JP7421140B2 - 回転往復駆動アクチュエータ - Google Patents
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Description
これらを踏まえ、近年、スキャナに用いられる回転往復駆動アクチュエータとして、可動体であるミラーの大型化等を想定して、剛性を備え、耐衝撃性、耐振動性を有するとともに、組み立て性の向上が図られ、高振幅化を実現可能な回転往復駆動アクチュエータが望まれている。
軸部と、前記軸部に固定され、リング形状を有し、軸方向に直交する方向に延在する磁極切り替わり部により区分される前記リング形状の第1半部及び第2半部が相異なる極に着磁された可動マグネットと、を有する可動体と、
前記可動マグネットとの電磁相互作用により前記軸部を中心に前記可動体を往復回転させる一対のコイルと、前記一対のコイルが巻回された一対の芯部と、前記一対の芯部の夫々の一端部に設けられ、前記可動マグネットを軸方向に直交するX方向で挟むよう配置された一対の磁極と、前記軸方向に直交するY方向で前記可動マグネットの片側でコアに配置され、前記可動マグネットとの間に磁気吸引力を発生して、前記磁極切り替わり部が前記X方向に対し平行となる前記往復回転の動作基準位置を規定する回転角度位置保持部と、を有する固定体と、
を有し、
前記一対の磁極の夫々は、前記動作基準位置にある前記可動マグネットの前記磁極切り替わり部に対向する対向位置から、前記回転角度位置保持部が配置された側及び前記回転角度位置保持部が配置されていない側の両方へ、前記可動マグネットの外周面に沿って円弧状に形成され、
前記一対の磁極と、前記一対のコイルが巻回された前記一対の芯部と、前記回転角度位置保持部が配置された前記コアと、を含む磁性部材の組立体は、前記軸方向に直交する面において前記可動体を囲む矩形形状を呈し、前記コアは、前記矩形形状の一辺に沿って前記X方向に延在し、前記一対の芯部は、前記矩形形状において前記一辺とは異なる一対の対向辺に沿って前記Y方向に延在し、
前記一対のコイルの巻回軸は、前記Y方向に沿って延在する、構成を採る。
以下、本実施形態の回転往復駆動アクチュエータ1を構成する各部については、回転往復駆動アクチュエータ1が駆動しておらず、非動作状態である通常状態時を基準として説明する。また、本実施形態の回転往復駆動アクチュエータ1の構造を説明するにあたり、直交座標系(X,Y,Z)を使用する。後述する図においても共通の直交座標系(X,Y,Z)で示している。なお、軸方向はZ方向とともに-Z方向も含む。
可動体10は、軸部13、軸部13に固定された可動マグネット30の他、後述する回転角度位置検出部70のエンコーダディスク72を有し、軸部13には、ミラーホルダ15を介してミラー16が固定されている。ミラー16は、入射される光であるレーザー光を反射して出射し走査する。なお、本実施の形態の可動体10ではミラー16が取り付けられ、ミラーを可動対象物として、軸部13周りに往復回転振動可能としているが、可動対象物は、ミラー16でなくてもよいことは勿論である。
本実施の形態では、可動マグネット30は、軸部13を挟み互いに反対側に向く異なる極性の着磁面をそれぞれ有する偶数の磁極31,32を有する。磁極31、32は、本実施の形態では、軸部13の軸方向に沿う平面を境界として異なる極性である。
また、これら偶数の磁極31、32は、可動マグネット30において、軸部13の外周で、等間隔に着磁されて構成されている。
このように可動マグネット30では、軸部13の外周に、S極及びN極をなす偶数の磁極31、32が交互に配置され、且つ、それぞれの磁極31、32は等間隔に配置されている。
可動マグネット30の磁極数は、コアの磁極数と等しい。
固定体20は、軸部13を軸支して可動体10を可動自在に支持する。
固定体20は、ベース22、軸受け23a、23b、マグネット位置保持部24、コア固定プレート27、コイル43を有するコアユニット40、を有する。
本実施形態では、コアユニット40の架設コア41cにマグネット位置保持部24が設けられている。
マグネット位置保持部24は、架設コア41cから可動マグネット30に向かって突出する凸状に形成され、その先端面を対向面としている。
図8及び図9は、本発明の実施の形態1に係る回転往復駆動アクチュエータの磁気回路による回転往復駆動アクチュエータの動作を示す図であり、図9は、図8においてコイルへの通電方向を逆方向にした場合の回転往復駆動アクチュエータの動作を示している。
本実施の形態では、図8に示す方向でコイル43(43a、43b)が通電されると、コイル43(43a、43b)は、第1コア41a、第2コア41bを励磁して、磁極412aはN極に磁化され、磁極412bはS極に磁化される。
図10は、本発明の実施の形態2に係る回転往復駆動アクチュエータ1Aの外観斜視図であり、図11は、本発明の実施の形態2に係る回転往復駆動アクチュエータ1Aの分解斜視図である。
他端面部224Aの軸方向外側には、回転角度位置検出部70Aが配置されている。
図12は、本発明の実施の形態3に係る回転往復駆動アクチュエータ1Bの外観斜視図であり、図13は、本発明の実施の形態3に係る回転往復駆動アクチュエータ1Bの要部構成を示す縦断面図である。
コアユニット40を有する固定体20Bでは、ベース22Bに形成された貫通部に、軸受け232、234が隣接して嵌め込まれ、この軸受け232、234に挿通されている。
図14は、本発明の実施の形態4に係る回転往復駆動アクチュエータの外観斜視図である。
別駆動部を有するミラー16Cは、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラーであり、例えば、垂直駆動信号供給部207(図16参照)により供給される駆動信号に基づいて、ミラー16Cの反射ミラー部162を軸部13と直交する1軸を中心として高速に回転可能に構成される。これにより、ミラー16Cの反射ミラー部162は、コアユニット40と可動マグネット30との駆動により軸部13を軸に往復回転駆動されるとともに、別駆動部により軸方向と直交する方向でも往復回転駆動される。
回転往復駆動アクチュエータ1Cは、トルクの発生効率高く、可動対象であるミラー16Cに熱が伝達しにくく、反射面である反射ミラー部162の平面度の精度を確保できる。また、製造性が高く、組立精度がよく、ミラー16Cが大型ミラーであっても高振幅で駆動できる。
図15は、回転往復駆動アクチュエータを有するスキャナシステム200Aの第1例の要部構成を示すブロック図であり、図16は、回転往復駆動アクチュエータを有するスキャナシステム200Bの第2例の要部構成を示すブロック図である。
10、10A、10B 可動体
13、13A、13B 軸部
13a 一端部
13b 他端部
15、15A、15B ミラーホルダ
16、16B、16C ミラー
162 反射ミラー部
16a 反射面
20、20B 固定体
22、22A、22B ベース
222、222A 一端面部
222a、224a 切欠穴
224、224A 他端面部
226、226A 本体面部
23a、23b、232、234 軸受け
24 マグネット位置保持部
27、27A コア固定プレート
28、28A、29、29A 止着材
30 可動マグネット
31、32 磁極
34 磁極切り替わり部
40 コアユニット
41 コア
41a 第1コア
41b 第2コア
41c 架設コア
411a、411b 芯部
412a、412b 磁極
43、43a、43b コイル
44 ボビン
60 減衰器
62 ケース
63 マグネット
64 回転体
641 円盤部
642 凹部
644 外筒部
65 上蓋部
652 内筒部
66 下蓋部
70、70A 回転角度位置検出部
702 水平走査角度位置検出部
72 エンコーダディスク
72A 磁気センサ用マグネット
73A ホルダ
74 光学センサ
74A 磁気センサ
75A 固定部材
76、76A センサ用基板
77 駆動信号供給部
78 電気フィルタ
200A、200B スキャナシステム
201 レーザー発光部
202 レーザー制御部
203、203A アクチュエータ
204 駆動信号供給部
204A 水平駆動信号供給部
205、208 位置制御信号計算部
206 垂直走査角度位置検出部
207 垂直駆動信号供給部
Claims (3)
- 軸部と、前記軸部に固定され、リング形状を有し、軸方向に直交する方向に延在する磁極切り替わり部により区分される前記リング形状の第1半部及び第2半部が相異なる極に着磁された可動マグネットと、を有する可動体と、
前記可動マグネットとの電磁相互作用により前記軸部を中心に前記可動体を往復回転させる一対のコイルと、前記一対のコイルが巻回された一対の芯部と、前記一対の芯部の夫々の一端部に設けられ、前記可動マグネットを軸方向に直交するX方向で挟むよう配置された一対の磁極と、前記軸方向に直交するY方向で前記可動マグネットの片側でコアに配置され、前記可動マグネットとの間に磁気吸引力を発生して、前記磁極切り替わり部が前記X方向に対し平行となる前記往復回転の動作基準位置を規定する回転角度位置保持部と、を有する固定体と、
を有し、
前記一対の磁極の夫々は、前記動作基準位置にある前記可動マグネットの前記磁極切り替わり部に対向する対向位置から、前記回転角度位置保持部が配置された側及び前記回転角度位置保持部が配置されていない側の両方へ、前記可動マグネットの外周面に沿って円弧状に形成され、
前記一対の磁極と、前記一対のコイルが巻回された前記一対の芯部と、前記回転角度位置保持部が配置された前記コアと、を含む磁性部材の組立体は、前記軸方向に直交する面において前記可動体を囲む矩形形状を呈し、前記コアは、前記矩形形状の一辺に沿って前記X方向に延在し、前記一対の芯部は、前記矩形形状において前記一辺とは異なる一対の対向辺に沿って前記Y方向に延在し、
前記一対のコイルの巻回軸は、前記Y方向に沿って延在する、
回転往復駆動アクチュエータ。 - 前記回転角度位置保持部は、前記可動マグネットの外周面の形状に対応した湾曲面を有し、前記湾曲面を前記可動マグネットの外周面に沿わせて配置された、
請求項1に記載の回転往復駆動アクチュエータ。 - 前記固定体は、前記一対のコイルが夫々巻回される一対のボビンを有し、
前記一対のボビンは、前記X方向の両側から前記可動マグネット及び前記回転角度位置保持部を間に挟むよう前記Y方向に延在して配置された、
請求項1に記載の回転往復駆動アクチュエータ。
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