JPH0322352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322352U JPH0322352U JP8219289U JP8219289U JPH0322352U JP H0322352 U JPH0322352 U JP H0322352U JP 8219289 U JP8219289 U JP 8219289U JP 8219289 U JP8219289 U JP 8219289U JP H0322352 U JPH0322352 U JP H0322352U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- backscattered electron
- detection device
- sample
- backscattered
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本案の一実施例を示す断面図である。
1……電子ビーム、2……対物レンズ、3……
試料、4……試料台、6……反射電子信号、7…
…反射電子検出器、9……予備排気室、11……
シヤツタバルブ、12……可動軸、15……フラ
ンジ。
試料、4……試料台、6……反射電子信号、7…
…反射電子検出器、9……予備排気室、11……
シヤツタバルブ、12……可動軸、15……フラ
ンジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 試料から発生する反射電子信号を検出し、像
観察する走査形電子顕微鏡の反射電子検出装置に
おいて、試料変換装置に装備できる構造を有する
ことを特徴とする反射電子検出装置。 2 請求の範囲第1項において、反射電子検出器
の着脱操作時は試料室に空気を入れることなく交
換可能な構造を有することを特徴とする反射電子
検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8219289U JPH0322352U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8219289U JPH0322352U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0322352U true JPH0322352U (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=31628782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8219289U Pending JPH0322352U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0322352U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP8219289U patent/JPH0322352U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
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