JPH0322471B2 - - Google Patents

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JPH0322471B2
JPH0322471B2 JP14616388A JP14616388A JPH0322471B2 JP H0322471 B2 JPH0322471 B2 JP H0322471B2 JP 14616388 A JP14616388 A JP 14616388A JP 14616388 A JP14616388 A JP 14616388A JP H0322471 B2 JPH0322471 B2 JP H0322471B2
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JP
Japan
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iron
terbium
plating solution
amount
film
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JP14616388A
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JPH01316487A (ja
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Katsuhisa Sugimoto
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ISHIHARA YAKUHIN KK
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ISHIHARA YAKUHIN KK
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Description

【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 本発明は、鉄−テルビウム合金めつき液に関す
る。 従来の技術及びその問題点 希土類−遷移金属(RE−TM)非晶質合金膜
は、数多い光磁気メモリー材料の中でも総合的に
最も優れた特性を有しており、これを記録媒体に
用いた大容量光磁気デイスクの実用化が進められ
ている。このRE−TM合金膜の作製にはスパツ
タリング法などの物理蒸着法が用いられている
が、このような機能性合金膜の作製手段の一つと
して電着法が有効であると考えられる。電着法は
常温、常圧のプロセスであり、大面積の膜を容易
に形成できるなどの特長を有しているため、この
方法で任意の組成のRE−TM合金膜を作製する
ことができれば、生産性の良いRE−TM合金膜
製造方法になることが期待される。 しかしながら、希土類金属は、電気的にかなり
卑であるために、水溶液中ではH+の放電が優先
的に起こり、電析させることは不可能である。電
解液として非水溶液を用いる場合には、希土類金
属が電析する可能性はあるが、工業的に実用化し
得る希土類金属合金めつき液は得られていない。 問題点を解決するための手段 本発明者は、上記した如き現状に鑑みて、工業
的規模において実用化し得る希土類金属合金めつ
き液を得るべく鋭意研究を重ねてきた。その結
果、希土類金属化合物としてテルビウム化合物を
用い、これを鉄化合物とともに特定の有機溶媒に
溶解してなるめつき液からは、良好な鉄−テルビ
ウム合金めつき皮膜を析出させることが可能であ
り、特に、鉄化合物及び/又はテルビウム化合物
として含水物を用いるか、或いは溶液中に水を添
加するなどして、めつき液中に水を存在させる場
合には、意外にも、鉄化合物及びテルビウム化合
物の溶解度が大きく向上し、実用上充分な電流効
率で良好な外観の鉄−テルビウム合金めつき皮膜
を形成することが可能となることを見出し、ここ
に本発明を完成するに至つた。 即ち、本発明は、鉄化合物及びテルビウム化合
物を、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボ
ネート及びアセトニトリルの少なくとも1種の有
機溶媒に溶解してなる鉄−テルビウム合金めつき
液に係る。 本発明では、テルビウム化合物としては、特に
限定はなく、例えば、酸化テルビウム、塩化テル
ビウム、硝酸テルビウム、フツ化テルビウム、炭
酸テルビウム、蓚酸テルビウム等を用いることが
できる。これらのうちで、塩化テルビウム、硝酸
テルビウム等が好ましく用いられる。 鉄化合物としては、二価あるいは三価の鉄化合
物を使用すればよく、具体例としては、硫酸第一
鉄アンモニウム、臭化鉄()、塩化鉄()、乳
酸鉄()、しゆう酸鉄()、リン酸鉄()、
硫酸第一鉄、硫化鉄()、くえん酸鉄()ア
ンモニウム、しゆう酸第二鉄アンモニウム、硫酸
鉄()アンモニウム、臭化鉄()、塩化第二
鉄、くえん酸鉄()、硝酸鉄()、リン酸鉄
()、硫酸第二鉄等を挙げることができる。これ
らのうちで、塩化鉄()、硫酸第一鉄、硫酸第
一鉄アンモニウム等が好ましく用いられる。 本発明めつき液では、溶媒としては、ジメチル
スルホキシド、プロピレンカーボネート及びアセ
トニトリルから選ばれた少なくとも1種の有機溶
媒を用いる。これらの有機溶媒は、電析時に、プ
ロトンや水素結合の関与する反応が生じ難く、か
なり卑な電位においても安定である。そして、こ
れに鉄化合物及びテルビウム化合物を溶解した溶
液からは、良好な鉄−テルビウム合金めつき皮膜
を形成することができる。 本発明めつき液では、テルビウム化合物及び鉄
化合物は、上記有機溶媒中に、溶解し得る限度量
まで添加でき、両化合物の比率を適宜変更するこ
とによつて、析出皮膜の組成を変えることができ
る。 テルビウム化合物及び鉄化合物としては、無水
及び含水物のいずれも用いることができるが、テ
ルビウム化合物及び/又は鉄化合物として含水物
を用いるか、或いはめつき液中に水を添加するな
どして、めつき液中に水を0.1〜5.0重量%程度存
在させることが好ましく、このように有機溶媒中
に水を存在させることによつて、テルビウム化合
物及び鉄化合物の溶解度が大きく向上し、良好な
電流効率で安定にめつき皮膜を形成させることが
できる。 めつき液中のテルビウム化合物量は、0.05〜
0.2モル/程度、鉄化合物は0.01〜0.3モル/
程度とすることが好ましく、このような濃度範囲
において、実用上充分な電流効率で、良好な外観
を有するめつき皮膜を形成することができる。両
化合物の比率は、Fe:Tb(モル比)=3:7〜
6:4程度とすることが好ましい。 尚、めつき液中に水分の存在しない場合には、
テルビウム化合物及び鉄化合物の溶解度が低くな
るので、溶媒としては、これらの両化合物に対す
る溶解性の比較的良好なジメチルスルホキシド又
はプロピレンカーボネートを使用することが好ま
しい。 本発明めつき液は、液温0〜50℃程度で用いる
ことができ、液温15〜40℃程度で用いることが好
ましい。 陰極電流密度は、めつき液の組成や液温等に応
じて適宜選択すればよいが、通常0.01〜0.2A/d
m2程度の電流密度範囲において、良好なめつき皮
膜を形成できる。 本発明めつき液では、無撹拌状態で良好な合金
めつき皮膜を形成することが可能であるが、必要
に応じて、スターラーによる撹拌やバブリングに
よる撹拌を行なつてもよい。 被めつき物としては、特に限定はなく、銅、白
金、ニツケル、ITOガラス等の通常の導電性物質
であれば、いずれにもめつき可能である。 本発明めつき液から形成されるめつき皮膜は、
X線回析によつて2θ=25〜40゜(CoKα線)に唯一
の非常にブロードな回析ピークを生じるだけであ
り、非晶質又は微結晶体であると推測される。 発明の効果 本発明めつき液によれば、実用上充分な電流効
率で良好な外観の鉄−テルビウム合金めつき皮膜
を形成することができる。得られる合金めつき皮
膜は、各種の用途に用い得るものであり、例え
ば、テルビウム20〜25原子%を含有する鉄−テル
ビウム合金めつき皮膜は、光磁気記録素子用皮膜
としての応用が期待される。 実施例 以下に、実施例を示した本発明を更に詳細に説
明する。 実施例 1 ジメチルスルホキシド(DMSO)を内容量100
mlのリザーバに入れ、乾燥高純度Arを1時間以
上通じて脱気した後、Ar置換した電解槽中に導
入し、これにテルビウム化合物及び鉄化合物を溶
解してめつき液とした。テルビウム化合物として
は、TbCl3・6H2Oを用い、鉄化合物としては
FeCl2・4H2O又はFeCl2を用いた。 陰極としては2cm2のPt板、陽極としては15cm2
のPt板を用い、各々ダイヤモンドペースト研磨
(粒径1μm)により鏡面に仕上げ、アセトン中で
超音波洗浄して脱脂した後、めつき液中に浸漬し
た。電解槽は、精製・乾燥したN2で置換したグ
ローブボツクス中に設置し、液温30℃で無撹拌で
めつきを行なつた。 尚、析出しためつき皮膜は、DMSOで洗浄し、
空気吹付け乾燥した後、5mlの1M−HCl溶液に
溶解し、これを蒸留水で25mlに希釈した後、ICP
発光分光分析法でTb量及びFe量を求めた。 電流密度と析出皮膜中のTb量との関係:
FeCl2・4H2Oの添加量を0.05,0.075,0.1及び
0.15モル/の各量とし、TbCl3・6H2Oの添
加量を0.1モル/としたFe−Tb合金めつき液
を用いてめつきを行ない、電流密度と析出皮膜
中のTb量との関係を求めた。結果を第1図に
示す。図中、〇印は、FeCl2・4H2O量0.05モ
ル/のめつき液、●印は、FeCl2・4H2O量
0.075モル/のめつき液、△印は、FeCl2
4H2O量0.1モル/のめつき液、▲印は、
FeCl2・4H2O量0.15モル/のめつき液につい
ての結果を示す。 また、FeCl2・4H2O量を0.15,0.22及び0.30
モル/の各量とし、TbCl3・6H2O量0.2モ
ル/としたFe−Tb合金めつき液について
も、同様に電流密度と析出皮膜中のTb量との
関係を求めた。結果を第2図に示す。図中、〇
印は、FeCl2・4H2O量0.15モル/のめつき
液、●印は、FeCl2・4H2O量0.22モル/のめ
つき液、△印は、FeCl2・4H2O量0.30モル/
のめつき液についての結果を示す。 第1図及び第2図から、0.1M−TbCl3
6H2O+0.075M−FeCl2・4H2O/DMSO溶液の
場合には、電流密度0.02〜0.03A/dm2付近を
境として、電析膜のTb含有量が10原子%ほど
急に変化するが、他の溶液の場合には、電流密
度が0.1A/dm2程度以下であれば、Tb含有量
は、電流密度によらずほぼ一定であることがわ
かる。 めつき液中のFe量と析出皮膜中のFe量の関
係: TbCl3・6H2O量0.1モル/でFeCl2・4H2O
量を変えためつき液、及びTbCl3・6H2O量0.2
モル/でFeCl2・4H2O量を変えためつき液
について、めつき液中のFe2+のイオン分率と
析出皮膜中のFe原子%との関係を第3図に示
す。第3図から、溶液中のFe2+イオン分率が
増加するに従つてて、析出皮膜中のFe量が増
加することがわかる。また、析出皮膜中のFe
量は、等組成線よりも高い値となり、Feが優
先的に析出していることがわかる。 電析皮膜の色調及び結晶構造: 各種濃度のTbCl3・6H2O+FeCl2・4H2O/
DMSO溶液中において、定電流法で電析させ
て得た合金皮膜の色調及びTb含有量を第1表
に示す。電析膜の色調は、通過電気量Qによつ
て変化したが、Q>0.7クローン/cm2で得られ
る皮膜の色調はQによらずほぼ同じであつた。
【表】
【表】 第1表から、析出皮膜の色は、Tb含有量に
よつて変化し、Tb含有量が20原子%以下の場
合には、濃紺あるいは黒色、25原子%付近では
緑色、30原子%以上では黄色となることがわか
る。 また、Tb含有量16原子%の電析膜、及び21
原子%の電析膜について、X線回析図形を測定
したところ、2つの試料は、いずれも2θ=25〜
40゜(CoKα線使用)に唯一の非常にブロードな
回析ピークを生ずるだけであり、析出皮膜は非
晶質あるいは微結晶体であると推測された。 電流効率 ICP分析によつて得た電析膜中のTb量及び
Fe量に基づいて、電流効率を求めた。0.1M−
TbCl3・6H2O+0.075M−FeCl2・4H2O/
DMSO溶液についての結果を第4図に、0.2M
−TbCl3・6H2O+0.22M−FeCl2・4H2O/
DMSO溶液についての結果を第5図に示す。 第4図及び第5図から、いずれの溶液におい
ても、電流密度が同じであれば、電流効率は通
電量によらずほぼ同じ値を示すことが判る。 また、各種組成のFe−Tb合金めつき液にお
ける電流効率との関係を第6図に示す。第6図
から、電流密度が高くなるに従つて、電流効率
が高くなる傾向にあることがわかる。 以上の結果から、光磁気記録素子用の合金膜
としての適用が期待されるTb含有量20〜25原
子%、厚さ100nm程度のTb−Fe合金膜は、
0.2M−TbCl3・6H2O+0.21〜0.22M−FeCl2
4H2O/DMSO溶液を用いて、液温30℃、静止
状態のめつき液から、電流密度0.04〜0.1A/d
m2程度で電解時間14分(0.04Adm2)〜6分
(0.1A/dm2)程度で得られることがわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は、電流密度と析出皮膜中の
Tb量との関係を示すグラフ、第3図はめつき液
中のFe2+のイオン分率と析出皮膜中のFe原子%
との関係を示すグラフ、第4図及び第5図は、通
電量と電流効率との関係を示すグラフ、第6図は
電流密度と電流効率との関係を示すグラフであ
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 鉄化合物及びテルビウム化合物を、ジメチル
    スルホキシド、プロピレンカーボネート及びアセ
    トニトリルの少なくとも1種の有機溶媒に溶解し
    てなる鉄−テルビウム合金めつき液。 2 水分含有量が0.1〜5.0重量%である請求項1
    に記載の鉄−テルビウム合金めつき液。
JP14616388A 1988-06-13 1988-06-13 鉄−テルビウム合金めっき液 Granted JPH01316487A (ja)

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CN108823618B (zh) * 2018-07-02 2019-10-18 苏州大学 常温电沉积-扩渗制备梯度硅钢薄带的方法及专用镀液

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