JPH0322870A - 超音波モータ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は超音波モータ駆動装置に関し、特に温度変化等
が生じた場合であっても、適切に超音波モータを保護す
るようにした超音波モータ駆動装置に関するものである
。

（従来の技術） 近年、超音波振動により駆動力を得る、いわゆる超音波
モータが種々開発され実用化されるに到って゛）る。

この超音波モータは従来のモータに比べ部品数が少なく
簡易な構成であり、低速回転域で安定した高いトルクを
発生し、応答性及び保持トルクが高いなどの種々の利点
を有する。

このような超音波モータを駆動するための従来の駆動装
置としては第１１図に示すようなものが知られている。

弾性体である固定子１０１の表面上には、圧電体として
複数に分極された区分Ａと区分Ｂの電歪素子が接着剤に
より固着されている。これらの区分Ａと区分Ｂとのそれ
ぞれの電歪素子は互いに拉相が９０″異なるように配置
されている。また区分Ａと区分Ｂのそれぞれの電東素子
．１二には電栴１０１．ａ，１０１ｂが設けられている
。この電極１０１ａ，１０１ｂには互いに位相が９０°
異なる周波電圧が与えられる。また、電極１０１ｃは、
電歪素子上の振動波の振動状態を検出するためのモニタ
用の電極である。

ＶＣＯ（′Ｙｓ圧制御発振器）１０５はデュウテイ比５
０％の矩形パルスを出力するための発振器であり、この
出力される矩形パルスの周波数はロウパスフィルタ１０
４からの信号電圧若しくはマイクロコンピュータ１０６
からのデータに応じて制御される。この電圧制御発振器
１０５からの矩形パルスは増幅器１０７およびコイル１
１０を介して電極１０１ａへ与えられる。また電圧制御
発振器１０５からの矩形パルスはシフトレジスタ１１６
によって位相を９０°ずらされた後に増幅器１０８およ
びコイル１１１を介して他方のｆｆｉｔＩＶ！１０１ｂ
へ与えられる。

モニタ電極１０１ｃからの検出信号はコンパレータ１０
２によってパルス信号に変換された後に位相比較器１１
２の端子Ｒへ与えられる。また電極１０１ａに印加され
た周波電圧はコンパレータ１１７によってパルス信号に
変換される。このパルス信号はシフトレジスタ１２５に
よって位相を９０″遅らせた後にインバータ１１８を介
して位相比較器１１２の端子Ｓへ与えられる。

他相比較器１１２は端子Ｒおよび端子Ｓに人力した双方
の信号の位相差を検出し、検出した位相差に応じた信号
を出力する。この位相比較器１１２からの信号はマルチ
ブレクサ１２６およびローパスフィルタ１０４を介して
電圧制御発振器１ｏ５へ与えられる。電圧制御発振器１
０５はこの人力した信号に応じて発振周波数を制御する
ことにより、電極１０１ａと電極１０１ｃへ印加される
双方の周波電圧の位相差を９０°に制御する。

次に第１２図を参照して第１１図に示した従来例の動作
を説明する。

ステップ２０１において電源スイッチがオン操作される
とマイクロコンピュータ１０６の出力ボートＰＣＯから
Ｌレベルの信号がマルチプレクサ１２６へ出力される。

続いてステップ２０３では電圧制御発振器１０５の発振
周波数を決定するためのパイナリコードで成るデータが
マイクロコンピュータ１０６から出力される。すなわち
、マイクロコンピュータ１０６の出力ポートＰＡＯ，Ｐ
Ａ１、ＰＡ２、ＰＡ３からそれぞれＬレベルの信号が出
力される。これにより電圧制御発振器１０５はあらかじ
め設定された可変範囲内の発振周波数のうち最低の発振
周波数で発振動作を行なう。

またマルチプレクサ１２６はマイクロコンピュータ１０
６からのＬレベルの信号に基づいて端子１２６ｃを選択
し、電圧制御発振器１０５からの出力パルスをローパス
フィルタ１０４へ出力する。

従ってマルチプレクサ１２６を介してローパスフィルタ
１０４と電圧制御発振器１０５とで閑回路を形或し、こ
のとき電圧制御発振器１０５の発振周波数はマイクロコ
ンピュータ１０６からのデータによって決定される。

次にステップ２０５では、マイクロコンピュータ１０６
内にレジスタＡを有しており、人力ボートＰＢＯを介し
て入力した駆動検知回路１０９からの検出信号、すなわ
ち超音波モータが駆動されたかどうかを示す信号を記憶
する。

次にステップ２０７ではマイクロコンピュータ１０６内
にレジスタＢを有しており、このレジスタＢへ定数ｎを
設定する。

次にステップ２０９では入ノｊボートＰＢＯを介して人
力したデータとレジスタＡに記憶されたデータとの内容
が一致しているかどうかを判別しており、双方の内容が
一致している場合、すなわち超音波モータが駆動されて
いない場合にはステップ２１１へ進みレジスタＢの内容
から１を減算する。

続いてステップ２１３ではレジスタＢの内容が０である
かどうかを判別しており、０でない場合には再びステッ
プ２０９へ進み、人力ボートＰＢＯを介して人力したデ
ータとレジスタＡの内容を比較する。このような比較動
作がｎ回繰返し実行される。

以上に示したステップ２０９からステップ２１３までの
一連の動作は超音波モータが駆動されたかどうかを一定
時間の間検出するためのものであり、この一連の動作に
よって超音波モータが駆動されていないことを判別した
ときにはスップ２１５へ進み、出力ボートＰＡＯ、ＰＡ
Ｉ、ＰＡ２、ＰＡ３から出力されるパイナリコードで成
るデータの値を１だけ増加させる。

これにより電圧制御発振器１０５の発振周波数が所定の
値だけ増大する。またステップ２１５から再びステップ
２０７へ進み、前述した一連の動作を繰返して実行する
。

以上の如くマイクロコンピュータ１０６は駆動検知回路
１０９からの出力状態が一定時間変化しない場合には所
定時間毎に電圧制御発振器１０５の発振周波数を増大さ
せ、この電圧制御発振器１０５からの発振周波数を超音
波モータの共振周波数に近づけていく。

ステップ２０９においてレジスタＡに格納されたデータ
と人力ボートＰＢＯを介して人力した駆動検知回路１０
９からの検出信号とが異なる場合、すなわち電圧制御発
振器１０５の発振周波数が超音波モータの共振周波数に
近づいて超音波モータが駆動した場合にはステップ２１
７に進み、出力ボートＰＣＯの出力レベルをＨレベルに
設定する。

これにより出力ボートＰＡＯ．ＰＡＩ、ＰＡ２、ＰＡ３
からの出力データの更新が禁止されると共に、マルチプ
レクサ１２６は端子１２６ｂを選択し、位相比較器１１
２からの信号をロウパスフィルタ１０４へ出力する。従
って、位相比較回路１１２、マルチブレクサ１２６、ロ
ウパスフィルタ１０４および電圧制御発振器１０５から
構戊されるＰＬＬ　（フエーズロックループ）による周
波数制御が実行されて電極１０１ａと１０１ｂへ印加さ
れる双方の周波電圧の位相差が９０″に設定される。

以［一の如く電極１０１ａと１０１ｂへ印加される周波
電圧の位相差が９０″に設定されると共に、この周波電
圧の駆動周波数が超音波モータのノ（振周波数よりもわ
ずかに高い値に設定されると超音波モータは回転駆動状
態を保持する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら第１１図および第１２口に示した従来例は
、電極１０１ａへ印加される周波電圧の位相と、電極１
０１Ｃからの検出電圧との位相が９０″異なるように制
御され、また電極１０１ａへ印加される周波電圧の駆動
周波数が超音波モータの共振周波数の近傍の値に設定さ
れており、環境温度の変化等によってはこの設定された
駆動周波数が変動する場合が生じる。また環境温度が７
０℃以上又は超音波モータの表面温度が８０℃以」二に
達すると、弾性体と圧電素子を接着する接着剤が軟化し
、圧電素子の振動が弾性体へ伝わりにくくなる。例えば
周波電圧として最大振幅と最小振幅とのあいだの電圧、
すなわち振幅電圧３００ｖを電１ｔ＝”ｍ　１　０　１
　ａ、１０１ｂへ印加すると、環境温度７０℃以下では
電極１０１Ｃから得れらる振幅電圧が１００Ｖである場
合に、環境温度が８０℃に達すると電極１０１Ｃから得
られる振幅電圧が６０Ｖに低下する。更に環境温度が１
−昇して８４℃に達すると電極１０１ｃから得られる振
幅電極が２０Ｖに低下する。このように環境温度が上昇
すると電歪素子の電気的インピーダンスが小さくなり、
電歪素子へ過大な電流が流れ込み、この電束素子が焼損
してしまう場合が生じる。

本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、環境温度が
Ｌ昇した場合であっても、確実に電市素ｒの焼損を防止
し得る超音波モータ駆動装置を提供することを目的とす
る。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 」ユ記目的を達戊するための本発明が提供する手段は、
第１図に示すように弾性体と貼り合わされて一体に構成
される圧電体に所定の周波数の電圧を印加して弾性体に
超音波振動を発生せしめる電源供給乎段２と、前記圧電
体の振動状態を検出しこの振動状態に係る検出信号を出
力する検出千段４と、この検出千段４で検出される当該
振動の振幅が予め設定される閥値以下であるときには前
記超音波振動の発生を停止する停止乎段６とを有して構
成した。

（作用） 本発明の超音波モータ駆動装置は、圧電体に電源供給手
段２からの所定の周波数の電圧を印加して該圧電体に超
音波振動を発生せしめ、この圧電体に発生した超音波振
動を当該圧電体と貼り合わされて一体に構戊される弾性
体で増幅して駆動力を得るようにしている。また検出手
段４を有しており、この検出千段４を用いて前記Ｔｆ．
？［ｉ体の振動状態を検出し、この検出信号から前記振
動の振幅が予め設定される閥値以下であることが１′！
１別されたときには停止手段６によって前記超音波振動
の発生を停止するようにした。

（実施例） 以下図面を参照して本発明に係る一実施例を詳細に説明
する。

まず、第２図乃至第４図を参照して構戊を説明する。

第４図に示す如く超音波モータ４は回転子であるロータ
１０に対して弾性体である固定子１が接触状態に配置さ
れており、弾性体に生じた進行性振動波によってロータ
１０を回転させるようにしている。また弾性体である固
定子１０表面には圧重体として分極処理された複数の電
歪素子が接着剤により固着されている。これらの複数の
電歪素子は区分Ａと区分Ｂとでなる２群の電歪素子を形
成し、区分Ａと区分Ｂとの電歪素子は位相が９００異な
るように配置されいる。

また第３図に示すように区分Ａの電歪素子には電極１ａ
が設けられるとともに、他方の区分Ｂの亀距素子には電
桶１ｂが設けられている。これらの電＋ｌａと電極１ｂ
には互いに位相が９０°異なる駆動周波数の駆動電源周
波電圧が与えられるようになっている。例えば電極１ａ
に対して正弦波形の周波電圧が与えられるとともに、電
極１ｈに対しては余弦波形の周波電圧が与えられる。ま
た電極１Ｃは、前述した電極１ａ、１ｂとは絶縁された
電歪素子上に配置され、この電歪素子の振動状態に応じ
た検出信号を出力する。また′ｒｒＳ極１ｄは電極１ａ
、１ｂおよびＩＣに対する共通の電極である。

次に第２図を参照するにマイクロコンピュ・一タ３はＡ
／Ｄ変換器２９と接続されるともに、Ｄ７／′Ａ変換器
５と接続されており、Ａ／Ｄ変換器２つからの出力デー
タを読み取るとともに、この読み取った値に応じて超音
波モータの駆動周波数を決定し、駆動周波数に関するデ
ータをＤ／Ａ変換器５へ出力する。従ってマイクロコン
ピュータ３からの出力データに基づいて超音波モータの
駆動周波数が決定されるようになっている。

またマイクロコンピュータ３は超音波モータの起動開始
時においては予め設定された可変範囲内の駆動周波数の
値のうち、駆動周波数がＬ限の値となるようなデータを
出力する。

Ｄ／Ａ変換器５は電圧制御発振器（ＶＣＯ）７と接続さ
れており、マイクロコンピュータ３から人力したディジ
タル信号のデータをアナログ信号のデータへ変換して電
圧制御発振器７へ出力する。

電圧制御発振器７は人力した信号電圧に応じて発振周波
数を変化させるものであり、この変化し得る発振周波数
の値は超音波モータの最適な駆動周波数を含む所定の範
囲内の値に制限されている。

また電圧制御発振器７は超音波モータの最適な駆動状態
においては、例えば１．２８ＭＨｚの発振周波数の矩形
パルスを出力するようになっている。

分周器９は電圧制御発振器７と接続されるとともに、増
幅器１１およびコイル１３を介して電極１ａと接続され
ている。分周器９は電圧制御発振器７から出力される矩
形パルスの周波数を１／３２に分周して出力する。この
分周器９によって分周されたパルス信号は増幅器１１に
よって増幅された後にコイル１３を介して電極１ａへ印
加される。

シフトレジスタ１５のクロック入力端子Ｖは電圧制御発
振器７と接続されるとともに、データ人力端子Ｄが分周
器９と接続されている。またシフトレジスタ１５の出力
端子ＱＢが増幅器１７およびコイル１９を介して電極１
ｂと接続されている。

このシフトレジスタ１５はデータ入力端子Ｄから人力し
たパルス信号、すなわち分周器９によって分周されたパ
ルス信号の位相を９０″′だけ遅延させて出力端子Ｑ８
から出力する。このシフトレジスタ１５からのパルス信
号は増幅器１７によって増怖された後にコイル１つを介
して電極１ｂへ印加される。従って、電極１ａへ印加さ
れる周波電１上の位相とは９０″だけ異なる位相の周波
電圧が電極１ｂへ印加されるようになっている。

モニタ川の電極ＩＣはコンパレータ２１を介して位相比
較器２３の端子Ｒと接続されており、電極１ｃからの検
出信号はコンパレータ２１によってパルス信号に変換さ
れた後に位相比較器２３へ与えられる。また電極１ａは
コンバレータ２５を介して位相比較器２３の端子Ｓと接
続されており、電極１ａに印加された周波電圧はコンパ
レータ２５によってパルス信号に変換された後にｆ１′
Ｉ．相比較器２３へ与えられる。

位相比較器２３は端子Ｒ及び端子Ｓに人力した双方の信
号の位相差を検出し、検出した位相差に応じた信号を出
力する。

ローパスフィルタ２７は位相比較器２３と接続され、こ
の位相比較器２３から人力した信号を平滑して直流電圧
に変換し、アナログ量で成る電圧信号を出力する。

Ａ／Ｄ変換回路２つはローパスフィルタ２７と接続され
、ローパスフィルタ２７からアナログ量で戊る電圧信号
を入力すると、この電圧信号をディジタル信号に変換す
る。

整流器３１は電極１ｃと接続されるとともに、Ａ／Ｄ変
換器３３を介してマイクロコンピュータ３と接続されて
いる。整流器３１は進行性振動波の大きさを検出するた
めの検出手段である電極ＩＣからの検出信号を整流して
直流電圧に変換する。

Ａ／Ｄ変換器３３は整流器３１からのアナログ量でなる
電圧信号をディジタル信号に変換してマイクロコンピュ
ータ３へ出力する。マイクロコンピュータ３は整流器３
１及びＡ／Ｄ変換回路３３を介して人力した電極１ｃか
らの検出信号を読取って進行性振動波の大きさを判別し
、この値が予め設定した閾値を下回る場合は超音波モー
タ４の表面温度が所定温度以上に上昇したと１１１断し
て超音波振動の発生を停止させる為、例えば電極ｌａ，
１ｂに対する駆動電源の供給停止を指令する。なお、超
音波振動の発生を停止させる為、駆動周波数を共振点近
くから遠ざけてもよい。

ここで予め設定される閾値について説明すると、通常の
使用温度に於ける電歪素子への入力信号に対する電歪素
子の振幅値を予め測定しておき、この振幅値のうち、温
度変化に対しても、人力信号に対する電歪素子の振幅値
がある一定の値で安定ｌ，、ているときの値を閾値とし
て設定する。

第９図は閉ループ破壊試験での電極１ａ，ｌｂ・゛・・
印加される周波電圧（１１１Ｉ線ａ）と電極１ｃから検
出された検出電圧（ｌｉｌＩ線ｂ）とを示した特性図で
あり、第９図（Ａ）には超音波モータの駆動直後の特性
図を示し、第９図（Ｂ）には駆動を開始してから６分経
過後の超音波モータの表而温度が８４．８℃に上昇した
ときの特性図を示し、第９図（Ｃ）には駆動を開始して
から１１分経過後の特性図を示している。

また、第１０図は開ループ破壊試験での電極１ａ，ｌｂ
へ印加される周波電圧（１１１１線ａ）と電極ＩＣから
検出された検出電圧（［１１Ｉ線ｂ）とを示した特性図
であり、第１０図（Ａ）には駆動を開始してから３分経
過後の特性図を示し、第１０図（Ｂ）には駆動を開始し
てから１３分経過後の超音波モータの表面温度が８４．
１℃に−１−昇したときの特性図を示し、第１０図（Ｃ
）には駆動を開始してから２６分経過後の特性図を示し
ている。

第９図及び第１０図からもり１らかなように超音波モー
タの表面温度が上昇するに応じて電極１ｃからの検出電
圧、すなわち弾性体に生じる振動波の振幅Ｈｄが低下す
る。

従って本発明では超音波モータの表而温度が例えば８０
℃に１昇したときの電極１ｃからの検出電圧に基づく振
動波の振幅を測定してこれを閾値ＨＯとして設定してい
る。これにより、振幅Ｈｄが低下して閾値Ｈａを下回っ
た場合には超音波モータの表面温度が所定温度以」二に
上昇したことを判別するようにしている。

次に作用を説明する。

第５図に示すステップＳ１では図示しない電源スイッチ
がオン操作されるとマイクロコンピュータ３が動作を開
始して１二限値の駆動周波数に関するデータをＤ／Ａ変
換器５を介して電圧制御発振器７へ出力する。これによ
り第６図（Ａ）に示すように時刻ｔ１において上限値の
駆動周波数でなる周波電圧が電極１ａへ印加される。ま
た同時に電極１ｂには前述した電極１ａへ印加される周
波電圧の位相とは９０６だけ異なる周波電圧が印加され
る。

ここで超音波モータの起動開始時における」二限値の駆
動周波数について第７図を参照して説明する。

第７図は超音波モータヘ印加される周波電圧の周波数を
変化させた場合における超音波モータのインピーダンス
を示したものであり、インピーダンスの値が低くなる第
１の共振周波数ｆｏａと、この第１の共振周波数ｆ。ａ
を有する共振点の次の共振点となる第２の共振周波数ｆ
。ｂとが認められる。ここに超音波モータを駆動するに
際して最適な駆動周波数ｆ１が第１の共振周波数ｆ。ａ
よりもわずかに高く且つ反共振点の周波数ｆ３より低い
値、例えば４０ＫＨｚである場合には、この最適な駆動
周波数ｆ１より高い値で且つ第２の共振周波数ｆ。ｂよ
りも低い値の駆動周波数ｆ，が起動開始時における」二
限値の駆動周波数として設定される。すなわち、使用す
る共振点の仕様最低温度における共振周波数から、前記
共振点の高周波側の次の共振点の仕様最高温度における
共振周波数までのうち任意の周波数を起動開始時におけ
る−１二限値の駆動周波数として設定する。仕様最高温
度、仕様最低温度とは、例えばこの超音波モータの温度
仕様が−３０℃〜１ｏｏ℃とすると、１００℃を仕様最
高温度とし、−３０℃を仕様最低温度とする。

再び第５図を参照するに、ステップｓ３ではＡ／Ｄ変換
器２つ及びローパスフィルタ２７を介して得られる泣相
比較器２３からの信号に基づいて電極１ａへ印加される
周波電圧と電極１ｃからの振動状態に係る検出信号との
位相差θｄを読み取る。ここで第７図に示すように起動
開始時において、駆動周波数ｆ５の周波電圧が超音波モ
ータへ与えらられたとしても、駆動周波数ｆ，の値が最
適な駆動周波数ｆ１よりも大きくかけ離れており、また
位相差θｄも９０゜以」二であるので超音波モータは駆
動しない。

続いてステップＳ５では、ステップｓ３において読み取
った位相差θｄが９０’であるか否かを判断しており、
時刻ｔ１においては位相差θｄが９０°以−Ｌてあるか
らステップｓ７を介してステップＳ９へ進む。ステップ
Ｓ９では駆動周波数の値を前述した上限値の駆動周波数
ｆ，より０．　　１ＫＨｚだけ低い値に設定する。

続いてステップＳ１１では前記ステップｓ９において設
定した新な駆動周波数に関するデータをＤ／Ａ変換器５
へ出力する。これにょり電［＋ｉ御発振器７は３．２Ｋ
Ｈｚ　（０．１．ＫＨｚｘ３２）だけ低い発振周波数の
矩形パルスを出力する。この電圧制御発振器７から出力
される矩形パルスは分周器って分周された後に、増幅器
１１およびコイル１３を介して？ｔＸ＋ｉ　１　ａへ印
加される。また同様に電圧制御発振器７から出力される
矩形パルスはシフトレジスタ１５によってず１′Ｉ．相
を９０°だけずらした後に増幅器１７およびコイル１９
を介して他方の電極１ｂへ印加される。

ステップＳｌｌから再びステップＳ３へ戻り、前述した
動作を繰返して実行し、第６図に示す期間ＴＩ３のあい
だ電極１ａおよび１ｂへ印加される周波電圧の駆動周波
数の値を順次０．ＩＫＨｚずつ下げていく。

以１二の如く電極１ａおよび１ｂへ印加される周波ｔｕ
　｝−Ｅの駆動周波数を順次下げていくと第６図（Ａ）
および（Ｂ）に示すように、時刻ｔ３において超音波モ
ータ４が駆動を開始する。

超音波モータが駆動を開始する時刻ｔ３から時刻ｔ４ま
での期間においては、拉相差θｄが９０゜以」二である
から、再びステップＳ３からステップＳ１１までの処理
を実行し、更に駆動周波数の値を０，ＩＫＨｚずつ低下
させていく。

このように駆動周波数を周波数ｆ１へ向けて順次下げて
いくことにより、超音波モータはその回転数とトルクが
徐々に増加し、これに応じて拉相差θｄも９０°に近づ
いていく。

ここで電極１ａおよび１ｂへ印加される周波電圧の駆動
周波数の値が最適な駆動周波数ｆ１を飛び越えて、さら
に低い値に設定された場合には位相差θｄが９０°以下
の航となってしまう。このように（１′！．相差θｄが
９０″以下の値になると、ステップＳ７からステップ８
１３へ進み、駆動周波数の値をＱ，ｌＫＨｚだけ増加さ
せる。

これにより電極１ａおよび１ｂへ印加される周波電汗の
駆動周波数の値が第１の共振周波数ｆＯａの近傍であっ
て、ｎつこの第１のノ（振周波数ｆ０ａよりもわずかに
高い値、例えば最適な駆動周波数ｆ，として４０ＫＨｚ
が設定される。

このように電極１ａおよび１ｂへ印加される実際の駆動
周波数の値が最適な駆動周波数ｒ１に設定されると、（
〜”Ｌ相差θｄが９０°であるからステップＳ５からス
テップＳ１５へ進む。

ステップ８　１．　５では整流器３１及びＡ／Ｄ変換器
３３を介して得られる電極１Ｃからの検出信号を読み取
り弾性体に生じる進行性振動波の振幅Ｈｄの大きさを解
読する。

ステップＳ１７では予め設定した閾値ＨＯと前記振幅Ｈ
ｄとを比較しており、振幅Ｈｄが閾値ＨＯを−１二回る
場合には再びステップＳ３へ戻り、前述した一連の制御
処理を実行して、位相差θｄを９０゜に保持する。

次に環境温度が上昇した場合の作用を説明する。

第８図は周波電圧の駆動周波数に対する電歪素了のイン
ピーダンスを示した図であり、＋Ｉｌ線ａ，ｂ，ｃは超
音波モータの表面温度（圧電体の温度）がそれぞれ３０
℃，５０℃，８０℃のときの特性ｉｌｌＩ線である。第
８図に示す如く超音波モータの表面温度が］二昇するに
応じてインピーダンスが低下する。また同時に超音波モ
ータ４の回転数も低下する。

ここで、第６図に示す時刻ｔ５において超音波モータの
表面温度が８０℃以上にＬ昇したとすると、電東素子と
弾性体とを接着している接着剤が軟化し、電歪素子から
の振動が弾性体へ伝わりにくくなる。このためステップ
Ｓ１７において振幅Ｈｄが閾値Ｈ．以下に低下すると、
ステップＳ１９・＼進み電極１ａ及び１ｂに列する駆動
電源の｛ｊ（給を停止する。これにより電歪素Ｔの焼損
を防止することができる。

尚、本実施例はいわゆる進行波方式の超音波モータにつ
いて説明したが、定在波方式の超音波モータにも適用で
ぎるものであり、これにより本廓の要旨を逸脱するもの
でないことはいうまでもないことである。

［発四の効果］ 以１−説明してきたように本発明によれば、振動の振幅
を検出し、この検出した値が予め設定した閾１１六以下
であるときには、超音波振動の発生を停止するように構
戊したので、圧電体の温度が所定温度以Ｌに」二昇した
場合であっても確実に汀電体の焼損を防止することがで
き、信頼性の向１二を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はクレーム対応図、第２図は本発川に係る一実施
例のブロック図、第３図は超音波モータの電極構戊を示
した説明図、第４図は超音波モー夕の縦断面図、第５図
は第２図の作用を示したフローチャート、第６図は超音
波モータの駆動時における特性図、第７図は駆動電源の
周波数に対する電歪素子のインピーダンス特性を示した
特性図、第８図は電歪素子のインピーダンス特性を谷温
度毎に示した特性図、第９図は閉ループ破壊試、験での
周波電圧と検出電圧を示したグラフ、第１０図は開ルー
プ破壊試験での周波電圧と倹出電Ｗを示したグラフ、第
１１図は従来例のブロック図、第１２図は第１１図の作
用を示したフローチャーｌ・である。 ２・・・電源供給手段 ４・・・検出千段 ６・・・停止手段

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 弾性体と貼り合わされて一体に構成される圧電体に所定
   の周波数の電圧を印加して弾性体に超音波振動を発生せ
   しめる電源供給手段と、 前記圧電体の振動状態を検出しこの振動状態に係る検出
   信号を出力する検出手段と、 この検出手段で検出される当該振動の振幅が予め設定さ
   れる閥値以下であるときには前記超音波振動の発生を停
   止する停止手段と、 を有することを特徴とする超音波モータ駆動装置。