JPH03182700A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH03182700A JPH03182700A JP32103189A JP32103189A JPH03182700A JP H03182700 A JPH03182700 A JP H03182700A JP 32103189 A JP32103189 A JP 32103189A JP 32103189 A JP32103189 A JP 32103189A JP H03182700 A JPH03182700 A JP H03182700A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- liquid
- vacuum
- valve
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000002528 anti-freeze Effects 0.000 description 1
- -1 antifreeze Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は簡易な構成であって携帯も可能であり、ニアリ
ークのない真空ポンプに関するものである。
ークのない真空ポンプに関するものである。
従来、真空吸着装置等において真空状態を作り出すため
に用いられる真空ポンプとしては、回転子による回転式
、ピストンによる往復式等が知られているが、それらは
いずれも直接空気を圧縮するものである。
に用いられる真空ポンプとしては、回転子による回転式
、ピストンによる往復式等が知られているが、それらは
いずれも直接空気を圧縮するものである。
上記真空ポンプの場合は、ピストンとシリンダー、ベー
ンとハウジング等が高速で摩擦して発熱が起こるために
、摩耗が早く、どうしてもニアリークが大となる。また
、ピストン及びシリンダー等も高精度の加工が必要とな
り、耐摩耗性にすぐれた素材が要求されるので、どうし
てもコスト高となる。更に、摩耗を防ぐために潤滑油等
を使用しなければならないので、運転時のメンテナンス
の面でも手間がかかる。
ンとハウジング等が高速で摩擦して発熱が起こるために
、摩耗が早く、どうしてもニアリークが大となる。また
、ピストン及びシリンダー等も高精度の加工が必要とな
り、耐摩耗性にすぐれた素材が要求されるので、どうし
てもコスト高となる。更に、摩耗を防ぐために潤滑油等
を使用しなければならないので、運転時のメンテナンス
の面でも手間がかかる。
本発明はかかる従来技術の欠点を除去するためになされ
たもので、簡易な構成にして、容易に真空状態を生成で
き、携帯も可能な真空ポンプを提供することを目的とす
る。
たもので、簡易な構成にして、容易に真空状態を生成で
き、携帯も可能な真空ポンプを提供することを目的とす
る。
本発明は、底部を連結パイプで連結し、適量の液体を封
入した２つのタンクを設け、前記連結パイプの中途に液
体ポンプを配設し、前記２つのタンクをそれぞれ一方向
弁及び前記各一方向弁を連結する連絡路を介して真空室
に連通させ、前記真空室から伸びるパッド取付管に開閉
バルブを設置して成る真空ポンプ、を以て上記課題を解
決した。
入した２つのタンクを設け、前記連結パイプの中途に液
体ポンプを配設し、前記２つのタンクをそれぞれ一方向
弁及び前記各一方向弁を連結する連絡路を介して真空室
に連通させ、前記真空室から伸びるパッド取付管に開閉
バルブを設置して成る真空ポンプ、を以て上記課題を解
決した。
液体ポンプにより一方のタンク内の液体を他方のタンク
内に強制移動させると、流出側のタンク内は負圧状態と
なり、以て一方向弁を介して真空室内も負圧状態となる
。また、流入側のタンク内は高圧となり、圧縮空気は一
方向弁を開いて外部に排出される。このように、液体を
移動させることにより、液体で空気を圧縮し、且つ、吸
引するため、ニアリークがなく、効率よく真空状態を作
り出すことができる。
内に強制移動させると、流出側のタンク内は負圧状態と
なり、以て一方向弁を介して真空室内も負圧状態となる
。また、流入側のタンク内は高圧となり、圧縮空気は一
方向弁を開いて外部に排出される。このように、液体を
移動させることにより、液体で空気を圧縮し、且つ、吸
引するため、ニアリークがなく、効率よく真空状態を作
り出すことができる。
〔実施例］
本発明の最も好ましい実施例を図面に依拠して説明する
。
。
図中１．２は適宜形状のタンクで、それらの底部には、
両者を連通させる連結バイブ３が設けられている。連結
バイブ３の中途には、液体ポンプ４が設置されている。
両者を連通させる連結バイブ３が設けられている。連結
バイブ３の中途には、液体ポンプ４が設置されている。
タンク１．２内にはｉＩ！ｉ量、例えば、容量の２分の
１程度、水、不凍液、オイル等の液体５が封入されてお
り、各タンクｌ、２内の液体５は、液体ポンプ４の作用
で、連結バイブ３を介して互いに行き来できるようにな
っている。６．７は、それぞれタンクｌ、２の密閉蓋８
．９上に設置された一方向弁であり、それぞれ２つのボ
ール弁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを備えている。各ボール
弁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂは、スプリング等により平時
閉じた状態にされる。
１程度、水、不凍液、オイル等の液体５が封入されてお
り、各タンクｌ、２内の液体５は、液体ポンプ４の作用
で、連結バイブ３を介して互いに行き来できるようにな
っている。６．７は、それぞれタンクｌ、２の密閉蓋８
．９上に設置された一方向弁であり、それぞれ２つのボ
ール弁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを備えている。各ボール
弁６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂは、スプリング等により平時
閉じた状態にされる。
各タンク１．２からの連絡路１０．１１は、それぞれボ
ール弁６ａ、６ｂ間、７ａ、 ？ｂ間に連通している。
ール弁６ａ、６ｂ間、７ａ、 ？ｂ間に連通している。
ボール弁６ｂ、７ｂからの連絡路１２．１３は、合流し
て真空室１４に連結されている。真空室１４から伸びる
パッド取付管１５の中間には、開閉バルブ１６が取り付
けられており、また、パッド取付管１５の先端には適宜
構成の吸着パッド（図示してない）が固定される。なお
、通例、以上の構成は１つのケース内に収納される。
て真空室１４に連結されている。真空室１４から伸びる
パッド取付管１５の中間には、開閉バルブ１６が取り付
けられており、また、パッド取付管１５の先端には適宜
構成の吸着パッド（図示してない）が固定される。なお
、通例、以上の構成は１つのケース内に収納される。
図示した例において、開閉バルブ１６を閉じた状態で液
体ポンプ４を作動させると、タンク１内の液体５が次第
にタンク２内に移動していく。
体ポンプ４を作動させると、タンク１内の液体５が次第
にタンク２内に移動していく。
この液体５の移動に伴い、タンク２内の空気は押圧され
、連絡路１１を通って一方向弁７内に入る。そして、ボ
ール弁７ｂを押下してそこを閉じると共にボール弁７ａ
を押し上げてそこを開き、外部に排気される。一方タン
ク１内は、液体５が流出することにより負圧となり、ボ
ール弁６ｂが吸引されて開かれることによりタンクｌ内
と真空室１４とが連通し、以て真空室１４内は真空に近
い状態となる。その状態で液体ポンプ４を逆転させると
、今度は液体５がタンク２からタンクｌへと移動するが
、それに伴いタンク２内に負圧が発生し、ボール弁７ａ
を閉じると共にポル弁７ｂを開き、タンク２と真空室１
４とが連通ずる。それにより、真空室１４内の真空度が
高まる。
、連絡路１１を通って一方向弁７内に入る。そして、ボ
ール弁７ｂを押下してそこを閉じると共にボール弁７ａ
を押し上げてそこを開き、外部に排気される。一方タン
ク１内は、液体５が流出することにより負圧となり、ボ
ール弁６ｂが吸引されて開かれることによりタンクｌ内
と真空室１４とが連通し、以て真空室１４内は真空に近
い状態となる。その状態で液体ポンプ４を逆転させると
、今度は液体５がタンク２からタンクｌへと移動するが
、それに伴いタンク２内に負圧が発生し、ボール弁７ａ
を閉じると共にポル弁７ｂを開き、タンク２と真空室１
４とが連通ずる。それにより、真空室１４内の真空度が
高まる。
かかる状態で開閉バルブ１６を開くと、パッド取付管１
５先端のパッドに吸着力が発生するので、パッドにおい
て任意のものを吸着することができることとなる。
５先端のパッドに吸着力が発生するので、パッドにおい
て任意のものを吸着することができることとなる。
液体ポンプ４は、例えば真空室１４内に圧力センサーを
設置しておいて、真空室１４内が所定圧以上になったと
きに自動的に動作するようにしてもよい。
設置しておいて、真空室１４内が所定圧以上になったと
きに自動的に動作するようにしてもよい。
（発明の効果〕
本発明は上述した通りであって、コンパクトで簡易な構
成であり、移動する液体を介して空気を吸引するのでニ
アリークによるロスがなく、効率よく真空状態を作り出
すことができ、種々の吸着装置に利用でき、また、ポン
プの作動音は静かで熱も発生しないという非常に有用な
ものである。
成であり、移動する液体を介して空気を吸引するのでニ
アリークによるロスがなく、効率よく真空状態を作り出
すことができ、種々の吸着装置に利用でき、また、ポン
プの作動音は静かで熱も発生しないという非常に有用な
ものである。
図面は本発明の実施例の縦断面図である。
符号の説明
ｌ、２−・タンク、 ３一連結バイブ４・・・液体
ポンプ、 ５−・−液体６．７−・一方向弁、 ８
．９・・−密閉蓋６ａ、６ｂ、 ７ａ、 ７ｂ−ボール
弁１０． １１． １２、 ３ 連絡路 １４・ 真空室、 ５ バラ ド取付管 ６ 開閉バルブ
ポンプ、 ５−・−液体６．７−・一方向弁、 ８
．９・・−密閉蓋６ａ、６ｂ、 ７ａ、 ７ｂ−ボール
弁１０． １１． １２、 ３ 連絡路 １４・ 真空室、 ５ バラ ド取付管 ６ 開閉バルブ
Claims (1)
- （１）底部を連結パイプで連結し、適量の液体を封入し
た２つのタンクを設け、前記連結パイプの中途に液体ポ
ンプを配設し、前記２つのタンクをそれぞれ一方向弁及
び前記各一方向弁を連結する連絡路を介して真空室に連
通させ、前記真空室から伸びるパッド取付管に開閉バル
ブを設置して成る真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32103189A JPH03182700A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32103189A JPH03182700A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03182700A true JPH03182700A (ja) | 1991-08-08 |
Family
ID=18128027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32103189A Pending JPH03182700A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03182700A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50145911A (ja) * | 1974-05-15 | 1975-11-22 | ||
| JPS6258099A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-13 | Hideo Furusada | 気体圧縮装置 |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP32103189A patent/JPH03182700A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50145911A (ja) * | 1974-05-15 | 1975-11-22 | ||
| JPS6258099A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-13 | Hideo Furusada | 気体圧縮装置 |
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