JPH03226559A - 金属の蒸発装置 - Google Patents
金属の蒸発装置Info
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- JPH03226559A JPH03226559A JP1883990A JP1883990A JPH03226559A JP H03226559 A JPH03226559 A JP H03226559A JP 1883990 A JP1883990 A JP 1883990A JP 1883990 A JP1883990 A JP 1883990A JP H03226559 A JPH03226559 A JP H03226559A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 78
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は金属を蒸発させて金属蒸気を得るための金属の
蒸発装置に係り、特に蒸発用るつぼの健全性を容易に把
握しうるようにした金属の蒸発装置に関する。
蒸発装置に係り、特に蒸発用るつぼの健全性を容易に把
握しうるようにした金属の蒸発装置に関する。
（従来の技術）
従来、金属同位体分離技術、半導体生産技術、光学ミラ
ーの生産技術等の分野において金属の蒸発装置が広く応
用されている。金属の蒸発装置の基本原理は、真空容器
内に蒸発用金属が単体で収納された蒸発用るつぼを設置
し、その蒸発用金属を加熱装置により加熱して金属蒸気
を発生させるものである。加熱方法としては誘導加熱に
より金属を加熱する方法と、電子ビーム照射により金属
を加熱する方法が知られている。特に、電子ビーム照射
による方法は、熱効率が良いために、金属の同位体分離
プロセス等の大量の金属を蒸発させる場合に適している
。
ーの生産技術等の分野において金属の蒸発装置が広く応
用されている。金属の蒸発装置の基本原理は、真空容器
内に蒸発用金属が単体で収納された蒸発用るつぼを設置
し、その蒸発用金属を加熱装置により加熱して金属蒸気
を発生させるものである。加熱方法としては誘導加熱に
より金属を加熱する方法と、電子ビーム照射により金属
を加熱する方法が知られている。特に、電子ビーム照射
による方法は、熱効率が良いために、金属の同位体分離
プロセス等の大量の金属を蒸発させる場合に適している
。
第２図は、加熱装置として電子銃を用いた金属の蒸発装
置の一例を示すものである。金属の蒸発装置は真空容器
１内に蒸発用金属２を収納した蒸発用るっぽ３と、蒸発
用金属２を加熱する電子銃４と、蒸発用るつぼ３から加
熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属回収装置５と
が備えられる。
置の一例を示すものである。金属の蒸発装置は真空容器
１内に蒸発用金属２を収納した蒸発用るっぽ３と、蒸発
用金属２を加熱する電子銃４と、蒸発用るつぼ３から加
熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属回収装置５と
が備えられる。
電子銃４は１８０度偏向用のもので、電子銃４からでた
電子ビーム６は偏向磁場により曲げられ、蒸発用るつぼ
３内に収納された蒸発用金属２に照射される。電子ビー
ム６により加熱された蒸発用金属２は、蒸発用るつぼ３
内で溶融し、その一部は蒸気流７となって真空容器１内
を上昇し、蒸発金属回収装ａ５により回収される。
電子ビーム６は偏向磁場により曲げられ、蒸発用るつぼ
３内に収納された蒸発用金属２に照射される。電子ビー
ム６により加熱された蒸発用金属２は、蒸発用るつぼ３
内で溶融し、その一部は蒸気流７となって真空容器１内
を上昇し、蒸発金属回収装ａ５により回収される。
（発明が解決しようとする課題）
従来、蒸発用るつぼ３の健全性を把握するために、真空
容器１に設けられた観察窓から、蒸発用るっぽ３を目視
観察していた。しかし、蒸発用金属２の蒸発量が増大す
ると、金属蒸気が観察窓に蒸着して観察が困難となる。
容器１に設けられた観察窓から、蒸発用るっぽ３を目視
観察していた。しかし、蒸発用金属２の蒸発量が増大す
ると、金属蒸気が観察窓に蒸着して観察が困難となる。
また、目視観察では連続して長時間に亘って観察を継続
することが困難である。
することが困難である。
本発明は上記の事情を考慮してなされたもので、蒸発用
るつぼの健全性を容易に連続して把握することができ、
安定かつ安全な蒸発を確保することができる金属の蒸発
装置を提供することを目的とする。
るつぼの健全性を容易に連続して把握することができ、
安定かつ安全な蒸発を確保することができる金属の蒸発
装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
請求項１記載の発明は、真空容器内に、蒸発用金属を収
納した蒸発用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱
装置と、上記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属
を回収する蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置
において、上記真空容器内に金属蒸気中に含まれるイオ
ンを検出するイオン検出器を備えたものである。
納した蒸発用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱
装置と、上記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属
を回収する蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置
において、上記真空容器内に金属蒸気中に含まれるイオ
ンを検出するイオン検出器を備えたものである。
請求項２記載の発明は、真空容器内に、蒸発用金属を収
納した蒸発用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱
装置と、上記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属
を回収する蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置
において、上記蒸発用るつぼを冷却する冷却水の温度を
検出する温度検出器を備えたものである。
納した蒸発用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱
装置と、上記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属
を回収する蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置
において、上記蒸発用るつぼを冷却する冷却水の温度を
検出する温度検出器を備えたものである。
（作用）
請求項１記載の発明では、イオン検出器により金属蒸気
中に含まれるイオンを検出してモニタする。イオン成分
中に蒸発用るつぼの材料のイオンが検出された場合には
、蒸発用るつぼ自体が直接加熱されていると考えられる
ため、蒸発用金属の原料を蒸発用るつぼへ供給する。こ
れにより安定かつ安全な蒸発を確保することができる。
中に含まれるイオンを検出してモニタする。イオン成分
中に蒸発用るつぼの材料のイオンが検出された場合には
、蒸発用るつぼ自体が直接加熱されていると考えられる
ため、蒸発用金属の原料を蒸発用るつぼへ供給する。こ
れにより安定かつ安全な蒸発を確保することができる。
請求項２記載の発明では、温度検出器により蒸発用るつ
ぼを冷却する冷却水の温度を検出してモニタする。冷却
水の温度が上昇した場合には、蒸発用金属から冷却水に
至までの伝熱体系に変化が生じており、蒸発用るつぼの
破損や蒸発用金属の蒸発用るつぼへの浸透等が生じてい
ると考えられる。したがって、運転を停止する等の処置
をとることができる。これにより、安定かつ安全な蒸発
を確保することができる。
ぼを冷却する冷却水の温度を検出してモニタする。冷却
水の温度が上昇した場合には、蒸発用金属から冷却水に
至までの伝熱体系に変化が生じており、蒸発用るつぼの
破損や蒸発用金属の蒸発用るつぼへの浸透等が生じてい
ると考えられる。したがって、運転を停止する等の処置
をとることができる。これにより、安定かつ安全な蒸発
を確保することができる。
（実施例）
本発明に係る金属の蒸発装置の一実施例について第１図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
金属の蒸発装置は真空容器１内に蒸発用金属２を収納し
た蒸発用るつぼ３と、蒸発用金属２を加熱する加熱装置
としての電子銃４と、蒸発用るつぼ３から加熱により蒸
発した金属を回収する蒸発金属回収装置Ｗ５とが備えら
れる。電子銃４は１８０度偏向用のもので、電子銃４か
らでた電子ビーム６は偏向磁場により曲げられ、蒸発用
るつぼ３内に収納された蒸発用金属２に照射される。電
子ビーム６により加熱された蒸発用金属２は、蒸発用る
つぼ３内で溶融し、その一部は蒸気流７となって真空容
器１内を上昇し、蒸発金属回収装置５により回収される
。
た蒸発用るつぼ３と、蒸発用金属２を加熱する加熱装置
としての電子銃４と、蒸発用るつぼ３から加熱により蒸
発した金属を回収する蒸発金属回収装置Ｗ５とが備えら
れる。電子銃４は１８０度偏向用のもので、電子銃４か
らでた電子ビーム６は偏向磁場により曲げられ、蒸発用
るつぼ３内に収納された蒸発用金属２に照射される。電
子ビーム６により加熱された蒸発用金属２は、蒸発用る
つぼ３内で溶融し、その一部は蒸気流７となって真空容
器１内を上昇し、蒸発金属回収装置５により回収される
。
蒸気流７には蒸発用金属２の金属蒸気以外に蒸発用金属
２のイオンも含まれ、また蒸発用るつぼ３内の蒸発用金
属２が枯渇状態にある場合には、蒸発用るつぼ３の材料
のイオンも含まれる。すなわち、蒸気流７に蒸発用るつ
ぼ３の材料のイオンが含まれる場合には、蒸発用るっぽ
３内の蒸発用金属２が減少して、電子ビーム６が直接蒸
発用るつぼ３を照射している状態であると考えられる。
２のイオンも含まれ、また蒸発用るつぼ３内の蒸発用金
属２が枯渇状態にある場合には、蒸発用るつぼ３の材料
のイオンも含まれる。すなわち、蒸気流７に蒸発用るつ
ぼ３の材料のイオンが含まれる場合には、蒸発用るっぽ
３内の蒸発用金属２が減少して、電子ビーム６が直接蒸
発用るつぼ３を照射している状態であると考えられる。
そこで、蒸気流７に含まれる。イオンを検出するイオン
検出器１０が真空容器１内に備えられる。イオン検出器
１０は蒸気流７に含まれるイオンを常時連続してモニタ
しており、蒸発用るっぽ３の材料のイオンが検出された
場合にはイオン信号１１を出力して、蒸発用るつぼ３へ
蒸発用金属２の原料を供給させるようになっている。な
お、イオン検出器１０としては例えばマスフィルタ分析
管が用いられる。符号１０ａはイオン引き込み電極を示
す。
検出器１０が真空容器１内に備えられる。イオン検出器
１０は蒸気流７に含まれるイオンを常時連続してモニタ
しており、蒸発用るっぽ３の材料のイオンが検出された
場合にはイオン信号１１を出力して、蒸発用るつぼ３へ
蒸発用金属２の原料を供給させるようになっている。な
お、イオン検出器１０としては例えばマスフィルタ分析
管が用いられる。符号１０ａはイオン引き込み電極を示
す。
蒸発用るっぽ３の周囲には電子ビーム６による加熱によ
って蒸発用るつぼ３が溶融することを防止するため、水
冷ハース１？が設けられる。この水冷ハース１２には冷
却水１３が通され、この冷却水１３により冷却される。
って蒸発用るつぼ３が溶融することを防止するため、水
冷ハース１？が設けられる。この水冷ハース１２には冷
却水１３が通され、この冷却水１３により冷却される。
この冷却水１３の温度が上昇した場合（水冷ハース１２
への除熱量が増加した場合）には、蒸発用金属２から水
冷ハース１２への伝熱体系に変化が生じたことを示して
いる。その原因としては、主に蒸発用るっぽ３の破損や
蒸発用金属２の蒸発用るつぼ３への浸透等が考えられる
。そこで、冷却水１３の温度を常時連続してモニタする
温度検出器１４が備えられる。
への除熱量が増加した場合）には、蒸発用金属２から水
冷ハース１２への伝熱体系に変化が生じたことを示して
いる。その原因としては、主に蒸発用るっぽ３の破損や
蒸発用金属２の蒸発用るつぼ３への浸透等が考えられる
。そこで、冷却水１３の温度を常時連続してモニタする
温度検出器１４が備えられる。
温度検出器１４により冷却水１３の温度上昇を検出し、
熱効率が低下しても問題となる場合は運転を停止し、問
題がない場合にはそのまま運転を継続する。
熱効率が低下しても問題となる場合は運転を停止し、問
題がない場合にはそのまま運転を継続する。
なお、イオン検出器１０からイオン信号１１が出力され
るとともに、温度検出器１４により温度上昇が検出され
た場合には、まず蒸発用るつぼ３への蒸発用金属２の原
料の供給を行い、次に運転の停止または継続を考慮する
。
るとともに、温度検出器１４により温度上昇が検出され
た場合には、まず蒸発用るつぼ３への蒸発用金属２の原
料の供給を行い、次に運転の停止または継続を考慮する
。
このように上記実施例によれば、蒸発用金属２の原料供
給タイミングを把握することができるとともに、運転を
停止するタイミングを把握することができるため、蒸発
用るつぼ３の健全性を確保することができ、安定かつ安
全な蒸発を確保することができる。
給タイミングを把握することができるとともに、運転を
停止するタイミングを把握することができるため、蒸発
用るつぼ３の健全性を確保することができ、安定かつ安
全な蒸発を確保することができる。
なお、上記実施例においては、加熱装置として電子銃４
を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定
されず、誘導加熱による装置を用いた場合についても同
様に適用することができる。
を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定
されず、誘導加熱による装置を用いた場合についても同
様に適用することができる。
請求項１記載の発明は真空容器１内に金属蒸気中に含ま
れるイオンを検出するイオン検出器を備え、請求項２記
載の発明は蒸発用るつぼを冷却する冷却水の温度を検出
する温度検出器を備えたから、蒸発用るつぼの健全性を
容易に連続して把握することができ、安定かつ安全な蒸
発を確保することができる。
れるイオンを検出するイオン検出器を備え、請求項２記
載の発明は蒸発用るつぼを冷却する冷却水の温度を検出
する温度検出器を備えたから、蒸発用るつぼの健全性を
容易に連続して把握することができ、安定かつ安全な蒸
発を確保することができる。
第１図は本発明に係る金属の蒸発装置の一実施例を示す
構成図、第２図は従来の金属の蒸発装置を示す構成図で
ある。 １１０．真空容器、２・・・蒸発用金属、３・・・蒸発
用るつぼ、４・・・電子銃、５・・・蒸発金属回収装置
、６・・・電子ビーム、７・・・蒸気流、１０・・・イ
オン検出器、１１・・・イオン信号、 １２・・・水冷ハース、 １３・・・冷 動水、 １４・・・温度検出器。
構成図、第２図は従来の金属の蒸発装置を示す構成図で
ある。 １１０．真空容器、２・・・蒸発用金属、３・・・蒸発
用るつぼ、４・・・電子銃、５・・・蒸発金属回収装置
、６・・・電子ビーム、７・・・蒸気流、１０・・・イ
オン検出器、１１・・・イオン信号、 １２・・・水冷ハース、 １３・・・冷 動水、 １４・・・温度検出器。
Claims (2)
- １．真空容器内に、蒸発用金属を収納した蒸発用るつぼ
と、上記蒸発用金属を加熱する加熱装置と、上記蒸発用
るつぼから加熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属
回収装置とを備えた金属の蒸発装置において、上記真空
容器内に金属蒸気中に含まれるイオンを検出するイオン
検出器を備えたことを特徴とする金属の蒸発装置。 - ２．真空容器内に、蒸発用金属を収納した蒸発用るつぼ
と、上記蒸発用金属を加熱する加熱装置と、上記蒸発用
るつぼから加熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属
回収装置とを備えた金属の蒸発装置において、上記蒸発
用るつぼを冷却する冷却水の温度を検出する温度検出器
を備えたことを特徴とする金属の蒸発装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1883990A JPH03226559A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 金属の蒸発装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1883990A JPH03226559A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 金属の蒸発装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03226559A true JPH03226559A (ja) | 1991-10-07 |
Family
ID=11982729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1883990A Pending JPH03226559A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 金属の蒸発装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03226559A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011100102A2 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1883990A patent/JPH03226559A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011100102A2 (en) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
| WO2011100102A3 (en) * | 2010-02-10 | 2011-12-29 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
| US8373427B2 (en) | 2010-02-10 | 2013-02-12 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
| TWI482232B (zh) * | 2010-02-10 | 2015-04-21 | 西凱渥資訊處理科技公司 | 在蒸鍍期間避免金噴濺及光阻交聯之電子輻射監視系統 |
| US9068918B2 (en) | 2010-02-10 | 2015-06-30 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
| US9768081B2 (en) | 2010-02-10 | 2017-09-19 | Skyworks Solutions, Inc. | Electron radiation monitoring electrode system to prevent gold spitting and resist cross-linking during evaporation |
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