JPH03202750A - 積分球装置 - Google Patents

積分球装置

Info

Publication number
JPH03202750A
JPH03202750A JP34197989A JP34197989A JPH03202750A JP H03202750 A JPH03202750 A JP H03202750A JP 34197989 A JP34197989 A JP 34197989A JP 34197989 A JP34197989 A JP 34197989A JP H03202750 A JPH03202750 A JP H03202750A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrating sphere
sample chamber
luminous flux
image
diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP34197989A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0675007B2 (ja
Inventor
Osamu Ando
修 安藤
Hironori Yamauchi
弘規 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP34197989A priority Critical patent/JPH0675007B2/ja
Publication of JPH03202750A publication Critical patent/JPH03202750A/ja
Publication of JPH0675007B2 publication Critical patent/JPH0675007B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、分光光度計の一般的な付属装置である積分球
装置にかかり、特にその光学系に関する。
[従来の技術] 一般的なダブルビーム分光光度計を第3図に示し、その
試料室に取り付けられる従来の積分球装置を第4図に示
す。
分光器で分光された光束は、ダブルビーム分割部で試料
側(以下S側という)及び参照側(以下R側という)の
2本の光束に分けられて夫々試料室1内へと導入される
。試料室1内では、ミラー旧〜M3によって両光束が反
射集光され積分球2内に入射される。試料は各光束の入
射または出口窓部3.4に取り付けられ、夫々透過率ま
たは反射率が測定される。
ところで、一般に分光光度計では試料室1内のほぼ中心
に分光器出口スリットの横方向の像が結像され、その像
は縦長である。ミラーM1〜M3は積分球2の入射また
は出口窓部3.5または4.6に適当な断面形状の光束
を形成すると共に、夫々の窓部に試料を設置する十分な
スペースを確保するため、第4図のように光学設計され
ている。第4図において、ミラーM2は光路変更のため
の平面鏡で、ミラー旧、M3は積分球2の出口窓部4.
6に分光器のグレーティングの横または縦方向の縮小像
を結像するように曲率を決定した球面または非球面の凹
面鏡である。
[発明が解決しようとする課題1 積分球装置による反射率測定においては、試料に入射す
る光束の寸法(断面形状)は測定の目的、すなわち大面
積測定、小面積測定、微小試料測定に応じて容易に調整
できることが望ましいが、従来の積分球装置の光学系で
は、積分球出口窓部の横、縦方向の共役点が試料室内に
存在せず、出口窓部における光束寸法を試料室内の絞り
によって調整することが困難であった。
したがって、光束寸法の調整にはレンズを使う必要があ
ったが、レンズには色収差のため波長によって光束寸法
が変化し、また表面反射の問題があって、これらが測定
誤差の原因となっていた。
本発明は、光束絞りによって容易に光束寸法を調整する
ことができる積分球装置を提供することを目的としてい
る。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本発明の積分球装置におい
ては、光束を反射集光し積分球内へ入射させる凹面鏡の
曲率を、試料室のほぼ中心に結像される分光器出口スリ
ットの横方向の像を積分球出口窓近傍に結像させること
ができるように決定すると共に、凹面鏡による積分球出
口窓の縦方向の共役位置に光束絞りを設けたものである
[作 用] 上記のように構成された積分球装置では、凹面鏡による
積分球出口窓の縦方向の共役点を試料室内に存在させ、
その共役位置に設けた光束絞りは光束の縦方向の寸法を
調整する。
なお、光束の横方向の寸法は分光器の出口スリット幅に
より調整される。
[実施例] 実施例について図面を参照して説明すると、第1図にお
いて、基本的なミラーM1〜M3、積分球2の配置は第
4図の従来例と同様であるが、ミラーM1. M3はそ
の曲率が、試料室1のほぼ中心に結像された分光器出口
スリットの横方向の像を積分球出口窓4.6に再結像す
るように決定された凹面鏡(球面鏡)である。
S側には光路変更のために平面鏡ミラーM2が設けられ
ているが、結像関係についてはR側と同一であるので、
以下R側の光学系について説明する。
試料室1の中心に分光器出口スリットの横方向の像が結
像しているとすると、分光器の出口スリットは一般に縦
長であるから、試料室1の中心にできる像もまた縦長で
、像の幅は出口スリット幅が可変である場合にはスリッ
ト幅に比例して変化する。
R側のミラーM1の曲率は、試料室1の中心、すなわち
出口スリットの横方向の像が出口窓4にできるよう次式
によって計算される。
1/a+1/c=l/fm、 fm=cosθからR=
2/cos  θ x ac/a+c   ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・ (1)ここに、a
は試料室中心とミラーM1のミラー面頂点との距離、C
は同頂点と積分球出口窓との距離、fmは横方向焦点距
離、θはミラーM1の軸外し角、RはミラーM1の曲率
半径である。
このとき、倍率はC/ aとなる。
一方、R側縦方向の光束絞り7は積分球出口窓4のミラ
ーM1による縦方向の共役点に位置する。
光束絞り7のミラーM1からの距離すは1/b+1/c
=1/fs、 fs=R/2X j、/cos θから
b=cfs/c−fs となる。
ここに、fsはミラーM2の縦方向の焦点距離である。
このとき、光束絞り7の結像倍率はc / bである。
光束絞り7によって光束の縦方向を僅かに制限するか、
または全く制限しないことにより積分球出口窓4におい
て得られる光束断面は第2図aに示すとおりである。通
常の反射率測定はこの光束寸法で可能である。さらに、
積分球出口窓4において幅方向のみ絞りたいときは(第
2図b)、分光器の出口スリット幅を狭めることにより
実現でき、また縦方向の寸法のみ絞りたいときは(第2
図C)、光束絞り7で光束の縦方向を制限することによ
り実現でき、さらにまた縦および横方向ともに絞りたい
ときは(第2[ff1d) 、出口スリット幅、光束絞
り7の両者を調整することにより実現でき、測定目的に
応じた光束形状を最小の光量ロスと鮮明な像によって達
成することができる。特に、第2図dのような光束によ
れば、従来困難であった微小試料または試料の微小領域
の反射率測定が可能となる。
なお、ミラーM1として試料室の中心の縦、横双方の共
役点を積分球出口窓に一致させるようにトロイダル鏡を
使用することも可能である。ただし、この場合の結像倍
率は縦、横ともC/ aになり、前記縦方向倍率c /
 bよりも大きくなるため、縦長の出口スリット像がさ
らに縦長に拡大され、積分球出口窓における光束形状は
第2図eのようになるので、これに伴い窓自体も大きく
なって、積分球の開孔率を悪化させ、試料形状をも制約
されることになる。
[発明の効果] 本発明は、以上説明したように構成されているので、積
分球出口窓部における光束の断面形状を測定目的に応じ
て試料室内に設けた光束絞りによって容易に調整するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の積分球装置の光学系を示す図、第2図
は同装置の出口窓部における光束断面形状を示す図、第
3図は一般的なダブルビーム分光光度計の概略構造を示
す図、第4図は従来の積分球装置の光学系を示す図であ
る。 1・・・試料室、2・・・積分球、3.5・・・積分球
入射窓部、4.6・・・積分球出口窓部、7・・・光束
絞りM1〜M3・・・ミラー

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、分光光度計の試料室に取り付けられる積分球装置で
    あって、試料室のほぼ中心に結像される分光器出口スリ
    ットの横方向の像を積分球出口窓近傍に結像させる凹面
    鏡を有し、この凹面鏡による積分球出口窓の縦方向の共
    役位置に光束絞りを設けたことを特徴とする積分球装置
JP34197989A 1989-12-29 1989-12-29 積分球装置 Expired - Fee Related JPH0675007B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34197989A JPH0675007B2 (ja) 1989-12-29 1989-12-29 積分球装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34197989A JPH0675007B2 (ja) 1989-12-29 1989-12-29 積分球装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03202750A true JPH03202750A (ja) 1991-09-04
JPH0675007B2 JPH0675007B2 (ja) 1994-09-21

Family

ID=18350245

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34197989A Expired - Fee Related JPH0675007B2 (ja) 1989-12-29 1989-12-29 積分球装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0675007B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260677A (ja) * 1993-12-09 1995-10-13 Hughes Aircraft Co レーザ遠隔センサ用の積分検出器
JP2014146671A (ja) * 2013-01-29 2014-08-14 Arufakusu Kk レーザ光のプロファイル測定方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260677A (ja) * 1993-12-09 1995-10-13 Hughes Aircraft Co レーザ遠隔センサ用の積分検出器
JP2014146671A (ja) * 2013-01-29 2014-08-14 Arufakusu Kk レーザ光のプロファイル測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0675007B2 (ja) 1994-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2791038B2 (ja) 分光器及びそれを用いた投影露光装置並びに投影露光方法
US5801831A (en) Fabry-Perot spectrometer for detecting a spatially varying spectral signature of an extended source
JP4464561B2 (ja) 軸外球面鏡と屈折素子を用いる分光計測システム
JPH0412408B2 (ja)
EP0862050A2 (en) Modified concentric spectrograph
US5009493A (en) Mirror arrangement for a beam path in a multiple-reflection measuring cell
JPH03183904A (ja) 物体の形状の検知
EP0322654B1 (en) Spectrometer using concave holographic diffraction grating
JP4399126B2 (ja) 分光エリプソメータ
JPH0776745B2 (ja) 顕微分光測定装置
US6597451B1 (en) Spectrometry measuring apparatus
JP3095167B2 (ja) マルチチャネルフーリエ変換分光装置
JPH03202750A (ja) 積分球装置
US7248364B2 (en) Apparatus and method for optical characterization of a sample over a broadband of wavelengths with a small spot size
US5182609A (en) Spectrometer
JP2004503811A (ja) 凹面ミラーを備える画像形成システム
JPS6212269Y2 (ja)
JPH1031154A (ja) 物体の反射率の測定用光学システム
JP3245189B2 (ja) 非点収差補正型分光装置
JP2005504318A (ja) 測定装置
US20050134848A1 (en) Apparatus and method for optical characterization of a sample over a broadband of wavelengths while minimizing polarization changes
JP2841554B2 (ja) 分光器
JPH10232119A (ja) 光学フィルタ装置
JPH0518893A (ja) 屈折率測定装置
SU830277A1 (ru) Зеркальный объектив

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070921

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090921

Year of fee payment: 15

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees