JPH03195971A - 速度測定装置 - Google Patents

速度測定装置

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JPH03195971A
JPH03195971A JP33588189A JP33588189A JPH03195971A JP H03195971 A JPH03195971 A JP H03195971A JP 33588189 A JP33588189 A JP 33588189A JP 33588189 A JP33588189 A JP 33588189A JP H03195971 A JPH03195971 A JP H03195971A
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JP
Japan
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line sensor
measured
marker
light
sensor
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Application number
JP33588189A
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English (en)
Inventor
Satoru Kusaka
哲 日下
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は移動物体の速度や速度偏差等の測定に用いる速
度測定装置に関する。
〔発明の概要〕
本発明は移動物体の速度や速度偏差等の測定に用いる速
度測定装置に関し、複数のセンサ受光部が長手方向に配
されたラインセンサと、ラインセンサと対向して配設さ
れた正立等倍光学像が得られるレンズアレイと、被測定
物に光を照射する光源と、ラインセンサ及びレンズアレ
イ並に光源を配設した測定筐体とを有し、測定筐体をマ
ーカーが付加され移動する被測定物に対向配設し、光源
から光の照射されたマーカーの移動データをレンズアレ
イを介してラインセンサで検出する様にし、微小範囲で
多点速度測定の出来る様にしたものである。
〔従来の技術〕
従来、移動物体の速度測定装置としては、第7図に示す
様な速度検出方法が知られている。同図で、(1)は矢
印A−A’方向に移動するテープの如き被測定物、(2
a) 、 (2b) 、 (2c)はフォトインクラブ
タであり、コ字状に形成された上下部材間に発光ダイオ
ードの如き発光素子(3a) 、 (3b) 、 (3
c)・・・・及びフォトダイオードの如き受光素子(4
a) 、 (4b) 。
(4c)・・・・が取り付けられている。これらフォト
インクラブタ(2a) (2b) (2c)・・・・は
移動する被測定物(1)の移動する長手方向に沿って所
定の間隔!12・・・・を設けて並べられる。被測定物
(1)にはスリットが穿たれている。フォ)・インクラ
ブタ(2a)(2b) (2c)・・・・が反射型のも
のであれば被測定物(1)上には白線等のマーカー(5
)が付される。本例ではスリットを含めてマーカーとし
て説明する。
上述の構成に於いて、被測定物(1)を矢印A−A’方
向に移動させたときに発光素子(2a) (2b) (
2c)・・・・からの光がマーカー(5)を通過して受
光素子(4a)(4b) (4c)・・・・に受光され
て、これら受光素子(4a)(4b) (4c)・・・
・で出力されるパルスは第8図A、  B。
Cのパルス波形(5a) 、 (5b) 、 (5c)
 ” ”となる。尚、第8図で横軸は時間tを表す。
上述の構成で、第1及び第2のフォトインクラブタ(2
a)及び(2b)間の距N l r並に第2及び第3の
フォトトイタラブタ(2b)及び(2c)間の距離2□
での速度はV、=4!+/l+、Vt=12/lzで求
めることが出来る。同様に第1及び第3のフォトインク
ラブタ(2a) 〜(2c)間の距N1.+12での平
均の被測定物(1)の速度はV−/2++L/ll+t
2で求めることが出来る。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述の従来構成によれば移動する被測定物(1)の速度
を計測することが出来るが、フォトインクラブタ(2a
) (2b) (2c) ・・・・等を例えば、1ml
11毎に近接して配置することが出来ないために、所定
距離11.1工・・・・の間隔を保つ必要があり、短い
範囲での速度或は速度偏差が測定出来ないだけでなく、
短距離間での多点測定が不可能であった。更に、複数の
フォトインクラブタ(2a) 、 (2b) 、 (2
c)・・・・を独立に、移動する被測定物(1)に対向
配設するためにフォトインクラブタ(2a) 、 (2
b) 、 (2c)・・・・間の距離の精度が出し難く
、この為に正確な速度の測定が出来にくくなる問題があ
った。
本発明は畝上の問題点を解決するために成されたもので
、その目的とするところは、被測定物の微小範囲の多点
速度測定が極めて容易に行える速度測定装置を得ようと
するものである。
物(1)上に速度測定装置(1)の測定筐体(7)を対
向配設するだけで極めて微小範囲の多点速度測定が出来
るものが得られる。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の速度測定装置はその例が第1図A、  Bに示
されている様に、複数のセンサ受光部(9)が長手方向
に配設されたラインセンサ(8)と、このラインセンサ
(8)と対向して配設された王立等倍光学像が得られる
レンズアレイ(10)と、被測定物(1)に光を照射す
る光源(II)と、ラインセンサ(8)及びレンズアレ
イ(10)並に光源(11)を配設した測定筐体(7)
とを有し、この測定筐体(7)をマーカー(5)が付加
され移動する被測定物(1)に対向配設し、光源(10
)から光の照射されたマーカー(5)の移動データをレ
ンズアレイ(10)を介してラインセンサ(8)で検出
する様にしたものである。
〔作用〕
本発明の速度測定装置によれば移動する被測定〔実施例
〕 以下、本発明の速度測定装置の一実施例を第1図乃至第
6図について詳記する。
第1図Aは本例の速度測定装置の正面図、第1図Bは第
1図AのD−D’断面矢視図であり、同図に於いて、被
測定物(1)の例えば、テープはイバ給リール(12)
と巻取リール(13)間に巻回され、矢印B−Bに示す
方向に回転される。テープには所定位置にマーカー(5
)が設けられる。被測定物(1)の供給及び巻取リール
(12)及び(13)は基台(15)上に配設されてい
る。
速度測定装置(6)は被測定物(1)の移動方向A−A
’に沿う様に形成された上面板(7a)及び上面板(7
a)と直交する様に折り曲げられた左右側板(7L) 
、 (7R)と背面板(7b)から成る測定筐体(7)
を有し、この測定筐体(7)はアルミニウム等で構成さ
れ、上面板(7a)の下面にはCCD等のラインセンサ
(8)が配設されている。このラインセンサ(8)は第
3図に示す様にそのセンサ受光部(フォトセンサ部)(
9)は複数のセンサ受光部(9)がラインセンサ(8)
の長手方向に独立して配設されている。更にレンズアレ
イ(lO)が測定筐体(7)の背面板(7b)に配設さ
れている。
このレンズアレイはロンドレンズアレイ光学系やセルフ
ォックレンズ(商標)等の正立等倍光学系で第2図に示
す様に自己集束型のファイバガラス(10a)を多数並
べて長方形状にコーティングして1本のレンズを構成し
たものであり、被測定物(1)の表面(la)のマーカ
ー(5)の像はレンズアレイ(10)を通してラインセ
ンサ(9)のセンサ受光部(9)の表面(9d)に等倍
の正立像として照射され、通常のレンズの等価F値(口
径比)は1.0と極めて明るいレンズであるので反射光
をセンサ受光部(9)に効率よく通ずことが出来る。
(11)は例えば蛍光灯の様なライン状の光源を有する
ライトで測定筐体(7)の背面板(7b)に取り付けら
れ、被測定物(1)のマーカー(5)上を照射する様に
成されている。(14)は測定筐体(7)の左右側板(
7L)。
(7R)に設けられた高さ調整装置で被測定物(1)の
表面(la)とレンズアレイ(10)の下端面(10a
)間の距離り。が一定になる様に調整し、被測定物(1
)に照射したライト(11)の反射マーカーパターンを
正立等倍像としてセンサ受光部(9)の受光面(9a)
に受光させる為のものである。
速度測定装W(6)は上述の様に構成されているので、
第1図A、Bに示す様に基台(15)上に載置された被
測定物(1)の移動方向(A−A’力方向に沿う様にラ
インセンサ(8)及びレンズアレイ(lO)が配設され
る様に測定筐体(7)を基台(15)上に1置し、高さ
調整装置(14) (14)の螺子等を微調して距離り
を調整し、ライl−(11)から光を照射し、被測定物
(1)上で反射されるマーカー(5)のパターンを等倍
の正立像としてラインセンサ(8)のセンサ受光部(9
)の表面(9a)に照射させる様にする。
第4図は、この様な速度測定装置(6)の系統図を示す
もので(16)は各種コントロールクロック発生回路で
、被測定物(1)のスタート用クロック信号、CCDの
ラインセンサ(8)を駆動する転送りロック信号或はラ
インセンサ(8)をリセットさせるリセットパルス信号
並に外付メモリ駆動用のクロック信号等を発生する。こ
れらのクロック及びパルス信号は被測定物スタート回路
(17)、ラインセンサ駆動回路(18)並にメモリ(
19)に供給される。(19)はパーソナルコンピュー
タ(以下CPUと記す)(20)が有するRAM、或は
ROM等のメモリとは別の比較的容量の大きい外付のメ
モリである。
被測定物スタート回路(17)ではスタート用クロック
信号を被測定物(+)の供給及び巻取リール(12)及
び(13)のモータに供給し被測定物(1)のテープを
巻取リール(13)側に巻き取ってテープをA−A’力
方向移動させる。更に、ラインセンサ駆動回路(18)
はラインセンサ(8)に第5図A、Bに示す様に、リセ
ットパルス信号(23)や転送りロック信号(24)を
送出して、第3図に示す複数のセンサ受光部(9)の素
子が並ぶライン方向に転送りロック信号(24)で走査
する。このラインセンサ(8)の始めのセンサ受光部(
9)から終りのセンサ受光部(9)迄の電荷蓄積時間τ
は、第5図Bの様に基準のリセットパルス信号(23)
によって定められる。今、ライト(11)を点灯し、被
測定物(1)のマーカー(5)に光を照射しラインセン
サ(8)のリセットパルス信号(23)に同期して被測
定物(3)をスタートさせた場合そのマーカー(5)は
供給リール(12)側から巻取リール(13)側にAA
′方向に移動する。このマーカー(5)の移動データを
基準パルス(リセットパルス信号(23))からの位置
データ(即ち、ラインセンサ(8)のセンサ受光部(9
)の素子を単位とした移動個数)としてカウントする。
この時のラインセンサ(8)からは第5図Cに示す様な
ラインセンサ出力信号(25)が得られる。このライン
センサ出力信号(25)の波形区間lのうちSはライン
センサの電荷蓄積時間開始時のマーカー(5)の位置で
あり、INは電荷蓄積時間内に移動した距m<第3図で
センサ受光部(9)の素子数×ピッチP)であり、Eは
電荷蓄積時間終了時のマーカー(5)の位置を表すこと
になる。
ここで例えばラインセンサ(8)のセンサ受光部(9)
の素子数が100個で素子間のピッチP(第3図参照)
が20μmでラインセンサの電荷蓄積時間τ=10ms
ecとすると被測定物のラインセンサ(8)の電荷蓄積
時間内の移動速度■は となり、ラインセンサ(8)の全長が200+nmとす
れば10ポイントに分解可能であるが実際にはこの10
倍の100ポイント迄分解可能となる。
この様な速度データはlライン(時間τ)毎にメモリ(
10)に格納される。このメモリ(19)内のデータは
CP U (20)で書き込み、読み出しが成されると
共にデータの解析が行なわれる。それらの解析結果はプ
リンタ(21)やCRT (22)等に出力され、記録
或は表示される。
第6図A、 B、 C,DはCP U (20)でデー
タを解析し、記録或は表示したデータ例を示すものであ
る。
第6図AのA1は電荷蓄積時間τをτ〜8τ迄とったと
きのライン毎の時間軸を示し、この時間軸内で第6図A
tの様にラインセンサ(8)からのラインセンサ出力信
号(25a)〜(25g) 、即ち、1947間の素子
ピッチ×素子数である移動距離を示し、例えば、その値
がカギカッコ内の数字で示す〔2]。
(3)、(4)、(2)、(1)、(3)、(2)。
〔1〕であったとすれば、第6図Bに示す様にCP U
 (20)は電荷蓄積時間τと移動距離との関係を示す
グラフ(26)、或は第6図Cに示す様に電荷蓄積時間
τと速度偏差との関係グラフ(27)、更には第6図り
に示す様に電荷蓄積時間τと平均速度Vaの関係グラフ
(28)等を直ちに演算、解析し高速で且つ高精度に表
示、記録させることが出来る。
本発明の構成によれば、極めて、微小範囲の速度測定が
ラインセンサ(8)の受光部(9)の素子サイズ精度で
多点測定が1度に出来るものが得られ、CPUで高速処
理した結果を直ちに表示、記録することが出来る。
尚、本発明ではラインセンサをCCDで説明したが、B
BD、或はCID(電荷注入素子)等を用いてもよく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ることは
明白である。
〔発明の効果] 本発明の速度測定装置によれば極めて微小範囲の速度測
定が出来ると共に多点の速度測定が1度に出来るものが
得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の速度測定装置の正面及び側断面図、第
2図は正立等倍光学系の斜視図、第3図はラインセンサ
受光部の拡大図、第4図は本発明の速度測定装置の系統
図、第5図は波形説明図、第6図は各種測定曲線図、第
7図は従来の速度センサ構成図、第8図は従来の速度測
定波形図である。 (1)は被測定物、(5)はマーカー、(6)は速度測
定装置、(7)は測定筐体、(8)はラインセンサ、(
9)はセンサ受光部、(10)はレンズアレイ、(11
)はライトである。 フォトンタラフOタ ーーt、−半−t2−一

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数のセンサ受光部が長手方向に配設されたラインセン
    サと、 該ラインセンサと対向して配設された正立等倍光学像が
    得られるレンズアレイと、 被測定物に光を照射する光源と、 上記ラインセンサ及び上記レンズアレイ並に上記光源を
    配設した測定筐体とを有し、 上記測定筐体をマーカーが付加され移動する被測定物に
    対向配設し、上記光源から光の照射された該マーカーの
    移動データを上記レンズアレイを介してラインセンサで
    検出する様にして成ることを特徴とする速度測定装置。
JP33588189A 1989-12-25 1989-12-25 速度測定装置 Pending JPH03195971A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7642482B2 (en) * 2005-12-16 2010-01-05 Advanced Lcd Technologies Development Center Co., Ltd. Laser crystallization apparatus and crystallization method
WO2016051838A1 (ja) * 2014-09-29 2016-04-07 富士フイルム株式会社 レンズ装置

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