JPH03223588A - 気密シール配管接続装置 - Google Patents
気密シール配管接続装置Info
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- JPH03223588A JPH03223588A JP2020012A JP2001290A JPH03223588A JP H03223588 A JPH03223588 A JP H03223588A JP 2020012 A JP2020012 A JP 2020012A JP 2001290 A JP2001290 A JP 2001290A JP H03223588 A JPH03223588 A JP H03223588A
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Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野１
本発明は気密シール配管接続装置に関し、特に、電気的
絶縁をしながら気密シールして配管を接続する装置に関
する。
絶縁をしながら気密シールして配管を接続する装置に関
する。
１従来の技術Ｊ
たとえば粒子加速器あるいはシンクｌＴ７１〜ロン放射
（以下ＳＯＲと略称する）装置においては、粒子あるい
は電子を加速するための容器およびビームライン内は１
０’Ｔｏｒｒ程度以上の超高真空に１呆たれる。粒子加
速器やＳ ＯＲ装置では、装置の運転状態を常に把握し
ビームの質を改良したり、ビームを長時間安定的に蓄積
したりするためにビームの計測か不可欠である。
（以下ＳＯＲと略称する）装置においては、粒子あるい
は電子を加速するための容器およびビームライン内は１
０’Ｔｏｒｒ程度以上の超高真空に１呆たれる。粒子加
速器やＳ ＯＲ装置では、装置の運転状態を常に把握し
ビームの質を改良したり、ビームを長時間安定的に蓄積
したりするためにビームの計測か不可欠である。
たとえば近年、半導体の製造技術分野は素子の１紋細加
工技Ｕ？か進展するにつれて、Ｘ線すンクラフィ技術か
検討されてきている。高輝度のＸ線源としてＳＯＲ光か
注目されている。半導体製造における半導体霞光装置の
光源としてＳＯＲ装置を使用する場合には、装置全体の
自動化運転のためビームの計測装置か電子ビームライン
の所定位置に配置される。
工技Ｕ？か進展するにつれて、Ｘ線すンクラフィ技術か
検討されてきている。高輝度のＸ線源としてＳＯＲ光か
注目されている。半導体製造における半導体霞光装置の
光源としてＳＯＲ装置を使用する場合には、装置全体の
自動化運転のためビームの計測装置か電子ビームライン
の所定位置に配置される。
ビームラインは導電体金属の配管か多数接続されたもの
で、配管内部は超高真空に維持される。
で、配管内部は超高真空に維持される。
配管にはフランジか形成されており、隣り合う配管のフ
ランジ同士を配管の気密を保つ金属カスケｙｌ−等を介
してボルト締め等の締結手段によって締結される。
ランジ同士を配管の気密を保つ金属カスケｙｌ−等を介
してボルト締め等の締結手段によって締結される。
Ｌ発明か解決しようとする課題］
加速器、ＳＯＲ装置等では強力なｔ磁石による磁場で粒
子や電子の進行方向を曲げる。この磁界内には電子軌道
を包む真空箱かある。真空箱は導体で作られており、パ
ルス状の電流てＮ ｍ石を通電すると、真空箱の表面に
渦電流か発生する。
子や電子の進行方向を曲げる。この磁界内には電子軌道
を包む真空箱かある。真空箱は導体で作られており、パ
ルス状の電流てＮ ｍ石を通電すると、真空箱の表面に
渦電流か発生する。
発生した渦を流は真空箱に接続されるビームラインを伝
達してビームラインの途中に配置された測定器にノイズ
等の悪影響を与え、自動化の障害ともなる。したかって
、配管の真空気密シール接続とともにビームラインの電
気絶縁も行う必要かある。
達してビームラインの途中に配置された測定器にノイズ
等の悪影響を与え、自動化の障害ともなる。したかって
、配管の真空気密シール接続とともにビームラインの電
気絶縁も行う必要かある。
真空気密シールと電気絶縁の両方を同時に実施する接続
方法として、フランジのシール面にエナメルを焼き付け
し、カスゲットとしてメタル力スゲントを使用すること
か知られている。この方法では配管製造後のフランジに
エナメルを焼き付けすることか困難な上に、エナメルの
焼き付け厚みかばらつき、真空気密シールか出来ない場
合かあり、信頼性に間肋かある。さらに、メタルカスケ
／１〜の代わりに電気絶縁性のＯリングを使用する場合
には、フランジ面か接触したり、Ｏリングを位置きめす
るカイドリンクを介してフランジ同士か接触して短絡す
る場合かある。
方法として、フランジのシール面にエナメルを焼き付け
し、カスゲットとしてメタル力スゲントを使用すること
か知られている。この方法では配管製造後のフランジに
エナメルを焼き付けすることか困難な上に、エナメルの
焼き付け厚みかばらつき、真空気密シールか出来ない場
合かあり、信頼性に間肋かある。さらに、メタルカスケ
／１〜の代わりに電気絶縁性のＯリングを使用する場合
には、フランジ面か接触したり、Ｏリングを位置きめす
るカイドリンクを介してフランジ同士か接触して短絡す
る場合かある。
このように、粒子加速器やＳＯＲ装置では真空気密シー
ルと電気的絶縁の両方か要求されるか、電気的絶縁に関
して問題かあった。
ルと電気的絶縁の両方か要求されるか、電気的絶縁に関
して問題かあった。
本発明の目的は、超高真空の気密シールと共に真空配管
の電気的絶縁も同時に可能な新規で優れた気密シール配
管接続装置を提供することである。
の電気的絶縁も同時に可能な新規で優れた気密シール配
管接続装置を提供することである。
２課題を解決するための手段］
一方の配管のフランジ部と他方の配管のフランジ部で、
電気絶縁材からなるカスゲントを挟持し、両フランジ部
間の電気絶縁性を保って両フランジ部間を締め付け固定
する締結具を装着し、締結具か両フランジ部を互いに近
接するように締め付けることにより力スケノト部材か変
形して両フランジ部間を気密シールする。
電気絶縁材からなるカスゲントを挟持し、両フランジ部
間の電気絶縁性を保って両フランジ部間を締め付け固定
する締結具を装着し、締結具か両フランジ部を互いに近
接するように締め付けることにより力スケノト部材か変
形して両フランジ部間を気密シールする。
「作用］
フランジ部は、締結具により電気絶縁性を保って締結さ
れ、フランジのカスケラ１−とのシール面はカスゲット
により電気絶縁され、しかもカスゲットは変形して真空
気密シールを行う。
れ、フランジのカスケラ１−とのシール面はカスゲット
により電気絶縁され、しかもカスゲットは変形して真空
気密シールを行う。
３実施例］
第１図は、本発明の実施例による真空気密シール配管接
続装置の断面図である。第２図は、第１図の配管の軸方
向から見た側面図である０図において、１０は真空箱で
あり、例えばＳＯＲ装置の場合では蓄積電子軌道かあり
、強力な電磁石による磁場中に配置され、内部は超高真
空に保たれている。２０は真空タフｔ・でありビームラ
インを構成する。真空箱１０と真空タフ１−２０のいず
れもステンレス等の金属材料で作られている。真空ダク
ト２０の延長光に図示しない測定器やビーム利用装置が
設置される。
続装置の断面図である。第２図は、第１図の配管の軸方
向から見た側面図である０図において、１０は真空箱で
あり、例えばＳＯＲ装置の場合では蓄積電子軌道かあり
、強力な電磁石による磁場中に配置され、内部は超高真
空に保たれている。２０は真空タフｔ・でありビームラ
インを構成する。真空箱１０と真空タフ１−２０のいず
れもステンレス等の金属材料で作られている。真空ダク
ト２０の延長光に図示しない測定器やビーム利用装置が
設置される。
真空箱１０の一端にビームの導入孔としての開孔部１１
か設けられ、さらにその開孔部１１にはＸ空タクト１２
とその先端に形成されたフランジ１３が形成されている
。これらはすべてステンレス等の電気的伝導材で形成さ
れている。フランジ１３は図示のようにその断面かフラ
ンジの半径方向外側に向うに従って先細りとなるテーバ
形状の背面を有する。フランジ１３は相手側フランジと
対向し、気密シール面となるフランジ面１４を有する。
か設けられ、さらにその開孔部１１にはＸ空タクト１２
とその先端に形成されたフランジ１３が形成されている
。これらはすべてステンレス等の電気的伝導材で形成さ
れている。フランジ１３は図示のようにその断面かフラ
ンジの半径方向外側に向うに従って先細りとなるテーバ
形状の背面を有する。フランジ１３は相手側フランジと
対向し、気密シール面となるフランジ面１４を有する。
一方、相手側の真空ダクト２０にもフランジ２１か設け
られ、その背面はフランジ１３と同様なテーバ状の断面
形状を持つ、２２は相手側フランジと対向し気密シール
を行うためのフランジ面である。
られ、その背面はフランジ１３と同様なテーバ状の断面
形状を持つ、２２は相手側フランジと対向し気密シール
を行うためのフランジ面である。
フランジ１３と２１との間にカスゲット３０か挟持され
る。カスケン１〜３０の中央部にはビームを通過するた
めの開孔部３２か形成されている。
る。カスケン１〜３０の中央部にはビームを通過するた
めの開孔部３２か形成されている。
カスケン１−３０は、外気圧と内部の超高真空との圧力
差に耐えつるだけの剛性を持ち、しかも両側のフランジ
による圧縮力で変形できる材質を選ぶ。
差に耐えつるだけの剛性を持ち、しかも両側のフランジ
による圧縮力で変形できる材質を選ぶ。
／ｕＪえは、ＭＣ−ナイロン等の電気的に絶縁性である
合成１１Ｍ脂材が推奨できる。カスゲット３０は真空シ
ールを達成するために必要な両側のフランジによる圧縮
力を低減するためと、カスゲントの繰り返し便用を可能
とするため、フランジ面１４２２との接触部３１を図示
の如く鈍角に形成しである。もし、接触部３１か鋭角に
形成されていると、接触部３１の局部的応力、従って変
形か非常に大きくなり、弾性変形頭載を過き°て塑性変
形してしまい、同じ状態で繰り返し使用する場合、締め
付けの条件か変化して安定したシール条件か満足されな
くなる。従って、鋭角の場合にはカスケＺトの再使用か
髭しい。接触部３１を鈍角とすると、局部圧力の高い部
分が少なくなり、たとえ塑性変形してもその変形量はわ
すがであり、繰り返しの再使用にも耐えられる。
合成１１Ｍ脂材が推奨できる。カスゲット３０は真空シ
ールを達成するために必要な両側のフランジによる圧縮
力を低減するためと、カスゲントの繰り返し便用を可能
とするため、フランジ面１４２２との接触部３１を図示
の如く鈍角に形成しである。もし、接触部３１か鋭角に
形成されていると、接触部３１の局部的応力、従って変
形か非常に大きくなり、弾性変形頭載を過き°て塑性変
形してしまい、同じ状態で繰り返し使用する場合、締め
付けの条件か変化して安定したシール条件か満足されな
くなる。従って、鋭角の場合にはカスケＺトの再使用か
髭しい。接触部３１を鈍角とすると、局部圧力の高い部
分が少なくなり、たとえ塑性変形してもその変形量はわ
すがであり、繰り返しの再使用にも耐えられる。
フランジ１３．２１の外側には両フランジを締結固定す
るためのクランプ金具４０が設けられる。
るためのクランプ金具４０が設けられる。
クランプ金具４０の内面断面は第１図に示すように両フ
ランジ１３．２１の断面形状と対応するような凹形テー
バ形状を有する。クランプ金具４゜は第２図に示すよう
に、隙間４１をあけて上下のピースに２分割されていて
、上下のピースをボルト＝１２で締め付けることにより
互いに接近し、テーバによって両フランジを接近させる
。
ランジ１３．２１の断面形状と対応するような凹形テー
バ形状を有する。クランプ金具４゜は第２図に示すよう
に、隙間４１をあけて上下のピースに２分割されていて
、上下のピースをボルト＝１２で締め付けることにより
互いに接近し、テーバによって両フランジを接近させる
。
クランプ金具４０とフランジ１３．２１との間には絶縁
サポート部材５０が挟まれている。絶縁サポート部材５
０は電気絶縁体、例えばベークライトやＦＲＰのような
材料で作られるとよい、絶縁サポート部材５０は真空気
密シールをする必要はないので、クランプ金具４０とフ
ランジ１３゜２１間との絶縁を保ち、がっクラン１金具
４ｏによる締め付け力に耐えるだけの剛性を有すればよ
い。
サポート部材５０が挟まれている。絶縁サポート部材５
０は電気絶縁体、例えばベークライトやＦＲＰのような
材料で作られるとよい、絶縁サポート部材５０は真空気
密シールをする必要はないので、クランプ金具４０とフ
ランジ１３゜２１間との絶縁を保ち、がっクラン１金具
４ｏによる締め付け力に耐えるだけの剛性を有すればよ
い。
第１図と第２図に示す構成で、クランプ金具４０のポル
１−４２を締め込むと、上下のピースか接近して絶縁サ
ポート部５０を介して、両フランジ１．３．２１にフラ
ンジ同士を接近させる方向に押圧力を与える。フランジ
１３．２１の押圧力はフランジ面１４．２２からカスゲ
ット３０の接触部３１に伝達されて、カスゲット３０は
変形し、締結された両フランジ間の気密シールを達成す
る。
１−４２を締め込むと、上下のピースか接近して絶縁サ
ポート部５０を介して、両フランジ１．３．２１にフラ
ンジ同士を接近させる方向に押圧力を与える。フランジ
１３．２１の押圧力はフランジ面１４．２２からカスゲ
ット３０の接触部３１に伝達されて、カスゲット３０は
変形し、締結された両フランジ間の気密シールを達成す
る。
この際、フランジ同士は絶縁体のカスゲント３０と絶縁
サポート部５０とで絶縁されており、真空箱】Ｏで発生
した渦電流は真空タクト２０には伝わらない。
サポート部５０とで絶縁されており、真空箱】Ｏで発生
した渦電流は真空タクト２０には伝わらない。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、気密シールと同
時に接続する配管同士の電気的絶縁が可能な新規で高信
願性の気密シール配管接続装置が提供される。
時に接続する配管同士の電気的絶縁が可能な新規で高信
願性の気密シール配管接続装置が提供される。
また本発明の好ましい態様によれは、上記効果に加え、
再使用か可能で信頼性か高い気密シール接続装置が提供
される。
再使用か可能で信頼性か高い気密シール接続装置が提供
される。
第１図は本発明の実施ρ１による気密シール配管接続装
置の断面図、 第２図は第１図の実施例の配管軸方向から見た図である
。 １Ａにおいて、 ０ １３２ ２２０ ３２１ ４２２ ０ １ ０ １ 真空箱 開孔部 真空タクト フランジ フランジ面 力スケノト 接触部 クランプ金具 隙間 ボ ルト 絶縁サポート部材
置の断面図、 第２図は第１図の実施例の配管軸方向から見た図である
。 １Ａにおいて、 ０ １３２ ２２０ ３２１ ４２２ ０ １ ０ １ 真空箱 開孔部 真空タクト フランジ フランジ面 力スケノト 接触部 クランプ金具 隙間 ボ ルト 絶縁サポート部材
Claims (5)
- （１）、電気的導体からなる第１の配管の端部に形成さ
れた第１フランジ部と、 電気的導体からなる第２の配管の端部に形成された第２
フランジ部と、 前記第１と第２のフランジ部の間で挟持される電気絶縁
性材料からなるガスケット部材と、前記第１フランジ部
と第２フランジ部とを両フランジ間の電気絶縁性を保っ
て締め付け固定する締結具とを有し、前記締結具が前記
第１フランジ部と第２フランジ部とを互いに近接するよ
うに締め付けることにより前記ガスケット部材が変形し
て前記第１と第２のフランジ部間を気密シールする気密
シール配管接続装置。 - （２）、前記ガスケット部材は、前記第１と第２のフラ
ンジ部の面と接触する鈍角の頂点を持つ断面形状を有す
る請求項１記載の気密シール配管接続装置。 - （３）、前記締結具は、前記第１と第２のフランジ部と
の間に挟持された電気絶縁体を含み、前記電気絶縁体を
介して前記第１フランジ部と第２フランジ部とを互いに
接近するように締め付ける請求項１あるいは２記載の気
密シール配管接続装置。 - （４）、前記第１と第２のフランジ部は、そのフランジ
面に垂直な断面が前記フランジ部の半径方向外側に向う
に従って狭くなるテーパ形状を有し、前記締結具は前記
フランジ部のテーパ形状と係合する断面形状の凹部を有
し、前記締結具を前記フランジ部の半径方向内側に向っ
て締め付けられることにより前記第１フランジ部と第２
フランジ部が互いに近接する方向の押圧力を発生する請
求項３記載の気密シール配管接続装置。 - （５）、前記ガスケット部材は鈍角の接触部を有する請
求項１から４のいずれか記載の気密シール配管接続装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020012A JPH03223588A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 気密シール配管接続装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020012A JPH03223588A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 気密シール配管接続装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03223588A true JPH03223588A (ja) | 1991-10-02 |
Family
ID=12015202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020012A Pending JPH03223588A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 気密シール配管接続装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03223588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6070911A (en) * | 1999-03-01 | 2000-06-06 | Jgc Corporation | Clamp-type pipe joint |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444878U (ja) * | 1987-09-16 | 1989-03-17 |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP2020012A patent/JPH03223588A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444878U (ja) * | 1987-09-16 | 1989-03-17 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6070911A (en) * | 1999-03-01 | 2000-06-06 | Jgc Corporation | Clamp-type pipe joint |
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