JPH03216829A - 光ディスク - Google Patents

光ディスク

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Publication number
JPH03216829A
JPH03216829A JP2013082A JP1308290A JPH03216829A JP H03216829 A JPH03216829 A JP H03216829A JP 2013082 A JP2013082 A JP 2013082A JP 1308290 A JP1308290 A JP 1308290A JP H03216829 A JPH03216829 A JP H03216829A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reflectance
alloy
corrosion resistance
reflective film
long
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013082A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Onishi
隆 大西
Kazuo Yoshikawa
一男 吉川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP2013082A priority Critical patent/JPH03216829A/ja
Publication of JPH03216829A publication Critical patent/JPH03216829A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は高耐食性反射膜を形成してなる高信頼性光ディ
スクに関するものである。
[従来の技術] 光ディスクは磁気記録媒体に比較して情報の記録密度が
高く、しかも該情報の再生を非接触で行うことができる
という特性を有している為、光学的ビデオ・ディスク或
はデジタル・オーディオ・ディスク等の分野、更にはO
A用の大量フ1イリング・システム等の分野において広
く利用されている. この様な光ディスクは透明性の高い合成樹脂製基板の片
面に情報に対応するビット列を形成し、その上へ反射膜
を被覆すると共に、更にその上へ所望に応じた保護膜を
形成してなるものであり、反対側面からレーザービーム
を照射して記録の読取りを行うものである.従って前記
反射膜は優れた反射特性を有するものであることが要求
され、純Alの蒸着膜を使用するのがもつとも一般的で
ある。
この様に純Alは反射率が優れているというところから
、光ディスクにおける反射膜用素材として確固たる地位
を礎いてきたが、上記優位性は専ばら初期反射率(製膜
直後の反射率)に依拠するものであり、最近に至って大
気雰囲気下での保存中に進行する反射率の低下が問題視
される様になってきた。即ち純Atは金属自体として見
れば耐食性が低く、大気中での長期間放置によって腐食
が進行し易い。その為反射率の低下、或は孔食発生等を
引起こし、情報再生時の信号読み取りエラーを増大させ
るという問題がある。
この様なところから、特に保存環境の如何に拘らず、情
報再生の長期安定性を確保するという命題の下に、種々
の研究が行なわれ、純Atに代る高耐食性合金として、
例えばAt−Ag系合金、Al−Ni (Pd,Pt)
系合金、Al−Ta(Nb)系合金等が提案されている
。しかしこれらのうちAg.Pd,Ptを用いるものは
高価であり、またTa,Nbを添加するものは初期反射
率の低下を招くという重大な問題がある。しかもこれら
の合金系においては成分元素間に大きな融点差があるこ
とから蒸着法による安定した成膜を行うことが困難であ
り、蒸着法に代ってスパッタリング法を採用しようとし
ても、高合金系になるとターゲットの作成段階で困難に
遭遇するという問題があった。
一方特開昭63−224050号においてはAl−Ti
合金を反射膜とすることが提案されている。Tiは前記
TaやNbと違って初期反射率を低下させるという欠点
は少いが、長期間保存中の耐食性において問題を残し、
光ディスクとしての情報再生に関する長期安定性につい
ては十分な信頼を寄せることができない。
[発明が解決しようとする課題] 本発明は上記事情に着目してなされたものであって、初
期反射率が十分に高いと共に長期間に亘って優れた耐食
性を示すことによって反射率の低下を抑制することので
きる反射膜を提供し、もって長期に亘る情報再生の信頼
性に優れた光ディスクを提供しようというものである。
[課題を解決する為の手段] 本発明によって提供される光ディスクとは、Zr及び/
又はHf:10重量%以下 残部A1及び不可避不純物 よりなるAl−(Zr及び/又はHf)合金によって反
射膜を形成したことを要旨とするものである。
[作用] 本発明者等は、初期反射率を低下させないこと、並びに
長期耐食性を安定して発揮することの2点を条件とし、
特にこれらの条件を光ディスクに通用される反射用薄膜
の形態において十分に満足することのできるA1基合金
を開発すべく、数多くの合金元素について検討したとこ
ろ、前記したZrとHfに到達した。即ちこれらの2元
素を単独で加えてなるAl−Zr又はAl−Hfの2元
合金及びこれら2元素を同時に加えてなるA1−Zr−
Hfの3元合金は、上記n題を見事に満足し得るもので
あることを見出して本発明を完成した。しかも上記以外
の合金元素が添加量の微小変化によって初期反射率に大
ぎな変化を生じ、製造条件において高度な制御安定性が
要求されるのに対し、Zr及びHfにはこの様な問題が
なく、また添加量の増大に伴う初期反射率の低下とレ)
う不利益も生じない。もつとも合金元素としての添加量
が10重量%を超えると初期反射率の低下傾向が認めら
れ、また高温条件下での保存中に記録ビットを超える大
幹さの析出物を生じて情報の読み取りエラーを招くので
、上限は10重量%と定めた。一方下限については、本
発明の諸効果を確実に発揮するという観点から0.1重
量%以上とすることが推められる。
反射膜の形成法については特に制限されず、従来知られ
ている金属薄膜形成法は物理的・化学的の如何を問わず
全て利用できる。高反射膜をスパッタリング法によって
形成する場合は、鋳造製A1合金をターゲット材料とす
るのが最適であるが、上述した上限値は、該ターゲ・ン
ト材料の製造し易さという点においても遵守されるべき
である。
尚Al−Zr合金の反射膜自体は特公昭62一4299
4号や特開昭64−86349号等によって知られてい
る。しかしこれらに開示されている反射膜は、前者が反
射物体用反射膜、後者力{光磁気ディスク用反射膜であ
り、本発明の光デイスク用反射膜とは全く別の技術分野
に属するものである。また上記2つの公報に記載されて
いる製膜の為のターゲットは、基本的にはA1とZrを
独立的に存在させるもの、即ちAlターゲットにZrチ
ップを配置したモザイク状ターゲットであったり、Al
粉とZr粉を単に混合し両者の比重差による偏在状態を
残したまま焼結したものである為、ターゲット自体の組
成の均一性に欠け、本発明の様に反射膜性能の均一性を
命とする光ディスクには到底応用できるものではない。
即ち不均一組成のターゲットを用いた場合には、得られ
る反射膜も不均一なものとならざるを得す、初期反射率
が不均一になったり、耐食性が局部的に不均一となって
部分的な腐食を惹起し、長時間保存後の信号読み取り精
度がばらつくという問題を生む。尚特に粉末金属の焼結
体をターゲットとする場合には粉末自体の表面に酸化物
を形成していることが多く、この酸化物がターゲット表
面に露出してスバッタ時の異常放電現象を招くという問
題もある。従って最も安定で且つばらつきの少ない反射
膜を形成するという点からは、先にも述べた如く鋳造製
ターゲットの使用が推奨される訳である。
[実施例] 東直■ユ 種々の組成からなるAl−Hf,Al−Zr,Al−T
i,Al−Taの各合金ターゲットを用い、DCマグネ
トロン・スパッタリングにより、透明ポリカーボネート
樹脂基板上に50OAの各合金薄膜を形成した。このA
1合金薄膜上にアクリル樹脂からなる保護膜を10μm
厚さで形成した。
この様に作成した光ディスクに、透明ポリカーボネート
樹脂基板側から波長780nmのレーザー光を照射し、
反射率を測定した。A1合金中の添加元素含有率と反射
率の関係を調べたところ、第1図に示す様な結果が得ら
れた。
図に見られる通り、Al−Ta合金膜ではTaの添加量
が増大するに伴って反射率は顕著に減少した。A I 
−T iの場合はAl−Taほどではないが、反射率の
減少傾向が認められた。これに対しAl−}{f,Al
−Zrの場合は合金元素を増大させたときの反射率減少
傾向は非常に僅かであることが分かる。
実施例2 実施例1と同様に形成した光ディスクに対し、環境負荷
試験としてP C T (Pressure Cook
erTest: 1 2 i℃、2気圧、100%RH
)を行ない、A1合金中の合金元素含有率と耐食性変動
状況を調べた。尚耐食性変動状況は波長780r+mの
レーザー光に対する反射率の減少量で評価した。
第2図はPC720時間後の結果を示すものであり、合
金元素含有率が多くなるにつれて耐食性の向上を認める
ことができる。しかしAl−Taではその効果が弱く、
A I −T iがこれに次ぎAt−HfとAl−Zr
がもっとも有効であることが分かる。
[発明の効果] 本発明の光ディスクは上記の様に構成されているので、
光ディスクにおける反射膜の初期反射率を下げることな
く耐食性を向上させることができ、長期間保存後の信号
読み取り精度を高いレベルに維持することが可能となっ
た。
【図面の簡単な説明】
第1図は光ディスクの初期反射率を示すグラフ、第2図
は環境負荷試験後の反射率を示すグラフである。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光ディスクに形成される反射膜がZr及び/又は
    Hf:10重量%以下残部Al及び不可避不純物よりな
    るAl−(Zr及び/又はHf)合金によって形成され
    たものであることを特徴とする光ディスク。
  2. (2)反射膜が鋳造製Al−(Zr及び/又はHf)合
    金をターゲットとしてスパッタリングすることにより形
    成されたものである請求項(1)記載の光ディスク。
JP2013082A 1990-01-22 1990-01-22 光ディスク Pending JPH03216829A (ja)

Priority Applications (1)

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JP2013082A JPH03216829A (ja) 1990-01-22 1990-01-22 光ディスク

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JP2013082A JPH03216829A (ja) 1990-01-22 1990-01-22 光ディスク

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Publication Number Publication Date
JPH03216829A true JPH03216829A (ja) 1991-09-24

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ID=11823248

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JP2013082A Pending JPH03216829A (ja) 1990-01-22 1990-01-22 光ディスク

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JP (1) JPH03216829A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1280142A1 (en) * 2001-06-26 2003-01-29 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording medium

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1280142A1 (en) * 2001-06-26 2003-01-29 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording medium
US7027382B2 (en) 2001-06-26 2006-04-11 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium having relation between reflection layer and pit lengths
US7352680B2 (en) 2001-06-26 2008-04-01 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium having relation between reflection layer and pit length

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