とのすき間を小さくする必要がある。

しかし、従来のように基板４１上に隔壁４５１〜４５６
とバリア４８．〜４８．とをともに形成すると、第１の
実施例で述べたのと同様の理由で、前記すき間がふさが
ってしまう可能性が高かった。本実施例では、バリア４
８、〜４８　ｓは天板４７上に形成するため、隔壁４５
、〜４５６とバリア４８．〜４８．の寸法精度を向上す
ることができるので、精度よく前記すき間を設けること
が可能となる。試作した例によると、高さ２５μｍ、幅
４０１．Ｌｍの液路と対して、高さ２５μｍ、幅３０Ｌ
Ｌｍのバリアが形成でき、前記すき間を５μｍとするこ
とができた。

以上の説明において、第１の実施例、第２の実施例に関
しては隔壁を基板と天板とに分けて形成するため、該基
板と該天板とを接合する際に位置ずれが生じ、吐出口の
面積が１つおきに変わってしまい、該吐出口から吐出さ
れる飛翔液滴の量に大小が生じる可能性がある。しかし
、該飛翔液滴の量の大小は規則的（１つおき）に生じる
ので、画像のムラなどを生じることはほとんどない。た
とえば１つおきに発熱素子に与える電気エネルギーの大
きさなどを変えることによっても対応可能である。

また、吐出口の個数は８個に限るものではない。

第３の実施例において、第２の実施例と同様にして、発
熱素子４４．〜４４５と電極とを基板４１、天板４７に
交互に形成してもよい。

第８図は本発明のインクジェット記録装置の一実施例を
示す斜視図である。

本実施例のインクジェット記録装置１０８は、第１図に
示したインクジェット記録ヘッド１１０および不図示の
インクタンクを一体化したインクジェットヘッドカート
リッジ１０９が装着されたキャリッジ１１１が、駆動モ
ータ１１３の駆動力を伝達する駆動ベルト１１２の一部
に連結されて、互いに平行に配設された２本のガイドシ
ャフト１１４Ａ、１１４Ｂに対して摺動可能に取付けら
れており、前記駆動モータ１１３の駆動力により、前記
インクジェット記録ヘッド１１０が、該インクジェット
記録ヘッド１１０の吐出面に対向するように、不図示の
媒体給送装置からプラテン１１５上に給送される記録媒
体である記録紙の全幅にわたって往復運動して該記録紙
への記録を行なう構成となっている。

前述のインクジェット記録ヘッド１１０は、記録紙の記
録面に対向する吐出面に、熱エネルギーを利用してイン
クの吐出を行なうノズル群を備え、インクジェットヘッ
ドカートリッジ１０９内に一体化されたインクタンクか
らインクが供給される。

また、本実施例のインクジェット記録装置１０８は、イ
ンクジェット記録ヘッド１１０の記録動作における往復
運動の範囲外で、ヘッド回復動作の際にインクジェット
記録ヘッド１１０が移動される位置（図中ガイドシャフ
ト１１４Ａの左端、以下、回復ポジションと称す。）に
おいて、該インクジェット記録ヘッド１１０の吐出面に
対向して伝動機構１１９を介したモータ１１８の駆動力
によって駆動され、前記インクジェット記録ヘッド１１
０の吐出面をキャッピングするキャップ部１１６Ａを備
えたヘッド回復装置１１６が設けられている。このヘッ
ド回復装置１１６は、ヘッド回復動作の際、キャップ部
１１６Ａによるインクジェット記録ヘッド１１０の吐出
面のキャッピングに関連して、適宜の吸引手段によるイ
ンク吸引もしくはインクジェット記録ヘッド１１０への
インク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧
送を行ない、インクを吐出口より強制的に排出させるこ
とによりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復
動作を行なう。

さらに、ヘッド回復装置１１６の側面には、シリコンゴ
ムで形成されるワイピング部材としてのブレード１１７
がブレード保持部１１７Ａによってカンチレバー形態で
保持され、ヘッド回復装置１１６と同様、モータ１１８
および伝動機構１１９によって動作し、インクジェット
記録ヘッド１１０の吐出面との係合が可能となる。これ
により、ヘッド回復装置１１６を用いた吐出回復動作後
に、ブレード１１７をインクジェット記録ヘッド１１０
の移動経路中に突出させ、該インクジェット記録ヘッド
１１０の移動動作に伴なってインクジェット記録ヘッド
１１０の吐出面における結露、濡れあるいは塵埃等をふ
きとる。

上述したインクジェット記録装置１０８は、不図示のキ
ーボードから入力された文書情報、制御コマンド等のデ
ータを不図示の本体および不図示のインタフェースケー
ブルを介して、不図示の印字制御部で受取り、受取った
データにしたがって文書情報の一連の記録動作および前
述のヘッド回復動作等を行なう。

インクジェット記録ヘッド１１０としては、第４図また
は第６図に示したものであってもよい。

以上のように本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもバブルジェット方式の記録ヘッド、記録装置にお
いて、優れた効果をもたらすものである。

その代表的な構成や原理については、たとえば、米国特
許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明
細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうもの
が好ましい。この方式は所謂オンデマント型、コンティ
ニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オン
デマンド型の場合には、液体（インク）が保持されてい
るシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体
に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度
上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、
記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆
動信号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を形成で
きるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出
用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくと
も一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とす
ると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特
に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、よ
り好ましい。このパルス形状の駆動信号としては米国特
許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４
３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行なうことができる。

記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ
構成（直線状液路または直角液路）の他に熱作用部が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号
明細書にそれぞれ記載のものを用いた構成のものでもよ
い。

加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリッ
トを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭
５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を
吸収する開孔を吐出部に対応せる構成を開示する特開昭
５９年第１３８４６１号公報に基づいた構成としても本
発明は有効である。

さらに、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応
した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとして
は、上述した明細書に開示されているような複数個の記
録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満たす構成
や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成の
いずれでもよいが、本発明は、上述した効果を一層有効
に発揮することができる。

加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ット自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記
録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

また、本発明の記録装置の構成として設けられる、記録
ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段などを付
加することは本発明の効果を一層安定できるので好まし
い。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての
、キャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは
吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子
あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録
とは別に吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安
定して記録を行なうために有効である。

さらに、記録装置の記録モードとしては黒色などの主流
色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的
に構成するか複数個の組み合わせによってもよいが、異
なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少
なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効であ
る。

〔発明の効果〕

本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏するインクジェット記録ヘッドを提供でき
る。

第１の基板と第２の基板とに隔壁を形成することにより
、該隔壁をフォトリソグラフィー工程により該第１の基
板および該第２の基板のそれぞれに形成する際の寸法精
度を向上することができるため、吐出口の一列配列にお
ける高密度化が図れるという効果、すなわち複雑な記録
制御手段を必要とせずに前記吐出口の高密度化が行なえ
るという効果がある。

また、前記第１の基板と前記第２の基板との材質を同じ
にすることにより、該第１の基板と該第２の基板の熱膨
張率を等しくすることができるため、記録中の昇温によ
る画質の低下を防げるという効果がある。

さらに、発熱素子と電極とを前記第１の基板、前記第２
の基板とに形成することにより、前記画質の低下を防げ
るという効果とともに、前記電極の幅を従来よりも大き
くすることができるため、前記発熱素子における熱効率
を向上させられるという効果がある。

また、このような各種効果を有するインクジェット記録
ヘットを搭載することにより、記録品位に優れたインク
ジェット記録装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実
施例を示す概略構成図、第２図は基板１と天板７とを接
合する前の吐出口側から見た部分正面図、第３図は基板
１と天板７とを接合した後の吐出口２１〜２．側から見
た部分正面図、第４図は本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの第２の実施例を示す、基板１１と天板１７とを接
合する前の吐出口側から見た正面図、第５図は基板ｌｌ
上の発熱素子１４□、１４４，１４６，１４８および電
極の分布を示す部分平面図、第６図は本発明のインクジ
ェット記録ヘットの第３の実施例を示す基板４１と天板
４７とを接合する前の吐出口側から見た部分正面図、第
７図は基板４１と天板４７とを接合した後の隔壁４５、
〜４５６を液路に沿って切断したときの部分断面図、第
８図は本発明のインクジェット記録装置の一実施例を示
す斜視図、第９図はオンデマンド型のインクジェット記
録ヘッドの従来例の一つを示す概略構成図である。 １１．４１・・・基板、 ２１〜２５　・・・吐出口、 ４１〜４ａ、１４＋　〜１４ａ、４４、〜４４５・・・
発熱素子、 ５１〜５５，１５１〜１５５　・・・第１の隔壁６・・
・液室、７，１７．４７・・・天板、８、〜８４，１８
．〜１８４　・・・第２の隔壁１０．１１０・・・イン
クジェット記録ヘット１９、．１９□　・・・第１の位
置合わせ用隔壁、２０、〜２Ｉ４　・・・第２の位置合
わせ用隔壁、２１１〜２１４　・・・発熱層、 ２２□〜２２４　・・・第１の電極、 ２３、〜２３４　・・・第２の電極、 ４５１〜４５６　・・・隔壁、 ４８、〜４８．・・・バリア、 １０８・・・インクジェット記録装置、０９ インクジェットヘットカートリッジ、 １１１・・・キャリッジ、 １１２・・・駆動ベルト、 １１３・・・駆動モータ、 １１４Ａ、１１４Ｂ・・・ガイドシャフト、１１５・・
・プラテン、 １１６Ａ・・・キャップ部、 １１７Ａ・・・ブレード保持部、 １１８・・・モータ、 １１９・・・伝動機構、 Ｗ・・・幅、 β・・・ピッチ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の吐出口と、該吐出口に連通した液路と、該液
   路内の記録液に熱エネルギーを作用させる発熱素子と、
   該発熱素子に電気エネルギーを供給する電極とを有する
   インクジェット記録ヘッドにおいて、 第１の隔壁が所定のピッチで形成されている第１の基板
   と、 第２の隔壁が所定ピッチで形成されている第２の基板と
   を有し、 前記第１の隔壁と前記第２の隔壁により前記吐出口が等
   間隔に形成されるように、前記第１の基板と前記第２の
   基板とが接合されていることを特徴とするインクジェッ
   ト記録ヘッド。 ２、第１の基板と第２の基板とが同じ材質であることを
   特徴とする請求項第１項記載のインクジェット記録ヘッ
   ド。 ３、発熱素子および電極が、第１の基板および第２の基
   板に形成されていることを特徴とする請求項第１項また
   は第２項記載のインクジェット記録ヘッド。 ４、被記録材を搬送する手段と、請求項第１項または第
   ２項または第３項記載のインクジェット記録ヘッドとを
   備えたインクジェット記録装置。