JPH0321588U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0321588U
JPH0321588U JP8276089U JP8276089U JPH0321588U JP H0321588 U JPH0321588 U JP H0321588U JP 8276089 U JP8276089 U JP 8276089U JP 8276089 U JP8276089 U JP 8276089U JP H0321588 U JPH0321588 U JP H0321588U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
stage
intake
pump section
port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8276089U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0622153Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP8276089U priority Critical patent/JPH0622153Y2/ja
Publication of JPH0321588U publication Critical patent/JPH0321588U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0622153Y2 publication Critical patent/JPH0622153Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
図面の第１図から第７図はこの考案の実施例に
係り、第１図は多段水封式真空ポンプの断面図、
第２図は連通部分の説明図、第３図は吸気側ハウ
ジング正面図、第４図は前段側ポートプレートの
正面図、第５図は連通プレート、前段側ケーシン
グの正面図、第６図は後段側ケーシングおよびポ
ートプレートの正面図、第７図は排気側ハウジン
グの正面図である。また、第８図および第９図は
従来例に係り、第８図は従来の多段水封式真空ポ
ンプの説明図、第９図は従来の連通部分の説明図
である。 Ａ……多段水封式真空ポンプ、Ｂ……前段側ポ
ンプ部、Ｃ……後段側ポンプ部、１……連通プレ
ート、１ｂ，６ｂ……排気口、１ｃ，２ｂ……吸
気口、２……吸気側ハウジング、３……前段側ケ
ーシング、４……前段側ポートプレート、５……
前段側インペラ、６……排気側ハウジング、７…
…後段側ケーシング、８……後段側ポートプレー
ト、９……後段側インペラ、１０……回転軸。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 各ポンプ部のインペラを同一回転軸上に配置し
    、前段側ポンプ部の排気口と後段側ポンプ部の吸
    気口を連通した多段水封式真空ポンプにおいて、 上記前段側ポンプ部と後段側ポンプ部の排気、
    吸気系路を軸方向に対向させるべく、それらポン
    プ部の一側面に排気口を形成すると共に、他側面
    に吸気口を形成し、その間に前段側ポンプ部の排
    気口と後段側ポンプ部の吸気口を連通する連通プ
    レートを介設したことを特徴とする多段水封式真
    空ポンプ。
JP8276089U 1989-07-14 1989-07-14 多段水封式真空ポンプ Expired - Lifetime JPH0622153Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8276089U JPH0622153Y2 (ja) 1989-07-14 1989-07-14 多段水封式真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8276089U JPH0622153Y2 (ja) 1989-07-14 1989-07-14 多段水封式真空ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0321588U true JPH0321588U (ja) 1991-03-04
JPH0622153Y2 JPH0622153Y2 (ja) 1994-06-08

Family

ID=31629855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8276089U Expired - Lifetime JPH0622153Y2 (ja) 1989-07-14 1989-07-14 多段水封式真空ポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0622153Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005344511A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Shin Nippon Machinery Co Ltd ２段型水封式ポンプ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005344511A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Shin Nippon Machinery Co Ltd ２段型水封式ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0622153Y2 (ja) 1994-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0321588U (ja)
JPH0321587U (ja)
JPS6119697U (ja) 両吸込渦巻ポンプ
JPH0195588U (ja)
JPH046790U (ja)
JPH03118286U (ja)
JPH031297U (ja)
JPH0223835Y2 (ja)
JPH0537035Y2 (ja)
JPH0212092U (ja)
JPH02119997U (ja)
JPH0323696U (ja)
JPS59157590U (ja) 回転圧縮機
JPS63118394U (ja)
JPS6036588U (ja) ベ−ン型ポンプ
JPS58167791U (ja) 真空ポンプ羽根車を内蔵した超自吸式ポンプ
JPH0347497U (ja)
JPS5867999U (ja) タ−ボ分子ポンプ
JPH01102491U (ja)
JPS59142493U (ja) 二連式ポンプ
JPS62176496U (ja)
JPS63115592U (ja)
JPS63119883U (ja)
JPS63115585U (ja)
JPS62179381U (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term