JP3077725B2 - 屈折率測定方法及びその装置 - Google Patents
屈折率測定方法及びその装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/43—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length by measuring critical angle
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、屈折率測定方法及びそ
の装置に関する。
の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体、すなわち、液体及び気体の屈折率
を求める場合、例えば図４に示すように、光源１０１か
らプリズム１０２などのガラスと試料１０３との境界面
１０４に所定の波長、例えば５８９．３ｎｍの拡散光を
照射し、その境界面１０４からの反射光を例えばＣＣＤ
ラインセンサを備える光検出装置１０５に受光させ、反
射光量の分布から上記境界面１０４で全反射が起こる臨
界角を検出することにより試料１０３の屈折率を求める
方法（全反射法）が採用される。
を求める場合、例えば図４に示すように、光源１０１か
らプリズム１０２などのガラスと試料１０３との境界面
１０４に所定の波長、例えば５８９．３ｎｍの拡散光を
照射し、その境界面１０４からの反射光を例えばＣＣＤ
ラインセンサを備える光検出装置１０５に受光させ、反
射光量の分布から上記境界面１０４で全反射が起こる臨
界角を検出することにより試料１０３の屈折率を求める
方法（全反射法）が採用される。
【０００３】この方法を実施する上では、プリズム１０
２と試料１０３との境界面１０４に入射する光線は、点
光源から出射された拡散光であることが理想的である
が、実際には、理想的な点光源を形成することは困難で
あり、また、あまり光線の断面積を小さくすると充分な
光強度が得られないこともあって、光源１０１は多かれ
少なかれ面積を有している。
２と試料１０３との境界面１０４に入射する光線は、点
光源から出射された拡散光であることが理想的である
が、実際には、理想的な点光源を形成することは困難で
あり、また、あまり光線の断面積を小さくすると充分な
光強度が得られないこともあって、光源１０１は多かれ
少なかれ面積を有している。
【０００４】そこで、境界面１０４と光検出装置１０５
との間に焦点を光検出装置１０５の受光面に合わせたレ
ンズ１０６を配置し、境界面１０４上の一定の面積内の
各点から平行に射出された光を光検出装置１０５の受光
面に収束させることにより、点光源を用いる場合と同じ
結果を得るようにしている。
との間に焦点を光検出装置１０５の受光面に合わせたレ
ンズ１０６を配置し、境界面１０４上の一定の面積内の
各点から平行に射出された光を光検出装置１０５の受光
面に収束させることにより、点光源を用いる場合と同じ
結果を得るようにしている。
【０００５】理論的には、光検出装置１０５で検出され
る反射光量の分布は、図５に示すように全反射が起こる
臨界角に対応する臨界点を境に、全反射が起こる領域で
は光検出装置１０５の出力は上記全反射に対応する大き
な値となり、逆に光が透過する領域では臨界点から遠ざ
かるに従って上記光検出装置１０５の出力が小さくな
る。
る反射光量の分布は、図５に示すように全反射が起こる
臨界角に対応する臨界点を境に、全反射が起こる領域で
は光検出装置１０５の出力は上記全反射に対応する大き
な値となり、逆に光が透過する領域では臨界点から遠ざ
かるに従って上記光検出装置１０５の出力が小さくな
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記ＣＣＤラインセン
サ１１５を用いた光検出装置１０５では、測定精度はＣ
ＣＤラインセンサ１１５を構成する受光素子の配置密度
すなわちＣＣＤラインセンサ１１５の分解能に依存す
る。すなわち、図６に示すように例え理想的な受光曲線
が得られたとしても、ＣＣＤラインセンサ１１５の受光
素子が臨界点の位置にあるとは限らない。従って、臨界
点としては臨界点に最も近い素子Ｐ1 、Ｐ2の中のいず
れかの位置（アドレス）を取らざるを得ないので、精度
が悪くなることは必然である。
サ１１５を用いた光検出装置１０５では、測定精度はＣ
ＣＤラインセンサ１１５を構成する受光素子の配置密度
すなわちＣＣＤラインセンサ１１５の分解能に依存す
る。すなわち、図６に示すように例え理想的な受光曲線
が得られたとしても、ＣＣＤラインセンサ１１５の受光
素子が臨界点の位置にあるとは限らない。従って、臨界
点としては臨界点に最も近い素子Ｐ1 、Ｐ2の中のいず
れかの位置（アドレス）を取らざるを得ないので、精度
が悪くなることは必然である。
【０００７】更に、上記のように面積のある光源を用い
ると、レンズ位置を調整しても全領域に渡ってピントが
合うことはない。したがって、図７の光量分布曲線８ａ
に示すように、実際には臨界点Ｐｃの近傍での光検出装
置１０５の出力変化が鈍くなり、正確に臨界点Ｐｃを求
められなくなる。
ると、レンズ位置を調整しても全領域に渡ってピントが
合うことはない。したがって、図７の光量分布曲線８ａ
に示すように、実際には臨界点Ｐｃの近傍での光検出装
置１０５の出力変化が鈍くなり、正確に臨界点Ｐｃを求
められなくなる。
【０００８】この現象を多少なりとも緩和しようとして
従来例では光検出装置の受光面上に正確に焦点を結ぶよ
うにレンズ位置を調整し得るようにして、各機に使用す
るレンズその他の光学系の設計値との微差、あるいはＣ
ＣＤラインセンサの取付け位置等の機械的寸法の設計値
との微差によって生ずる焦点位置のずれを吸収するよう
にしている。しかしながら、上記調整は工場出荷時に製
造者側でなされることになるが、この作業ははなはだ面
倒である上、上記調整機構を備えることからコストアッ
プの原因にもなっていた。
従来例では光検出装置の受光面上に正確に焦点を結ぶよ
うにレンズ位置を調整し得るようにして、各機に使用す
るレンズその他の光学系の設計値との微差、あるいはＣ
ＣＤラインセンサの取付け位置等の機械的寸法の設計値
との微差によって生ずる焦点位置のずれを吸収するよう
にしている。しかしながら、上記調整は工場出荷時に製
造者側でなされることになるが、この作業ははなはだ面
倒である上、上記調整機構を備えることからコストアッ
プの原因にもなっていた。
【０００９】本発明は、上記の事情を鑑みてなされたも
のであり、簡単に、かつ、安価に、広範な測定範囲にわ
たって正確に臨界点を検出できるようにした屈折率測定
方法及びその装置を提供することを目的とする。
のであり、簡単に、かつ、安価に、広範な測定範囲にわ
たって正確に臨界点を検出できるようにした屈折率測定
方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る屈折率測定
方法は、全反射法による屈折率測定方法において、上記
の目的を達成するため、試料境界面からの反射光を受光
する光検出装置により検出された光量分布曲線をこの光
量分布曲線に対応する理論光量分布曲線で補間して臨界
角を検出することを特徴とする。
方法は、全反射法による屈折率測定方法において、上記
の目的を達成するため、試料境界面からの反射光を受光
する光検出装置により検出された光量分布曲線をこの光
量分布曲線に対応する理論光量分布曲線で補間して臨界
角を検出することを特徴とする。
【００１１】また、本発明に係る屈折率測定装置は、全
反射法による屈折率測定装置において、本発明方法を実
施できるようにするため、試料境界面からの反射光を受
光する光検出装置と、理論光量分布曲線を記憶する記憶
装置と、光検出装置により検出された光量分布曲線に対
応する理論光量分布曲線を上記記憶装置から読み出し、
光量分布曲線を理論光量分布曲線で補間して臨界点Ｐｃ
を算出する演算手段とを備える構成とする。
反射法による屈折率測定装置において、本発明方法を実
施できるようにするため、試料境界面からの反射光を受
光する光検出装置と、理論光量分布曲線を記憶する記憶
装置と、光検出装置により検出された光量分布曲線に対
応する理論光量分布曲線を上記記憶装置から読み出し、
光量分布曲線を理論光量分布曲線で補間して臨界点Ｐｃ
を算出する演算手段とを備える構成とする。
【００１２】また、上記演算手段４は、ＣＣＤラインセ
ンサ１５上のアドレスによる光の入射角度が相違するた
めに生じる出力の相違、あるいはＣＣＤラインセンサ１
５を構成する各素子の性能の相違による出力のバラツキ
を均一にする正規化演算手段４１と、また、上記光量分
布曲線８ａを理論光量分布曲線８ｂで補間する補間演算
手段４３手段をそなえている。
ンサ１５上のアドレスによる光の入射角度が相違するた
めに生じる出力の相違、あるいはＣＣＤラインセンサ１
５を構成する各素子の性能の相違による出力のバラツキ
を均一にする正規化演算手段４１と、また、上記光量分
布曲線８ａを理論光量分布曲線８ｂで補間する補間演算
手段４３手段をそなえている。
【００１３】
【作用】光検出装置３より得られる光量分布曲線８ａは
図１の実線の如くに、臨界点Ｐｃ付近で鈍りのある曲線
となる。この分布曲線８ａに対して理論曲線８ｂを重ね
合わせると、該２つの曲線は臨界点Ｐｃ付近を除いてよ
く一致する。
図１の実線の如くに、臨界点Ｐｃ付近で鈍りのある曲線
となる。この分布曲線８ａに対して理論曲線８ｂを重ね
合わせると、該２つの曲線は臨界点Ｐｃ付近を除いてよ
く一致する。
【００１４】従って、逆に上記光量分布曲線８ａの臨界
点Ｐｃ付近を除いて、理論光量分布曲線８ｂと上記光量
分布曲線８ａとを重ね合わせ、理論光量分布曲線８ｂの
臨界点を実際の臨界点Ｐｃとすると、ＣＣＤラインセン
サの分解能にかかわりなく、また収差による分布曲線８
ａの鈍りにかかわらず、高精度に臨界点Ｐｃを算出でき
ることになる。
点Ｐｃ付近を除いて、理論光量分布曲線８ｂと上記光量
分布曲線８ａとを重ね合わせ、理論光量分布曲線８ｂの
臨界点を実際の臨界点Ｐｃとすると、ＣＣＤラインセン
サの分解能にかかわりなく、また収差による分布曲線８
ａの鈍りにかかわらず、高精度に臨界点Ｐｃを算出でき
ることになる。
【００１５】上記光量分布曲線８ａは演算手段４で光検
出装置３の出力に対して所定の処理をすることによって
得られる。即ち、光検出装置３（ＣＣＤラインセンサ１
５）に入射する光は、該ＣＣＤラインセンサ１５の位置
（アドレス）によって光の入射角度が相違し、あるいは
ＣＣＤラインセンサ１５を構成する各素子の性能にバラ
ツキがあるため、各アドレスでの出力が相違する。従っ
て正規化演算手段４１で上記の不均一を均一にする演算
がなされる。また、補間演算手段４３で上記のように補
間のための演算がなされる。
出装置３の出力に対して所定の処理をすることによって
得られる。即ち、光検出装置３（ＣＣＤラインセンサ１
５）に入射する光は、該ＣＣＤラインセンサ１５の位置
（アドレス）によって光の入射角度が相違し、あるいは
ＣＣＤラインセンサ１５を構成する各素子の性能にバラ
ツキがあるため、各アドレスでの出力が相違する。従っ
て正規化演算手段４１で上記の不均一を均一にする演算
がなされる。また、補間演算手段４３で上記のように補
間のための演算がなされる。
【００１６】
【実施例】図２は本発明の方法の概念図を示すものであ
り、図３は上記方法を実施する装置を示すのものであ
る。
り、図３は上記方法を実施する装置を示すのものであ
る。
【００１７】図３の構成図に示すように、本発明の一実
施例に係る屈折率測定装置は、直角プリズム１、光源
２、ＣＣＤラインセンサ１５を備えた光検出装置３、演
算手段４及び出力手段としてのＣＲＴ５を備え、光源２
から上記プリズム１の一辺の面６に向かって光線を入射
させ、該面６とこの面６に接する試料７との境界面、す
なわち、面６からの反射光を光検出装置３に受光させ、
光電変換して演算手段４に入力し、記憶手段９に光量分
布曲線８ａのＣＣＤラインセンサ１５の各素子に対応す
る位置（アドレス）の光量が記憶される。
施例に係る屈折率測定装置は、直角プリズム１、光源
２、ＣＣＤラインセンサ１５を備えた光検出装置３、演
算手段４及び出力手段としてのＣＲＴ５を備え、光源２
から上記プリズム１の一辺の面６に向かって光線を入射
させ、該面６とこの面６に接する試料７との境界面、す
なわち、面６からの反射光を光検出装置３に受光させ、
光電変換して演算手段４に入力し、記憶手段９に光量分
布曲線８ａのＣＣＤラインセンサ１５の各素子に対応す
る位置（アドレス）の光量が記憶される。
【００１８】上記構成において、ＣＣＤラインセンサ１
５の長手方向中央位置がレンズ１６の光軸位置に、かつ
上記ＣＣＤラインセンサ１５とレンズ１６の光軸が直角
である場合であって、かつ、試料７を空気とした場合を
想定すると、図２に破線で示すようにＣＣＤラインセン
サ１５上の中心位置で最も受光強度が大きく（光の入射
角度がＣＣＤラインセンサに対して直角）、ＣＣＤライ
ンセンサ１５の両端部に向う程受光強度が小さい（光の
入射角度がＣＣＤラインセンサ１５の両端程直角より小
さくなる）、いわゆるシェーデングを持った曲線８ｃと
なる。また、ＣＣＤラインセンサ１５を構成する各素子
には感度のばら付きがある。従って、境界面に試料を載
せたとしても、上記一点鎖線で示すような光量分布曲線
８ｄとなり、このままの状態では正確な臨界点Ｐｃを得
ることができない。そこで、光検出装置３より得られた
信号に対して補正をかけることが必要になる。
５の長手方向中央位置がレンズ１６の光軸位置に、かつ
上記ＣＣＤラインセンサ１５とレンズ１６の光軸が直角
である場合であって、かつ、試料７を空気とした場合を
想定すると、図２に破線で示すようにＣＣＤラインセン
サ１５上の中心位置で最も受光強度が大きく（光の入射
角度がＣＣＤラインセンサに対して直角）、ＣＣＤライ
ンセンサ１５の両端部に向う程受光強度が小さい（光の
入射角度がＣＣＤラインセンサ１５の両端程直角より小
さくなる）、いわゆるシェーデングを持った曲線８ｃと
なる。また、ＣＣＤラインセンサ１５を構成する各素子
には感度のばら付きがある。従って、境界面に試料を載
せたとしても、上記一点鎖線で示すような光量分布曲線
８ｄとなり、このままの状態では正確な臨界点Ｐｃを得
ることができない。そこで、光検出装置３より得られた
信号に対して補正をかけることが必要になる。
【００１９】すなわち、演算手段４の正規化演算手段４
１では上記曲線８ｃの受光量を分母とし、実際の受光光
量（曲線８ｄ）を分子として割り算を行うと、正規化さ
れた光量分布線８ａを得ることができる。
１では上記曲線８ｃの受光量を分母とし、実際の受光光
量（曲線８ｄ）を分子として割り算を行うと、正規化さ
れた光量分布線８ａを得ることができる。
【００２０】上記のようにして得られた光量分布曲線８
ａは、図２に示すように理論曲線８ｂと臨界点Ｐｃ付近
を除いてよく一致する。そこで、記憶手段９には予め理
論曲線８ｂを収納しておき、演算手段４の補間演算手段
４３で上記光量分布曲線８ａの両端部（理論曲線８ｂと
一致する部分）と理論曲線８ｂとが一致するように演算
（両曲線８ａ，８ｂの差が最小になるように両曲線を重
ねあわせる）する。臨界点Ｐｃ付近ではこの方法でも両
曲線８ａ，８ｂは一致しないが、この部分は上記したよ
うにＣＣＤラインセンサ１５の分解能の影響と、収差の
影響が光量分布曲線８ａの側に現れているとみなすこと
ができるので、理論曲線８ｂの値を採用する。これによ
って、光量分布曲線８ａが理論光量分布曲線８ｂによっ
て補間され、理論光量分布曲線８ｂの臨界点Ｐｃを読み
取ることができる。
ａは、図２に示すように理論曲線８ｂと臨界点Ｐｃ付近
を除いてよく一致する。そこで、記憶手段９には予め理
論曲線８ｂを収納しておき、演算手段４の補間演算手段
４３で上記光量分布曲線８ａの両端部（理論曲線８ｂと
一致する部分）と理論曲線８ｂとが一致するように演算
（両曲線８ａ，８ｂの差が最小になるように両曲線を重
ねあわせる）する。臨界点Ｐｃ付近ではこの方法でも両
曲線８ａ，８ｂは一致しないが、この部分は上記したよ
うにＣＣＤラインセンサ１５の分解能の影響と、収差の
影響が光量分布曲線８ａの側に現れているとみなすこと
ができるので、理論曲線８ｂの値を採用する。これによ
って、光量分布曲線８ａが理論光量分布曲線８ｂによっ
て補間され、理論光量分布曲線８ｂの臨界点Ｐｃを読み
取ることができる。
【００２１】なお、上記の実施例において、求められた
臨界点Ｐｃを演算手段４を介してプリンタ、通信ライン
等の周辺機器に出力することは自由である。以上のよう
に構成及び操作するようにすると、ＣＣＤラインセンサ
１５の分解能にかかわらず、臨界点Ｐｃを精度よく求め
ることができ、また光量分布曲線８ａの臨界点Ｐｃ付近
の鈍りが多少大きくても正確な臨界点Ｐｃを求めること
ができる。
臨界点Ｐｃを演算手段４を介してプリンタ、通信ライン
等の周辺機器に出力することは自由である。以上のよう
に構成及び操作するようにすると、ＣＣＤラインセンサ
１５の分解能にかかわらず、臨界点Ｐｃを精度よく求め
ることができ、また光量分布曲線８ａの臨界点Ｐｃ付近
の鈍りが多少大きくても正確な臨界点Ｐｃを求めること
ができる。
【００２２】即ち、表１は本発明によって求められる臨
界点Ｐｃの位置と屈折率を示すものであり、上記臨界点
Ｐｃの位置はＣＣＤラインセンサ１５を構成する各受光
素子の位置（アドレス）で表わしている。光量分布曲線
８ａから臨界点Ｐｃを求めようとすると、該臨界点Ｐｃ
はＣＣＤラインセンサ１５のアドレス、即ち整数で求ま
ることになるが、本発明によると各アドレスの間に臨界
点Ｐｃがあってもそのアドレスを少数点以下の値で表す
ことができる。従って、上記従来の方法によって求めら
れるアドレス（整数値）を用いると、求められる屈折率
は１０-4オーダが限度であるが、本発明によると更に１
０-5オーダの屈折率を求めることが可能となる。
界点Ｐｃの位置と屈折率を示すものであり、上記臨界点
Ｐｃの位置はＣＣＤラインセンサ１５を構成する各受光
素子の位置（アドレス）で表わしている。光量分布曲線
８ａから臨界点Ｐｃを求めようとすると、該臨界点Ｐｃ
はＣＣＤラインセンサ１５のアドレス、即ち整数で求ま
ることになるが、本発明によると各アドレスの間に臨界
点Ｐｃがあってもそのアドレスを少数点以下の値で表す
ことができる。従って、上記従来の方法によって求めら
れるアドレス（整数値）を用いると、求められる屈折率
は１０-4オーダが限度であるが、本発明によると更に１
０-5オーダの屈折率を求めることが可能となる。
【００２３】
【表１】
【００２４】また、本願発明を用いないときには、上記
のようにＣＣＤラインセンサ１５の位置がレンズ１６の
焦点の位置に正確に合っていないときには正確な臨界点
Ｐｃを求めることができないので上記したように、レン
ズ位置調整機構を設けて対処するようにしている。しか
しながら、本願発明を用いるときには、光検出装置３の
ＣＣＤラインセンサ１５の位置をレンズ１６の焦点位置
に正確に合っていなくても、すなわち、各機に用いられ
るレイズ１６間の焦点距離の設計値との差異、あるいは
各機のＣＣＤラインセンサ１５の取り付け位置の設計値
との差異によって光量分布の臨界点Ｐｃ付近に鈍りがあ
っても、正確な臨界点Ｐｃを求める事ができるので、上
記調整機構を設ける必要がなくなる。
のようにＣＣＤラインセンサ１５の位置がレンズ１６の
焦点の位置に正確に合っていないときには正確な臨界点
Ｐｃを求めることができないので上記したように、レン
ズ位置調整機構を設けて対処するようにしている。しか
しながら、本願発明を用いるときには、光検出装置３の
ＣＣＤラインセンサ１５の位置をレンズ１６の焦点位置
に正確に合っていなくても、すなわち、各機に用いられ
るレイズ１６間の焦点距離の設計値との差異、あるいは
各機のＣＣＤラインセンサ１５の取り付け位置の設計値
との差異によって光量分布の臨界点Ｐｃ付近に鈍りがあ
っても、正確な臨界点Ｐｃを求める事ができるので、上
記調整機構を設ける必要がなくなる。
【００２５】この発明はもちろん光学系が配置される密
閉ケース周囲に外部の恒温槽より所定温度の水を供給す
ることによって、試料温度を保つタイプの従来例にも適
用できることはもちろんである。
閉ケース周囲に外部の恒温槽より所定温度の水を供給す
ることによって、試料温度を保つタイプの従来例にも適
用できることはもちろんである。
【００２６】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明方法及び
本発明装置によれば、光検出装置によって検出される実
際の光量分布曲線を理論光量分布曲線によって補間する
ことにより正確な臨界点の位置を求めることができ、広
い測定範囲にわたって正確に臨界点を検出することがで
き、しかも、簡単、かつ、安価に実施できる。
本発明装置によれば、光検出装置によって検出される実
際の光量分布曲線を理論光量分布曲線によって補間する
ことにより正確な臨界点の位置を求めることができ、広
い測定範囲にわたって正確に臨界点を検出することがで
き、しかも、簡単、かつ、安価に実施できる。
【００２７】また、レンズの焦点位置を調整するための
調整機構を設けなくてもよいので、この点からもコスト
を安価にすることができる。
調整機構を設けなくてもよいので、この点からもコスト
を安価にすることができる。
【図１】本発明の原理図である。
【図２】本発明に係る一実施例の概念図である。
【図３】本発明装置の構成図である。
【図４】従来装置の構成図である。
【図５】理論上の光量分布図である。
【図６】実際に検出される光量分布図である。
【図７】実際に検出される臨界点近傍の光量分布図であ
る。
る。
３ 光検出装置 ４ ＣＰＵ ６ プリズムの一面 ８ａ 光量分布曲線 ８ｂ 理論光量分布曲線 ９ 記憶装置 １０ 画像コントローラ Ｐｃ 臨界点
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G01N 31/00 - 31/22
Claims (2)
- 【請求項１】 全反射法による屈折率測定方法におい
て、試料境界面(6) からの反射光を受光する光検出装置
(3) により検出された光量分布曲線(8a)とこの光量分布
曲線(8a)に対応する理論光量分布曲線(8b)とを両者が一
致する部分を重ね合わせ、理論光量分布曲線(8b)の臨界
点を実際の臨界点(Pc)とするように補間することを特徴
とする屈折率測定方法。 - 【請求項２】 全反射法による屈折率測定装置におい
て、試料境界面(6) からの反射光を受光する光検出装置
(3) と、理論光量分布曲線(8b)を記憶する記憶装置(10)
と、光検出装置(3) により検出された光量分布曲線(8a)
に対応する理論光量分布曲線(8b)を上記記憶装置(9) か
ら読み出し、光量分布曲線(8a)を理論光量分布曲線(8b)
で補間して臨界点(Pc)を算出する演算手段(4) とを備
え、 上記演算手段(4) が更に、光検出装置(3) の出力を、試
料として空気を用いた場合の光検出装置(3) の出力で除
して正規化する正規化演算手段(41)と、上記光量分布曲
線(8a)を理論光量分布曲線(8b)で補間する補間演算手段
(43)とを備える ことを特徴とする屈折率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05084731A JP3077725B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 屈折率測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05084731A JP3077725B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 屈折率測定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294737A JPH06294737A (ja) | 1994-10-21 |
| JP3077725B2 true JP3077725B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=13838845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05084731A Expired - Lifetime JP3077725B2 (ja) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | 屈折率測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3077725B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5093944B2 (ja) * | 2001-03-23 | 2012-12-12 | 旭化成ケミカルズ株式会社 | 反応制御方法 |
-
1993
- 1993-04-12 JP JP05084731A patent/JP3077725B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06294737A (ja) | 1994-10-21 |
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