JPH03215768A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH03215768A JPH03215768A JP2009940A JP994090A JPH03215768A JP H03215768 A JPH03215768 A JP H03215768A JP 2009940 A JP2009940 A JP 2009940A JP 994090 A JP994090 A JP 994090A JP H03215768 A JPH03215768 A JP H03215768A
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- Japan
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- elements
- wiring
- magnetic sensor
- wiring material
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Links
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、複数の薄膜状の感磁素子を基板上に設け、各
感磁素子に配線材を接続して、それらに接続用半田パタ
ーンを積層した磁気センサに関し、特に接続用半田パタ
ーンの数を減らして磁気センサを小型化させたものであ
る。
感磁素子に配線材を接続して、それらに接続用半田パタ
ーンを積層した磁気センサに関し、特に接続用半田パタ
ーンの数を減らして磁気センサを小型化させたものであ
る。
［従来の技術］
産業機械、ＯＡ機器などでは、部材の位置や速度を検出
するためロータリーエンコーダー等を使用しており、そ
れには磁気センサが使用されている。磁気センサは、複
数の感磁素子をブリッジ回路となるように接続して、そ
れら感磁素子に磁界が作用すると抵抗変化することを利
用し、その変化により速度や位置を検出させるようにな
っている。
するためロータリーエンコーダー等を使用しており、そ
れには磁気センサが使用されている。磁気センサは、複
数の感磁素子をブリッジ回路となるように接続して、そ
れら感磁素子に磁界が作用すると抵抗変化することを利
用し、その変化により速度や位置を検出させるようにな
っている。
従来の磁気センサは、４つの感磁素子Ｒ，〜Ｒ４が第３
図に示すように平行に基板ｌＯ上に配列され、それぞれ
の端部に薄膜状の配線部１１を接続して、各配線部ｌ１
に接続用の半田パターンｌ２が積層される。そして半田
パターンｌ２を利用して各感磁素子同志や、外部回路と
リード線ｌ３を介して接続させるようになっている。
図に示すように平行に基板ｌＯ上に配列され、それぞれ
の端部に薄膜状の配線部１１を接続して、各配線部ｌ１
に接続用の半田パターンｌ２が積層される。そして半田
パターンｌ２を利用して各感磁素子同志や、外部回路と
リード線ｌ３を介して接続させるようになっている。
また磁気センサの配線部をコンパクトにするため、第４
図に示すように、１つの感磁素子の配線部１４上に絶縁
層ｌ５を介して配線材１６を重ねて通すことにより、一
対の感磁素子同志を接続させるといういわゆる２層構造
にしたものも知られている、［発明が解決しようとする
課題］ 感磁センサをＯＡ機器等に組込む場合、機器の小型化の
ため感磁センサも小さい方が望ましい。
図に示すように、１つの感磁素子の配線部１４上に絶縁
層ｌ５を介して配線材１６を重ねて通すことにより、一
対の感磁素子同志を接続させるといういわゆる２層構造
にしたものも知られている、［発明が解決しようとする
課題］ 感磁センサをＯＡ機器等に組込む場合、機器の小型化の
ため感磁センサも小さい方が望ましい。
感磁センサの大きさは、接続用半田パターンの形状が大
きいほど、また数が多いほど大型となるため、半田パタ
ーンの形状が小さく、また数が少ないほどよい。しかし
半田パターンの形状をむやみに小さくすることは信頼性
の上から好まし《ない。そのため従来のように各感磁素
子の配線部の上にそれぞれ半田パターンを積層する形式
のものは、充分に小型化できないという問題がある。
きいほど、また数が多いほど大型となるため、半田パタ
ーンの形状が小さく、また数が少ないほどよい。しかし
半田パターンの形状をむやみに小さくすることは信頼性
の上から好まし《ない。そのため従来のように各感磁素
子の配線部の上にそれぞれ半田パターンを積層する形式
のものは、充分に小型化できないという問題がある。
また配線材を２層構造にする形式のものは、製造工程が
増し、あまり経済的ではなかった。
増し、あまり経済的ではなかった。
そこで本発明は、磁気センサを構成する感磁素子の配線
部に積層させる接続用の半田パターンを少なくすること
により、磁気センサを小型化させるとともに、製造工程
も増さないようにすることを目的とする。
部に積層させる接続用の半田パターンを少なくすること
により、磁気センサを小型化させるとともに、製造工程
も増さないようにすることを目的とする。
［課題を解決するための千段１
本発明は上記目的を達成するものであり、それは、複数
の薄膜状の感磁素子を基板上に設け、各感磁素子に薄膜
状の配線材を接続してそれら配線材上に接続用半田パタ
ーンを積層してなる磁気センサにおいて、半田パターン
の数を減らしたものである。すなわち、感磁素子の配線
材を微小幅に作成するとともに延長して他の感磁素子の
配線材に接続し、接続し合った１対の配線材には１つの
半田パターンのみを積層させる。
の薄膜状の感磁素子を基板上に設け、各感磁素子に薄膜
状の配線材を接続してそれら配線材上に接続用半田パタ
ーンを積層してなる磁気センサにおいて、半田パターン
の数を減らしたものである。すなわち、感磁素子の配線
材を微小幅に作成するとともに延長して他の感磁素子の
配線材に接続し、接続し合った１対の配線材には１つの
半田パターンのみを積層させる。
［作用］
上記の磁気センサでは、配線用の半田パターンを少《と
も１つ減らすことができるので、磁気センサとしての外
形を小型に作成でき、製造も簡単である。すなわち半田
パターンは幅が３００〜４００μｍになるが、薄膜状の
配線材は数十μｍの幅で対応できるからである。
も１つ減らすことができるので、磁気センサとしての外
形を小型に作成でき、製造も簡単である。すなわち半田
パターンは幅が３００〜４００μｍになるが、薄膜状の
配線材は数十μｍの幅で対応できるからである。
［実施例］
本発明の実施例を第１図により説明する。
磁気センサは、帯状の感磁素子Ｒ ，． Ｒ ．、Ｒ，
、Ｒ４がガラス基板上ｌ上に平行に配列され、両側２つ
ずつの感磁素子Ｒ１とＲ２の一方の端部、さらに感磁素
子Ｒ３とＲ４の一方の端部がそれぞれ薄膜状の配線材２
ａ、２ｂにより接続され、両配線材２ａ、２ｂは感磁素
子の他端側へ延長して設けられる。また感磁素子のＲ．
−Ｒ４の他方の端部には、それぞれ薄膜状の配線材Ａ
．． Ａ ｚ、Ａ３、Ａ４が設けられ、これら配線材の
端部と前記の配線材２ａ、２ｂの端部とがほぼ同列上に
位置される。
、Ｒ４がガラス基板上ｌ上に平行に配列され、両側２つ
ずつの感磁素子Ｒ１とＲ２の一方の端部、さらに感磁素
子Ｒ３とＲ４の一方の端部がそれぞれ薄膜状の配線材２
ａ、２ｂにより接続され、両配線材２ａ、２ｂは感磁素
子の他端側へ延長して設けられる。また感磁素子のＲ．
−Ｒ４の他方の端部には、それぞれ薄膜状の配線材Ａ
．． Ａ ｚ、Ａ３、Ａ４が設けられ、これら配線材の
端部と前記の配線材２ａ、２ｂの端部とがほぼ同列上に
位置される。
感磁素子Ｒ，の配線材Ａ１は数十μｍの幅狭に作成され
、その先端部から横方向に延長して感磁素子Ｒｓの配線
材Ａ３に接続される。また配線材Ａ．を除いて他の全て
の配線材Ａ２、Ａ，、Ａ４２ａ、２ｂの上に、それぞれ
接続用の半田パターンＢ２、Ｂ，、Ｂ４、Ｂ２−．８２
わが積層される。なお各半田パターンの幅は３００〜４
００μｍであり、その下層の配線材はさらに幅広になっ
ている。そして半田パターンＢ，、Ｂ４を、図示を省略
したリード線などで接続すれば、第２図に示すブリッジ
回路を構成するようになる。すなわち半田パターンＢ２
ａＢｚｂが電源端子となり、半田パターンＢ３とリード
線とが出力端子となり、各感磁素子に作用する磁界の変
化に応じて出力電圧が出力端子から生じるようになって
いる。
、その先端部から横方向に延長して感磁素子Ｒｓの配線
材Ａ３に接続される。また配線材Ａ．を除いて他の全て
の配線材Ａ２、Ａ，、Ａ４２ａ、２ｂの上に、それぞれ
接続用の半田パターンＢ２、Ｂ，、Ｂ４、Ｂ２−．８２
わが積層される。なお各半田パターンの幅は３００〜４
００μｍであり、その下層の配線材はさらに幅広になっ
ている。そして半田パターンＢ，、Ｂ４を、図示を省略
したリード線などで接続すれば、第２図に示すブリッジ
回路を構成するようになる。すなわち半田パターンＢ２
ａＢｚｂが電源端子となり、半田パターンＢ３とリード
線とが出力端子となり、各感磁素子に作用する磁界の変
化に応じて出力電圧が出力端子から生じるようになって
いる。
以上の実施例は４つの感磁素子を使用した感磁センサで
あったが、その他の数の感磁素子を使用して種々のセン
サ構成にする場合にも、本発明を同様に適用することが
できる。
あったが、その他の数の感磁素子を使用して種々のセン
サ構成にする場合にも、本発明を同様に適用することが
できる。
［発明の効果］
本発明の磁気センサによれば、感磁素子同志を配線材を
延長して接続させるので、接続用の半田パターンを減ら
すことができ、磁気センサを小型化できるとともに、そ
の製造は簡単である。
延長して接続させるので、接続用の半田パターンを減ら
すことができ、磁気センサを小型化できるとともに、そ
の製造は簡単である。
第１図は本発明の磁気センサの平面図、第２図は磁気セ
ンサの回路図、第３図と第４図はそれぞれ従来の異なる
磁気センサの平面図である。 ｌ；ガラス基板 ２ａ、２ｂ；配線材Ｒ１、Ｒ２
，Ｒ３、Ｒ４；感磁素子
ンサの回路図、第３図と第４図はそれぞれ従来の異なる
磁気センサの平面図である。 ｌ；ガラス基板 ２ａ、２ｂ；配線材Ｒ１、Ｒ２
，Ｒ３、Ｒ４；感磁素子
Claims (1)
- 複数の薄膜状の感磁素子を基板に設け、各感磁素子に薄
膜状の配線材を接続してそれら配線材上に接続用半田パ
ターンを積層してなる磁気センサにおいて、少くとも１
つの感磁素子の配線材を微小幅に作成するとともに延長
して他の感磁素子の配線材に接続し、少くとも１つの接
続用半田パターンを省略したことを特徴とする磁気セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009940A JPH03215768A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009940A JPH03215768A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03215768A true JPH03215768A (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=11734012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009940A Pending JPH03215768A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03215768A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7912280B2 (en) | 2006-06-29 | 2011-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, image processing method, and image processing program |
| USRE45267E1 (en) | 2006-06-29 | 2014-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, image processing method, image processing program, and storage medium |
-
1990
- 1990-01-19 JP JP2009940A patent/JPH03215768A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7912280B2 (en) | 2006-06-29 | 2011-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, image processing method, and image processing program |
| USRE45267E1 (en) | 2006-06-29 | 2014-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, image processing method, image processing program, and storage medium |
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