JPH03231168A - バーンイン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野］ この発（７）は丁Ｃのバーンイン基板に関するものであ
る。

［従来の技＃］ 第２図は従来のバーンイン炉の一部分断面図で、図に２
いて、バーンインＰ（１）の中にバーンイン基板（２）
が実装さｎ、バーンイン基板（２）の上には、ＩＣソケ
ットＧａ）〜（３ｃ）が装着されており、そのＩＣソケ
ットＣ３ａ）〜（３ｃ）に被測定Ｉ　Ｃ（４ａ）を実装
し、バーンインが行われるっ 次に動作について説明する。従来のバーンイン・炉テハ
バーンイン炉（１）の中に光源が黒く、ＳＰＤ内蔵素子
の様な受光素子の場合は光信号を入力する手段が無かっ
たので、スタティックバーンインが一般に行われていた
。

［発明が解決しようとする課題］ 従来のバーンイン装置は以上のように構成されていたの
で、受光素子（ＳＰＤ内蔵素子）のバーンインでは光信
号を入力しないスタティックパンインが行われ、拡散欠
陥やコンタクト欠陥およびエレクトロマイグレーション
などのような故障モードはスクリーニングされていなか
ったっこの発明は上記のような問題点を解消するために
なされたもので、ダイナミックバーンインｔ−行うこと
により拡散欠陥、コンタクト欠陥およびエレクトロマイ
グレーションなどの故障モートラスクリーニングするバ
ーンイン装置を得ることを目的とするっ 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るパーフィン装置は、バーンイン炉の中に
バーンイン基板に装着しているＩＣソケットと対向する
ような光源を取り付けた光源基板を設けたものである。

〔作用 この発明におけるバーンイン装置は、バーンイン炉内に
光源を設けることにより、その光源より光信号を入力し
ながらダイナミックバーンインを行う。

〔実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。、第
１図において、（１）はバーンイン炉、（２）はバーフ
ィンｆ（１）に実装されたバーンイン基板、　（５ａ）
は光源基板で、光源基板（５ａ）に取り付けられた光ｍ
　＜ｓｂ）と対向する様に、バーンイン基板（２）にハ
エＣソケット（３）が取り付けられており、ＩＣソケッ
ト本体（３ａ）に実装される被測定Ｉ　Ｃ（４ａ）はそ
の受光面（４ｂ）が光源（５ｂ）と対向する様に装着さ
れていて、バーンイン！！施中ば光源（５ｂ）から光信
号が被測定Ｉ　Ｃ（４ａ）Ｋ入力されるっ ＳＰＤ内蔵素子のような受光素子のバーンインには、以
上のような手段によりバーンイン中に光信号を入力し、
ダイナミックバーンインを行い、その効果としては、従
来のスタティックバーンインではスクリーニングできな
い故障モード例えば拡散欠陥、コンタクト欠陥およびエ
レクトロマイグレーションなどの故障モードをスクリー
ニングすることができる。

なお、上記実施例ではＥＣソケット（３ンと対向した光
源（５ｂ）をｒｅソケット各１に対して設けたものを示
したが、ＩＣソケット（３）に実装されている被測定Ｉ
　Ｃ（４ａ）の受光面（４ｂ）に光信号を入れる拳がで
きる光源ならば、バーンイン基板（２）上に取り付けら
れたＩＣソケット数１固に対して、そのような光源１個
でも良いっ また、上記実施例では面実装形のＩＣ（３）において説
明したが、他のタイプのＩＣであっても良く上記実施例
と同様の効果を奏する。

〔発明の効果１ 以上のようにこの発明によれば、従来受光素子のバーフ
ィンはスタティックバーンインを行っていたものが、ダ
イナミックバーンインを行うことができ、スタティック
バーンインでハ、スクリーニングできない故障モード例
えば、拡散欠陥、コンタクト欠陥およびエレクトロマイ
グレーションなどをスクリーニングすることができろっ

【図面の簡単な説明】

第１図はこの全判の一実施例によるバーンイン装置、つ
部分ｙｒｒＩＩｌｉ図、第２図は従来のバーンイン装置
の部分断面図であるっ 図、ておいて、（１）はバーンイン炉、（２）はバーン
イン基板、（３）はＩＣソケット、（４）は被測定ＩＣ
，（５ａ）は光源基板、（５０は光源である。 なお、図中、同一符号は同一　または゛相当部分を示す
。 代　理　人　　大　　岩　　　　増　　雄第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光源をバーンイン炉の中に取り付け、それによりＳＰＤ
   内蔵素子のような受光素子のバーンイン実行時、光信号
   を入力しながらバーンインが行えることを特徴としたバ
   ーンイン装置。