JPH03196103A - 少なくとも1つの導波路カプラーを備えた装置 - Google Patents

少なくとも1つの導波路カプラーを備えた装置

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JPH03196103A JP2323359A JP32335990A JPH03196103A JP H03196103 A JPH03196103 A JP H03196103A JP 2323359 A JP2323359 A JP 2323359A JP 32335990 A JP32335990 A JP 32335990A JP H03196103 A JPH03196103 A JP H03196103A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は少なくとも1つのの導波路カプラーを備えた装
置にして、その入力に供給される光線束が干渉させられ
そしてその出力に相互に位相のずらされた電気信号を発
生するための検出器が設けられている前記装置に関する
この種の導波路カプラーは少なくとも2つの入力と少な
くとも2つの出力を有しかつそれによって2×2−カプ
ラー、2×3−カプラー、2×4カプラー、3×3カプ
ラー等と称される。
(従来の技術) しかし2つの入力と2つの出力とを備えたそのような2
×2カプラー(西独国特許公開後方第3609507号
)は、測定方向の弁別のための相互に180’には等し
くない角度だけ位相のずれた、例えば90″位相のずれ
た2つの電気信号が得られるべき場合には、2つの対象
物の相対位置の測定のための光電的位置測定装置では使
用できない、そのわけは2×2カプラーの再出力には第
2の検出器によって原理的に1800の相互の位相のず
れた2の電気信号のみしか発生されることができないか
らである。
従って測定方向の弁別のために光電位置測定装置では、
その出力が相互に1000位相のずれた3つの電気的信
号が得られることができる、西独国特許明細書3625
327号による2×2カプラー又はその4つの出力が相
互に90°位相のずれた90’位相のずれた4つの電気
的信号が得られる2×4カプラーが使用される。しかし
2つ以上の出力を備えたこれらの導波路カプラーは2つ
の決定的な欠点を有する。第1の欠点はカップラー特性
の変更(例えば製造量変動による)の際変調度及び出力
信号の間の位相関係が影響されることそして第2の欠点
は導波路カプラーの再入力での両信号の振幅の相対的変
化、変調度の変化及び出力信号の間の位相関係の変化を
作用する。
(発明の課題) 本発明は冒頭に記載した種類の少なくとも1つの導波路
カプラーを備えた装置において簡単な手段で出力に18
0”でない相互の位相のずれを備えた少なくとも2つの
電気的信号を発生させることを課題とする。
(課題の解決のための手段) 本発明の課題は導波路カプラー°の出力に180に等し
くない角度相互に位相がずれた少なくとも2つの電気信
号の発生のために減衰要素が設けられていることによっ
て解決される。
(発明の効果) 本発明によって得られた利点は特に、少なくとも1つの
の減衰要素又は少なくとも1つの位相をずらせる要素の
存在によって少なくとも1つの2×2カプラーにおいて
簡単な方法でその再出力に180@ではない位相のずれ
た2つの電気的信号が検出器によって発生されることが
でき、その結果この2×2カプラーは測定方向の弁別が
必要である位置測定装置に使用されることができる。
本発明の有利な構成は他の請求項から得られる。
(実施例) 第1図に2つの入力E、いElmと2つの出力A。
m % Alm とを有する組み込まれた2×2光学的
カプラーに、の形の導波路カプラーを備えた第1の装置
が記載されている。第1の入力E1mには第1の連結格
子Gl+aを介して第1の光線束B1mの形の第1の光
線束がそして第2の入力Elkには第2の連結格子Gl
bを介して第2の光線束B1mの形の第2の第2の光線
束が供給される。両回掛売B+−、B+、は例えば西独
間特許明細書3625327号に記載された2つの対象
物の相対位置の測定のための図示しない位置測定装置に
供給される。連結は光学繊維によっても可能である。カ
プラーはIOC例えばマツハツエンダ干渉計の構成部分
であり得る。
カプラーに1の連結範囲2aに入力Ela 、 F、l
b、に供給される光学的信号が干渉させられる。この吸
収しないカプラーの再出力A、a 、 A、bに原理的
に雨検出器ova 、Dlkにより相互に180 ”位
相のずれた2つの電気信号S1m 、Slbが発生され
る。
両電気信号S、、、S14の間に180@に等しくない
位相のずれ、好ましくは測定方向の弁別のための90°
の相互に位相ずれの発生のために、本発明によれば連結
範囲×1に減衰要素Tが設けられている、この減衰要素
は両電気信号S1m 、Slkの間の180 °に等し
くない所望の反対方向の位相のずれを損失誘導によって
作用する減衰要素Tが設けられている。この減衰要素T
は例えば腐食された表面、吸収する層、光電要素又は放
出格子の形の放出する要素から成ることができる。
この減衰原理は2つ以上の出力を備えた導波路カプラー
にも適用されることができる。
第2図には2つの入力Eza 、 E、bと2つの出力
Ata% Azbとを有する組み込まれた形の2×2の
光学的カプラーに2を備えた第2の装置が記載されてい
る。第1の入力Etには第1bの連結格子G1を介して
第1の光線束B、の形の第1の光線束が2つの対角線の
偏光状態、即ちTEモードと7Mモードで供給され、そ
して第2の入力Etbには第2の入力り、を介して第2
0の回折光13zbの形の第2の光線束が同様に2つの
対角線の偏光状態、即ちTI!モードと7Mモードで供
給される。
第1の入力E、aとカプラーに2の連結範囲×2との間
には位相を変える要素Pが設けられており、位相を変え
る要素はTEモードと7Mモードの位相を相互に位相角
度φ(特に90°)ずらせる。連結範囲X2には入力E
xa % Etbに供給される光学的信号がその両部光
状態において干渉させられる。カプラーに!の第1の出
力へ2には第1の偏光を感じる検出器D0によってTE
モードから成る第1の電気信号SZaがそして第3の偏
光を感じる検出器Decによって7Mモードから成る第
3の電気信号hCが発生される。第1の電気信号SZa
と第3の電気信号S20との間相互に位相ずれφが存在
する。同様なことが第2の出力A、aに第2の偏光を感
じる検出器ozbによってTEモードから成る第2の電
気信号がそして第4の偏光に感じる検出器D□によって
7Mモードから成る第4の電気信号が発生する。第2の
電気信号S。と第4の電気信号St4との間に同様に相
互に位相ずれφが生じる。第1の電気信号szmと第2
の電気信号S!bとの間及び第3の電気信号と第4の電
気信号との間にそれによって相互に位相のずれφ・90
″が生じる。φ=90 ”の位相ずれでは4つの電気信
号S!、〜S□がそして位相位’lsz、 = O、S
tc・90 ” 、Szb =180°及びSt、・2
70 °を有し、その結果測定方向の弁別が可能にされ
る。
これらの第2の装置はカプラーに2の連結特性の偏光又
は入力信号の振幅変化が変調度のみを変えるが、再出力
^、a 、 A、bにおける4つの電気信号S、〜S、
の間の相互の位相位置を変えない。
第3図はそれぞれ2つの入力E、a % ElいEtc
、E14並びにそれぞれ2つの出力Q1.、Alb、八
C% 1114を有する2つの2×2のカプラーKo1
Klbの形の相互に直列に接続された2つの導嵐路カプ
ラーを備えた第3の装置を示す。第1のカプラーに3m
の第1の入力E3mには第1の連結格子G。
、を介して第1の回折光B。の形の第1の光線束がそし
て第2の出力Bibには第2の連結格子G。
を介して第2の回折光83bの形の第2の光線束が供給
される。
第1のカプラーKpmの連結範囲X3mには入力Ea 
、E:lbに供給される光学的信号が干渉させられる。
第1のカプラーに3mの再出力^+a 、Albには光
の一部分が放出されかつ第1の電気信号53aのは発生
のための第1の検出n o !−にそして第2の電気信
号53bの発生のための第1の検出器03bに供給され
、これらの電気的信号相互には180  °の相互に位
相のずれがある。この部分的な放出のために両検出器り
。% D:lbは直接第1のカプラーK。
、の出力A3s 、1llbで光導波路に供給される。
しかしこの部分的連結は図示しない放出格子によっても
行われることができる。
第2のカプラーに3bZの第1の入力E3cとその連結
範囲X。との間に位相をずらす要素Uが設けられており
、この要素は第2のカプラーに31の両入力E3e %
 E14に入力される両残りの光学的信号の間に相互に
位相のずれを作用する。両残りの光学的信号は連結範囲
xhにおいて改めて干渉させられ、その結果第2のカプ
ラーに3にの第1の出力^。
、に第3の検出器1113cによって第3の電気信号S
。がそして第2の出力A3dには相互に180 ”位相
のずれた第4の電気信号S、が発生される。位相をずら
す要素Uは第1の電気信号S’mと第3の電気信号5f
fcとの間及び第2の電気信号’8bと第4の電気信号
S3dとの間に相互に位相のずれφを作用する。位相の
ずれφ=900では4つの信号S。
〜SSdは位相位置S3−  J  、53c・90 
 、Szb・180°、’84 = 270 ”であり
、その結果測定方向の弁別が可能にされる。位相のずれ
φは第2のカプラーに1.の両入力E3c % E3d
における両扉波路カプラーの相異なる長さ又は相異なる
幾何学的な形によってつくられることができる。
第4図は同一の符号を備えた第3図による第3の装置の
変形である。再回折光B3m 、B2’>の第1のカプ
ラーに1.の再出力^2b 、A31&への部分的連結
は、画筆1の検出器D3a、D3bと接続している他の
カプラーに2c % K3dによって行われる。
位相のずれた他の電気信号の発生のために他のカプラー
が直列に接続されることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は2つの検出器と1つの減衰要素とを備えた2×
2カプラーを備えた第1の装置、第2図は4つの検出器
と1つの位相をずらす要素とを備えた2×2カプラーを
備えた第2の装置、第3図は4つの検出器と1つの位相
をずらす要素とを備えた直列に配設されている2つの2
×2カプラーを備えた第3の装置、そして第4図は第3
図による第3の装置の変形を示す図である。 図中符号 八1m % A14  ・・・・出力 Az@ s、 A tb・・・・出力 Bzm 、Btb  ・・・・光線束 Dta 、Dtc ; Dtb −、Ova検出器o:
Ia s D3b  ・・・・・検出器Eta 、Ez
b  ・・・・入力 に1・・・・・・・・導波路カプラ ーffa、K3b・・・・導波路カプラー5lit、S
o ・・・・電気信号 S gイSzc :5tbs Sta電気信号S3@ 
、5311  ・・・・電気信号T・・・・・・・・減
衰要素

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、少なくとも1つのの導波路カプラーを備えた装置に
    して、その入力に供給される光線束が干渉させられそし
    てその出力に相互に位相のずらされた電気信号を発生す
    るための検出器が設けられている前記装置において、導
    波路カプラー(K_1)の出力(A_1_a、A_1_
    b)に180゜に等しくない角度相互に位相がずれた少
    なくとも2つの電気信号(S_1_a、S_1_b)の
    発生のために光の強度を減少させる少なくとも1つの減
    衰要素(T)が設けられていることを特徴とする前記装
    置。 2、少なくとも1つの導波路カプラーを備えた装置にし
    て、その入力に供給される光線束が干渉させられそして
    その出力に相互に位相のずらされた電気信号を発生する
    ための検出器が設けられている前記装置において、 180゜に等しくない角度相互に位相がずれた少なくと
    も2つの電気信号(S_2_a、S_2_c;S_2_
    b、S_2_d)の発生のために入力(E_2_a、B
    _2_b)に供給される光線束(B_2_a、B_2_
    b)が2つの対角線に極性化されたTE−/TM−モー
    ドで供給され、少なくとも1つの入力(E_2_a)に
    光線束(B_2_a、B_2_b)のTE−/TM−モ
    ードの位相を相異なる位相にずらせる要素(P)が設け
    られており、そして出力(A_2_a、A_2_b)に
    各モードのためのそれぞれ1つの検出器(D_2_a、
    D_2_c;D_2_b、D_2_d)設けられている
    ことを特徴とする前記装置。 3、少なくとも1つの導波路カプラーを備えた装置にし
    て、その入力に供給される光線束が干渉させられそして
    その出力に相互に位相のず らされた電気信号を発生するための検出器が設けられて
    いる前記装置において、 180゜に等しくない角度相互に位相がずれた少なくと
    も2つの電気信号(S_2_a、S_2_c、S_2_
    b、S_2_d)の発生のために少なくとも2つの直列
    に相互に接続された導波路カプラー(K_3_aK_3
    _b)が設けられており、第1の導波路カプラー(K_
    3_a)の出力(A_3_a、A_3_b)に第1の電
    気信号(S_3_a、S_3_b)の発生のための第1
    の検出器(D_3_aD_3_b)が設けられており、
    第2の導波路カプラー(K_3_b)の少なくとも1つ
    の入力(E_3_c)に位相をずらす要素(U)が設け
    られておりそして第2の導波路カプラー(K_3_b)
    の出力(A_3_c、A_3_d)に電気信号(S_3
    _c、S_3_d)の発生のための第2の検出器(D_
    3_c、D_3_d)が配設されていることを特徴とす
    る前記装置。 4、少なくとも1つの導波路カプラー(K)が2つの入
    力(E_a、E_b)と2つの出力(A_a、A_b;
    A_c、A_d)とを備えた2×2カプラーから成る、
    請求項1から3までのうちのいずれか一記載の装置。 5、減衰要素(T)が導波路カプラー(K_1)の連結
    範囲(X_1)に配設される請求項1記載の装置。 6、減衰要素(T)が吸収層、光電要素又は放出要素か
    ら成る、請求項1記載の装置。 7、導波路カプラー(K)の入力(E_a、E_b)に
    光線束(B_a、B_b)のための連結格子(G_a、
    G_b)が設けられている、請求項1から3までのうち
    のいずれか一記載の装置。 8、第1導波路カプラー(K_3_a)の出力(A_3
    _a、A_3_b)に第1の検出器(D_3_a、D_
    3_b)と結合しているたの導波路カプラー(K_3_
    c、K_3_d)が配設されている、請求項3記載の装
    置。 9、光電位置測定装置に請求項1記載の装置を使用する
    方法。
JP2323359A 1989-12-23 1990-11-28 少なくとも1つの導波路カプラーを備えた装置 Expired - Lifetime JPH0781830B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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EP89123896.6 1989-12-23
EP89123896A EP0434854B1 (de) 1989-12-23 1989-12-23 Einrichtung mit wenigstens einem Wellenleiterkoppler

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JPH03196103A true JPH03196103A (ja) 1991-08-27
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DE (2) DE58905184D1 (ja)

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