JPH03210409A - 光ファイバの形状測定装置 - Google Patents

光ファイバの形状測定装置

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JPH03210409A
JPH03210409A JP478390A JP478390A JPH03210409A JP H03210409 A JPH03210409 A JP H03210409A JP 478390 A JP478390 A JP 478390A JP 478390 A JP478390 A JP 478390A JP H03210409 A JPH03210409 A JP H03210409A
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JP
Japan
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liquid
optical fiber
core
cladding
clad
Prior art date
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Pending
Application number
JP478390A
Other languages
English (en)
Inventor
Susumu Koizumi
晋 小泉
Hiroshi Kondo
寛 近藤
Mitsuoki Hatamoto
畑本 光興
Masafumi Tsunada
綱田 雅文
Izumi Takiguchi
滝口 泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、光ファイバの形状測定装置に係り、特にクラ
ッドのみならずコアも測定することができる形状測定装
置に関する。
(従来の技術) 一般に光ファイバは、光を通すコアと、コアの光を全反
射させファイバ外に出さないようコアの外周部を被覆す
るクラッドとから構成されるが、これらは、いずれもガ
ラスが用いられ、しかもコアの屈折率は、クラッドの屈
折率よりもやや高く設定されている。
ところで、このような光ファイバの結線器における端末
形状は、光源側においては、第7図(a)〜(d)に示
すように、クラッド1に内包されたコア2の端部を、半
径rの微少凸レンズ状に形成したり、あるいは第8図に
示すように、クラッド1およびコア2の端面を、角度θ
の傾斜面に形成し、光Is3からの光4がコア2に入射
する際に、コア2表面での反射光5が光源3に返らない
ようにしている。
また、光フアイバ同志の結合部においても、第9図に示
すように、一方の光ファイバのコア2からの光が他方の
光ファイバのコア2に入り易くするため、各光ファイバ
の端面を、半径Rの凸レンズ状に形成している。
このため、光ファイバの端部の形状を測定することが極
めて重要となるが、クラッド1とコアとが完全に同心で
あるわけではないので、形状測定の際には、クラッドl
の外形形状測定とともに、コア2との対比も測定できる
ことが望ましい。
従来、光ファイバの形状Jll定法法しては、第10図
に示すように、光ファイバに平行光6を照射し、光ファ
イバの中を通る光は散乱して暗くなり、中を通らない光
は明るいことを用いて形状8?+定する方法が採られて
いる。
(発明が解決しようとする課題) ところが、前記従来の光ファイバの形状測定方法におい
ては、クラッド1が円筒状をなしているため、第10図
に示すように、光ファイバを透過する光路が乱れてコア
2自体は見えず、結果としてクラッド1の外形形状しか
測定できないという問題がある。
本発明は、このような点を考慮してなされたもので、ク
ラッドの外形形状のみならずコアとの対比も測定でき、
光ファイバの解析を高精度で行なうことができる光ファ
イバの形状測定装置を提供することを目的とする。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明は、前記目的を達成する手段として、光ファイバ
の形状ill定部分をクラッドの屈折率に近似する屈折
率を有する液体中に浸漬する液浸部と、この液浸部に平
行光線を照射する光源部と、前記液浸部を透過した光源
部からの光を受光する顕微鏡装置と、この顕微鏡装置か
らの投影光を画像として捉える撮像器と、撮像器からの
画像信号を処理し先ファイバの形状を検知解析する処理
装置とをそれぞれ設けるようにしたことを特徴する。
(作 用) 本発明に係る光ファイバの形状測定装置においては、光
ファイバの形状測定部分が、液浸部の液体中に浸漬され
、この状態で、光源部からの平行光が液浸部に照射され
る。
ところで、液浸部の液体は、クラッドの屈折率に近似す
る屈折率を有しているので、光源部からの平行光は、平
行のままクラッド内を通過する。
一方、コアは、クラッドよりも屈折率が大きいので、コ
アに照射された平行光は散乱し、これを顕微鏡装置を介
し撮像器で捉えると、コアの部分が不透明となり、クラ
ッドとの間に差が生じる。このため、コアを画像として
捉えることができる。
なお、液浸部の液体表面と空気との間に透明平行平板を
載置介在することで、液体の表面張力や粘性による面の
歪みを無くし、さらに高精度化できる。また、前記液体
は、その屈折率がクラッドと完全に同一ではないので、
クラッドと液体との境界線も画像として捉えることがで
きる。
そこで、このようにして得られた画像の信号を、処理袋
ぼに送って処理することにより、クラッドの外形形状の
みならず、コアとの対比を測定することもi=J能とな
り、高精度な解析が可能となる。
(実施例) 以下、本発明の第1実施例を図面を参照して説明する。
第1図は、本発明に係る光ファイバの形状測定装置の一
例を示すもので、図中、符号11はドーナツ板状をなす
測定テーブルであり、この測定テーブル11上には、内
部に歪がなく平行度および平面度が高い透明台12が載
置されている。
この透明台12上には、第1図ないし第3図に示すよう
に、先ファイバ13の形状測定部分、例えば一端部が載
置され、かつその周辺には、屈折率が光ファイバ13の
クラッド13aの屈折率に近似する例えばシリコンオイ
ル、オリーブオイル等の液体14が、気泡が残らないよ
うに気密に滴下され、さらにその上から、内部に歪がな
く平行度および平面度が高い透明平板15が載置される
ようになっている。そして、これらにより、光ファイバ
13の形状測定部分を液体14中に浸漬する液浸部が構
成されるようになっている。
一方、測定テーブル11の下方位置には、第1図および
第3図に示すように、平行光線16を液浸部に照射する
光源部としての照明装置17が設置されており、また測
定テーブル11の上方位置には、′N&浸部を透過した
照明装置17からの光を受光する顕微鏡18およびこの
顕微鏡18からの投影光を画像として捉える撮像器19
がそれぞれ設置されている。
この撮像器1つは、例えばCOD等の固体撮像素子で形
成されており、この撮像器1つでシルエット的に捉えら
れた画像信号は、第1図に示すように処理装置20に送
られるようになっている。
そして、この処理装置20では、画像の輪郭検出のため
に2値化処理等の演算を行ない、光ファイバ13の外形
形状、クラッド13aとコア13bとの寸法あるいは偏
心関係等が求められるようになっているとともに、その
結果は、プリンタ等の後続機器21に送られるようにな
っている。
なお、′M41図において、符号22は装置のベース、
符号23は、測定テーブル11を支持するとともに、顕
微鏡18および撮像器19を昇降機構24を介して支持
する支持アームである。
次に、本実施例の作用について説明する。
光ファイバ13の形状測定に際しては、照明装置17か
らの平行光線16を、透明台12、光ファイバ13、液
体14および透明平板15からなる液浸部に照射した後
、顕微鏡18および撮像器19のピントを昇降機構24
により調節する。
平行光線16が液浸部に照射されると、第3図に示すよ
うに、液体14の屈折率がクラッド13aの屈折率に近
似しているので、クラッド13aを透過する光は平行の
まま維持され、−刃高屈折率のコア13bを透過する光
は屈折して散乱することになる。このため、第3図の符
号す。
0間は散乱のために不透明となるとともに、符号a、b
問および符号c、d間は透明となり、コア13bを検出
することができる。
また、液体14の屈折率は、クラッド13aの屈折率に
近似しているが、完全に同一ではないので、第3図に符
号a、dで示すクラッド13aと液体14との境界線を
判別することもできる。
なお、液体14の屈折率をクラッド13aの屈折率と完
全に一致させることは、実際上は不可能であるが、例え
屈折率を完全に一致させることができたとしても、液体
14とクラッド13aとの透明度を変えれば、境界線を
判別することは可能である。
このように、光ファイバ13の外形形状はもとより、コ
ア13bを検出することもでき、処理装置20において
、クラッド13aとコア13bとの対比、偏心状態等を
解析することができる。このため、高精度の解析が可能
となる。
本発明者等は、第1図に示す光ファイバの形状測定装置
を用い、撮像器19で捉えられた画像と、第10図に示
す従来の形状測定方法を用いて得られた画像との比較を
行ない、第4図に示す結果を得た。第4図(a)は、本
発明の撮像器19で捉えられた画像を示し、また第4図
(b)は、従来の形状測定方法を用いて得られた画像を
示す。
第4図からも明らかなように、従来の形状測定方法では
、光ファイバ13の外形形状は測定できるがコア13b
を検出することはできないのに対し、本発明に係る形状
測定方法では、光ファイバ13の外形形状のみならず、
コア13bも明瞭に検出できることが判る。
第5図は、本発明の第2の実施例を示すもので、液浸部
の構成を変更したことを特徴としている。
すなわち、本実施例において、液浸部は、)5!5図に
示すように、底部が均一厚さで歪がない大きな面積を有
する透明容器31と、この透明容器31に投入された液
体14とから構成され、液体14は、光ファイバ13が
液体14の表面の平面度に影響を与えないだけの充分な
深さまで満たされるようになっている。
このように構成しても、前記第1実施例と同様の効果が
期待でき、しかも構造がより簡略化されて取扱いも容易
となる。
第6図は、本発明の第3の実施例を示すもので、液浸部
の構成をさらに変更したことを特徴としている。
すなわち、本実施例において、液浸部は、第6図に示す
ように、底部が均一厚さで歪がない深底の透明容′rA
41と、この透明容器41内に投入された液体14とか
ら構成され、液体14には、顕微鏡18の対物レンズ1
8aが浸漬されるようになっている。
このように構成しても、前記第2の実施例と同様の効果
が期待でき、しかも液体14の液面での光の散乱の影響
がないので、より高粘度なil?1定か可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、液浸部の液体中に光ファ
イバの形状測定部分を浸漬し、光源部からの平行光線が
クラッド内を平行のままで透過するようにしているので
、クラッドの外形形状のみならず、コアとの対比を77
11定することもでき、精度よく光ファイバの解析を行
なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例に係る光ファイバの形状測
定装置を示す構成図、第2図は第1図の液浸部を上方か
ら見た構成図、第3図は第1図の装置における光ファイ
バの形状測定装置を示す説明図、第4図(a)は本発明
により得られた光ファイバの画像を示す説明図、第4図
(b)は従来方法により得られた光ファイバの画像を示
す説明図、第5図は本発明の第2実施例を示す液浸部の
断面図、第6図は本発明の第3実施例を示す液浸部の断
面図、第7図(a)〜(d)は光フアイバ先端の微小レ
ンズ部の構造をそれぞれ示す説明図、第8図は光ファイ
バの端部を傾斜面とL7た際の光源と反射光との関係を
示す説明図、第9図は光フアイバ同志を接続する際の各
光ファイバの端面形状を示す説明図、第10図は従来の
光ファイバの形状測定方法を示す説明図である。 12・・・透明台、13・・・光ファイバ、13a・・
・クラッド、13b・・・コア、14・・・液体、15
・・・透明平板、16・・・平行光線、17・・・照明
装置、18・・・顕微鏡、 19・・・TVカメラ、 20・・・処理装置、 31゜ 41・・・透明容器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、コアの外周部を、コアよりも小さな屈折率を有する
    クラッドで被覆してなる光ファイバの形状測定装置であ
    って、光ファイバの形状測定部分を前記クラッドの屈折
    率に近似する屈折率を有する液体中に浸漬する液浸部と
    、この液浸部に平行光線を照射する光源部と、前記液浸
    部を透過した光源部からの光を受光する顕微鏡装置と、
    この顕微鏡装置からの投影光を画像として捉える撮像器
    と、撮像器からの画像信号を処理し光ファイバの形状を
    検知解析する処理装置とを具備することを特徴とする光
    ファイバの形状測定装置。 2、液浸部は液体と、この液体表面上に載置された透明
    平板とから構成されている請求項1に記載の光ファイバ
    の形状測定装置。
JP478390A 1990-01-12 1990-01-12 光ファイバの形状測定装置 Pending JPH03210409A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015072230A (ja) * 2013-10-04 2015-04-16 三菱電機株式会社 半導体装置の発熱解析方法及び発熱解析装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015072230A (ja) * 2013-10-04 2015-04-16 三菱電機株式会社 半導体装置の発熱解析方法及び発熱解析装置

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