JPH03208019A

JPH03208019A - 液晶表示装置の製造方法

Info

Publication number: JPH03208019A
Application number: JP2003863A
Authority: JP
Inventors: Koji Ishikawa; 幸司石川; Nobuhiko Ohashi; 大橋　信彦; Tsukasa Ando; 司安藤
Original assignee: NipponDenso Co Ltd
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1990-01-10
Filing date: 1990-01-10
Publication date: 1991-09-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野］本発明は，薄膜トランジスタ（ＴＰＴ）を用いたアクテ
ィブマトリクス型液晶表示素子（ＬＣＤ）の製造方法，
特にその配向膜のラビング処理方法に関する．〔従来技術〕液晶表示素子は，周知のごと＜，ＴＰＴ基板と，その上
に設けた配向膜と．該配向膜と一方の配向膜との間に介
在させた液晶材と．共通電極基板とよりなる。

そして，上記ＴＰＴ基板上に設ける配向膜は該ＴＰＴ基
板の上に印刷，焼威され，その後その配同性を一定にす
るためラビング処理が行われる。

このラビング処理は，配向膜の表面を布等により一方向
にラビングすることにより行なわれる．しかしながら，
該配向膜は絶縁性の有機薄膜であるため．このラビング
処理の際に静電気を帯び易い。そして．この静電気は，
薄膜トランジスタ（ＴＰＴ）を静電気破壊する大きな原
因となる。

なお．一般に静電気に対するＴＰＴの耐圧は０．１〜０
、３ＫＶ，高耐圧ＴＰＴ’？’も０．４ＫＶ程度である
。

そこで．従来，上記ＴＰＴのゲート電極端子群と１　ソ
ース電極端子群を，全周で短絡（ガードフレーム法）し
ておき，上記ラビングを行う方法が提案されている（特
開昭６１−１２２６８号，特開昭６１−５９４７５号公
報参照）。

〔解決しようとする課題〕

しかしながら，この方法は，　　ＣＯＧ　（ｃｈｔｐ　
ｏｎｇｌａｓｓ　）型の液晶表示素子については，次の
問題がある。なお，ここにＧＯＧ型とは１上記ＴＰＴを
利用した上記ＬＣＤと，これらの各電極の端子群を集中
させたゲート用ランド部．ソース用ランド部とをガラス
基板上に設けたタイプの液晶表示素子をいう。このラン
ド部上には，液晶表示素子を作動制御するための駆動用
ＩＣ素子が搭載される。

即ち，上記ＣＯＧ型の場合には，ＩＣドライバーのＴＰ
Ｔ基板へのレイアウト上の制約．例えば少なくとも３方
向のコ字状にＩＣを配置させるような場合，上記のごと
く両端子群を全周で短絡するというガードフレーム法を
採ることができない。

また，該ガードフレーム法によらず．各ＴＰＴ素子間を
同電位化する場合，例えばＣＯＧ用ランド部間を結線す
る方法がある。しかし，ＬＣＤ加工後にレーザ等の手段
でこのランド部間を結線の切断しなければ，ＬＣＤ検査
．ＩＣ搭載，ＩＣ動作検査等を行うことができない。ま
た，ランド部間の断線加工は大きな負担となり．生産性
が非常に低い。

本発明はかかる問題点に鑑み．静電気の帯電量を低減化
し，ＴＰＴの静電気破壊を生ずることのない．液晶表示
装置の製造方法を提供しようとするものである。

〔課題の解決手段〕

本発明は，Ｆｊ膜トランジスタをマトリクス状に設けた
基板の上に，配向膜を載置し．該配向膜の表面をラビン
グ処理することによりその配向を行う．液晶表示装置の
製造方法において，上記ラビング処理は水蒸気雰囲気中
で行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法にある
。

上記水蒸気は，ラビング処理部分に．局所的に水蒸気を
吹き付けることなどにより形威する。即ち．ラビング処
理用ローラ等のラビング器具を用いて配向膜表面をラビ
ング処理する際に．このラビング処理器具と配向膜の接
触周辺部分に水茅気を吹き付ける。この水蒸気は，例え
ば加湿器及びパイプ等を用いて供給する。

また，水蒸気雰囲気は，湿度が７０〜９０％とすること
が好ましい。７０％未満では静電気帯電量が高く．一方
９０％を越えるとラビング処理布へ水蒸気の水滴が付着
し，パイルの「集まり現象」を生しラビング処理の安定
性に劣る。

なお．７０〜７５％ではＴＰＴ耐圧のばらつき．湿度の
ばらつきにより，ＴＰＴが万一静電気破壊することが予
想されることと，上記パイルの「集まり現象」を考慮す
ると．最も好ましいのは，湿度７５〜８５％である．また．ラビング処理は．ラビング処理布を巻き付けたロ
ーラ等を用いて行う。ラビング処理布としてはレーヨン
，ナイロン．ポリエステルなどが用いられる，上記配向膜は，基板上にマトリクス状に形威したＴＦＴ
の上に，印刷塗布．焼威されている。

なお，ラビング処理によって配向された配向膜上にはス
ペーサによって所定の間隔をおいて，上側の配向膜及び
基板が配置され，両配向膜の間に液晶材が注入され，液
晶表示装置とされる。

また．本発明は，ＧＯＧタイプのみならず他のタイプの
液晶表示装置にも適用することができる．Ｃ作　用〕本発明においては，ラビング処理は水蒸気雰囲気中にお
いて行っている。

そのため，ラビング処理付近は水蒸気によって高湿度環
境が形威され．静電気の帯電量を非常に少なくすること
ができる。例えば．水蒸気雰囲気の湿度が７５〜８５％
の場合には，ラビング処理において発生する帯電量は０
．０２〜０．０３ＫＶ程度でＴＰＴ耐圧の３分の１〜１
５分の１という低い値に低減することができる．したがって，本発明によれば．静電気帯電量を低減化し
，ＴＰＴの静電気破壊を生ずることのない．液晶表示装
置の製造方法を提供することができる。

〔実施例〕

第１実施例本発明の実施例にかかる，液晶表示装置の製造方法につ
き，第１図〜第３図を用いて説明する。

ラビング処理を行うに当たっては．第ｌ図及び第２図に
示すごとく，可動テーブル２の上にＴＰＴ基板１を配置
する。また．該ＴＰＴ基板１の上面の配向膜に接するよ
うにラビング処理用のローラ３を配する。また，ローラ
３とＴＦＴＭｉ１との接触周辺部分に，水蒸気４を噴霧
する。そして，可動テーブル２を左右に移動させながら
、ローラ３によりラビング処理を行う．上記ＴＰＴ基板１の断面図は．一般的に．第３図に示す
ごとく，ガラス基板１１と，その上にマトリクス状に配
置されたＴＰＴＩＯとよりなる．該ＴＰＴＩＯは，ゲー
ト線１２と，その上に被覆したゲートｖＡ縁膜１３と．
その上に順次形威した，（ａ−Ｓｉ）１４，　　Ｃｎ＋
）１５と．ソース線１６，ドレイン１７及び画素電極（
ＩＴ○）１８とよりなる。上記ｎ＋は，ａ−Ｓｉｌ４と
ソース１６及びドレインｌ７との間でオーＱ７クコンタ
クトを取るためのものである。そして．これらの上に配
向膜が配置してあるｌ示略）。

上記配向膜は，ガラス基板１１上にポリイミド樹脂液を
印刷し３焼或することにより形威した。

そして，その後ＴＰＴ基板ｌを洗浄し，ラビング処理に
付した。

また．可動テーブル２は．その下面に回動輪を有し，シ
リンダ２２により左右方向に移動可能に設けてある。一
方，ローラ３は．可動テーブル２うえのＴＦＴ基板ｌの
表面に接触できる位置にあり，またモータ３１に連結し
てある。また，ローラ３の表面にはラビング布が巻いて
ある．また，ローラ３の近傍には．水蒸気の供給パイブ
４Ｉの噴霧口４２を配設する。上記供給バイプ４１は，
加湿器４０に連結してある。供給バイブ４１の途中には
，水溜防止用のドレインを設けた。

次に，ラビング処理に際して，上記のごとく，可動テー
ブル２を左右に移動させる。これにより．これに載置し
たＴＰＴ基板１も左右移動する。

方．ローラ３は，第１図に矢印で示すごとく方向に回転
し，ＴＦＴ基板１上の配向膜をラビング処理している。

それ故，ラビング処理はローラ３の一方向回転とＴＦＴ
基１１の左右移動との相対移動により行われる．また．上記ラビング処理の間，水草気供給パイブ４１の
噴霧口４２からは，ローラ３と配向膜との接触周辺部に
，多量の水蒸気４が噴霧される．これにより．水蒸気雰
囲気が形成され．水蒸気雰囲気中でラビング処理が行わ
れる。本例では，該水蒸気雰囲気の湿度は７５〜８５％
とした。なお，上記ラビング処理は１回当たり約５秒，
水蒸気供給時間は可動テーブル移動中の約２０秒であっ
た．ラビング処理後は，ＴＰＴ基Ｆｉ１を可動テーブル
２より取り出し，液晶表示装置の組付けを行う。

なお，上記ラビング処理は，上記湿度保持のため．ロー
ラ３，供給パイブ４１の開口部付近を箱体で囲んでおく
ことが好ましい。

上記のごとく．本例によれば，ラビング処理付近は水蒸
気によって高湿度環境が形威され，静電気の帯電量が非
常に少なくなる。そのため，ラビング処理時にＴＰＴが
静電気破壊するおそれがない。

第２実施例上記第１実施例におけるラビング処理の際にラビング処
理付近の水草気湿度と静電気帯電量との関係を測定した
。

その結果を第１表に示す．第Ｉ表第１表より知られるごとく，湿度が高くなるに従って静
電気帯電量が低下していることが分かる．また．一般に
ＴＰＴは，静電気耐圧が０．１〜０．３ＫＶであるため
，ＴＰＴの耐圧に応じて湿度が７０％以上，より好まし
くは７５％以上においてラビング処理を行うべきである
ことが分かる．なお．上例は，ＴＰＴの液晶表示装置素
子について示したが，他の液晶表示装置素子のラビング
処理にも適用することができる。

また．本発明は，液晶表示装置の製造工程中における，
偏光板貼り付け工程にも応用することができる。この貼
付工程においては．偏光板とその保護シートとを剥離す
る際に．特に多くの静電気が発生する。

それ故．この貼付工程においても，水草気雰囲気を用い
ることにより．静電気の発生を低減し，ＴＰＴの静電気
破壊を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は第１実施例におけるラビング処理時の
状態を示し，第１図はラビング処理装置の側面図，第２
図は第１図の平面図．第３図はＴＰＴ基板の断面図であ
る。１．１　０．２．３．４．４０．ＴＰＴ基板ＴＰＴ，可動テーブル，ローラ，水蒸気加湿器，３第１図

Claims

【特許請求の範囲】薄膜トランジスタをマトリクス状に設けた基板の上に、
配向膜を載置し、該配向膜の表面をラビング処理するこ
とによりその配向を行う、液晶表示装置の製造方法にお
いて、上記ラビング処理は水蒸気雰囲気中で行うことを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。