JPH03203279A - ガスレーザ発振器 - Google Patents

ガスレーザ発振器

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JPH03203279A
JPH03203279A JP34435589A JP34435589A JPH03203279A JP H03203279 A JPH03203279 A JP H03203279A JP 34435589 A JP34435589 A JP 34435589A JP 34435589 A JP34435589 A JP 34435589A JP H03203279 A JPH03203279 A JP H03203279A
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JP
Japan
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tube
laser
window
laser oscillator
gas laser
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Pending
Application number
JP34435589A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiharu Hayashi
俊治 林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH03203279A publication Critical patent/JPH03203279A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、レーザプリンタ等の情報機器に使用されるガ
スレーザ発振器に係り、特に内部ミラー型のレーザ管内
に偏光子が内臓されたガスレーザ発振器に関する。
(従来の技術) レーザプリンタ等には構造の簡単な封じ切り形のガスレ
ーザ発振器が使用されることが多く、こうしたガスレー
ザ発振器は例えば第5図に示されるように構成されてい
る。図中に示されるレーザ管1は陽極2が収容された第
1収容部3と、この第1収容部3に連続する細管部4と
、この細管部4に接続され陰極5が収容された第2収容
部6と、この第2収容部6に接続された端部管7とを備
えている。
上記第1収容部3は円筒状に形成された管部と、この管
部に一体に形成された膨曲部とからなり、この膨曲部内
に陽極2が収容されている。この陽極2は円環状に形成
されており、レーザ管1の放電方向に同心状に位置して
、発振されるレーザ光の障害にならないようになってい
る。
また、上記細管部4は肉厚に形成されて内部に細管路が
形成されており、外周部には放熱用のフィン8が形成さ
れている。
そして、この細管部4に接続された第2収容部6は内部
容積が拡大されており、コイル状に形成された陰極5が
上記陽極2同様に発振されるレザ光に対して同心状に挿
入されている。そして、この第2収容部6の端部管7側
に位置する第2収容部6の端部は上記端部管7内に同心
状に延長され、発振するレーザ光の光軸に所定の角度傾
けた状態で偏光子としてのブリュースタウィンドウ9が
接合されている。
また、このブリュースタウィンドウ9が内臓された状態
にある上記端部管7の端部には高反射ミラー10が設け
られている。一方上記第1収容部3の端部には反射率を
所定の値に設定した出力ミラー11が上記高反射ミラー
10に対面した状態に設けられている。
そして、上記第1および第2の収容部3,6と、これら
を連通ずる細管部4とで形成された1ノーザ管コの内部
にはガス1ノ−ザ媒質が所定量封入されている。
上述のように構成されたレーザ管1は上記放熱用のフィ
ン8に対してファン12.13によって空気を下方から
上方へ循環させて、冷却するようになっており、空気の
対流を含めた熱伝達により効率良く放熱できるようにな
っている。そして、このように上下方向に沿って空気を
流した熱的平衡状態にあって高い発振効率を得るように
上記高反射ミラー10と出力ミラー11とを位置させて
いる。
上記ファン12.13は図示しない外部フレムによって
上記レーザ管1に固定されており、同一のレーザユニッ
トとして、上記レーザプリンタ等に組み込まれるもので
ある。どころか、こうした情報機器においては、情報の
書き込みおよび読取りの精度を左右する要素として、上
記ブリュスタウインドウ9の偏光方向が大きな影響を与
えるものであった。
そして、上記レーザプリンタ等の小型軽量化等の設(l
の変更に際しても、上記偏光方向が適性な方向に向けら
れていることが必要である。
こうした場合に上記ブリュースタウィンドウ9が固定さ
れていることから上記レーザ管1を例えば横転した状態
で発振器内に組み込む必要が出てくる場合がある。この
ような横転状態では、上記ファン12.13による空気
の流れ方向と、対流によって発生する流れ方向等が変化
して熱的な平衡状態にあっても、高反射ミラー10と出
力ミラー11との反射面が最適の状態に保たれず、効率
の高いレーザ発振ができなくなるものであった。
(発明が解決しようとする課題) ブリュースタウィンドウがレーザ管の1jq部に設けら
れたガスレーザ発振器は、上記ブリュースタウィンドウ
が固定状態で設けられており、偏光方向が固定されてい
た。さらに、レーザ管は放熱手段に対する対流等の影響
も考慮して高反射ミラおよび出力ミラーを設けているの
で、レーザ管を横転させると安定した1ノ一ザ発振が得
られなくなるという欠点があった。
本発明は上記課題に着目してなされたものであり、1ノ
ーザ管内に収容されたブリュースタウィンドウの偏光方
向を必要に応じて変えることができるガスレーザ発振器
に関する。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) レーザ管の非放電区域の少なくとも一部を周方向に沿っ
て非磁性部材で形成し、このレーザ管の両端に内部共振
形の光共振器を設け、上記非放電区域にレーザ光に偏光
を与えるための偏光子を設け、この偏光子を上記レーザ
光の光軸を中心として回転自在に支持する支持手段を設
け、電磁誘導もしくは永久磁石による磁力で上記支持手
段を駆動する駆動手段を設けたガスレーザ発振器。
(作 用) 上記駆動手段の磁力により、支持手段を駆動することで
、レーザ管内に設けられた偏光子を回動させ、ガス1ノ
ーザ発振器自体を回動しなくとも偏光子を回動して出力
されるレーザ光の偏光方向を変更できる。
(実施例) 本発明の第1実施例を第1図乃至第3図を参照して説明
する。図中に示されるガスレーザ発振器15は以下に説
明するレーザ管16を備えている。このレーザ管16は
一端に出力ミラー17が設けられた第1収容部18と、
この第1収容部18の他端に一端が接合された細管部1
9と、この細管部19の他端側に一端が接続され、他端
に高反射ミラー20が設けられた第2収容部21とを備
えている。
上記第1収容部18は上記出力ミラー17が設けられた
端部側が円筒状に形成されており、これに連続して形成
された他端側か膨曲されて陽極22が収容されている。
この陽極22は円環状に形成されており、第1収容部1
8に同心状に挿入されている。また、上記細管部19は
肉厚が大きく形成されており、レーザ光りが発振するた
めの小径の貫通孔が穿設され、外側部には放熱のための
フィン23が熱的に一体に設けられている。そして、上
記細管部19の他端に一端が接続された第2収容部21
は、この一端側が大きく膨曲されており、この膨11]
部の内側にはコイル状に形成された陰極24が挿入され
ている。さらに、この第2収容部21の他端側は直径を
上記第1収容部18の円筒状部分とほぼ同一の寸法で形
成され、かつ、延長されている。
上述のように形成された第2収容部21の上記陰極24
と高反射ミラー20との間には偏光子としてのブリュー
スタウィンドウ25が挿入されている。
ここで、上記レーザ管16は上記出力ミラー17と高反
射ミラー20との間にわたって密閉状態が保たれており
、内部には所定量のガス1ノーザ媒質が封入されている
以下、上記ブリュースタウィンドウ25が挿入され支持
されている構造について説明する。図中に示されるよう
に、第2収容部21は例えば金属からなっており、陰極
24と高反射ミラー20との間に位置する円筒状の中途
部はフランジ部26゜27を介して接続されるように2
分割されている。
そして、上記陰極24が収容される部分は膨曲管28で
あり、高反射ミラー20が取り付けられる円筒状部分は
保持管29である。この保持管29側に上記ブリュース
タウィンドウ25が挿着されている。上記保持管29は
上記フランジ部27が形成された金属管30と、この金
属管30に連続して形成されたガラス管31とからなっ
ている。上記フランジ部26.27は互いに密閉状態に
溶接されており、また、上記保持管2つの金属管30と
ガラス管31とは互いに密閉状態で接合されている。
ここで、上記保持管29は非放電区域Eに対応しており
、上記ガラス管31は周方向にわたって非磁性部材であ
るガラスから構成されている。
そして、上記保持管29内に挿入されたブリュースタウ
ィンドウ25は支持手段としてのウィンドウ挿着ロータ
32内に挿着された状態で押入されている。上記ウィン
ドウ挿着ロータ32の外周面と上記金属管30の内周面
との間に一対のベアリング33.34が挿入されている
。これらのうちの一方のベアリング34の外輪34aは
一方の側面が上記金属管30のガラス管31側の内側面
に凸状に形成された係合部35に係合されており、係合
されない他方の側面は内輪34b側の固定構造によって
スラスト方向のずれが阻止されるようになっている。ま
た、他方のベアリング33の外輪33aは上記フランジ
部27が形成された端部側から挿入された環状の第1ス
トツパ36によって、この第1ストツパ36の挿入方向
から係合して支持されている。このベアリング33の外
輪33aの係合されない側面は内輪33b側の固定構造
によってスラスト方向のずれが防止されるようになって
いる。ここで、上記第1ストツパ36は外周部に雄ねじ
が形成されており、上記金属管30のフランジ部27側
の内周面には雌ねじが形成されて、螺合させることで軸
心方向へ移動するようになっている。
そして、上記ベアリング33.34の内輪33b、34
bはそれぞれ上記ウィンドウ挿着ロータ32の外周部に
環装されている。上記ウィンドウ挿着ロータ32は上記
金属管30とガラス管31とにまたがる位置に挿入され
ており、上記フランジ部27側に向けられた端部は内周
側および0 外周側に係合部37,38が形成されている。そして、
このウィンドウ挿着ロータ32の外周側に突出された保
合部37には上記ベアリング33の内輪33bが係合さ
れている。そして、この内輪33bの係合部37の反対
側面には管状に形成された第2ストツパ3つの一端が当
接している。この第2ストツパ39は内周面に雌ねじが
形成され、上記ウィンドウ挿着ロータ32の外周面には
これと螺合する雄ねじが形成されている。これにより上
記内輪33bは上記係合部37と第2ストツパ39との
間に挟み込まれ固定されている。
さらに、この第2ストツパ39の他端にはベアリング3
4の内輪34bの一側が当接され、他側には第3ストツ
パ40の他端が当接されている。
この第3ストツパ40には上記第2ストツパ3つと同様
に雌ねじが形成されており、上記ウィンドウ挿着ロータ
32の外周に螺合するようになっている。
上述のようにベアリング33.34が設けられることで
、上記ウィンドウ挿着ロータ32は上記1 金属管30の内周面に対して回動自在に支持されている
また、このウィンドウ挿着ロータ32の上記ガラス管3
1側に延長された端部側にはモータ機構41の磁性体と
しての回転子42が環装状態に装着されている。この回
転子42は環状に形成されており、内周面が上記ウィン
ドウ装着ロータ32の外周面にほぼ同じ寸法で形成され
ており、一端が上記第3ストツパ40に当接し、他端は
上記ウィンドウ装着ロータ32の最端部に螺合された環
状の第4ストッパ43に当接して固定されている。
この第4ストツパ43も内側に雌ねじが形成されており
、上記ウィンドウ装着ロータ32の外周部に螺合されて
いる。そして、上記回転子42に対応する上記ガラス管
31の外周部には環状の積層鉄心44と、この積層鉄心
44の内周面にほぼ90°ごとに設けられた凸部に巻装
されたコイル45とから構成された固定子46が固定さ
れている。ここで、上記ガラス管3]は磁力を透過する
非磁性部祠であるガラスから形成されている。
 2 つまり、上記固定子46と上記回転子42とにより駆動
手段としてのモータ機構41を形成して、上記ウィンド
ウ装着ロータ32を保持管29に対して電磁誘導により
回転駆動できるように構成されている。
このように構成された上記ウィンドウ装着ロータ32の
内側には次のようにしてブリュースタウィンドウ25が
押入固定されている。
上記ウィンドウ装着ロータ32の上記回転子42が設け
られた端部から第1スペーサ47が挿入されている。こ
の第1スペーサ47は円筒状に形成されて上記ウィンド
ウ装着ロータ32内周面に沿う外径寸法で形成され、一
端は上記係合部38に当接している。そして、この第1
スペーサ47の他端は、回転の中心に対して傾斜され、
この傾斜角度はブリュースタウィンドウ25に対して上
記回転の中心方向からレーザ光が透過した場合に整合が
とれ直線偏光される角度になっている。
そして、この傾斜面に沿って縁部が接合する状態に上記
ブリュースタウィンドウ25を押入し、3 さらに、第2スペーサ48が挿入されている。この第2
スペーサ48は上記ブリュースタウィンドウ25に当接
する一端が上述と同様の傾斜角度で形成されており、他
端が軸心にほぼ垂直に形成されている。つまり、第1お
よび第2スペーサ47゜48によってブリュースタウィ
ンドウ25を挟み込んで保持している。そして、ウィン
ドウ装着ロータ32の内周面には図示しない雌ねじが形
成されており、この雌ねじに対して外周に雄ねじが形成
された環状の第5ストツパ49が螺合して、上記第2ス
ペーサ48を抑圧して固定するようになっている。
このようにしてウィンドウ装着ロータ32内にはブリュ
ースタウィンドウ25が固定されている。
上記モータ機構41に電力供給源50と、この電力供給
源50からの電力供給量および供給する電流の流れ方向
を制御する制御部51とを設けることで、上記ガスレー
ザ発振器15から出力されるレーザ光の偏光方向を変え
ることができる。ここで、上記コイル45と固定子46
と電力供給源 4 50および制御部51とにより駆動手段が構成されてい
る。つまり、上記ブリュースタウィンドウ25は誘導電
動機の原理を利用した回転磁界方式によって回動される
ようになっている。
このように出力されるレーザ光の偏光方向を自在に変え
ることができることにより、ガスレーザ発振器自体を回
動せずにレーザ光の偏光方向を変えることができる。こ
れにより、偏光方向を変えた場合でも安定したレーザ光
出力を得ることができる。
また、上記制御部51からの制御信号を受けて電力供給
源50が上記モータ機構41に電力を供給することで、
回転子42が回動されるので、連続的に偏光方向を変化
させることも可能であり、従来得られなかったレーザ出
力を得ることもでき、応用範囲の拡大が期待できる。
以下、本発明の第2実施例について第4図を参照して説
明する。第4図は第1実施例の第3図に対応する部分を
示すものであり、非放電区域に対応する保持管29の非
磁性部材であるガラスから5 なるガラス管31を挟んで外側と内側とに設けられた駆
動手段を示している。上記保持管29の内側には図示し
ないベアリングによって回転自在に支持された支持手段
としてのウィンドウ装着ロタ53が設けられている。こ
のウィンドウ装着ロータ53の内側には上記第1実施例
と同様の固定構造により偏光子としてのブリュースタウ
ィンドウ25が設けられている。
そして、上記ウィンドウ装着ロータ53の上記ガラス管
31に対面する周面の一部に径方向に向けて第1永久磁
石54が埋設されている。
さらに、上記ガラス管31の上記第1永久磁石54に対
応する部分の外側には周方向にわたって環装され、周方
向に回動自在な操作環55が設けられている。この操作
環55は図示しない案内に沿って周方向に回動できるよ
うになっている。そして、この操作環55には上記第1
永久磁石54に対応する部分に第2永久磁石56が径方
向に貫通して設けられている。ここで、上記第1永久磁
石54と第2永久磁石56は互いに吸引し合う状 6 態に設けられて駆動手段を構成している。
そして、上記操作環55を回動することでガラス管31
を通して上記ウィンドウ装着ロータ53を回動できる。
つまり密閉されたレーザ管57内に収容されているブリ
ュースタウィンドウ25を外側から回動でき、偏光方向
を自在に変更できる。
これにより、ガスレーザ発振器58自体を回動せずにレ
ーザ光の偏光方向のみを回動調節することができ、ガス
レーザ発振器58の姿勢変更による放熱状態の変動が発
生しないので安定したレーザ光出力を得ることができる
。ここで、図中のLはレーザ光である。
なお、上述のガスレーザ発振器58の上記操作環55を
レーザ管57に対して多少の摩擦力をもって設け、操作
環55を操作する場合には、摩擦力に反して操作するよ
うに構成することで例えば情報機器に設置する場合にガ
スレーザ発振器58の取り付は時に偏光方向を調節する
ことができ、要求される偏光方向の異なる情報機器に対
しても容易に対応できる。
7 なお、上記第1永久磁石54および第2永久磁石56は
一対をなして設けられているが、これらの磁石の数は何
等限定されず、それぞれが複数個設けられていても同様
の効果が得られる。また、上記第1永久磁石54もしく
は第2永久磁石56のいずれか一方が鉄等の磁性体で構
成されており、他方が磁石からなっている場合でも同等
の効果を得ることができる。
[発明の効果] レーザ管内に偏光子を有する支持手段を収容し、この支
持手段を磁力により、外側から回動自在にする駆動手段
を設けたことにより、ガスレーザ発振器自体はそのまま
の状態で偏光方向のみを変更できるので、特に要求され
る偏光方向の異なる多種の情報機器等に対応でき、他機
種にわたってガスレーザ発振器の共用が可能となり、部
品の単一化をはかることができる。また、ガスレーザ発
振器自体を回動する必要がないので、偏光方向を変える
場合にも放熱効果に変動が発生せず、熱に影響されやす
い光学系に悪影響を与えず、安定 8 したレーザ光の出力が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例におけるガスレザ発振器の
側断面図、第2図は本発明の第1実施例におけるガスレ
ーザ発振器の要部の側断面図、第3図は第1図中の■−
■線部分の断面図、第4図は本発明の第2実施例におけ
るガスレーザ発振器の第3図に対応する部分の断面図、
第5図は従来のガスレーザ発振器の側断面図である。 16・・・レーザ管、17・・・出力ミラー(共振器)
、20・・・高反射ミラー(共振器)、25・・・ブリ
ュースタウィンドウ(偏光子) 31・・・ガラス管(
非磁性部材)、32・・・ウィンドウ挿着ロータ(支持
手段) 42・・・回転子(駆動手段)、46・・・固
定子(駆動手段)、54・・・第1永久磁石(駆動手段
)、56・・・第2永久磁石(駆動手段)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 非放電区域の少なくとも一部が周方向に沿って非磁性部
    材で形成されたレーザ管と、このレーザ管の両端に設け
    られた内部共振形の光共振器と、上記非放電区域に設け
    られ上記レーザ管で発生したレーザ光に偏光を与えるた
    めの偏光子と、この偏光子を上記レーザ光の光軸を回転
    中心として回転自在に支持する支持手段と、この支持手
    段を電磁誘導もしくは永久磁石による磁力で駆動させる
    駆動手段とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振器
JP34435589A 1989-12-28 1989-12-28 ガスレーザ発振器 Pending JPH03203279A (ja)

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JP34435589A JPH03203279A (ja) 1989-12-28 1989-12-28 ガスレーザ発振器

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009540570A (ja) * 2006-06-05 2009-11-19 サイマー インコーポレイテッド 材料加工用の低発散、高出力レーザビームを生成するためのデバイス及び方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009540570A (ja) * 2006-06-05 2009-11-19 サイマー インコーポレイテッド 材料加工用の低発散、高出力レーザビームを生成するためのデバイス及び方法
US8803027B2 (en) 2006-06-05 2014-08-12 Cymer, Llc Device and method to create a low divergence, high power laser beam for material processing applications

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