JPS63210602A - 光電位置測定装置 - Google Patents
光電位置測定装置Info
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- JPS63210602A JPS63210602A JP63034126A JP3412688A JPS63210602A JP S63210602 A JPS63210602 A JP S63210602A JP 63034126 A JP63034126 A JP 63034126A JP 3412688 A JP3412688 A JP 3412688A JP S63210602 A JPS63210602 A JP S63210602A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
- H01M50/50—Current conducting connections for cells or batteries
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- H01M50/574—Devices or arrangements for the interruption of current
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、光を出射する光源と、前記光源の光線方向
に対して直交して移動する少なくとも二つの回折光線を
発生させる回折格子を有し、前記回折光線は二つの結合
要素によって二つの光導体に連結し、結合器の二つの入
力端に導入され、結合器中で干渉し、検出器によって互
いに位相のずれた電気信号に変換される二つの対象物の
相対位置を測定する光電位置測定装置に関する。
に対して直交して移動する少なくとも二つの回折光線を
発生させる回折格子を有し、前記回折光線は二つの結合
要素によって二つの光導体に連結し、結合器の二つの入
力端に導入され、結合器中で干渉し、検出器によって互
いに位相のずれた電気信号に変換される二つの対象物の
相対位置を測定する光電位置測定装置に関する。
従来の技術
西独特許第３３１６１４４号公報及び特開昭５９−１６
４９１４号公報には、この種の装置が開示しである。こ
れ等の装置には、回折格子が基準体になっている。回折
格子は、非常に狭い格子線で作製されていて、例えばガ
ラス基板又は金属基板上に機械加工、光学リソグラフィ
ー又は電子リソグラフィーで微細に形成しである。この
種の装置には、更に単色化した光、例えばレーザー光を
出射する光源と、回折格子中で光源に対向する側に干渉
光を検出する検出器を装備している。光源から出射した
光は、回折格子によって回折されて通り抜ける。回折格
子が光学系の他の部分に対して、例えば光源及び反射鏡
に対して相対運動すると、干渉光は回折格子が一周期移
動するとき、二つの周期はど変わる。
４９１４号公報には、この種の装置が開示しである。こ
れ等の装置には、回折格子が基準体になっている。回折
格子は、非常に狭い格子線で作製されていて、例えばガ
ラス基板又は金属基板上に機械加工、光学リソグラフィ
ー又は電子リソグラフィーで微細に形成しである。この
種の装置には、更に単色化した光、例えばレーザー光を
出射する光源と、回折格子中で光源に対向する側に干渉
光を検出する検出器を装備している。光源から出射した
光は、回折格子によって回折されて通り抜ける。回折格
子が光学系の他の部分に対して、例えば光源及び反射鏡
に対して相対運動すると、干渉光は回折格子が一周期移
動するとき、二つの周期はど変わる。
別な構成では、光源から出射した光線が回折格子によっ
て回折する。そして、異なる符号で同じ次数の光線が重
なり、相互に干渉する。この間、光が検出器に入射する
前に、例えば半透明な鏡が設置しである。ここで、また
回折格子と光学系の一部が、上記の様に相対運動すると
仮定すると、回折格子が一つの周期で運動する場合、干
渉光は二つの周期で変化する。
て回折する。そして、異なる符号で同じ次数の光線が重
なり、相互に干渉する。この間、光が検出器に入射する
前に、例えば半透明な鏡が設置しである。ここで、また
回折格子と光学系の一部が、上記の様に相対運動すると
仮定すると、回折格子が一つの周期で運動する場合、干
渉光は二つの周期で変化する。
発明が解決しようとする問題点
前記の光学装置を狭い部屋に設置するには、問題がある
。この光学系は非常に規模が大きいので、かなり場所を
確保する必要がある。
。この光学系は非常に規模が大きいので、かなり場所を
確保する必要がある。
西独特許第３６２５３２７号公報から、構造が簡単で、
擾乱が周囲の影響によって大幅に排除されているため、
信頼性のある動作をする位置測定装置は公知である。
擾乱が周囲の影響によって大幅に排除されているため、
信頼性のある動作をする位置測定装置は公知である。
この出願に対して親となる主特許の内容の利点は、コン
パクトな構造、集積性があり、しかも周囲の影響に対し
て安全であることにある。
パクトな構造、集積性があり、しかも周囲の影響に対し
て安全であることにある。
この発明の課題は、前記の種類に属する位置測定装置の
場合、測定方向に直交する向きに対して構造寸法を小さ
くなるように、構造部材を構成することにある。
場合、測定方向に直交する向きに対して構造寸法を小さ
くなるように、構造部材を構成することにある。
問題点を解決する手段
上記の課題は、この発明により両結合要素が格子定数の
異なる結合格子を有することによって解決されている。
異なる結合格子を有することによって解決されている。
発明の効果
この発明による位置測定装置は、特に小さい構造になる
ことで優れている。
ことで優れている。
実施例と作用
この発明を以下に実施例の助けで図面に基づき更に詳し
く説明する。ここで、表現上第１図でも、第２〜４図で
も、肉眼で差異が見えるようにするため、幾何学的な指
定は正規な寸法ではなく、誇張して描いである。集積光
学の分野の専門家は、この発明を知る場合、寸法及び位
置の指定を実際のものに難なく変換できる。この基礎の
下に、光線の進行及び回折像も光学的に正確ではなくて
、ただ象徴的にのみ示しである。
く説明する。ここで、表現上第１図でも、第２〜４図で
も、肉眼で差異が見えるようにするため、幾何学的な指
定は正規な寸法ではなく、誇張して描いである。集積光
学の分野の専門家は、この発明を知る場合、寸法及び位
置の指定を実際のものに難なく変換できる。この基礎の
下に、光線の進行及び回折像も光学的に正確ではなくて
、ただ象徴的にのみ示しである。
第１図に示す位置測定装置には、回折格子Ｇ１が設置さ
れている。この格子の位置を基板Ｓ１に対して測定する
ことになる。
れている。この格子の位置を基板Ｓ１に対して測定する
ことになる。
半導体Ｌ１の光線は、回折格子Ｇ１の所で回折し、同じ
次数の光部分波十ｍ１と−ｍ１になる。
次数の光部分波十ｍ１と−ｍ１になる。
光部分波十ｍ１と−ｍ１は、基板Ｓ１上に入射する。こ
の基板ＳＩ上に三つの結合要素＋Ｈ１と−Ｈｌ、二つの
光導体＋ＬＷＬ １と−ＬＷＬ １、一個の結合体ＴＢ
ＪＩ及び三個の検出器＋Ｄ１゜ＤＩ、−ＤＩがある。こ
の実施例では、上記の要素は集積光学回路の形にして基
板Ｓ１の上に集積しである。
の基板ＳＩ上に三つの結合要素＋Ｈ１と−Ｈｌ、二つの
光導体＋ＬＷＬ １と−ＬＷＬ １、一個の結合体ＴＢ
ＪＩ及び三個の検出器＋Ｄ１゜ＤＩ、−ＤＩがある。こ
の実施例では、上記の要素は集積光学回路の形にして基
板Ｓ１の上に集積しである。
結合要素＋Ｈ１と−Ｈ１は、この出願の親特許に述べた
所謂断熱ホルンとして形成しである。両結合要素＋Ｈ１
と−Ｈ１は、回折格子Ｇ１の長手方向に向いていて、測
定方向に延びる対称線に垂直に、しかも測定方向に向は
基板Ｓｌ上で位置をずらして配設しである。結合要素＋
Ｈ１と−Ｈ１には、結合格子＋ＨＧＩと−ＨＧＩがある
。この格子線条は、回折格子Ｇ１の格子線と同じ方向に
向いている。しかし、両者の差異は結合格子＋ＨＧ１と
−ＨＧＩとの格子定数が互いに相遅することにある。結
合格子＋ＨＧＩと−Ｈ，Ｇ１の格子定数を変えることは
、回折した光部分波十ｍｌと−ｍ１の結合条件が異なる
ために必要である。
所謂断熱ホルンとして形成しである。両結合要素＋Ｈ１
と−Ｈ１は、回折格子Ｇ１の長手方向に向いていて、測
定方向に延びる対称線に垂直に、しかも測定方向に向は
基板Ｓｌ上で位置をずらして配設しである。結合要素＋
Ｈ１と−Ｈ１には、結合格子＋ＨＧＩと−ＨＧＩがある
。この格子線条は、回折格子Ｇ１の格子線と同じ方向に
向いている。しかし、両者の差異は結合格子＋ＨＧ１と
−ＨＧＩとの格子定数が互いに相遅することにある。結
合格子＋ＨＧＩと−Ｈ，Ｇ１の格子定数を変えることは
、回折した光部分波十ｍｌと−ｍ１の結合条件が異なる
ために必要である。
上記の処置によって、この発明による位置測定装置は測
定方向に垂直な向きに、主特許の実施例よりかなり小さ
い寸法を有することになる。
定方向に垂直な向きに、主特許の実施例よりかなり小さ
い寸法を有することになる。
同じ利点は、第２図の装置の場合にも生じる。
構成部品は、第１図と同じであるから、それ等をただ図
面の引用数字に対応する添字によってのみ補正すること
にする。半導体レーザ源Ｌ２は、光部分波十ｍ２と−ｍ
２を発生させる回折格子Ｇ２を照らす。これ等の光部分
波は、基板Ｓ２上の両結合要素＋Ｈ２と−Ｈ２に当たる
。結合要素＋Ｈ２は、第二結合要素−Ｈ２の基本要素で
ある結合格子−Ｈ２の格子定数とは異なる格子定数の結
合格子＋ＨＧ２を有する。この実施例の特異性は、結合
格子＋ＨＧ２を有する結合要素＋Ｈ２は、結合格子−Ｈ
Ｏ２を有する結合要素−Ｈ２とは異なる面一ここでは、
深い面一にある点である。結合格子＋ＨＧ２と−ＨＧ２
及びそれ等に属する光導体＋ＬＷＬ２と−ＬＷＬ２は、
両者が互いに影響しないように構成される。結合体ＴＢ
Ｊ２には、光部分波十ｍ２と−ｍ２が公知の方法で干渉
に付され、結合体ＴＢＪ２の出口を経由して検出器＋Ｄ
２．Ｄ２及び−Ｄ２に導入される。
面の引用数字に対応する添字によってのみ補正すること
にする。半導体レーザ源Ｌ２は、光部分波十ｍ２と−ｍ
２を発生させる回折格子Ｇ２を照らす。これ等の光部分
波は、基板Ｓ２上の両結合要素＋Ｈ２と−Ｈ２に当たる
。結合要素＋Ｈ２は、第二結合要素−Ｈ２の基本要素で
ある結合格子−Ｈ２の格子定数とは異なる格子定数の結
合格子＋ＨＧ２を有する。この実施例の特異性は、結合
格子＋ＨＧ２を有する結合要素＋Ｈ２は、結合格子−Ｈ
Ｏ２を有する結合要素−Ｈ２とは異なる面一ここでは、
深い面一にある点である。結合格子＋ＨＧ２と−ＨＧ２
及びそれ等に属する光導体＋ＬＷＬ２と−ＬＷＬ２は、
両者が互いに影響しないように構成される。結合体ＴＢ
Ｊ２には、光部分波十ｍ２と−ｍ２が公知の方法で干渉
に付され、結合体ＴＢＪ２の出口を経由して検出器＋Ｄ
２．Ｄ２及び−Ｄ２に導入される。
第３図に示す実施例では、二つの結合要素＋Ｈ３と−Ｈ
３はそれぞれ結合格子＋ＨＧ３と−ＨＧ３を有する。こ
れ等の格子は、再び異なった格子定数を有する。結合要
素＋Ｈ３と−Ｈ３は、回折格子Ｇ３に平行な平面にあり
、前後して互いに避けあっている。結合要素−Ｈ３から
結合体ＴＢＪ３に導く光導体−ＬＷＬ３は、他の結合要
素＋Ｈ３の傍を通り、結合体ＴＢＪ３で結合要素＋Ｈ３
から結合体ＴＢＪ３に導く光導体＋ＬＷＬ３に合致する
。これ等の結合体ＴＢＪ３の出力端は、検出器＋Ｄ３．
Ｄ３及び−Ｄ３に入り、結合体ＴＢｊ３は、三個の出力
端で互いに位相のずれた信号が生じるように構成されて
いる。それ等の信号は、互いに１２０°位相がずれてい
るか、あるいは二つの出力端で正弦関数及び余弦関数を
表す信号が現れて、第三の出力端には基準信号が現れる
。それ等の出力端の信号は、同様に光導体によって検出
器に導入され、そこから電気信号に変換され、次いで電
子評価回路に導入される。
３はそれぞれ結合格子＋ＨＧ３と−ＨＧ３を有する。こ
れ等の格子は、再び異なった格子定数を有する。結合要
素＋Ｈ３と−Ｈ３は、回折格子Ｇ３に平行な平面にあり
、前後して互いに避けあっている。結合要素−Ｈ３から
結合体ＴＢＪ３に導く光導体−ＬＷＬ３は、他の結合要
素＋Ｈ３の傍を通り、結合体ＴＢＪ３で結合要素＋Ｈ３
から結合体ＴＢＪ３に導く光導体＋ＬＷＬ３に合致する
。これ等の結合体ＴＢＪ３の出力端は、検出器＋Ｄ３．
Ｄ３及び−Ｄ３に入り、結合体ＴＢｊ３は、三個の出力
端で互いに位相のずれた信号が生じるように構成されて
いる。それ等の信号は、互いに１２０°位相がずれてい
るか、あるいは二つの出力端で正弦関数及び余弦関数を
表す信号が現れて、第三の出力端には基準信号が現れる
。それ等の出力端の信号は、同様に光導体によって検出
器に導入され、そこから電気信号に変換され、次いで電
子評価回路に導入される。
第４図に示す配置には、二つの結合要素＋Ｈ４と−Ｈ４
が基板Ｓ４上にある。両要素は回折格子Ｇ４と同じ方向
に延びているが、測定方向に延びる回折格子Ｇ４の対称
線に直交した向きにずれている。
が基板Ｓ４上にある。両要素は回折格子Ｇ４と同じ方向
に延びているが、測定方向に延びる回折格子Ｇ４の対称
線に直交した向きにずれている。
しかしながら、第１図の実施例とは対照的に、両結合要
素＋Ｈ４，−Ｈ４は測定方向に向けて互いにずれてはい
ない。
素＋Ｈ４，−Ｈ４は測定方向に向けて互いにずれてはい
ない。
引用記号Ｌ４を用いて、図示しいないレーザ源から出射
した光線が示しである。この光線Ｌ４は、両光部分波十
ｍ４と−ｍ４が光線Ｌ４によって照明される走査視野の
光学距離が回折格子Ｇ４の所を通過する必要のあること
を表すために誇張して大きく引き伸ばして示しである。
した光線が示しである。この光線Ｌ４は、両光部分波十
ｍ４と−ｍ４が光線Ｌ４によって照明される走査視野の
光学距離が回折格子Ｇ４の所を通過する必要のあること
を表すために誇張して大きく引き伸ばして示しである。
一点鎖線で示した回折光部分波十ｍ４の光線通路が示し
ているのと同じように、鎖線だけで示した光部分波−ｍ
４の光線通路のように、反対向きに回折する。
ているのと同じように、鎖線だけで示した光部分波−ｍ
４の光線通路のように、反対向きに回折する。
この図面から、結合格子＋ＨＧ４と−ＨＧ４を有する結
合要素＋Ｈ４と−Ｈ４は、測定方向に向けて相互にずれ
ていないが、光線Ｌ４から出た両回折光部分波十ｍ４と
−ｍ４は測定方向に向けて、一点鎖線又は点線の図面か
ら分かるように、互いにずれている。
合要素＋Ｈ４と−Ｈ４は、測定方向に向けて相互にずれ
ていないが、光線Ｌ４から出た両回折光部分波十ｍ４と
−ｍ４は測定方向に向けて、一点鎖線又は点線の図面か
ら分かるように、互いにずれている。
結合要素＋Ｈ４と−Ｈ４は、Ｚ軸で表わしたいわば対称
線で対称にっているが、結合格子＋）ＩＯ２と−ＨＧ４
の格子定数に関連していない（これ等は実施例に示す様
に異なっている）。
線で対称にっているが、結合格子＋）ＩＯ２と−ＨＧ４
の格子定数に関連していない（これ等は実施例に示す様
に異なっている）。
第４図には、幾何学関係をより良く設定するため、座標
系ｘ、ｙ、ｚが指定しである。この座標の設定は、そこ
での座標軸が特別に設定されていなくても、第１〜３図
に対しても当てはまる。この実施例では、基板Ｓ４のＸ
軸の回りの捻じれは全く影響なく、Ｚ軸の回りの捻じれ
は測定結果にただ最小の影響を与える。その理由は、再
結合要素＋Ｈ４と−Ｈ４のずれがＺ軸に直交する向きで
非常に少なく一約１００μｍ−に維持でき、Ｚ軸方向に
は全くずれがない。
系ｘ、ｙ、ｚが指定しである。この座標の設定は、そこ
での座標軸が特別に設定されていなくても、第１〜３図
に対しても当てはまる。この実施例では、基板Ｓ４のＸ
軸の回りの捻じれは全く影響なく、Ｚ軸の回りの捻じれ
は測定結果にただ最小の影響を与える。その理由は、再
結合要素＋Ｈ４と−Ｈ４のずれがＺ軸に直交する向きで
非常に少なく一約１００μｍ−に維持でき、Ｚ軸方向に
は全くずれがない。
更に、基板の温度変動及び振動の影響は極度に少ない。
第４図の実施形状は、更に回折格子Ｇ４の基板Ｓ４に対
して平行整列する場合、回折した光部分波十ｍ４と−ｍ
４実用上結合体ＴＢＪ４への距離を有するので、コヒー
レント長の短い光源を使用できる利点を有する。
して平行整列する場合、回折した光部分波十ｍ４と−ｍ
４実用上結合体ＴＢＪ４への距離を有するので、コヒー
レント長の短い光源を使用できる利点を有する。
前記の種類に属する位置測定装置では、回折格子の滑動
運動はこの方法で測定する機械の運動に対し一般にデジ
タル表示される位置測定値に変換される。
運動はこの方法で測定する機械の運動に対し一般にデジ
タル表示される位置測定値に変換される。
第１図は、平行で測定方向に位置をずらして配設した結
合要素を有する位置測定装置。 第２図は、異なった平面内にある結合要素を有する位置
測定装置。 第３図は、入れ違いに配設した結合要素と曲線状に延び
る光導体を有する位置測定装置。 第４図は、平行にずれた再結合要素を有する位置測定装
置。 図中引用記号： Ｇｌ、Ｇ２．Ｇ３．Ｇ４・・・回折格子、３１、Ｓ２，
３３．Ｓ４・・・基板、 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４・・・レーザ源、＋ＤＩ、 Ｄ
ｉ、 −ＤＩ、 −１−Ｄ２． Ｄ２．−Ｄ２゜＋Ｄ３
．Ｄ３．−Ｄ３．＋Ｄ４．Ｄ４．−Ｄ４・・・検出器、 ＋Ｈ１，’−Ｈ１，＋Ｈ２，−１（２，＋Ｈ３，−Ｈ３
、＋Ｈ４，−Ｈ４・・・結合要素、 ＋ＨＧ１．−ＨＧｌ、＋Ｔ（Ｇ２．−ＨＯ２，＋ＨＧ３
．−ＨＯ２，＋ＨＧ４．−ＨＯ２・・・結合格子、 ＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬ１．＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬｌ、＋
ＬＷＬ１．−ＬＷＬＩ、＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬｌ・・・
光導体。
合要素を有する位置測定装置。 第２図は、異なった平面内にある結合要素を有する位置
測定装置。 第３図は、入れ違いに配設した結合要素と曲線状に延び
る光導体を有する位置測定装置。 第４図は、平行にずれた再結合要素を有する位置測定装
置。 図中引用記号： Ｇｌ、Ｇ２．Ｇ３．Ｇ４・・・回折格子、３１、Ｓ２，
３３．Ｓ４・・・基板、 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４・・・レーザ源、＋ＤＩ、 Ｄ
ｉ、 −ＤＩ、 −１−Ｄ２． Ｄ２．−Ｄ２゜＋Ｄ３
．Ｄ３．−Ｄ３．＋Ｄ４．Ｄ４．−Ｄ４・・・検出器、 ＋Ｈ１，’−Ｈ１，＋Ｈ２，−１（２，＋Ｈ３，−Ｈ３
、＋Ｈ４，−Ｈ４・・・結合要素、 ＋ＨＧ１．−ＨＧｌ、＋Ｔ（Ｇ２．−ＨＯ２，＋ＨＧ３
．−ＨＯ２，＋ＨＧ４．−ＨＯ２・・・結合格子、 ＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬ１．＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬｌ、＋
ＬＷＬ１．−ＬＷＬＩ、＋ＬＷＬ１．−ＬＷＬｌ・・・
光導体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）光を放つ光源と、前記光源の出射方向に対して直交
して移動する少なくとも二つの回折光部分波を発生させ
る少なくとも一個の回折格子とを有し、前記回折光部分
波は、二つの結合要素によって二つの光導体に連結し、
一個の結合体の二つの入力端に導入され、この結合体中
で干渉し、検出器によって位相のずれた電気信号に変換
される主特許（特開昭６２−１８３７９７号）に従う二
つ対象物の相対位置を測定する光電位置測定装置におい
て、結合要素（＋Ｈ１，・・・−Ｈ４）は格子定数の異
なる結合格子（＋ＨＧ１，・・・−ＨＧ４）を有するこ
とを特徴とする光電位置測定装置。 ２）両結合格子（＋ＨＧ１，−ＨＧ１；＋ＨＧ４，−Ｈ
Ｇ４）は、回折格子（Ｇ１；Ｇ４）と同じ方向に延びて
いるが、測定方向に延びる回折格子（Ｇ１；Ｇ４）の対
称線に直交する向きにずれていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光電位置測定装置。３）結合格
子（＋ＨＧ１，−ＨＧ１）をそれぞれ有する二つの結合
要素（＋Ｈ１，−Ｈ１）は、更に測定方向に互いにずれ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２
項記載の光電位置測定装置。 ４）両結合格子（＋ＨＧ１，−ＨＧ１；＋ＨＧ４，−Ｈ
Ｇ４）は、回折格子（Ｇ１；Ｇ４）に平行な平面に配設
してあることを特徴とする特許請求の範囲第１〜３項の
いずれか１項に記載の光電位置測定装置。 ５）両結合格子（＋ＨＧ２，・・・−ＨＧ３）は、測定
方向に入れ違いに延びていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光電位置測定装置。 ６）両結合格子（＋ＨＧ２，−ＨＧ２）は、回折格子（
Ｇ２）に平行で異なる平面に延びていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は第５項記載の光電位置測定
装置。 ７）両結合格子（＋ＨＧ３，−ＨＧ３）は回折格子（Ｇ
３）に平行な平面にあり、一方の結合格子（−ＨＧ３）
の光導体（−ＬＷＬ３）は他方の結合格子（＋ＨＧ３）
の横を通り過ぎることを特徴とする特許請求の範囲第１
項又は第５項記載の光電位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
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