JPH03171713A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
磁器コンデンサ及びその製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する. [従来の技術] 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、?電体磁
器原料粉末から成るグリーンシ一ト(未焼結磁器シ一ト
冫に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、1 300℃〜1600℃の酸化性雰囲気中で焼結さ
せた.これにより、誘電体磁器と内部!極とが同時に得
られる.上述の如く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲
気中で高温で焼結させても目的とする内部!極を得るこ
とができる.しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高
価であるため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高
になった. 上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、 (Ba(−xMx)OkTi02 (但し、MはMg
及びZnの内の少なくとも1種冫から成る基本成分と、
LizOとS i O 2とから成る添加成分とを含む
誘電体磁器組成物が開示されている.また、特公昭61
−14608号公報には、上記の特公昭61−1460
7号公報のL1■OとS i O 2の代りに、L,i
20とS i O 2とMO(但し、MOはBaO、C
aO及びSrOの内の少なくとも1種〉とから成る添加
成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている. また、特公昭61−14609号公報には、(Bak−
x−y MxLy)O,T102 (但し、MはMg及
びZnの少なくとも1種、LはSr及びCaの内の少な
くとも1種)から成る基本成分とLiOとSXO2とか
ら成る添加成分とを含む2 誘t体磁器組成物が開示されている. また、特公昭61−14610号公報には、上記の特公
昭61−14609号公報におけるLi2OとS i
O 2の代りに、L l 2 0とSiO2とMO(但
し、MOはBaO、CaO及びSrOの内の少なくとも
11l)とから成る添加成分を含む誘電附磁器組成物が
開示されている. また、特公昭61−14611号公報には、(Bak−
x Mx)O,Ti O2 (但し、MはMg、Zn,
Sr及びCaの少なくとも1種)から成る基本成分と、
BO とS iO 2とから成る添加23 成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている.また
、特公昭62−1595号公報には、(Bak−x M
x ) o kT I O 2 (但し、MはMg
..zn.Sr及びCaの内の少なくとも1種)から成
る基本成分と、B2 0 3とMO(pしMOはBaO
、MgO、ZnO,SrO及びCaOの少なくとも1種
)とから成る添加或分とを含む誘電体磁器組成物が開示
されている. また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公昭
62−1595号公報の82 0 3とMOの代りに、
B20 3と3 1 0 2 とMO((旦しMOはB
aO、MgO,ZnO,SrO及びCaOの内の少なく
とも1?I)とから成る添加或分とを含む誘電体磁器M
L戒物が開示されている.これらに開示されている誘電
体磁器組成物は、還元性雰囲気1200℃以下の条件の
焼成で得ることができ、比誘電率が2000以上、静電
容量の温度変化率が−25℃〜+85℃で±10%の範
囲にすることができるものである. [発明が解決しようとする課題] ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、積層コン
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている. そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、1200℃
以下の温度での焼戒で得るものであるにも拘らず、高い
誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の温
度変化率が小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある. [課題を解決するための千段コ 上記目的を達或するための本発明は、誘電体磁器と、前
記磁器に接触している少なくとも2つの電極とから成る
磁器コンデンサにわいて、前記磁器が100.0重量部
の基本成分と、0.2〜5.0重量部の添加成分とから
成り、前記基本成分が、(1 a)( (Ba
M )Ok(Tt1,Rk−x x y) 02−y/2 1 +αCaZr03 <ただ
し、MはCa,Srの内の少なくとも1種の金属、Rは
Sc.Y,Gd,Dy,Ho、Er,Yb,Tb,Tm
.Luの内の少なくとも1種の金属、αは0、005〜
0.04の範囲の数値、kは1.00〜1.05の範囲
の数値、Xは0.005〜0.05の範囲の数値、yは
0.04以下の0よりも大きい数1ii)であり、前記
添加成分がL 1 2 0とSi O 2とMO(但し
、MOはBaO、SrO、Ca.o,MgO及びZnO
の内の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且つ前
記!−120と前記S 1 0 2と前記MOとの組成
範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図における前記
Li20が1モル%、前記S 1 0 2が80モル%
、前記MOが19モル%の点(A)と、前記Li2Oが
1モル%、前記S i O 2が39モル%、前記MO
が60モル%の点(B)と、前記L t 2 0が30
モル%、前記S iO 2が30モル%、前記MOが4
0モル%の点(C)と、前記Li2Oが50モル%、前
記S 1 0 2が50モル%、前記MOが0モル%の
点(D)と、前記1−120が20モル%、前記SiO
2が80モル%、前記MOがOモル%の点(E)とを順
に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内のものであるコンデ
ンサに1系わるらのである.なお、基本成分を示す組成
式において、k−x.x、k、1 −3’, Y、2−
y/2は勿論それぞれの元素の原子数を示し、(1−α
)とαは組成式の第1項の(B ak−x M, )
Ok( T i 1, , 2−R )O ,/2と第2項のCaZrO3との割合をモルで示すも
のであり、Baはバリウム、0は酸素、Tiはチタン、
Caはカルシウム、Srはストロンチウムである.また
、Scはスカンジウム、Yはイットリウム、Gdはガド
リニウム、Dyはジスプロシウム、HOはホロニウム、
Erはエルビウム、Ybはイッテルビウム、Tbはテル
ビウム、Tmはツリウム、L L1はルテチウムである
.添加或分におけるLt20は酸化リチウム、S i
O 2は酸化けい素、BaOは酸化バリウム、SrOは
酸化ストロンチウム、CaOは酸化カルシウム、MgO
は酸化マグネシウム、ZnOは酸化亜鉛である.製造方
法に係わる発明は、上記の基本成分と添加成分との混合
物を用意する工程と、少なくとも2つのiS極部分を有
する前記混合物の戒形物を作る工程と、前記電極部分を
有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程と、
前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
工程とを含む磁器コンデンサの製造方法に係わるもので
ある. [作用効果] 上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器を非酸化
性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ることができる.
従って、ニッケル等の卑金属の専電性ペーストをグリー
ンシ一トに塗布し、グリーンシ一トと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサを製造す
ることが可能になる.誘電体磁器の組成を本発明で特定
された範囲にすることによって、比誘電率が3000以
上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρがI
X106MΩ・CI以上であり、且つ比誘電率の温度変
化率が−55℃〜125℃で−15%〜+15%(25
℃を基準),−25℃〜85℃で−10%〜+10%(
20℃を基準)の範囲に収まる誘t体磁器を備えたコン
デンサを提供することができる. [実施例] 次に、本発明に従う実施例及び比較例について説明する
. まず、本発明に従う基本威分の組戒式 〈1−α)( (Bak−xMx)O( (Ti 1
−yR)O l +aCaZrO3における第1
項Y 2−’//2 の(Bak−xMx)ok(Ti1−y y 2−
y/R )O 2 (以下第1基本戊分と呼ぶ)を第1表及び第2表の
試料ね1のk−x,x,y,kの欄に示す割台で得るた
め、換言すれば、(Ba0.98M0.04)O(Ti
O.99RO.01)O1.995、更に詳細に1.0
2 は、M =Ca Sr 及びR =Y
bO.04 0.03 0.01
0.01。.。1であるので、 (BaO.98°aO.03S’0.01)O1.02
’ T’ 0.99” b0.01) 01.995を
得るために、純度99.0%以上のB a C O 3
(炭酸バリウム)、CaO(酸化カルシウム)、S
rO(酸化ストロンチウム) 、T i O 2 (
flM化チタン)、及びY b 2 0 3(酸化イッ
テルビウム)を用意し、不純物を目方に入れないで BaCO :1065.75g(0.98モル3 部相当) CaO:.9.27g (0.03モル部相当)SrO
: 5.71g (0.0fモル部相当)TiO2 :
435− 94g (0.99モル部相当) Yb O :10.84g(0.005モル部23 相当)を秤量した. 次に、秤量されたこれ等の原料をボットミル(pot
nill)に入れ、更にアルミナボールと水2.5J!
とを入れ、15時間湿式撹拌した後、攪拌物をステンレ
スポットに入れて熱風式乾燥器で150℃、4時間乾燥
した.次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトン
ネル炉にて大気中で1200℃、2時間仮焼し、上記組
成式の第1基本成分を得た. また、基本成分の組戒式の第2項のCaZrO3 (以
下、第2基本成分と呼ぶ)を得るために、CaCO
(炭酸カルシウム)とZ r O 2 (酸化3 ジルコニウム)とが等モルとなる櫟に前者を448.9
6g,後者を551、04gをそれぞれ秤量し、これ等
を混合し、乾燥し、粉砕した後に、約1250℃で2時
間大気中で仮焼した.つぎに、第1表の試料Nullに
示すように1−αが0.98モル、αが0.02モルと
なるように、98モル部(984.34g)の第1基本
成分(BaO.98CaO.03S’0.01)O1.
02’ T’ 0.99YbO.01 ) 01.99
5の粉末と、2モル部(15.66g)の第2基本成分
( C a Z r O 3)の粉末とを混合して10
00gの基本成分を得た.一方、第3表の試料NQIの
添加成分を得るために、Li2Oを0.44g (1モ
ル部〉と、SiO2を70.99g (80モル部)と
、BaCO3を11.Log(3.8モル部)と、Ca
CO3を14.70g (9.5モル部)と、MgOを
3.40g (5.7モル部)とをそれぞれ秤量し、こ
の混合物にアルコールを300cc加え、ポリエチレン
ボットにてアルミナボールを用いて10時間攬拌した後
、大気中1000℃で2時間仮焼成し、これを300c
cの水と共にアルミナボ・yトに入れ、アルミナボール
で15時間粉砕し、しかる後、150℃で4時間乾燥さ
せてL 1 2 0が1モル%、S I O 2が80
モル%、MOが19モル%(BaO 3.8モル%+
Ca09.5モル%+−Mg0 5.7モル%)の組
戒の添加成分の粉末を得た.なお、MOの内容であるB
aOとCaOとMgOとの割合は第3表に示すように2
0モル%、50モル%、30モル%となる.次に、10
0重量部(1000g>の基本成分に2重量部(20g
>の添加或分を添加し、更に、アクリル酸エステルボリ
マー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る有機
バインダを基本成分と添加成分との合計重量に対して1
.5重量%添加し、更に、50重景%の水を加え、これ
等をボールミルに入れて粉砕及び混合して磁器原料のス
ラリーを作製した. 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、この
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受け取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シート
を得た.このシートは長尺なものであるが、これを10
cn角の正方形に裁断して使用する. 一方、内部t極用の導電ペーストは、粒径平均1.5μ
mのニツゲル粉末10gと、エチルセルロース0.9g
をプチルカルビトール9、1gに溶解させたものとを撹
拌機に入れ、10時間攪拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ14姉、幅7萌のパターンを50個有
するスクリーンを介して上記未焼結磁器シー1−の片側
に印刷した後、これを乾燥させた。
層した。この際、llljl接する上下のシートにおい
て、その印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれる
ように配置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞ
れ4枚ずつ厚さ60μmの未焼結磁器シー1・を積層し
た.次いで、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に
約401・ンの荷重を加えて圧着させた.しかる後、こ
の積層物を格子状に裁断し、50個の積層チップを得た
.次に、この積層体を雰囲気焼成が勺能な枦に入れ、大
気雰囲気中で100℃/hの速度で600℃まで昇温し
で、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気
を大気からH2 (2#積%)+N2 (98#積%)
の雰囲気に変えた.そして、炉を上述の如き還元性雰囲
気とした状態を保って、M層体加熱温度を600℃から
焼結温度の1140゛Cまで、100℃/hの速度で昇
温して1140℃(最高温度)を3時間保持した後、1
00℃/hの速度で600℃まで降温し、雰囲気を大気
雰囲気(酸化性雰囲気)におきかえて、600℃を30
分間保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却し
て積層焼結体チップを作製した.次に、第1図に示す積
層磁器コンデンサ10を得るために、3つの誘t#磁器
層12と2つの内部電極14とから成るM層焼結体チ・
yプ15にー?の外部電極16を形成しtユ。なお、外
部電f!16は、電極が露出する焼結体チップ15の側
面に亜鉛とガラスフリット(glass fret)
とビヒクル(vehicle)とから成る導電性ペース
トを塗布して乾燥し、これを大気中で550℃の温度で
15分間焼付け、亜鉛電極層18を形成し、更にこの上
に無電解メッキで法で#l層20を形成し、更にこの上
に電気メッキ法でpbSn半田層22を設けたものから
成る.このコンデンサー0の誘電体磁器層l2の厚さは
0. 021W+、一対の内部電極14の対向面積は5
+11111 X 5 cm = 2 5 rtm 2
である.なお、焼結後の磁器層12の組成は、焼結前の
基本成分と添加成分との混合組成と実質的に同じである
. 次に、コンデンサー0の電気的特性を測定し、その平均
値を求めたところ、第3表に示す如く、比誘電率ε が
3920,tanδが1.1%、抵S 抗率ρが6.7X106MΩ・CI1.25℃のII?
電容量を基準にした−55゛C及び+125℃の静電容
量の変化率ΔC 、ΔC1■5が−9.8%、−55 +3.2%、20℃の静電容量を基準にした−25゜C
、+85℃の静電容量の変化率ΔC 、Δ−25 C85は−5.5%、−6.1%であった.なお、電気
的特性は次の要領で測定した.(A) 比誘電率ε,
は、温度20℃、周波数1kHz,電圧(実効値> i
.ovの条件で静電容量を測定し、この測定値一対の内
部電極14の対向面積25關2と一対の内部電極14間
の磁器層12の厚さ0.02m+から計算で求めた.C
B> 誘電体損失tanδ(%)は比誘電率と同一条
件で測定した. (C) 抵抗率ρ(MΩ・cm)は、温度20℃にお
いてDC 1 0 0Vを1分間印加した後に一対の外
部電極16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに
基づいて計算で求めた. (D) 静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−55℃、−25゜C,O℃、+20℃、25℃
、+40℃、+60℃、+85℃、+105℃、+12
5℃の各温度において、周波数1kHz,電圧(実効値
> i.ovの条件で静電容量を測定し、20℃及び2
5℃の時の静電容量に対する各温度における変化率を求
めることによって得た. 以上、試料順1の作製方法及びその特性について述べた
が、試料NG2〜131についても、基本成分及び添加
成分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気での焼成
温度を第1表〜第4表に示すように変えた他は、試料馳
1と全く同一の方法で積層磁器コンデンサを作製し、同
一方法で電気的特性を測定した, 第1表には、基本成分を示す組成式における(1−α)
とαとk−xとXが示され、Xの欄のCa.Srは一般
式のMの内容を示し、Ca,Srの欄にはこれ等の原子
数が示され、合計の欄にはこれ等の合計値(X値)が示
されている.第2表には基本成分を示す組成式における
Rの内容と量及びkの値が示されている.即ち、yの欄
のSe..Y,Gd,Dy,Ho、Er,Ybは一般式
の凡の内容を示し、これ等の欄にはこれ等の原子数が示
され、合計の欄にはこれ等の合計値《y値)が示されて
いる. 第3表にはそれぞれの試料の添加成分の添加量及び組成
が示されている.添加成分の添加量は基本成分100重
量部に対する重量部で示されている.第3表の添加成分
のMOの内容の欄には、BaO、MgO,ZnO,Sr
O、CaOの割合がモル%で示されている. 第4表は各試料の焼成温度及び電気的特性を示す.この
第4表において、静電容量の温度特性は、25℃の静電
容量を基準にした−55℃及び+125℃の静電容量変
化率ΔC (%)及びΔC−55 125(%〉と、20℃の静電容量を基準にした−25
℃及び+85℃の静電容量変化率ΔC−2.(%)及び
ΔC85(%〉とで示されている.第1表〜第4表から
明らかな如く、本発明に従う試料では、非酸化性雰囲気
、1 200″C以下の焼成で、比誘電率ε,が300
0以上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρ
が1.X106MΩ・cm以上、静電容量の温度変化率
ΔC−5.及びΔC125が−15%〜+15%、ΔC
−25及びΔC85は−10%〜+10%の範囲となり
、所望特性のコンデンサを得ることが出来る。一方、試
料11G11〜16、42、47、48、53、59、
62、65、68、71、74、77、78、82、8
3、87、88、96〜98、104、105、109
、110、1 1 4、119、131では本発明の目
的を達成することができない.従って、これ等は本発明
の範囲外のものである.第4表にはΔC 、ΔC12
5、ΔC−25、Δ−55 C85のみが示されているが、本発明の範囲に属する試
料の−25℃〜+85゛Cの範囲の種々の静電容量の変
化率ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また
、−55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まっている. 次に、組成の限定理由について述べる.Xの値が、試料
恥88、98に示す如く、零の場合には、ΔC−25が
−10%〜+10%の範囲外、ΔC−55が−15%〜
+15%の範囲外となるが、試料NQ89、99に示す
如く、Xの値が0.005の場合には、所望の電気的特
性を得ることができる.従って、Xの値の下限は0.0
05である.一方、試料NQ 9 6、97、104に
示す如く、Xの値が0.06の場合には、ΔC85が−
10%〜+10%の範囲外となるが、試料NQ 9 4
、95、103に示す如く、Xの値が0.05の場合に
は、所望の電気的特性を得ることができる.従って、X
の値の上限は0.05である.なお、M成分のCaとS
rとはほぼ同様に働き、これ等から選択された1つを使
用しても、又は複数を使用しても同様な結果が得られる
.そして、M成分の1種又は複数種の何れの場合におい
てもXの値を0.005〜0.05の範囲にすることが
望ましい. yの値が、試科Nα59、62、65、68、71、7
4、77に示す如く、0.06の場合には緻密な焼結体
が得られないが、試料NG58、61、64、67、7
0、73、76に示す如く、yの値が0.04の場合に
は所望の電気的特性を得ることができる.従って、yの
値の上限は0.04である.なお、R成分のSc,Y,
Dy,Ho、Er,Ybはほぼ同様に働き、これ等から
選択された1つを使用しても、又は複数を使用しても同
様な結果が得られる.そして、R成分が1種又は複数種
のいずれの場合に於いてもyの値を0.04以下の範囲
にすることが望ましい.また、yは0.04以下であれ
ば、0に近い微量であってもそれなりの効果がある。な
お、組成式Rで示す成分は、静電容量の温度特性の改善
に寄与する.即ち、R成分の添加によって−55℃〜1
25℃の範囲での静電容量の温度変化率△C−55〜Δ
C125を−15%〜+15%の範囲に容易に収めるこ
とが可能になると共に、− 2 5 ’C〜85℃の範
囲での静電容量の温度変化率△C 〜△C85を−2
5 10%〜+10%の範囲に容易に収めることが可能にな
り、且つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変
動幅を小さくすることができる.また、R成分は抵抗率
ρを大きくする作用及び焼結性を高める作用を有する. αの値が試料NQ78、83に示す如く、零の場台には
、ΔC−25が−10%〜+10%の範囲外、ΔC−5
5が−15%〜+15%の範囲外となるが、試料NQ7
9、84に示す如く、αの値が0.005の場合には、
所望の電気的特性を得ることかできる.従って、αの値
の下限は0.005である.一方、試料Na82、87
に示す如く、αの値が0,05の場合には、八〇85が
−10%〜+10%の範囲外となるが、試料NQ81、
86に示す如く、αの値が0.04の場合には所望の電
気的特性を得ることができる.従って、αの値の上限は
0.04である. kの値が、試料11Q105、110に示す如く、6 1.0よりも小さい場合には、ρが1xlO MΩ・
CI1未満となり、大幅に低くなるが、試料NQI06
、111に示す如く、kの値が1.00の場合には、所
望の電気的特性が得られる.従って、kの値の下限は1
.OOである.一方、kの値が、試料NQ109、11
4に示す如く、1.05より大きい場合には緻密な焼結
体が得られないが、試料NQ99〜103、108、1
13に示す如く、kの値が1.05の場合には所望の電
気的特性が得られる.従って、kの値の上限は1.05
である. 添加成分の添加量が零の場合には、試料Na42、48
から明らかな如く、焼成温度が1250℃であっても緻
密な焼結体が得られないが、試料馳43、49に示す如
く、添加量がIOOIE量部の基本成分に対して0.2
重量部の場合には、1190℃の焼成で所望の電気的特
性を有する焼結体が得られる.従って、添加成分の下限
は0.21量部である.一方、試料P4a47、53に
示す如く、添加成分の添加量が7.0重量部の場合には
、ε5が3000未満となり、更にΔC−55が−15
%〜+15%の範囲外となるが、試料111146、5
2に示す如く、添加量が5.0重量部の場合には所望特
性を得ることができる.従って、添加量の上限は5.0
重量部である. 添加成分の好ましい組成は、第2図のL 1 2 OS
1 0 2 M Oの組成比を示す三角図に基づい
て決定することができる.三角図の第1の点(A)は、
試料No. 1のI.. 1 2 0が1モル%、S
r. 0 2が80モル%、MOが19モル%の組成を
示I,2、第2の点(B)は、試料Nα2のL 1 2
0が1モル%、S I O 2が39モル%、MOが
60モル%の組成を示し、第3の点(C)は、試料恥3
の!−120が30モル%、sio2が30モル%、M
Oが40モル%の組成を示し、第4の点(D)は、試料
No. 4のLi Oが50モル%、S t O 2
が50モ2 ル%、MOが0モル%の組成を示し、第5の点(E)は
、試料No. 5の1,120が20モル%、SiO2
が80モル%、MOが0モル%の組成を示す. 本発明の範囲に属する試料の添加成分の組成は三角図の
第1〜5の点(A)〜(E)を順に結ぶ5本の直線で囲
まれた領域内の組成になっている.この領域内の組成と
すれば、所望の電気的特性を得ることができる。一方、
試料恥11〜16のように、添加成分の組成が本発明で
特定した範囲外となれば、緻密な焼結体を得ることがで
きない.なお、MO成分は例えば試料No. 1 7〜
2lに示す如<BaO、MgO,ZnO,SrO,Ca
Oのいずれか1つであってもよいし、又は他の試料で示
すように適当な比率としてもよい。
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである. (a) 基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のM n O 2 (好ましくは0.05
〜0.1重量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上さ
せてもよい.また、その他の物質を必要に応じて添加し
てもよい. (b) 出発原料を、実施例で示したちの以外の酸化
物又は水酸化物又はその池の化合物とじてもよい. (c) 焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温度より
も低い温度(好ましくは5 0 0 ’C〜iooo℃
の範囲)としてもよい.即ち、ニッケル等の電極材料と
磁器の酸化とを考慮して種々変更することが可能である
. (d) 非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる.ニッケルを内部電極
とする場合には、1050℃〜1200℃の範囲でニッ
ゲル粒子の凝集がほとんど生じない. (e) 焼結を中性雰囲気で行ってもよい.(f)
積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁器コンデ
ンサにも勿論適用可能である.(g) 組成式におけ
るR成分の中のTb,Tm,Luについては特に第1表
〜第4表に掲載されていないが、R成分の他のものと同
様に使用することができることが確認されている.
を示す断面図、 第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図である. 12・・・磁器層、14・・・内部電極、16・・・外
部電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1]誘電体磁器と、前記磁器に接触している少なくと
も2つの電極とから成る磁器コンデンサにおいて、 前記磁器が100.0重量部の基本成分と、0.2〜5
.0重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 (1−α){(Ba_k_−_xM_x)O_k(Ti
_1_−_yR_y)O_2_−_y_/_2}+αC
aZrO_3(但し、MはCa、Srの内の少なくとも
1種の金属、RはSc、Y、Gd、Dy、Ho、Er、
Yb、Tb、Tm、Luの内の少なくとも1種の金属、 αは0.005〜0.04の範囲の数値、 kは1.00〜1.05の範囲の数値、 xは0.005〜0.05の範囲の数値、 yは0.04以下の0よりも大きい数値)であり、 前記添加成分がLi_2OとSiO_2とMO(但し、
MOはBaO、SrO、CaO、MgO及びZnOの内
の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且つ前記L
i_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成範囲がこ
れ等の組成をモル%で示す三角図における 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが19モル%の点(A)と、前記Li_2
Oが30モル%、前記SiO_が30モル%、前記MO
が60モル%の点(B)と、前記Li_2Oが30モル
%、前記SiO_2が30モル%、前記MOが40モル
%の点(C)と、前記Li_2Oが20モル%、前記S
iO_2が80モル%、前記MOが0モル%の点(E)
と、前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が8
0モル%、前記MOが0モル%の点(E)と、を順に結
ぶ5本の直線で囲まれた領域内のものであることを特徴
とするコンデンサ。 [2]100.0重量部の基本成分と、0.2〜5.0
重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 (1−α){(Ba_k_−_xM_x)O_k(Ti
_1_−_yR_y)O_2_−_y_/_2}+αC
aZrO_3(但し、MはCa、Srの内の少なくとも
1種の金属、RはSc、Y、Gd、Dy、Ho、Er、
Yb、Tb、Tm、Luの内の少なくとも1種の金属、
αは0.005〜0.04の範囲の数値、kは1.00
〜1.05の範囲の数値、xは0.005〜0.05の
範囲の数値、yは0.04以下の0よりも大きい数値)
であり、前記添加成分がLi_2OとSiO_2とMO
(但し、MOはBaO、SrO、CaO、MgO及びZ
nOの内の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且
つ前記Li_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成
範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図における前記
Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル%、
前記MOが19モル%の点(A)と、前記Li_2Oが
1モル%、前記SiO_2が39モル%、前記MOが6
0モル%の点(B)と、前記Li_2Oが30モル%、
前記SiO_2が30モル%、前記MOが40モル%の
点(C)と、前記Li_2Oが50モル%、前記SiO
_2が50モル%、前記MOが0モル%の点(D)と、
前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが0モル%の点(E)とを順に結ぶ5本
の直線で囲まれた領域内のものであることを特徴とする
混合物を用意する工程と、 少なくとも2つの電極部分を有する前記混合物の成形物
を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼
成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
工程と を含む磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1311096A JPH03171713A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
US07/618,655 US5075819A (en) | 1989-11-30 | 1990-11-27 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
DE69009694T DE69009694T2 (de) | 1989-11-30 | 1990-11-27 | Festdielektrikum-Kondensator und Verfahren zur Herstellung. |
EP90122665A EP0430179B1 (en) | 1989-11-30 | 1990-11-27 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
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