JPH03229866A - スパッタ装置 - Google Patents
スパッタ装置Info
- Publication number
- JPH03229866A JPH03229866A JP2673190A JP2673190A JPH03229866A JP H03229866 A JPH03229866 A JP H03229866A JP 2673190 A JP2673190 A JP 2673190A JP 2673190 A JP2673190 A JP 2673190A JP H03229866 A JPH03229866 A JP H03229866A
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- JP
- Japan
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- target
- backing plate
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- outer backing
- sputtering
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はスパッタ装置に関し、特にリング状ターゲット
とバッキングプレートの構造に関する。
とバッキングプレートの構造に関する。
従来、スパッタ装置のリンク状のターゲットとこのター
ゲットを保持するバッキングプレートの構造は第３図（
ａ）、（ｂ）に示す様に、ターゲット１の外周部は下方
に向って狭くなっており、バッキングプレートは外側と
内側のそれぞれのバッキングプレート２．３とに分割さ
れ、外側バッキングプレート２は、断面形状が約０．５
°の順テーパー形状となっており、その材料としては、
比較的熱膨張係数の大きい金属、例えばアルミニウム等
が使用されている。
ゲットを保持するバッキングプレートの構造は第３図（
ａ）、（ｂ）に示す様に、ターゲット１の外周部は下方
に向って狭くなっており、バッキングプレートは外側と
内側のそれぞれのバッキングプレート２．３とに分割さ
れ、外側バッキングプレート２は、断面形状が約０．５
°の順テーパー形状となっており、その材料としては、
比較的熱膨張係数の大きい金属、例えばアルミニウム等
が使用されている。
バッキングプレートとターゲット１との圧着方法は、ま
ず、外側バッキングプレート２を約１００〜２００℃の
温度に加熱して熱膨張させた後、内側バッキングプレー
ト３と、ターゲット１とを外側バッキングプレート２の
内側に挿入し、その後、外側バッキングプレート２を冷
却して収縮させ、ターゲット１とバッキングプレートと
を圧着する方法がとられている。
ず、外側バッキングプレート２を約１００〜２００℃の
温度に加熱して熱膨張させた後、内側バッキングプレー
ト３と、ターゲット１とを外側バッキングプレート２の
内側に挿入し、その後、外側バッキングプレート２を冷
却して収縮させ、ターゲット１とバッキングプレートと
を圧着する方法がとられている。
上述した従来のスパッタ装置におけるリング状のターゲ
ットとバッキングプレート構造は、外側バッキングプレ
ートと、内側バッキングプレートの接触面が、すべりを
防ぐ構造となっておらず、また、ターゲットと外側バッ
キングプレートとの接触面もすべりを防ぐ構造となって
いない。スパッタ装置にターゲットを装着し動作させた
場合、スパッタ熱により外側バッキングプレートは、装
置に設けられた固定用の穴内に膨張する。一方向側パッ
キングプレートはねじで装置内に固定されている為熱膨
張しにくい。またこの種のバッキングプレートを装着す
る場合ターゲットは高融点ターゲットがほとんどである
為、スパッタ熱による熱膨張はほとんど発生しない。
ットとバッキングプレート構造は、外側バッキングプレ
ートと、内側バッキングプレートの接触面が、すべりを
防ぐ構造となっておらず、また、ターゲットと外側バッ
キングプレートとの接触面もすべりを防ぐ構造となって
いない。スパッタ装置にターゲットを装着し動作させた
場合、スパッタ熱により外側バッキングプレートは、装
置に設けられた固定用の穴内に膨張する。一方向側パッ
キングプレートはねじで装置内に固定されている為熱膨
張しにくい。またこの種のバッキングプレートを装着す
る場合ターゲットは高融点ターゲットがほとんどである
為、スパッタ熱による熱膨張はほとんど発生しない。
したがって、外側バッキングプレートと、ターゲットと
の間に隙間が生じ、更に外側バッキングプレートに約０
．５°の順テーパーがついている為、ターゲットは次第
に上昇する。これにより、ターゲットは冷却バンドであ
るバッキングプレートを通して、冷却されにくくなり、
温度上昇によるターゲット破損等が発生するという欠点
がある。
の間に隙間が生じ、更に外側バッキングプレートに約０
．５°の順テーパーがついている為、ターゲットは次第
に上昇する。これにより、ターゲットは冷却バンドであ
るバッキングプレートを通して、冷却されにくくなり、
温度上昇によるターゲット破損等が発生するという欠点
がある。
本発明のスパッタ装置は、リング状のターゲットと、こ
のターゲットを保持するためにターゲットの外周部に設
けられたバッキングプレートを備えたスパッタ装置にお
いて、前記バッキングプレートに接する前記ターゲット
の側面を下方に向って拡げた構造としたものである。
のターゲットを保持するためにターゲットの外周部に設
けられたバッキングプレートを備えたスパッタ装置にお
いて、前記バッキングプレートに接する前記ターゲット
の側面を下方に向って拡げた構造としたものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の第１の実施例のターゲ
ットの平面図友びＡ−Ａ’線断面図である。
ットの平面図友びＡ−Ａ’線断面図である。
第１図（ａ）、（ｂ）において、ターゲットＩＡは外側
バッキングプレート２Ａと内側バッキングプレート３と
により圧着されて保持さっるように構成されているが、
特に外側バッキングプレート２Ａに接するターゲットＩ
Ａの側面は下方に向って拡げられた構造となっている。
バッキングプレート２Ａと内側バッキングプレート３と
により圧着されて保持さっるように構成されているが、
特に外側バッキングプレート２Ａに接するターゲットＩ
Ａの側面は下方に向って拡げられた構造となっている。
このように構成された第１の実施例によれば、スパッタ
熱によって、外側バッキングプレート２Ａが膨張しても
、ターゲットＩＡが上昇しにくい。すなわち、冷却バン
ドである外側バッキングプレート２Ａ、内側バッキング
プレート３とターゲツト材は、常に接触しているので、
ターゲットＩＡが冷却不足にならず、ターゲット破損を
防止することができる。
熱によって、外側バッキングプレート２Ａが膨張しても
、ターゲットＩＡが上昇しにくい。すなわち、冷却バン
ドである外側バッキングプレート２Ａ、内側バッキング
プレート３とターゲツト材は、常に接触しているので、
ターゲットＩＡが冷却不足にならず、ターゲット破損を
防止することができる。
第２図は本発明の第２の実施例のターゲットの断面図で
ある。
ある。
この第２の実施例の第１の実施例と異なる所は、ターゲ
ツト材Ａの側面と接する外側バッキングプレートの表面
に、断面がのこぎりの歯状の突起４を設けたことである
。このようにターゲットＩＡの側面を下方に向って拡げ
、外側バッキングプレー）２Ｂの形状を逆テーパーでか
っ、のこぎりの歯状の突起４を設けることにより、外側
バッキングプレート２Ｂが熱膨張しても、ターゲットＩ
Ａが上昇することはなくなる。すなわち冷却バンドであ
る外側バッキングプレート２Ｂ及び内側バッキングプレ
ート３とターゲットＩＡは常に接触しているので、ター
ゲットＩＡが冷却不足にならず、ターゲット破損を防止
することができる。
ツト材Ａの側面と接する外側バッキングプレートの表面
に、断面がのこぎりの歯状の突起４を設けたことである
。このようにターゲットＩＡの側面を下方に向って拡げ
、外側バッキングプレー）２Ｂの形状を逆テーパーでか
っ、のこぎりの歯状の突起４を設けることにより、外側
バッキングプレート２Ｂが熱膨張しても、ターゲットＩ
Ａが上昇することはなくなる。すなわち冷却バンドであ
る外側バッキングプレート２Ｂ及び内側バッキングプレ
ート３とターゲットＩＡは常に接触しているので、ター
ゲットＩＡが冷却不足にならず、ターゲット破損を防止
することができる。
以上説明した様に本発明は、リング状ターゲートのバッ
キングプレートに接する側面を下方に向って拡げた構造
とし、更にターゲットの側面に接する外側バッキングプ
レートの表面に複数の突起を設けることにより、外側バ
ッキングプレートがスパータ熱により膨張しても、ター
ゲットが上昇して冷却バンドから離れることを防ぐこと
ができるため、ターゲット冷却不足によるターゲット破
損を防ぐことができるという効果がある。
キングプレートに接する側面を下方に向って拡げた構造
とし、更にターゲットの側面に接する外側バッキングプ
レートの表面に複数の突起を設けることにより、外側バ
ッキングプレートがスパータ熱により膨張しても、ター
ゲットが上昇して冷却バンドから離れることを防ぐこと
ができるため、ターゲット冷却不足によるターゲット破
損を防ぐことができるという効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の第１の実施例のターゲ
ットの平面図及び断面図、第２図は本発明の第２の実施
例のターゲットの断面図、第３図（ａ）、（ｂ）は従来
のターゲットの平面図及び断面図である。 １．ＩＡ・・・ターゲット、２，２Ａ、２Ｂ・・・外側
バッキングプレート、３・・・内側バッキングプレート
、４・・・突起。
ットの平面図及び断面図、第２図は本発明の第２の実施
例のターゲットの断面図、第３図（ａ）、（ｂ）は従来
のターゲットの平面図及び断面図である。 １．ＩＡ・・・ターゲット、２，２Ａ、２Ｂ・・・外側
バッキングプレート、３・・・内側バッキングプレート
、４・・・突起。
Claims (2)
- １．リング状のターゲットと、このターゲットを保持す
るためにターゲットの外周部に設けられたバッキングプ
レートを備えたスパッタ装置において、前記バッキング
プレートに接する前記ターゲットの側面を下方に向って
拡げた構造としたことを特徴とするスパッタ装置。 - ２．ターゲットの側面と接するバッキングプレートの表
面には複数の突起が設けられている請求項１のスパッタ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2673190A JPH03229866A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | スパッタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2673190A JPH03229866A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | スパッタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229866A true JPH03229866A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12201459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2673190A Pending JPH03229866A (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | スパッタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03229866A (ja) |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP2673190A patent/JPH03229866A/ja active Pending
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