JP3299822B2 - 屈折率測定装置 - Google Patents
屈折率測定装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/43—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length by measuring critical angle
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は屈折率測定装置に関し、
特に該屈折率測定装置の光学系に関するものである。
特に該屈折率測定装置の光学系に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】流体、すなわち、液体及び気体の屈折率
を測定するにあたって、例えば図４に示すように、光源
１から所定の波長、例えば５８９．３nmの拡散光を、プ
リズム２と試料Ｓとの試料境界面４に照射し、該試料境
界面４からの反射光を例えばＣＣＤラインセンサで構成
される受光面７ａを備える光検出装置７に入射させるよ
うにした、いわゆる全反射法による屈折率測定装置が使
用されている。
を測定するにあたって、例えば図４に示すように、光源
１から所定の波長、例えば５８９．３nmの拡散光を、プ
リズム２と試料Ｓとの試料境界面４に照射し、該試料境
界面４からの反射光を例えばＣＣＤラインセンサで構成
される受光面７ａを備える光検出装置７に入射させるよ
うにした、いわゆる全反射法による屈折率測定装置が使
用されている。
【０００３】上記図４に示す構成においては、上記試料
境界面４（プリズム２）と光検出装置７との間にはレン
ズ６が装置本体９内の機枠９１に設けられた位置調整手
段８０によって保持されており、後述する理由によっ
て、この位置調整手段８０を用いてレンズ６と光検出装
置７との間隔をレンズ６の焦点距離に精確に一致させる
ピント調整が行われる。
境界面４（プリズム２）と光検出装置７との間にはレン
ズ６が装置本体９内の機枠９１に設けられた位置調整手
段８０によって保持されており、後述する理由によっ
て、この位置調整手段８０を用いてレンズ６と光検出装
置７との間隔をレンズ６の焦点距離に精確に一致させる
ピント調整が行われる。
【０００４】上記構成によれば、試料境界面４からの反
射光量が受光面７ａのＣＣＤラインセンサによって光電
変換されることにより、該試料境界面４の光量分布曲線
が得られ、該光量分布曲線に基づいて光源１からの拡散
光が試料境界面４において全反射する領域と透過する領
域との境界となる臨界点Ｐｃを求め、これより試料の屈
折率に個有の臨界角を特定することができる。
射光量が受光面７ａのＣＣＤラインセンサによって光電
変換されることにより、該試料境界面４の光量分布曲線
が得られ、該光量分布曲線に基づいて光源１からの拡散
光が試料境界面４において全反射する領域と透過する領
域との境界となる臨界点Ｐｃを求め、これより試料の屈
折率に個有の臨界角を特定することができる。
【０００５】すなわち、理想的な条件の下では、図５中
実線で示すように、上記臨界点Ｐｃを境界として、ほぼ
一定の反射光量が得られる全反射領域と、上記臨界点Ｐ
ｃから遠ざかるに従って反射光量が漸減する透過領域と
が顕れる光量分布曲線（以下「理論光量分布曲線」と記
載する）Ｃｂが得られるはずである。
実線で示すように、上記臨界点Ｐｃを境界として、ほぼ
一定の反射光量が得られる全反射領域と、上記臨界点Ｐ
ｃから遠ざかるに従って反射光量が漸減する透過領域と
が顕れる光量分布曲線（以下「理論光量分布曲線」と記
載する）Ｃｂが得られるはずである。
【０００６】ところが、上記理想的な条件においては試
料境界面４が完全拡散光によって照射されることを前提
としているので上記光源１は点光源と仮想されるが、実
際に屈折率測定装置に用いられる光源１は一定の面積を
有する面光源となることが不可避であり、該面光源の各
々の部位から射出された光線相互が干渉し合うことにな
る。その結果、図５中破線で示すように、実際に光検出
装置７より出力される光量分布曲線Ｃａでは、臨界点Ｐ
ｃが上記理論光量分布曲線Ｃｂのようにシャープなエッ
ジとなって顕われることがなく、該光量分布曲線Ｃａ中
の丸みを帯びた肩部Ｓのいずれかに位置することにな
る。従って、かかる光量分布曲線Ｃａに基づいて求めら
れる臨界点Ｐｃは誤差を含みやすい欠点がある。
料境界面４が完全拡散光によって照射されることを前提
としているので上記光源１は点光源と仮想されるが、実
際に屈折率測定装置に用いられる光源１は一定の面積を
有する面光源となることが不可避であり、該面光源の各
々の部位から射出された光線相互が干渉し合うことにな
る。その結果、図５中破線で示すように、実際に光検出
装置７より出力される光量分布曲線Ｃａでは、臨界点Ｐ
ｃが上記理論光量分布曲線Ｃｂのようにシャープなエッ
ジとなって顕われることがなく、該光量分布曲線Ｃａ中
の丸みを帯びた肩部Ｓのいずれかに位置することにな
る。従って、かかる光量分布曲線Ｃａに基づいて求めら
れる臨界点Ｐｃは誤差を含みやすい欠点がある。
【０００７】また、上記ＣＣＤラインセンサで受光面７
ａを構成した光検出装置７では、臨界点Ｐｃの測定精度
はＣＣＤラインセンサを構成する受光素子の配置密度す
なわちＣＣＤラインセンサの分解能に依存する。従っ
て、図６に示すように例え理想的な形状の光量分布曲線
をなす反射光が光検出装置７に入射したとしても、ＣＣ
Ｄラインセンサの受光素子が臨界点Ｐｃの位置にあると
は限らず、該受光素子の出力を基に描かれる光量分布曲
線より求められる臨界点としては上記受光曲線の臨界点
に最も近い素子Ｐ1 、Ｐ2 の中のいずれかの位置（アド
レス）を取らざるを得ない。
ａを構成した光検出装置７では、臨界点Ｐｃの測定精度
はＣＣＤラインセンサを構成する受光素子の配置密度す
なわちＣＣＤラインセンサの分解能に依存する。従っ
て、図６に示すように例え理想的な形状の光量分布曲線
をなす反射光が光検出装置７に入射したとしても、ＣＣ
Ｄラインセンサの受光素子が臨界点Ｐｃの位置にあると
は限らず、該受光素子の出力を基に描かれる光量分布曲
線より求められる臨界点としては上記受光曲線の臨界点
に最も近い素子Ｐ1 、Ｐ2 の中のいずれかの位置（アド
レス）を取らざるを得ない。
【０００８】そこで、上記図４に示す従来の構成におい
ては、装置本体９に組み込まれているレンズ６の焦点距
離と設計値との間の誤差や装置の組付け誤差を修正する
ために、レンズ６と光検出装置７の受光面７ａとの間隔
を厳密に調整できる上記のような位置調整機構８０が設
けられており、測定精度を可能な限り向上させるように
している。
ては、装置本体９に組み込まれているレンズ６の焦点距
離と設計値との間の誤差や装置の組付け誤差を修正する
ために、レンズ６と光検出装置７の受光面７ａとの間隔
を厳密に調整できる上記のような位置調整機構８０が設
けられており、測定精度を可能な限り向上させるように
している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記位置調
整手段８０を用いたレンズ６の位置調整作業は専用の機
材や高度の熟練度を要するところから製品出荷前に製造
者の側で完了させておかなければならないが、かかる作
業には多大の時間を要するばかりか、少なくともレンズ
６と光検出装置７が組み込まれた各装置本体９ごとに行
われなければならず甚だ非効率的な作業となり、上記レ
ンズ６の位置調整には多大の時間が費やされることにな
り、コストダウンの観点から好ましくない。
整手段８０を用いたレンズ６の位置調整作業は専用の機
材や高度の熟練度を要するところから製品出荷前に製造
者の側で完了させておかなければならないが、かかる作
業には多大の時間を要するばかりか、少なくともレンズ
６と光検出装置７が組み込まれた各装置本体９ごとに行
われなければならず甚だ非効率的な作業となり、上記レ
ンズ６の位置調整には多大の時間が費やされることにな
り、コストダウンの観点から好ましくない。
【００１０】しかも、屈折率測定装置のメンテナンスを
行う際にも装置本体９にレンズ６や光検出装置７が取り
付けられた状態で位置調整が行われなければならないた
め、使用者の手元から装置本体を引き取るか、上記位置
調整に供する機材を持参の上、作業を進めなければなら
ない等の不都合があった。
行う際にも装置本体９にレンズ６や光検出装置７が取り
付けられた状態で位置調整が行われなければならないた
め、使用者の手元から装置本体を引き取るか、上記位置
調整に供する機材を持参の上、作業を進めなければなら
ない等の不都合があった。
【００１１】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、上記レンズの位置調整作業の効率化を実現でき
る屈折率測定装置を提供することを目的とする。
であり、上記レンズの位置調整作業の効率化を実現でき
る屈折率測定装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では以下の手段を採用する。すなわち、図１
に示すように、試料境界面４からの反射光を、レンズ６
を介して光検出装置７に入射させるようにした全反射法
による屈折率測定装置において、上記レンズ６と光検出
装置７とが、相互に所定の間隔を保った状態で単一の光
学ユニット１０を構成するとともに、該光学ユニット１
０が装置本体９に対して着脱自在とした屈折率測定装置
である。上記レンズ６と光検出装置７の相互の位置は固
定的であってもよいし、また位置調整手段６０によって
相互の位置調整を行うようにしてもよい。
めに本発明では以下の手段を採用する。すなわち、図１
に示すように、試料境界面４からの反射光を、レンズ６
を介して光検出装置７に入射させるようにした全反射法
による屈折率測定装置において、上記レンズ６と光検出
装置７とが、相互に所定の間隔を保った状態で単一の光
学ユニット１０を構成するとともに、該光学ユニット１
０が装置本体９に対して着脱自在とした屈折率測定装置
である。上記レンズ６と光検出装置７の相互の位置は固
定的であってもよいし、また位置調整手段６０によって
相互の位置調整を行うようにしてもよい。
【００１３】
【作用】上記の構成によれば、レンズ６、光検出装置７
の両者を単一の光学ユニット１０内に配置しているの
で、レンズ６、光検出装置７相互の位置調整は該屈折率
測定装置の装置本体９より取り外した光学ユニット１０
に対して行うだけでよくなる。
の両者を単一の光学ユニット１０内に配置しているの
で、レンズ６、光検出装置７相互の位置調整は該屈折率
測定装置の装置本体９より取り外した光学ユニット１０
に対して行うだけでよくなる。
【００１４】また本願出願人が開発した後述するような
理論光量分布曲線と実際に検出される光量分布曲線とを
重ね合わせる方法を採用することによって上記位置調整
すら必要なくなり、レンズ６と光検出装置７の位置を固
定的にすることができる。
理論光量分布曲線と実際に検出される光量分布曲線とを
重ね合わせる方法を採用することによって上記位置調整
すら必要なくなり、レンズ６と光検出装置７の位置を固
定的にすることができる。
【００１５】
【実施例】図１は本発明に係る一実施例の構成図であ
り、図２は本発明に係る一実施例の作用ブロック図であ
り、図３は本発明に係る一実施例による光量分布曲線の
補正の経過を示す説明図である。
り、図２は本発明に係る一実施例の作用ブロック図であ
り、図３は本発明に係る一実施例による光量分布曲線の
補正の経過を示す説明図である。
【００１６】図１に示すように、本発明に係る一実施例
は、装置本体９の上部中央に配置された斜辺面を試料Ｓ
との試料境界面４とするプリズム２と、該プリズム２の
左下方位置に配置された光源１と、上記プリズム２の右
下方位置に配置された光検出装置７とを備え、上記光源
１の前部にはコリメータレンズ１ａが保持され、さらに
試料境界面４（プリズム２）と光検出装置７との間には
レンズ６が配置される。
は、装置本体９の上部中央に配置された斜辺面を試料Ｓ
との試料境界面４とするプリズム２と、該プリズム２の
左下方位置に配置された光源１と、上記プリズム２の右
下方位置に配置された光検出装置７とを備え、上記光源
１の前部にはコリメータレンズ１ａが保持され、さらに
試料境界面４（プリズム２）と光検出装置７との間には
レンズ６が配置される。
【００１７】上記レンズ６は、光検出装置７との間隔が
レンズ６の焦点距離に一致するように鏡筒６１の先端部
に保持され、上記光源１を点光源に近似させるようにし
ている。上記鏡筒６１はその基端部が光検出装置７に連
設されており、これによってレンズ６と光検出装置７と
が一体の光学ユニット１０に構成される。
レンズ６の焦点距離に一致するように鏡筒６１の先端部
に保持され、上記光源１を点光源に近似させるようにし
ている。上記鏡筒６１はその基端部が光検出装置７に連
設されており、これによってレンズ６と光検出装置７と
が一体の光学ユニット１０に構成される。
【００１８】従って、このように光学ユニット１０を構
成することにより、レンズ６側から上記装置本体９に設
けられた取付穴９２に挿入し、例えば上記鏡筒６１の基
端部が該取付穴９２内周に螺着される等の固定手段を採
用することによって、上記レンズ６と光検出装置７とが
一括して装置本体９に対して着脱自在に組み込まれるよ
うにしている。
成することにより、レンズ６側から上記装置本体９に設
けられた取付穴９２に挿入し、例えば上記鏡筒６１の基
端部が該取付穴９２内周に螺着される等の固定手段を採
用することによって、上記レンズ６と光検出装置７とが
一括して装置本体９に対して着脱自在に組み込まれるよ
うにしている。
【００１９】上記鏡筒６１はレンズ６を上記光検出装置
７との間隔を保った状態で保持すればよく、この実施例
ではレンズ６と光検出装置７との間隔の微調整を行うた
めの位置調整手段６０を兼ねるようにしている。これに
よって、製品出荷前やメンテナンスの際のレンズ６の位
置調整は、該装置本体９より離脱した状態の光学ユニッ
ト１０毎に行うことができ、装置本体９に組み込まれた
状態で行われるよりも作業性が格段に向上することとな
る。また、後述するように理論光量分布曲線と実際に検
出される光量分布曲線とを重ね合わせる方法を採用する
ことによって上記鏡筒６１は単に所定の長さ寸法を持つ
筒状体とし、上記レンズ６と光検出装置７とを固定的に
配置することも可能である。
７との間隔を保った状態で保持すればよく、この実施例
ではレンズ６と光検出装置７との間隔の微調整を行うた
めの位置調整手段６０を兼ねるようにしている。これに
よって、製品出荷前やメンテナンスの際のレンズ６の位
置調整は、該装置本体９より離脱した状態の光学ユニッ
ト１０毎に行うことができ、装置本体９に組み込まれた
状態で行われるよりも作業性が格段に向上することとな
る。また、後述するように理論光量分布曲線と実際に検
出される光量分布曲線とを重ね合わせる方法を採用する
ことによって上記鏡筒６１は単に所定の長さ寸法を持つ
筒状体とし、上記レンズ６と光検出装置７とを固定的に
配置することも可能である。
【００２０】上記実施例は、図４に示す従来例と全く同
様に、試料境界面４に試料Ｓを滴下した後、光源１を点
灯させ、上記プリズム２の試料境界面４からの反射光を
レンズ６によって収束させながら光検出装置７の受光面
７ａに入射させ、該受光面７ａ上に配置されたＣＣＤラ
インセンサの各素子において光電変換がなされ、得られ
た光量分布曲線に基づいて臨界点を特定することによっ
て、試料の屈折率を測定することができる。
様に、試料境界面４に試料Ｓを滴下した後、光源１を点
灯させ、上記プリズム２の試料境界面４からの反射光を
レンズ６によって収束させながら光検出装置７の受光面
７ａに入射させ、該受光面７ａ上に配置されたＣＣＤラ
インセンサの各素子において光電変換がなされ、得られ
た光量分布曲線に基づいて臨界点を特定することによっ
て、試料の屈折率を測定することができる。
【００２１】尚、この実施例に対して以下の測定方法を
適用し、さらに屈折率の測定精度を向上させるととも
に、レンズ６の位置に多少の狂いが生じても測定精度を
保証することができる。
適用し、さらに屈折率の測定精度を向上させるととも
に、レンズ６の位置に多少の狂いが生じても測定精度を
保証することができる。
【００２２】すなわち、図２に示すように、上記光検出
装置７からの出力はＡ／Ｄ変換手段２０を通じて演算手
段３０に入力され、ＣＣＤラインセンサの各素子に対応
する位置（アドレス）の光量が記憶手段４０に記憶され
る。
装置７からの出力はＡ／Ｄ変換手段２０を通じて演算手
段３０に入力され、ＣＣＤラインセンサの各素子に対応
する位置（アドレス）の光量が記憶手段４０に記憶され
る。
【００２３】ところで、上記構成において、試料を空気
とした場合（全反射面を想定した場合）であって、受光
面７ａの中央位置がレンズ６の光軸位置に、かつ上記受
光面７ａとレンズ６の光軸が直角である場合には、上記
光源１から光検出装置７の受光面７ａまでの光路長を勘
案すると、図３(a) の破線で示される感度特性曲線Ｃｃ
のように、受光面７ａの中央位置で最も受光強度が大き
く、両端部に向う程受光強度が小さくなる。
とした場合（全反射面を想定した場合）であって、受光
面７ａの中央位置がレンズ６の光軸位置に、かつ上記受
光面７ａとレンズ６の光軸が直角である場合には、上記
光源１から光検出装置７の受光面７ａまでの光路長を勘
案すると、図３(a) の破線で示される感度特性曲線Ｃｃ
のように、受光面７ａの中央位置で最も受光強度が大き
く、両端部に向う程受光強度が小さくなる。
【００２４】従って、実際に試料Ｓを試料境界面４上に
配置した場合、上記光検出装置７からの出力に基づいて
描かれる光量分布曲線Ｃｄは、図３(a) 中実線で示すよ
うに、上記光軸に近い中央部ほど反射光量が高くなった
形状をなすことになり、このままの状態では正確な臨界
点を求めることができない。
配置した場合、上記光検出装置７からの出力に基づいて
描かれる光量分布曲線Ｃｄは、図３(a) 中実線で示すよ
うに、上記光軸に近い中央部ほど反射光量が高くなった
形状をなすことになり、このままの状態では正確な臨界
点を求めることができない。
【００２５】そこで、この実施例では光検出装置７より
得られた信号に対して、演算手段３０の正規化演算部３
１では、上記感度特性曲線Ｃｃの受光量を分母とし、光
検出装置７からの出力に基づいて描かれる光量分布曲線
Ｃｄを分子として割り算を行う補正をかけ、図３(b) に
おいて実線で示す正規化された光量分布曲線Ｃａを得る
ようにしている。
得られた信号に対して、演算手段３０の正規化演算部３
１では、上記感度特性曲線Ｃｃの受光量を分母とし、光
検出装置７からの出力に基づいて描かれる光量分布曲線
Ｃｄを分子として割り算を行う補正をかけ、図３(b) に
おいて実線で示す正規化された光量分布曲線Ｃａを得る
ようにしている。
【００２６】尚、上記感度特性曲線Ｃｃは光源１の劣化
程度や装置内温度等の測定条件によっても変化するの
で、上記のように例えば試料Ｓの屈折率測定に先立って
上記試料境界面４上に全く試料を配置しない（試料を空
気とする）状態で得られた光量分布曲線を感度特性曲線
Ｃｃとして記憶手段４０に記憶させておくことが望まし
い。
程度や装置内温度等の測定条件によっても変化するの
で、上記のように例えば試料Ｓの屈折率測定に先立って
上記試料境界面４上に全く試料を配置しない（試料を空
気とする）状態で得られた光量分布曲線を感度特性曲線
Ｃｃとして記憶手段４０に記憶させておくことが望まし
い。
【００２７】上記のようにして得られた光量分布曲線Ｃ
ａは、図３(b) において破線で示す理論光量分布曲線Ｃ
ｂと臨界点Ｐｃ付近を除いてよく一致する。そこで、記
憶手段４０には予め理論光量分布曲線Ｃｂを収納してお
き、演算手段３０の補間演算部３２で上記正規化済の光
量分布曲線Ｃａの両端部（理論光量分布曲線Ｃｂと一致
する部分）と理論光量分布曲線Ｃｂとが一致するように
演算（両曲線Ｃａ，Ｃｂの差が最小になるように両曲線
を重ねあわせ）を行う。臨界点Ｐｃ付近ではこの方法で
も両曲線Ｃａ，Ｃｂは一致しないが、この部分は上記し
たように受光面７ａ（ＣＣＤラインセンサ）の分解能の
影響と、レンズ６の収差あるいは装置の組付け誤差の影
響が光量分布曲線Ｃａの側に顕れていると見做すことが
できるので、理論光量分布曲線Ｃｂにおける臨界点Ｐｃ
の値を採用する。これによって、光量分布曲線Ｃａが理
論光量分布曲線Ｃｂによって補間され、理論光量分布曲
線Ｃｂの臨界点Ｐｃを演算し、該臨界点Ｐｃのアドレス
より臨界角を求め、さらに試料Ｓの屈折率を算出し、後
段の表示手段５０に表示させることができる。
ａは、図３(b) において破線で示す理論光量分布曲線Ｃ
ｂと臨界点Ｐｃ付近を除いてよく一致する。そこで、記
憶手段４０には予め理論光量分布曲線Ｃｂを収納してお
き、演算手段３０の補間演算部３２で上記正規化済の光
量分布曲線Ｃａの両端部（理論光量分布曲線Ｃｂと一致
する部分）と理論光量分布曲線Ｃｂとが一致するように
演算（両曲線Ｃａ，Ｃｂの差が最小になるように両曲線
を重ねあわせ）を行う。臨界点Ｐｃ付近ではこの方法で
も両曲線Ｃａ，Ｃｂは一致しないが、この部分は上記し
たように受光面７ａ（ＣＣＤラインセンサ）の分解能の
影響と、レンズ６の収差あるいは装置の組付け誤差の影
響が光量分布曲線Ｃａの側に顕れていると見做すことが
できるので、理論光量分布曲線Ｃｂにおける臨界点Ｐｃ
の値を採用する。これによって、光量分布曲線Ｃａが理
論光量分布曲線Ｃｂによって補間され、理論光量分布曲
線Ｃｂの臨界点Ｐｃを演算し、該臨界点Ｐｃのアドレス
より臨界角を求め、さらに試料Ｓの屈折率を算出し、後
段の表示手段５０に表示させることができる。
【００２８】このようにして読み取られた臨界点Ｐｃに
基づいて試料Ｓの屈折率が求められるので、例えばレン
ズと光検出装置との間隔を固定して光学ユニットに組み
込むような構成としても、各機に用いられるレンズを始
めとする光学系の設計値との差異によって臨界点付近に
鈍りの生じた光量分布曲線が得られたとしても、正確な
臨界点を求めることができる。
基づいて試料Ｓの屈折率が求められるので、例えばレン
ズと光検出装置との間隔を固定して光学ユニットに組み
込むような構成としても、各機に用いられるレンズを始
めとする光学系の設計値との差異によって臨界点付近に
鈍りの生じた光量分布曲線が得られたとしても、正確な
臨界点を求めることができる。
【００２９】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で設計変更が
可能であることはいうまでもない。
ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で設計変更が
可能であることはいうまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、レンズと光検出装置とを一体の光学ユニットに組み
込み、装置本体に対して着脱自在となるように構成した
ので、レンズの位置調整作業を光学ユニット単位で行う
ことができ、製品出荷前やメンテナンス時の該作業の効
率化を達成できる効果がある。
ば、レンズと光検出装置とを一体の光学ユニットに組み
込み、装置本体に対して着脱自在となるように構成した
ので、レンズの位置調整作業を光学ユニット単位で行う
ことができ、製品出荷前やメンテナンス時の該作業の効
率化を達成できる効果がある。
【図１】本発明に係る一実施例の断面図である。
【図２】本発明に係る一実施例の作用ブロック図であ
る。
る。
【図３】本発明に係る一実施例による光量分布曲線の補
正の経過を示す説明図である。
正の経過を示す説明図である。
【図４】従来例の概念図である。
【図５】従来例の問題点を示す光量分布曲線の特性図で
ある。
ある。
【図６】従来例の問題点を示す光量分布曲線の特性図で
ある。
ある。
４ 試料境界面 ６ レンズ ７ 光検出装置 ９ 装置本体 １０ 光学ユニット ６０ 位置調整手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/74 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 試料境界面(4) からの反射光を、レンズ
(6) を介して光検出装置(7) に入射させるようにした全
反射法による屈折率測定装置において、 上記レンズ(6) と光検出装置(7) とが、相互に所定の間
隔を保った状態で単一の光学ユニット(10)を構成すると
ともに、該光学ユニット(10)が装置本体(9) に対して着
脱自在としたことを特徴とする屈折率測定装置。 - 【請求項２】 上記レンズ(6) と光検出装置(7) 相互の
位置が固定された光学ユニット（10) を用いた請求項１
に記載の屈折率測定装置。 - 【請求項３】 上記レンズ(6) と光検出装置(7) の相互
の位置調整を行う位置調整手段(60)を光学ユニット(10)
に設けた請求項１に記載の屈折率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25049093A JP3299822B2 (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 屈折率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25049093A JP3299822B2 (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 屈折率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103890A JPH07103890A (ja) | 1995-04-21 |
| JP3299822B2 true JP3299822B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=17208646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25049093A Expired - Fee Related JP3299822B2 (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 屈折率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3299822B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009294228A (ja) * | 2009-09-18 | 2009-12-17 | Atago:Kk | 屈折計 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3950818B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2007-08-01 | アイシン精機株式会社 | 反射型テラヘルツ分光測定装置及び測定方法 |
-
1993
- 1993-10-06 JP JP25049093A patent/JP3299822B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009294228A (ja) * | 2009-09-18 | 2009-12-17 | Atago:Kk | 屈折計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07103890A (ja) | 1995-04-21 |
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