JPH03184796A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、３°〔空燕着装置−Ｖ′Ｌ、スパッタリング
装置１ｖ：、ＣＶＤ装置″、ダにおいてＪ、（板等の試
料を搬送する際に使用される搬送装置に関する。

［従来の技術］ 真空然７Ｉ−装置等の真空チャンバー内へ基板等の試料
をＦｌｌｊ迭する場合、試料を搬入の準備室というへき
ロード室内に一匹保持し、このロード室内からチャンバ
ー内の所定の位置に運び込んでいる。

そして、チャンバー内で各種処理を施した後、試料をチ
ャンバーから再度取り出すという［送動作か行なわれて
いる。

［発明か解決しようとする問題点コ 上記した従来の搬送手法によれば、チャンバーが１個の
場合は搬送装置を比較的単純な構造として構成できる。

しかし、チャンバーが複数となり、各チャンバーて異な
る材質の成膜をしたり、しかも膜分析のために試料を裏
返す等の工程をすべて真仝下で行なう必要がある場合に
は、搬送装；ｙＺの構造か極めて複雑になり、スペース
的にも大形化し、そのため排気系も人形化するのて、結
局ＡＡｉ＋’？仝休として非常に高価になり、構造上複
雑で故障か生しやすく、真空保持下で各必要処理工程か
行なわれにくいという問題点があった。

そこで本発明は、チャンバーが複数個設置される場合て
も、簡単な構造で真空保持状態の維持を容易に行なえ、
確実に作動する搬送装置を提供することを１−１的とす
る。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記問題点を解決するために、次のような構成
を採用した。

すなわち、本発明にかかる搬送装置は、排気手段を備え
たロード室内に設けられる試料台と、該試料台上に載置
された試料をロード室外部からの操作で把持する試料支
持手段と、真空チャンバー内部に設けられ前記試料支持
手段との間で試料を受渡しする可動腕部と、該可動腕部
なロード室内の前記試料台とチャンバー内の所定位置と
の間で往復移動させる騒動手段とを備えてなることを特
徴とする。

［作用］ チャンバーの内部にロード室内の試料台とチャンバー内
所定位置との間を単純に往復動する搬送機構が設けられ
、ロード室内側に試料台上の試料を把持する支持手段を
設けているので、複数のチャンバーをロード室を中心に
して載置する場合、ロード室からチャンバーへチャンバ
ーからロード室へと試料を搬送し適宜ロード室内で必要
な試料の反転操作等を加えながら各チャンバーでの処理
を受けるように構成できることになり、搬送機構として
は単純な往復動のみの構造のものでよくなるので、全体
の構造が簡単になる。

［実施例］ 第１図は本発明の実施例の構成を示す平面図で、真空装
置としては、ロード室１と成膜用のチャンバー２および
分析用のチャンバー３とからなり、搬送装置はロード室
１内に設けた試料支持手段５とチャンバー２．３内に設
けた試料受は台８．９を備える可動腕６．７を中心にし
て構成されている。ロード室１．チャンバー２．３はそ
れぞれ電磁バルブ＋０．１１．１２を介して図示しない
排気装置に接続され室内の排気が行なわれるとともに、
ロード室１とチャンバー２．３との間の仕切りにはゲー
トバルブ１５．１６が設けられ、ゲートバルブ１５．　
Ｉ［ｉが閉状態になることで各室が独立的に機密性が保
たれる。

第２図はロード室ｌ内の構成を示す縦断面図で、ロード
室１内には試料台２０が設けられている。試料台２０は
昇降機構である油圧シリンダ２１のロッド軸端に設けら
れており上下動が可能である。ロード室１の頭部には開
閉扉２２が設けられ、試料がここからロード室１内へ搬
入され試料台２０上にａ置される。

試料台２０に載置された試料は試料支持手段５によって
把持され、反転操作が行なわれるが、第３図にこの試料
支持手段５の構成を示す。試料支持手段５は同図に示す
ように、チャッキング爪２６が３個所形成されたチャッ
ク体２７と、チャック体２７を支持し、かつ反転用ツマ
ミ２９ａが端部に形成された支持体２９と、支持体２９
に嵌挿されチャック体２７にチャック機能を与えるチャ
ックネジ３０とから構成され、ロード室１の側壁にシー
ル部材を介して機密性を損なわないように設置されてい
る。

チャックネジ３０はチャック用ツマミ３０ａによって回
わすことができる。また、試料支持手段５は第２図に示
すように全体が上下方向に回動できるようにロード室側
壁に軸支（５ａ〉されている。

第４図はチャンバー２，３内に設けられる可動腕６．７
の駆動系の構成を示す図で、可動腕６゜７を支持する支
持棒３２．３３は電磁クラッチ３５．３６を介して騒動
歯車３７．３８に取り付けられている。

騒動歯車３７．３８はチェーンが掛けられて、相互に選
択動作するように構成されている。すなわち、油圧シリ
ンダ４０のロッド４１先端部に取り付けた駆動桿イ２を
チェーン３９に連結し、ロッド４２を前後動させること
によってチェーン３９を移動させ、可動腕６．７の支持
棒３２．３３を回動させて可動腕６゜７を騒動する。し
かも、駆動桿４２の移動に際して停止位置検出用のマイ
クロスイッチ４４．４５が設置されている。

上記のように構成された搬送装置の搬送動作について説
明する。まず、開閉扉２２を開けてロード室１内へ試料
２４を搬入し、試料台２０上に載置する。開閉扉２２を
閉めて後ロード室１内を排気する。排気後試料支持手段
５を外部からツマミ３０ａで操作し、チャックネジ３０
を回わして試料２５をチャック爪２６で三点把持する。

試料把持後試料台２０を下げ、ケートバルブ１５を開に
して可動腕６を移動させる。可動腕６の試料受は台８が
試料把持位置にくれば、試料支持手段５を操作しチャッ
クネジ３０をゆるめて試料２５を受は台８に載置する。

試料の受渡しが完了すれば、可動腕６を逆方向に回動し
てチャンバー２内に戻し、ゲートバルブＩ５を閉じる。

チャンバー２内の排気完了後成膜工程を行なう。

成膜工程完了後、上記と逆の手順によって試料２５がロ
ード室１内の試料台２０上に戻される。次いて膜分析等
を行なうために試料の反転が必要な場合は、試料支持手
段５のチャックネジ３０を締めて試料２５を把持し、試
料設置台２０を下げ支持体２９を外部からツマミ２９ａ
で回転させて把持された試料２５を反転させる。反転完
了後、ゲートバルブ１６を開いて可動腕７を回動させて
試料把持位置へ移動させ、試料受は台９に試料を載置後
チャンバー３内へ戻し、分析処理等を行なう。

上記したように本発明の実施例では、ロード室１を中心
にして、ロード室内の試料台２〇七に載置された試料が
、適宜必要な反転操作を加えながら真空状態を保持しつ
つ各チャンバーの各処理を受ける位置に搬送される。各
チャンバーへの搬送はそれぞれのチャンバー内に設けた
簡単な構造の搬送機構によって独立的に行なわれる。し
かも、試料の授受はロード室内で行なわれるためチャン
バー内の汚れは極めて少なくなる。また、試料のチャッ
キング、反転等の種々の搬送準備動作をロード室で行な
うようにしたため、真空保持状態のままで行なうことが
できる。ロード室自体は狭小に構成できるので、排気能
力も小さくて済み、作業サイクルの短縮を図ることがで
きる。全体としての構造が簡単なため、安価に製造でき
Ｉ＋＆障の発生も少なくなる。

上記実施例では、湾曲した可動腕軸が回動する構造にし
たが、第５図に示すようにリンク機構で構成した可動腕
部５０を外部に設けた駆動機構５１によって直線的に移
動させるような構造とすることもできる。

［発明の効果］ 上記説明から明らかなように、本発明にかかる搬送機構
は、複数のチャンバーを設置するときでも簡単な構造で
安価に製造でき、しがも各チャンバーへの搬送に際し、
必要な試料の把持操作を真空保持状態のままで行なうこ
とができるようになった。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例の構成を示す平面図、第２図は
ロード室の構成を示す縦断面図、第３図は試料支持手段
の構成を示す平断面図、第４図は可動腕の駆動系の構成
を示す図、第５図は変形実施例を示す図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）排気手段を備えたロード室内に設けられる試料台
   と、該試料台上に載置された試料をロード室外部からの
   操作で把持する試料支持手段と、真空チャンバー内部に
   設けられ前記試料支持手段との間で試料を受渡しする可
   動腕部と、該可動腕部をロード室内の前記試料台とチャ
   ンバー内の所定位置との間で往復移動させる駆動手段と
   を備えてなる搬送装置。