JPH03211406A - 表面粗さ測定装置および表面粗さ測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、表面粗さ測定装置および表面粗さ測定方法
に関し、より詳細には、金属板などの被測定体をレーザ
ビームで照射してその反射スポット光をライン状の受光
素子で受光して得られた出力から被測定体の表面粗さを
算出するようにした表面粗さ測定装置および表面粗さ測
定方法に関するものである。

〔従来の技術〕

物体の表面の粗さは、通常、被測定体の表面に触針を摺
接させる、いわゆる触針式によって測定される。

しかしながら、この触針式のものは、例えばアルミニウ
ムのような表面の柔い材料に対しては、触針によって表
面を損傷するとともに、測定に多くの時間がかかるとい
う欠点がある。

この触針式の欠点を回避し得る方式として光学的に表面
粗さを測定する光学式のものがある。この光学式の粗さ
測定方法は、被測定体の表面に光を照射させ、この被測
定体の表面からの反射光の反射光強度分布曲線の広がり
を示す半価幅や標準偏差をフォトトランジスタやＣｄＳ
受光素子などの単一の光センサを移動させることによっ
て求めるものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記光学式の場合は、被測定体の表面に対して非接触で
測定できるため、被測定体の表面を損傷するおそれがな
い利点を有する反面、反射光強度分布曲線の半価幅や標
準偏差の測定には、この分布曲線のバックグラウンドの
みならず、この分布曲線全体を測定する必要があり、こ
のため光センサを移動させざるを得す、この結果、構成
の複雑化を招来するばかりでなく測定速度にかなりの時
間がかかるという問題があった。

この発明は、上述の事情に鑑みてな之れたもので、その
目的とするところは１反射光強度分布曲線のピーク付近
のみの反射光強度を測定する二とによって、データの処
理過程が簡単であるとともに被測定体の表面粗さを非接
触でしかも迅速に測定し得る表面粗さ測定装置および表
面粗さ測定方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る表面粗さ測定装置は、ト記目的を達成す
るために、被測定体表面にレーザビームを照射するレー
ザ発振器と、上記被測定体表面にほぼ平行であって上記
被測定体表面からの反射スボノ１〜光を受光し得る位置
に配置されたライン状の受光素子列と、この受光素子列
から出力されるアナログ信号をディジタル信号に変換す
るアナログ／ディジタル変換器と、このアナログ／ディ
タル変換器の出力を記憶するメモリと、このメモリに記
憶されたデータから上記被測定体の表面粗さに対応する
反射光強度分布曲線のピーク付近をガウス関数で近似し
、二のガウス関数の標準偏差を表すガウス曲線パラメー
タを３点以上の反射光強度の測定点から所定の演算式に
より求めて、このガウス曲線パラメータと予め対応づけ
られた表面粗さデータとの対比から上記被測定体の表面
粗さを算出する演算手段とを具備することを特徴とした
ものである。

また、この発明に係る表面粗さ測定方法は、上記の目的
を達成するために、被測定体表面にほぼ垂直にレーザビ
ームを照射してこの被測定体表面からの反射スポット光
を上記被測定体表面とほぼ平行に配置したライン状の受
光素子列で受光し、この受光素子列の出力のうち、ｎ個
の出力データを用いて上記被測定体の表面からの反射光
強度分布のピーク付近をガウス関数で近似し、二のガウ
ス関数の広がりを表すガウス曲線パラメータＧＣＰを、 ただし、 １ｎは自然対数、 ３’ｊは反射光強度。

ｔ、＝　Ｌ　　　　　（ｎ　　＋　　１）／　　２　　
　　　（ｉ　　＝　１　＋　　　２　　＋　　　＝・　
ｔ　　　ｎ）Ｔ１＝　ｌ　２　ｔｌ”　−ｎ２＋　１に
＝ｃｖ’ｎ　　ｎ−−１（ｎ−−４３０（Ｃはｎ１ＩＩ
の各点の受光素子列面上の間隔）なる演算式により３点
以上の反射光強度の測定点から求めて、このガウス曲線
パラメータＧＣＰと予め関係づけられた中心線平均粗さ
データとを対比させることにより上記被測定体の表面粗
さを求めることを特徴としたものである。

〔作　用〕

上記のように構成された表面粗さ測定装置および測定方
法においては、レーザ発振器から出力されるレーザビー
ムを被測定体の表面にほぼ垂直に照射し、その反射光を
被測定体の表面にほぼ平行に配置したライン状の受光素
子列で受光し、この受光素子のアナログ出力をアナログ
／ディジタル変換器でディジタル信号に変換した後、メ
モリに記憶する。このメモリに記憶したデータを用いて
被測定体の表面からの反射光強度分布のピーク付近をガ
ウス関数で近似し、このガウス関数の広がりを表すガウ
ス曲線パラメータを所定の演算式より算出する。このガ
ウス曲線パラメータは、被測定体の表面粗さによく対応
しているところから被測定体の表面粗さを求めることが
できる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて具体的に
説明する。

第１図は、この発明に係る表面粗さ測定装置の一実施例
の全体構成を示すブロック図である。

第１図において、１は、例えば、アルゴンガスレーザよ
りなるレーザ発振器であり、このレーザ発振器１から出
力されたレーザビーム２は、ミラー３で被測定体４の表
面に照射されるようになっている。

この被測定体４の表面に照射されるレーザビム２のビー
ムスポット５は、この実施例の場合２Ｉ程度の径であり
、このビームスポット５は、被測定体４の表面をほぼ垂
直方向に照射するようになっている。この被測定体４に
レーザビーム２を照射するのに、この実施例ではミラー
３を使用している場合を例示しているが、レーザ発振器
１および被測定体４の設置個所によっては、ミラー３を
省略してもよく、要はレーザビーム２が被測定体４の表
面に対してほぼ垂直方向に入射すればよし１゜ また、この被測定体４の表面にほぼ平行であって所定距
、Ｗ（二の実施例の場合、６０ｉｍ）Ｊｔ隔してライン
状の受光素子列６が配置されている。この受光素子列６
としては、例えばプラズマ結合素子（Ｐｌａｓ＠ａ　Ｃ
ｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ　　以下＋略してｒＰｃＤ
Ｊという）が使用されている。

この受光素子列６は、被測定体４の表面からの反射スポ
ット光のピーク付近をカバーする長さを有している。こ
の受光素子列６として、本実施例においては、５１２素
子のＰＣＤを用いており。

各素子間の幅は、５０μ国であり、したがって、ＰＣＤ
の長さは。

５０μｍ　ｘ５１２素子＝２５．６　　ｍである。

この受光素子列６から出力されるアナログ信号は、並列
−直列交換回路７で直列信号に変換された後、アナログ
／ディジタル（以下、ｒ　Ａ、　／　Ｄ　Ｊという）変
換器８に入力されて、そこでディジタル信号に変換した
後、メモリ９に転送して、そこで記憶するようになって
いる。

また、メモリ９に記憶されたデータは、制御装置ｉ１０
の読み出し指令により読み出されて、演算装置１１に送
出されるようになっている。

演算装置１１は、制御袋ＷＩＯの指令に基づき。

メモリ９に記憶されたデータ、換言すれば、反射光強度
的のデータから反射光強度分布のピーク付近をガウス関
数で近似し、このガウス関数の広がりを表すガウス曲線
パラメータ（Ｇａｕｓｓｉａｎｃｕｒｖｅ　ｐａｒａｍ
ｅｔｅｒ）　　Ｇ　ＣＰを、ただし。

１ｎは自然対数、 ｙ□は反射光強度。

し□　＝ｉ−（ｎ＋１）／２　　　　　（ｉ＝１．　　
２．　　　・・　、ｎ）Ｔ４＝　　ｌ　　２　　ｔ４”
　　−ｎ”＋　　１に＝ｃ　　ｎ（、ｎ−−１ｎ−−４ （Ｃはｎ個の各点の受光素子列面上の間隔）なる演算式
により求めて、このＧＣＰと予め表面粗さに対応させた
データとから被測定体４の表面粗さを算出するようにな
っている。この演算装置１１の算出結果は、制御装置１
１０の指示に基づき、表示装置１２に表示したり、プリ
ンタ１３でプリントアウトするようになっている。

このように構成されたこの実施例の動作について説明す
る。表面の粗さが異なる８種類のアルミニウム試験片を
被測定体４とする。まず、レーザ発振器ｌから出力され
たレーザビーム２は、ミラー３で反射され、被測定体４
の表面にほぼ垂直にビームスポット５として照射される
にの被測定体４とほぼ平行に固定状態で配置した受光素
子列６に被測定体４の表面からの反射スポット光が受光
され、被測定体４の表面の粗さに対応した反射光強度分
布が受光素子列６によって光電変換されその電気信号が
受光素子列６からそれぞれ出力される。

上記反射光強度分布は、一般に正反射光（１面による光
の反射のように、入射光がそのまま反射するように、入
射光と光強度分布の変わらない反射光）と拡散反射光（
入射光が物体表面で散乱し正反射光成分がない反射）か
ら成っている。

被測定体４の表面の中心線平均粗さＲａがレーザビーム
２の波長程度の表面粗さの場合には、反射光は、正反射
光となる。

この受光素子列６の出力信号は、並列−直列変換回路７
に入力され、そこで並列信号を直列信号に変換した後、
Ａ／Ｄ変換器８に送られ、ディジタル信号に変換される
。このディジタル信号は、制御装置１０の指令に基づき
メモリ９の所定エリアに記憶される。

また、メモリ９に記憶された反射光強度均としてのｎ個
のデータは、制御装置１０の指令により読み出され、演
算袋！１１に送られる。この演算装置１１において、ｎ
個の反射光強度的データをもとに上記（１）式のＧＣＰ
を演算して反射光強度の広がりの評価を行う。

この場合、被測定体４の表面に照射したレーザビーム２
の反射光は、この被測定体４の表面の粗さが大きくなる
ほど広がる。

そこで、被、Ｉｇ定体４の表面から反射した光強度分布
曲線のピーク付近を近似したガウス関数の標準偏差σを
用いて光強度分布曲線の広がりを評価する場合について
説明する。

ここで１反射光強度分布曲線のピーク付近を近（以した
ガウス関数を次の（２）式で表す。

ｇ（ｘ）＝Ａ−ｅｘｐ　（−ａ　（ｘ−ｐ）　’）　　
−−（２）ただし、Ａ、ａは正の定数、ｐは、ガウス関
数の主軸の位置を表す。

このガウス関数の広がりを表す分散σ２は次の（３）式
で定義される。

この（３）式のガウス関数の広がりを表す分散σ′は、
Ｘ座標の原点をガウス関数の主軸の位置ｐに移動しても
、その値は変わらないので、次の（４）式に書き変える
ことができる。

Ｊ、’：：：ｆ　　（ｘ）ｄｘ ただし、ｆ　（ｘ）は、上記（２）式のｇ　（Ｘ）の主
軸の位置を原点に移動した関数で、ｆ　（ｘ）＝Ａ−ｅ
ｘｐ　（−ａ　ｘ２）　　　　−・＝　（５）である。

この（５）式を上記（４）式に代入して、積分を計算す
ると。

ｆ、ｌ：ｅｘｐ（−ａ　ｘ２）ｄ　ｘ したがって、ガウス関数の標準偏差σは、σ＝１／ｆｌ
コー　　　　　　・　・・・・・・・・・・（７）とな
る。

このガウス関数の標準偏差σは、上記ＧＣＰ（Ｇａｕｓ
ｓｉａｎ　ｃｕｒｖｅ　ｐａｒａｍｅｔ、ｅｒ　）と呼
ばれており。

したがって１反射光強度分布曲線を近似したガウス関数
である上記（２）式の定数ａが求まれば、（７）式から
ガウス関数の広がりを表すＧＣＰが求まる。

第２図は、受光素子列６の面上の一定の間隔Ｃて測定し
た場合の反射光強度分布曲線の模式図であり、この第２
図の又は、反射光強度を測定する受光素子列６の受光面
上の位置、縦軸のｙは１反射光強度である５ この第２図に示したように、反射光強度分布曲線のピー
ク付近のｎ個の点（Ｘ１＋　ｙ工）、・・（ｘＪ＋ｙｉ
）ｒ　　・−、（ｘｎ＋ｙｎ）に最小自乗法によって当
てはめた（２）式のガウス関数の定数ａを（７）式に代
入すれば、ＧＣＰが上記（１）式のように求まる。

なお、光強度の受光素子列６による実測値ｙｊからバッ
クグランド（以下、ｒＢＧＪ　という）強度ｙ１．ｊを
差し引いた強度 ｚｊ＝３’ｉ　　’ｂユ にガウス関数をあてはめる場合には、上記（１）式の光
強度の実測値均の代わりに、２．を代入すればよい。

しかしながら、８０強度を差し引くと、それだけ多くの
時間がかかるのみならず、反射光が広がると、８０強度
は正確に決定できないので、この実施例では、８０強度
を差し引かずに、（１）式からＧＣＰを求めた。

なお、上記（１）式において、 Σ　Ｔ□＝０ ］−＝１ の関係があるから、光の強度を定数倍しても、Ｇｃｐ値
は変わらない。

次に、実験結果について説明する。上述のガウス曲線法
を用いて被測定体４として、その表面の粗さが異なる８
種類のアルミニウム試験片の表面粗さを第１図ですでに
述べたようにして実測し、演算袋ｗ１１で反射光強度分
布からＧＣＰを計算し、また、予め触針式粗さ測定装置
（Ｔａｌｙ−ｓｕｒｆ　　３Ｍ）を用いて試験片の中心
線平均粗さＲａ　を測定し、Ｇ　ＣＰと比較した。

この実験に用いたアルゴンガスレーザの波長は、５１４
．５＋ｍである３反射光強度分布の測定に用いた受光素
子列６としてのＰＣＤは、上記したように素子数５１２
（一つの素子の幅が５０μｍ）、反射光強度データの取
り込み時間は、２０　ｍｓで、Ｇ　ＣＰは、各試験片に
対し３個所づつ測定した。

また、触針式表面粗さ測定装置を用いて、試験片上にお
けるレーザビーム２のビームスポット５の径とほぼ同し
謂定長さ１．７５ｏｎの粗さを一つのレーザビーム照射
面内でそれぞれ３回測定してその平均値をとった。

第３図（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、触針式粗さ測定
装置により測定した８種類の試験片（被測定体）のうち
、三つの試験片の粗さ波形をそれぞれ示しており、それ
ぞれ中心線平均粗さＲａが０、１　μｒｔｒ、　　０．
３　μｔｓおよび０．５　μｍであり、横軸に距離（ｍ
）、縦軸に粗さの高さ（μｍ）をとって示している。

また、第４図（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ
これらの試験片のレーザビームによる反射光強度分布を
ＰＣＤで測定した結果を示すグラフであり、第３図（ａ
）、（ｂ）および（ｃ）に対して第４図（ａ）、（ｂ）
および（０）がそれぞれ対応しており、第４図（ａ）〜
第４図（ｃ）においては、横軸に、ＰＣＤの受光面上の
位置Ｘを取り、縦軸に反射光強度ｙ１を取って示してい
る。

第４図（ａ）は、最も滑らかな試験片表面からの反射光
強度分布を示すグラフで、入射光がそのまま反射した正
反射光の強度分布を示しており、入射レーザビームの強
度分布と同様にガウス関数でよく近似できる。

また、第４図（Ｃ）は、粗い試験片表面からの反射光強
度分布で、正反射光成分が完全に消失した拡散反射光強
度分布を示しているが、この強度分布曲線もガウス関数
でよく近似できることがわかる。

一方、第４図（ｂ）は、第４図（ａ）と第４図（ｃ）に
用いた試験片の中間の粗さをもつ試験片による結果であ
り、ガウス分布をもつ正反射光強度に、粗い試験片表面
からの拡散反射光強度が重なり合った分布を示している
。

第５図は、受光素子列６としてのＰＣＤによって測定し
た光強度のデータを隣接した７点の平均をとる二とによ
って平滑化した後、上記（１）式を用いて求めたＧＣＰ
と、平滑化を行わないですへての測定点を（１）式に代
入して求めたＧＣＰとを比較した結果を示すものであり
、ＧＣＰの最も大きい一点を除いて、両者は、はとんど
一致している。

したがって、ＧＣＰによって光強度分布曲線の広がりを
求めるときには、光強度データの平滑化を行う・必要が
ないと考えられる。

さらに、第６図は、８種類の粗さの異なる試験片に対し
てそれぞれ３個所ずつ測定したＧＣＰと、触針式粗さ測
定装置によって求めた中心線平均粗さＲａとの関係を示
したものであり、図中の直線Ｂは、最小自乗法によって
求めた実験式で、０．１　μｎ　＜Ｒａ　＜０．５μｎ
＋の範囲の中心線平均粗さＲａ　　（μＱｌ）は、上記
演算によって求められたＧ　ＣＰ　（ｍ）から、Ｒａ　
＝８．８ｘ１０−２０ＣＰ＋３．２ｘｌＯ−２・＋・（
８）によって求められる。なお、一つのＧＣＰの測定時
間は、約２秒である。

次に、上記のようにして求めた表面粗さは、制御装置！
１０の指令に基づき１表示装置１２に表示したり、プリ
ンタ１３でプリントアウトされるようになっている。

このように、この実施例によれば、被測定体４の表面に
ほぼ直角にレーザビーム２を照射し、その反射光をライ
ン状の受光素子列６で受光し、被測定体４の表面の粗さ
に対応する反射光強度分布を測定し、その反射光強度分
布曲線のピーク付近を近似したガウス関数の標準偏差で
あるＧ　ＣＰを所定の演算式を用いて算出し、このＧＣ
Ｐの値に対し予め対応させた表面粗さ値との対比により
。

例えば（８）式のような演算を演算装置１１で行うよう
に構成したから、被測定体４の表面粗さを非接触でしか
も迅速に測定することができるという利点がある。

また、−上記実験結果からも明らかなように、反射光強
度分布曲線のピーク付近はガウス関数でよく近似でき、
しかもバラツキをもつ反射光強度のデータを平滑化して
求めたＧＣＰは、平滑化せずに光強度の実測値からその
まま計算したＧＣＰとほぼ一致するので、ＧＣＰによっ
て光強度分布曲線の広がりを求める際には、光強度デー
タを平滑化する必要がない。従って、その分５演算処理
が簡略化される。

また、中心線平均粗さＲａが増加するとともに。

Ｇ　（’：　Ｐも増加し、０．１　μｎ＜Ｒａ　＜ｏ、
５４　μｒｙの範囲では、上記（８）式から被測定物体
の中心線平均粗さが測定できる利点がある。

なお、この発明は、上記実施例にのみ限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、種々の変形実
施ができるものである。

たとえば、受光素子列６としてＰＣＤに代えて、ＣＣＤ
　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ　　
＋電荷結像素子）　、　　Ｂ　Ｂ　Ｄ　（Ｂｕｃｋｅｔ
　　Ｂｒｉｇａｄｅ　Ｄｖｉｃｅ　、バケッリレーデバ
イス）　、　ＣＴＤ　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｔｒａｎｓｆｅ
ｒ　Ｄｅｖｉｃｅ、電荷伝送素子）　、　ＣＩ　Ｄ　（
Ｃｈａｒｇｅ　Ｉ　ｎｊｅｃｔｉｏｎ　Ｄｅｖｉｃｅ　
　、電荷注入型デバイス）、ＣＰ　Ｄ　（Ｃｈａｒｇｅ
　Ｐｒ１ＩＩｌｉ、ｎｇＤｅｖｉｃｅ　　ｖ呼水転送方
式撮像デバイス）、等を１個あるいは複数個用いてもよ
く、また、上記中心線平均粗さＲａを上記（８）式から
求める場合に、この中心線平均粗さＲａ　を０．１μｍ
＜Ｒａ＜０．５μｍの範囲内としたが、これに限定され
るものではない。

また、メモリ９．制御装置１０．演算装置１１等の機能
部分は、マイクロコンピュータまたはパーソナルコンピ
ュータの当該機能を使用することができる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、従来用いられていた反射光強度分
布曲線の広がりを表す半価幅と標準偏差は、分布曲線全
体を測定する必要があったが、この発明によれば、被測
定体の表面にレーザビームを照射し、その反射光を被測
定体の表面とほぼ平行に配置したライン状の受光素子列
で受光して、その反射光強度分布曲線のピーク付近を近
似したガウス関数の広がりを表すＧＣＰを３点以上の反
射光強度の測定点から算出し、このＧＣＰを基に被測定
体の表面の粗さを演算装置で算出するようにしたので、
反射光強度分布曲線のピーク付近のみの反射光を一つの
受光素子列を移動させずに同時に測定でき、被測定体の
表直粗さを非接触でしかも迅速に測定し得る表面粗さ測
定装置および表面粗さ測定方法を提供することができる
。

また、ＧＣＰによって光強度分布曲線の広がりを求める
際に光強度データを平滑化する必要がないので、演算処
理がその分簡略化される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る表面粗さ測定装置の一実施例
の全体構成を示すブロック図、第２図は、同実施例にお
ける受光素子列で測定した被測定体の表面からの反射光
強度分布曲線の模式図、第３図（ａ）ないし第３図（ｃ
）は、それぞれ粗さが異なる場合の３種の試験片の表面
粗さを触針式粗さ測定装置によりそれぞれ測定した場合
の波形図。 第４図（ａ）ないし第４図（ｃ）は、それぞれ第３図（
ａ）〜第３図（ｃ）に示した波形図に対応する試験片の
レーザビームによる反射光強度分布をＰＣＤによってそ
れぞれ測定した場合のＰＣＤの受光上の位置対反射光強
度の特性図、第５図は、ＰＣＤによって測定した光強度
のデータを隣接した７点の平均による平滑化後のＧＣＰ
と平滑化しないＧＣＰとの比較結果を示す説明図、第６
図は、８種類の粗さの異なる試験片に対して３個所ずつ
測定したＧＣＰと触針式粗さ測定装置によって求めた中
心線平均粗さＲａとの関係を示す説明図である。 １・・・・レーザ発振器、 ２・・・・レーザビーム、 ３　・・・ミラー ４−・被測定体、 ６・・・・受光素子列、 ７　・・並列−直列変換回路。 ８・・・Ａ／Ｄ変換器、 ９・・・・・メモリ、 １０・・・・・制御装置、 １１　　・・　、寅算装置、 １２・・表示装置、 ・・プリンタ。 ３

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定体表面にレーザビームを照射するレーザ発
   振器と、上記被測定体表面にほぼ平行であって上記被測
   定体表面からの反射スポット光を受光し得る位置に配置
   されたライン状の受光素子列と、この受光素子列から出
   力されるアナログ信号をディジタル信号に変換するアナ
   ログ／ディジタル変換器と、このアナログ／ディタル変
   換器の出力を記憶するメモリと、このメモリに記憶され
   たデータから上記被測定体の表面粗さに対応する反射光
   強度分布曲線のピーク付近をガウス関数で近似し、この
   ガウス関数の標準偏差を表すガウス曲線パラメータを３
   点以上の反射光強度の測定点から所定の演算式により求
   めて、このガウス曲線パラメータと予め対応づけられた
   表面粗さデータとの対比から上記被測定体の表面粗さを
   算出する演算手段とを具備することを特徴とする表面粗
   さ測定装置。
2. （２）被測定体表面にほぼ垂直にレーザビームを照射し
   てこの被測定体表面からの反射スポット光を上記被測定
   体表面とほぼ平行に配置したライン状の受光素子列で受
   光し、この受光素子列の出力のうち、ｎ個の出力データ
   を用いて上記被測定体の表面からの反射光強度分布のピ
   ーク付近をガウス関数で近似し、このガウス関数の広が
   りを表すガウス曲線パラメータＧＣＰを、 ＧＣＰ＝▲数式、化学式、表等があります▼ ただし、 ｌｎは自然対数、 ｙ＿ｉは反射光強度、 ｔ＿ｉ＝ｉ−（ｎ＋１）／２（ｉ＝１、２、・・・、ｎ
   ）Ｔ＿ｉ＝１２ｔ＿ｉ＾２−ｎ＾２＋１ Ｋ＝ｃ√（ｎ（ｎ＾２−１）（ｎ＾２−４）／３０）（
   ｃはｎ個の各点の受光素子列面上の間隔）なる演算式に
   より３点以上の反射光強度ｙ＿ｉの測定点から求めて、
   このガウス曲線パラメータＧＣＰと予め関係づけられた
   中心線平均粗さデータとを対比させることにより上記被
   測定体の表面粗さを求めることを特徴とした表面粗さ測
   定方法。