JPH0318291B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0318291B2 JPH0318291B2 JP59207078A JP20707884A JPH0318291B2 JP H0318291 B2 JPH0318291 B2 JP H0318291B2 JP 59207078 A JP59207078 A JP 59207078A JP 20707884 A JP20707884 A JP 20707884A JP H0318291 B2 JPH0318291 B2 JP H0318291B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- film
- phosphor
- substrate
- flammable
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
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Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、螢光体の高密度形成を行なうため
の螢光表示管陽極基板の製造方法に関するもので
ある。
の螢光表示管陽極基板の製造方法に関するもので
ある。
螢光表示管の螢光体形成方法として、電着およ
び印刷の２種類の方法があるが、隣接する螢光体
の間隔が狭いもの、すなわち螢光体を高密度に形
成するものは、印刷による方法が適さないため、
電着による方法が採用されている。
び印刷の２種類の方法があるが、隣接する螢光体
の間隔が狭いもの、すなわち螢光体を高密度に形
成するものは、印刷による方法が適さないため、
電着による方法が採用されている。
しかしながら、螢光体が陽極電極に付着する
時、陽極の表面だけでなく、その側壁にも付着す
るため、陽極電極の間隔が30μｍ程度になると、
隣接した陽極電極の側壁に付着した螢光体が接触
してしまうため、螢光体の高密度形成にも限界が
あつた。
時、陽極の表面だけでなく、その側壁にも付着す
るため、陽極電極の間隔が30μｍ程度になると、
隣接した陽極電極の側壁に付着した螢光体が接触
してしまうため、螢光体の高密度形成にも限界が
あつた。
したがつてこの発明の目的は、電着によつて螢
光体を形成する時、従来のものより更に高密度に
螢光体形成を行なうことができる螢光表示管陽極
基板の製造方法を提供することにある。
光体を形成する時、従来のものより更に高密度に
螢光体形成を行なうことができる螢光表示管陽極
基板の製造方法を提供することにある。
このような目的を達成するためこの発明は、螢
光体を形成する部分以外の部分に焼成によつて除
去可能な厚みの可燃性膜を形成し、螢光体形成後
可燃性膜を焼成によつて除去するようにしたもの
である。
光体を形成する部分以外の部分に焼成によつて除
去可能な厚みの可燃性膜を形成し、螢光体形成後
可燃性膜を焼成によつて除去するようにしたもの
である。
螢光体が可燃性膜を形成しなかつた部分に残
る。
る。
第１図はこの発明の一実施例を示す工程図であ
る。先ずａに示すように、ガラス基板１の上に膜
厚1.5μｍ程度の陽極電極２をアルミ薄膜によつて
形成する。この陽極電極２は一例として50μｍ×
50μｍ程度の大きさであり、陽極電極相互の間隔
は30μｍ程度のものである。また１mm2あたり12.5
個の微細で高密度実装がなされている。
る。先ずａに示すように、ガラス基板１の上に膜
厚1.5μｍ程度の陽極電極２をアルミ薄膜によつて
形成する。この陽極電極２は一例として50μｍ×
50μｍ程度の大きさであり、陽極電極相互の間隔
は30μｍ程度のものである。また１mm2あたり12.5
個の微細で高密度実装がなされている。
次に、ｂに示すように螢光体を電着させる予定
の部分以外の個所に感光性を有した可燃性有機物
膜３を形成する。このためには例えば、ジアゾ基
を感光基としたポリビニールアルコールが主成分
のエンコゾル液を約20μｍ厚でガラス基板１の全
面にスピンコート法によつて塗布し、乾燥させる
（膜厚は乾燥によつて12μｍ程度となる）。そし
て、陽極パターンをマスクとして露光することに
よつて、螢光体を形成する部分以外の部分に可燃
性有機物膜３が形成できる。この時、露光が過剰
となるように制御することによつて、光線のまわ
り込みを生じさせ、可燃性有機物膜３を除去する
部分を陽極電極２より若干小さくしておく。この
ことにより露光が行なわれた部分が硬化する。次
に現像を行なつて可燃性膜のうち露光の行なわれ
なかつた部分（硬化していない部分）を除去す
る。
の部分以外の個所に感光性を有した可燃性有機物
膜３を形成する。このためには例えば、ジアゾ基
を感光基としたポリビニールアルコールが主成分
のエンコゾル液を約20μｍ厚でガラス基板１の全
面にスピンコート法によつて塗布し、乾燥させる
（膜厚は乾燥によつて12μｍ程度となる）。そし
て、陽極パターンをマスクとして露光することに
よつて、螢光体を形成する部分以外の部分に可燃
性有機物膜３が形成できる。この時、露光が過剰
となるように制御することによつて、光線のまわ
り込みを生じさせ、可燃性有機物膜３を除去する
部分を陽極電極２より若干小さくしておく。この
ことにより露光が行なわれた部分が硬化する。次
に現像を行なつて可燃性膜のうち露光の行なわれ
なかつた部分（硬化していない部分）を除去す
る。
その後、ｃに示すように電着によつて陽極電極
２に螢光体４を付着させる。これは基板全体を
ZnO：Zn螢光体を懸濁させた電着液に浸漬し、
所定の条件で電着することによつて15μｍ程度の
膜厚の螢光体を形成する。
２に螢光体４を付着させる。これは基板全体を
ZnO：Zn螢光体を懸濁させた電着液に浸漬し、
所定の条件で電着することによつて15μｍ程度の
膜厚の螢光体を形成する。
次いで、500℃前後の焼成を行なうことによつ
て、可燃性有機物膜３が焼失除去され、ｄに示す
ように、目的の螢光体４が陽極電極２の上に形成
される。この螢光体４は陽極電極２の面積より小
さいため、ガラス基板上の電子が螢光体４の発光
状態に影響をおよぼさないので、発光部分が欠け
ることがなく、また隣接する螢光体の接触が発生
することもない。このため、螢光体間の間隔を小
さくし、螢光体を高密度に形成することができ
る。
て、可燃性有機物膜３が焼失除去され、ｄに示す
ように、目的の螢光体４が陽極電極２の上に形成
される。この螢光体４は陽極電極２の面積より小
さいため、ガラス基板上の電子が螢光体４の発光
状態に影響をおよぼさないので、発光部分が欠け
ることがなく、また隣接する螢光体の接触が発生
することもない。このため、螢光体間の間隔を小
さくし、螢光体を高密度に形成することができ
る。
試作した螢光体を実測したところ、45〜48μｍ
角、膜厚15μｍであつた。また使用した可燃性有
機物膜の螢光体への影響を調べるため、螢光体の
発光特性を調査したが、従来の電着によつて形成
したものと比べて遜色はなかつた。
角、膜厚15μｍであつた。また使用した可燃性有
機物膜の螢光体への影響を調べるため、螢光体の
発光特性を調査したが、従来の電着によつて形成
したものと比べて遜色はなかつた。
可燃性有機物膜の膜厚は種々実験を行なつた結
果、次の理由によつて５〜30μｍが適当な値であ
ることが判明した。
果、次の理由によつて５〜30μｍが適当な値であ
ることが判明した。
(イ) 膜厚が5μｍ未満では螢光体が陽極電極の側
壁に付着し効果が得られない。
壁に付着し効果が得られない。
(ロ) 30μｍより厚くすると可燃性有機物膜の加工
が正確に行なえない。
が正確に行なえない。
(ハ) 可燃性有機物膜と螢光体膜厚は同程度の場合
が最も精度良く螢光体を形成でき、発光効率の
面から螢光体膜厚は５〜30μｍ程度で良い。
が最も精度良く螢光体を形成でき、発光効率の
面から螢光体膜厚は５〜30μｍ程度で良い。
以上説明したようにこの発明は、螢光体を形成
する部分以外の部分に焼成によつて除去可能な膜
厚を有する可燃性膜を形成した後、電着によつて
螢光体を付着させ、その後焼成によつて可燃性膜
を除去するので、陽極電極の側壁に螢光体が付着
せず、このため隣接する螢光体を近接させて高密
度に形成できるという効果を有する。
する部分以外の部分に焼成によつて除去可能な膜
厚を有する可燃性膜を形成した後、電着によつて
螢光体を付着させ、その後焼成によつて可燃性膜
を除去するので、陽極電極の側壁に螢光体が付着
せず、このため隣接する螢光体を近接させて高密
度に形成できるという効果を有する。
第１図はこの発明の工程を順に示した断面図で
ある。 １……ガラス基板、２……陽極電極、３……可
燃性有機物膜、４……螢光体。
ある。 １……ガラス基板、２……陽極電極、３……可
燃性有機物膜、４……螢光体。
Claims (1)
- １ 薄膜状の陽極を有する基板とこの基板上の陽
極部分に電着形成させた螢光体層を構成する螢光
表示管陽極基板の製造方法において、基板上に薄
膜状の陽極電極を形成する形成工程、焼成により
除去可能な感光性を有する可燃性膜を陽極基板上
に５〜30μｍの厚みで塗布する工程、陽極パター
ンをマスクとして螢光体を形成する部分の面積が
陽極面積よりも小さくなるまで可燃性膜の過剰露
光を行なう工程、現像により可燃性膜のうち露光
の行なわれなかつた部分を除去する工程、螢光体
層を電着する工程、焼成によつて可燃性膜を除去
する工程を順次実行することによつて陽極基板を
形成することを特徴とする螢光表示管陽極基板の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20707884A JPS61198531A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 螢光表示管陽極基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20707884A JPS61198531A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 螢光表示管陽極基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198531A JPS61198531A (ja) | 1986-09-02 |
| JPH0318291B2 true JPH0318291B2 (ja) | 1991-03-12 |
Family
ID=16533831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20707884A Granted JPS61198531A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 螢光表示管陽極基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61198531A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267225A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | Ricoh Co Ltd | 蛍光表示管における蛍光面形成方法 |
| US5611719A (en) * | 1995-07-06 | 1997-03-18 | Texas Instruments Incorporated | Method for improving flat panel display anode plate phosphor efficiency |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315754A (en) * | 1976-07-28 | 1978-02-14 | Ise Electronics Corp | Method of manufacturing fluoresent display tube anote plate |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP20707884A patent/JPS61198531A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315754A (en) * | 1976-07-28 | 1978-02-14 | Ise Electronics Corp | Method of manufacturing fluoresent display tube anote plate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61198531A (ja) | 1986-09-02 |
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