JPH0321309A - 供給ラインのフィルタ監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 見旦Ｌ且杵 （産業上の利用分野） 本発明は、レジスト，現像液等の供給ライン中に設けた
フィルタの監視装置に関するものである。

（従来の技術） 半導体製造・検査装置のプロセス工程において、薬液等
の流体、即ちレジスト液、現像液等の薬液を供給ライン
（供給配管）よりそれぞれの工程ユニットに供給するよ
うにしている．そして、供給ラインの途中には、フィル
タを設けて薬液中の塵埃を濾過し、クリーンな薬液を供
給するようにしている． このフィルタは，一定期間使用すると、濾過機能が低下
してフィルタの目詰りや又はトラブルを発生するおそれ
があるため、フィルタを使用する経験則や使用者の勘に
よって一定期間経過後にフィルタを交換するようにして
いる． （発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の従来例によると、フィルタの交換
時を使用者の経験則や勘に頼っていると、フィルタ機能
が有効に発揮されていない場合は、薬液中の塵埃を濾過
することなく，工程ユニットに供給されるため、クリー
ン度を要求される半導体製造や検査工程に著しく反する
こととなり，被製造物や被検査物の歩留まりの低下にな
る等の大きな問題点が存在していた． 本発明は、上記した従来例の課題を解決するために開発
したものであり、その目的とするところは，薬液等の流
体の供給ラインに配設したフィルタの濾過機能の低下を
即座に知得することが可能で、フィルタの交換時期を確
実に検出することができ、常にクリーンな薬液等の流体
を供給することができるフィルタ監視装置を提供するも
のである． 発明の構或 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため，本発明は、供給ラインの途
中にフィルタを設け，このフィルタの一次側と二次側に
それぞれ圧力センサを配設し，両圧力センサの設定圧力
値以上の差が発生した際に、フィルタ交換の警告手段を
発するように構或した．また、供給ラインの途中にフィ
ルタを設け、このフィルタの二次側にパーティクルカウ
ンタを配設するようにしたものである． （作　用） 依って，第１の発明は、フィルタの一次側と二次側にそ
れぞれ圧力センサを配設するように構成したから、例え
ば、レジスト液、或いは現像液等の薬液を供給ラインよ
り供給すると、薬液中の塵埃はラインの途中に配設した
フィルタによって濾過されてクリーンな薬液が二次側よ
りレジスト塗布装置や現像装置等の工程ユニットに供給
される。

しかし、フィルタが目詰まりやトラブルが発生して濾過
機能がやや落ちると、一次側の圧力センサと二次側の圧
力センサの圧力値を比較制御回路によって比較し、予め
設定した圧力以上の差が発生した場合、フィルタの交換
時期を検出し、交換時をランプやブザー等の警告手段に
よりアラームを発生することができるので、使用者は、
勘に頼ることなくフィルタの交換時を知得することがで
き、工程ユニットのクリーン度を保障することが可能と
なる。

また、第２の発明は，フィルタの二次側にパーティクル
カウンタを配設したから、パーティクルカウンタにによ
り薬液等の流体中のパーティクルの大きさ及び量をモニ
ターして予め設定した設定値を超えた場合，フィルタの
異常及び交換のアラームを発生するようにしているので
、上記の発明と同様に使用者は，勘に頼ることなくフィ
ルタの交換時を知得することができ、工程ユニットのク
リーン度を保障することができる． （実施例） 以下に、本発明を供給ラインのフィルタ監視装置に適用
した一例を説明する． 第１図は、フィルタ監視装置の一実施例を示したもので
あり，供給ライン（供給配管）１によりレジスト塗布装
置、現像装置にレジスト或いは現像液等の薬液を供給し
、このラインの途中にフィルタ２を設ける．このフィル
タ２は，通常のフィルタを使用するものとし、例えばラ
イン１にジョイントを介して着脱自在に設け、フィルタ
２の本体の内部に中空糸膜或いは平膜を積層した積層型
のフィルタエレメントを内蔵したものを実施に応じて任
意に使用するものとする。３はフィルタ２の一次側であ
り、４はフィルタ２の二次側である．この一次側３と二
次側４にそれぞれ圧力センサ５、６を配設し、両圧力セ
ンサ５、６の設定圧力値以上の差が発生した際に，比較
制御回路９を介してフィルタ交換の警告手段１０を発す
るようにする．上記した圧力センサ５、６は、供給ライ
ン１内の流体圧力を測定する公知のセンサを用いるちと
とし、また、警告手段は、ランプ、ブザー等の警告機器
を用いるものとする． フィルタ２の接続配管近傍にバルブ７，８を設けてフィ
ルタ２を交換する際にバルブ７又はバルブ８の一方或い
は双方を閉止するようにしている．９は比較制御回路で
あり、この回路９は、圧力センサ５、６の圧力値を比較
し、予め設定した圧力異常の差が発生した場合、即ち、
フィルタ２が目詰まりを起した場合、フィルタ２の一次
側３の流体圧が二次側４の圧力より一定以上大きくなっ
た場合に警告手段１０に信号を送り，ランプ等の警告を
発してフィルタ２の交換時間を知らせるようにしている
。

次に、上記実施例の作用を説明する。

フィルタ２の一次側３と二次側４にそれぞれ圧力センサ
５、６を配設しているから、例えば、レジスト液、或い
は現像液等の薬液を供給ライン１より供給すると、薬液
中の塵埃はライン１の途中に配設したフィルタ２によっ
て濾過されてクリーンな薬液が二次側４よりレジスト塗
布装置や現像装置等の工程ユニット（図示せず）に供給
される．一旦、フィルタ２が目詰まりやトラブルを発生
して濾過機能がやや落ちると、一次側３の圧力センサ５
と二次側４の圧力センサ６の圧力値を比較制御回路９に
よって比較し、予め設定した圧力以上の差が発生した場
合、フィルタ２の交換時期を検出し，交換．時をランプ
やブザー等の警告手段１０によりアラームを発生するこ
とができるので、使用者は、勘に頼ることなくフィルタ
２の交換時を知得して、バルブ７、８を閉止してフィル
タ２を交換することができ，工程ユニットのクリーン度
を常に保障することができる． また、第２図は他の例を示したもので、供給ライン１の
途中に上記と同様のフィルタ２を設け、このフィルタ２
の二次側４にパーティクルカウンタｌ１を配設したもの
である。このパーティクルカウンタ１１は，測定セルに
薬液の試料液を流し、このなかにレーザー光を集光させ
、このとき，試料液中の微粒子は受光光学系の光軸方向
に通過し、集光部に設定した粒子検出領域からは水分子
の散乱光とともに通過粒子からの散乱光が得られ、得ら
れた散乱光信号の時系列データを解析することによりそ
の信号強度から通過粒子数と個々の粒子径を算出するも
のである。

従って、フィルタ２の二次側４にパーティクルカウンタ
１１を配設したから，パーティクルカウンタ１１にによ
り薬液等の流体中のパーティクルの大きさ及び量をモニ
ターして予め設定した設定値を超えた場合，上記の例と
同様に警告手段を介してフィルタ２の異常及び交換のア
ラームを発生するようにしているので、上記の例と同様
に使用者は、勘に頼ることなくフィルタ２の交換時を知
得することができ、工程ユニットのクリーン度を常に保
障することができる． なお，上記の実施例では、現像装置等の薬液の供給ライ
ンの例を示したが、その他、半導体製造、検査工程に供
給される気体やその他の流体等にも応用することができ
るものである。

発明の効果 以上のことから明らかなように，本発明によると、次の
ような有用な効果がある． 本発明は、薬液等の流体の供給ラインに配設したフィル
タの濾過機能の低下を即座に知得することができるので
，フィルタの交換時期を確実に検出することができ、常
にクリーンな薬液等の流体を供給することができる等の
効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明における供給ラインのフィルタ監視装置
の各実施例を示したもので、第１図はフィルタ監視装置
に一実施例を示した説明図、寮２図はフィルタ監視装置
に他の例を示した説明図であ７ｌ＋，， ５・・・圧力センサ　　　６・・・・圧力センサ１０・
・・警告手段 １１・・・・パーティクルカウンタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）供給ラインの途中にフィルタを設け、このフィル
   タの一次側と二次側にそれぞれ圧力センサを配設し、両
   圧力センサの設定圧力値以上の差が発生した際に、フィ
   ルタ交換の警告手段を発するように構成した供給ライン
   のフィルタ監視装置。
2. （２）供給ラインの途中にフィルタを設け、このフィル
   タの二次側にパーテイクルカウンタを配設した供給ライ
   ンのフィルタ監視装置。