JPH03167440A - 光走査装置のジッタ測定装置 - Google Patents
光走査装置のジッタ測定装置Info
- Publication number
- JPH03167440A JPH03167440A JP30673089A JP30673089A JPH03167440A JP H03167440 A JPH03167440 A JP H03167440A JP 30673089 A JP30673089 A JP 30673089A JP 30673089 A JP30673089 A JP 30673089A JP H03167440 A JPH03167440 A JP H03167440A
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- JP
- Japan
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- jitter
- jittering
- light beam
- measuring device
- light
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光走査装置のジッタ測定装置に関するものであ
る。
る。
（従来の技術）
光走査装置の同転ジッタの測定方法は例として光走査装
置に回転多面鏡を用いた場合，通常次のように行われる
。
置に回転多面鏡を用いた場合，通常次のように行われる
。
第２図に示すように、モータＭにより邸動される回転多
面鏡２２にレーザ光源１よりの光ビームＬａを反射ミラ
２１で反射せしめて照射し、回転多面鏡２２の回転によ
り走査された反射光ビームＬｂ．１，Ｌｂ２を回転多面
鏡２２に対して所定の見込角０を有するように配置され
た２つの光ディテクタ２３ａ，２３ｂで順次に受けてト
リガ信号ｓｌ，ｓ２を得る。この２つのトリガ信号ｓｌ
，ｓ２をカウンタ２４へ順次入力することにより反射ビ
ームＬｂｌ，Ｌｂ２が、２つの光ディテクタ２３ａ，２
３ｂをそれぞれ走査する平均時間ｔおよび走査時間の変
動量Δｔが得られる。これにより回転多面鏡のジッタＪ
が（Δ１／１）として求められる。
面鏡２２にレーザ光源１よりの光ビームＬａを反射ミラ
２１で反射せしめて照射し、回転多面鏡２２の回転によ
り走査された反射光ビームＬｂ．１，Ｌｂ２を回転多面
鏡２２に対して所定の見込角０を有するように配置され
た２つの光ディテクタ２３ａ，２３ｂで順次に受けてト
リガ信号ｓｌ，ｓ２を得る。この２つのトリガ信号ｓｌ
，ｓ２をカウンタ２４へ順次入力することにより反射ビ
ームＬｂｌ，Ｌｂ２が、２つの光ディテクタ２３ａ，２
３ｂをそれぞれ走査する平均時間ｔおよび走査時間の変
動量Δｔが得られる。これにより回転多面鏡のジッタＪ
が（Δ１／１）として求められる。
（発明が解決しようとする課題）
以上説明したような回転多面鏡のジッタ測定装置におい
ては見込角θが変動しないことが必要であるが実際には
光ディテクタ２３ａ，２３ｂを取付けている物体の温度
変化による伸縮、振動，または、反射ビームＬｂｌ，Ｌ
ｂ２の光軸上の空気屈折率の変化等で見込角θが変動す
ることは避けられない。そのためこの見込角θの変動量
以上の精度で走査時間ｔ、及びΔｔを計測してもジッタ
測定器全体の精度は上がらない．本発明は以上の問題点
を解決することを目的とする． （課題を解決するための手段） 本発明は前述の目的を達威するためになされたもので、
実施例に対応する第１図で説明すると，第１の発明では
，光源６から出射された光ビームＬ７をポリゴンスキャ
ナ７に入射させ，走査した光ビームＬ５，Ｌ６をビーム
位置センサ５ｅｌ５ｄにそれぞれ入射せしめて，ジッタ
を測定する光走査装置のジッダ測定装置において、光源
１から発せられた光ビームＬ１を前記ポリゴンスキャナ
７の近傍に設けられた半透明鏡４に入射させ、その透過
した光ビームＬ３及び反射した光ビームＬ４を、前記ビ
ーム位置センサ５ｅ，５ｄの近傍に設けられたビーム位
置センサ５ｂ，５ｃに入射する構成を付加したものであ
る．第２の発明では，光源１から半透明鏡４の間にビー
ムスプリッタ２を設け，分けられた光ビームＬ２を直接
ビーム位置センサ５ａに入射させる構成としたものであ
る。
ては見込角θが変動しないことが必要であるが実際には
光ディテクタ２３ａ，２３ｂを取付けている物体の温度
変化による伸縮、振動，または、反射ビームＬｂｌ，Ｌ
ｂ２の光軸上の空気屈折率の変化等で見込角θが変動す
ることは避けられない。そのためこの見込角θの変動量
以上の精度で走査時間ｔ、及びΔｔを計測してもジッタ
測定器全体の精度は上がらない．本発明は以上の問題点
を解決することを目的とする． （課題を解決するための手段） 本発明は前述の目的を達威するためになされたもので、
実施例に対応する第１図で説明すると，第１の発明では
，光源６から出射された光ビームＬ７をポリゴンスキャ
ナ７に入射させ，走査した光ビームＬ５，Ｌ６をビーム
位置センサ５ｅｌ５ｄにそれぞれ入射せしめて，ジッタ
を測定する光走査装置のジッダ測定装置において、光源
１から発せられた光ビームＬ１を前記ポリゴンスキャナ
７の近傍に設けられた半透明鏡４に入射させ、その透過
した光ビームＬ３及び反射した光ビームＬ４を、前記ビ
ーム位置センサ５ｅ，５ｄの近傍に設けられたビーム位
置センサ５ｂ，５ｃに入射する構成を付加したものであ
る．第２の発明では，光源１から半透明鏡４の間にビー
ムスプリッタ２を設け，分けられた光ビームＬ２を直接
ビーム位置センサ５ａに入射させる構成としたものであ
る。
（作用）
本発明においてはポリゴンスキャナ２２で光を走査する
走査点の近傍に設けられた半透明鏡４に光ｇｌからの光
ビームＬ１を入射せしめ、その透過した光ビームＬ３、
反射した光ビームＬ４をビｂ位置センサ５ｂ，５ｃに照
射する．゛つまりジッダ測定装置においてポリゴンスキ
ャナ７に光ビームＬ７が入射した瞬間と同じ状態で半透
明ｔＩｔｔ４を固定している．この状態で本来止まって
いるはずのビームが外乱等により変動を起こすとすると
同様の状態が走査中の光走査装置を測定しているジッタ
測定装置に発生した場合、外乱による変動量は時間の誤
差、つまりジッタとなって検出されることになる。つま
り固定した状態の光ビーム位置変動量を測定することで
ジッダ測定時の光走査装置に起因しない外乱或分を推ｆ
ｉｌ’ｌできる．外乱成分には治具の伸縮、振動、空気
屈折率の変化、塵等が考えられるが、本発明の構成では
それらの外乱成分によるビームの位置の変動量を総合的
に測定でき、それによりジッタ測定器の外乱を８１’ｌ
定することができる．更に、前記半透明鏡４と光走査装
置７，また前記ビーム位置センサ５ｂ，５ｃと光走査装
置７のジッタ検出用のビーム位置センサ５ｅ，５ｄをそ
れぞれ図１のように光学的にほぼ近傍に置く事により前
記外乱成分が本ジッタ測定器に同様に影響するとすれば
同時に測定した外乱データを用いてジッタデータを補正
してジッタ測定精度を向上する事ができる． （実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する． 第１図は，本発明による一実施例の構成図である． レーザ光源１より出た光ビームＬ１は光走査装置の走査
点に設けられた半透明！４で一部透過し残りは反射する
。この透過した光ビームＬ３及び反射した光ビームＬ４
は、ビーム位置センサ５ｅ，５ｄの近傍に設けられたビ
ーム位置センサ５ｂ，５ｃにそれぞれ入射する。ここで
例えば温度変化により半透明鏡４、ビーム位置センサ５
ｂ，５ｃを固定している部材が全体的に伸びた場合、光
ビームＬ３，Ｌ４の見込角０は伸びる前と相似になるた
め変化しないが、温度変化が部分的に発生してビーム位
置センサ５ｂ，５ｃの間隔が半透明鏡４からビーム位置
センサ５ｂ，５ｃまでの間隔より大きな割合で伸びた場
合、光ビームＬ３，Ｌ４のなす見込角度が変化しないに
もかかわらず，ビーム位置センサ５ｂの出力は図に示す
座標の十方向に、ビーム位置センサ５ｃの出力は一方向
に振れることになる。また、他にも治具の振動，空気屈
折率の変化、空気中の塵等の影響によっても各センサの
出力は＋や一に振れる。これらの静止状態におけるビー
ム位置センサ５ｂ，５ｃの出力をジッタに換算すること
により、このジッタ測定装置のノイズ成分を測定するこ
とができる．また，この光学系の近傍にポリゴンスキャ
ナ７及びビーム位置検出器５ｅ，５ｄを置き、光源６か
ら出射されたレーザビームＬ７がポリゴンスキャナ７に
より反射され走査したレーザビームＬ５及びＬ６を前記
ビーム位置検出器５ｅ，５ｄによりトリガ信号を発生し
，ポリゴンスキャナ７のジッタを測定する．このジッタ
データから前記のジッタ測定装置のノイズ成分を差し引
いて正しいジッタデータとすることができる． さらに、ビームスプリッタ２をレーザ光源１と半透明鏡
４の間に設け、先ビームＬ１を入射させて光ビームＬ１
の一部を分けてビーム位置センサ５ａに入射する構成と
し、レーザ光源ｌの変動による、前記ビームＬ１の傾き
を測定する。一方、前記半透明鏡４により分けられたビ
ームＬ３，Ｌ４もレーザ光源ｌの変動により傾き、それ
がビーム位置センサ５ｂ，５ｃにより検出される。従っ
て、ビーム位置センサ５ｂ，５ｃにより検出された量か
ら前記ビーム位置センサ５ａにより検出された量を差し
引くことにより．レーザ光源１の変動によるレーザビー
ムＬ１の傾きが補正される．例えばレーザ光源１にＨｅ
Ｎｅレーザを用いた場合、通常のＨ ｅ Ｎ ｅレーザ
では１０秒程度の出射ビームの傾きの変動が有ることが
知られているが、もし光ビームＬ１が図に示す座標の一
方向に１０秒傾いたとするとＬ３も一方向に１０秒傾く
がビームＬ４は図の十方向に１０秒傾くので見込角θは
２０秒拡がってしまう。この時ビームＬ２も十方向に１
０秒傾くのでビーム位置センサ５ａの出力からピームＬ
２の傾きを算出し，見込角θの変動分を差し引けば光源
の影響を受けずにノイズ戊分を算出することができる． （発明の効果） 以上詳細に説明したように本発明によれば光走査装置の
ジッタ測定器の光走査装置に起因しない誤差成分のみの
測定と、実際のジッダ測定とを同時に行える光学系とし
たのでジツタ測定データをリアルタイムで補正して高精
度にジツタ測定ができる。
走査点の近傍に設けられた半透明鏡４に光ｇｌからの光
ビームＬ１を入射せしめ、その透過した光ビームＬ３、
反射した光ビームＬ４をビｂ位置センサ５ｂ，５ｃに照
射する．゛つまりジッダ測定装置においてポリゴンスキ
ャナ７に光ビームＬ７が入射した瞬間と同じ状態で半透
明ｔＩｔｔ４を固定している．この状態で本来止まって
いるはずのビームが外乱等により変動を起こすとすると
同様の状態が走査中の光走査装置を測定しているジッタ
測定装置に発生した場合、外乱による変動量は時間の誤
差、つまりジッタとなって検出されることになる。つま
り固定した状態の光ビーム位置変動量を測定することで
ジッダ測定時の光走査装置に起因しない外乱或分を推ｆ
ｉｌ’ｌできる．外乱成分には治具の伸縮、振動、空気
屈折率の変化、塵等が考えられるが、本発明の構成では
それらの外乱成分によるビームの位置の変動量を総合的
に測定でき、それによりジッタ測定器の外乱を８１’ｌ
定することができる．更に、前記半透明鏡４と光走査装
置７，また前記ビーム位置センサ５ｂ，５ｃと光走査装
置７のジッタ検出用のビーム位置センサ５ｅ，５ｄをそ
れぞれ図１のように光学的にほぼ近傍に置く事により前
記外乱成分が本ジッタ測定器に同様に影響するとすれば
同時に測定した外乱データを用いてジッタデータを補正
してジッタ測定精度を向上する事ができる． （実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する． 第１図は，本発明による一実施例の構成図である． レーザ光源１より出た光ビームＬ１は光走査装置の走査
点に設けられた半透明！４で一部透過し残りは反射する
。この透過した光ビームＬ３及び反射した光ビームＬ４
は、ビーム位置センサ５ｅ，５ｄの近傍に設けられたビ
ーム位置センサ５ｂ，５ｃにそれぞれ入射する。ここで
例えば温度変化により半透明鏡４、ビーム位置センサ５
ｂ，５ｃを固定している部材が全体的に伸びた場合、光
ビームＬ３，Ｌ４の見込角０は伸びる前と相似になるた
め変化しないが、温度変化が部分的に発生してビーム位
置センサ５ｂ，５ｃの間隔が半透明鏡４からビーム位置
センサ５ｂ，５ｃまでの間隔より大きな割合で伸びた場
合、光ビームＬ３，Ｌ４のなす見込角度が変化しないに
もかかわらず，ビーム位置センサ５ｂの出力は図に示す
座標の十方向に、ビーム位置センサ５ｃの出力は一方向
に振れることになる。また、他にも治具の振動，空気屈
折率の変化、空気中の塵等の影響によっても各センサの
出力は＋や一に振れる。これらの静止状態におけるビー
ム位置センサ５ｂ，５ｃの出力をジッタに換算すること
により、このジッタ測定装置のノイズ成分を測定するこ
とができる．また，この光学系の近傍にポリゴンスキャ
ナ７及びビーム位置検出器５ｅ，５ｄを置き、光源６か
ら出射されたレーザビームＬ７がポリゴンスキャナ７に
より反射され走査したレーザビームＬ５及びＬ６を前記
ビーム位置検出器５ｅ，５ｄによりトリガ信号を発生し
，ポリゴンスキャナ７のジッタを測定する．このジッタ
データから前記のジッタ測定装置のノイズ成分を差し引
いて正しいジッタデータとすることができる． さらに、ビームスプリッタ２をレーザ光源１と半透明鏡
４の間に設け、先ビームＬ１を入射させて光ビームＬ１
の一部を分けてビーム位置センサ５ａに入射する構成と
し、レーザ光源ｌの変動による、前記ビームＬ１の傾き
を測定する。一方、前記半透明鏡４により分けられたビ
ームＬ３，Ｌ４もレーザ光源ｌの変動により傾き、それ
がビーム位置センサ５ｂ，５ｃにより検出される。従っ
て、ビーム位置センサ５ｂ，５ｃにより検出された量か
ら前記ビーム位置センサ５ａにより検出された量を差し
引くことにより．レーザ光源１の変動によるレーザビー
ムＬ１の傾きが補正される．例えばレーザ光源１にＨｅ
Ｎｅレーザを用いた場合、通常のＨ ｅ Ｎ ｅレーザ
では１０秒程度の出射ビームの傾きの変動が有ることが
知られているが、もし光ビームＬ１が図に示す座標の一
方向に１０秒傾いたとするとＬ３も一方向に１０秒傾く
がビームＬ４は図の十方向に１０秒傾くので見込角θは
２０秒拡がってしまう。この時ビームＬ２も十方向に１
０秒傾くのでビーム位置センサ５ａの出力からピームＬ
２の傾きを算出し，見込角θの変動分を差し引けば光源
の影響を受けずにノイズ戊分を算出することができる． （発明の効果） 以上詳細に説明したように本発明によれば光走査装置の
ジッタ測定器の光走査装置に起因しない誤差成分のみの
測定と、実際のジッダ測定とを同時に行える光学系とし
たのでジツタ測定データをリアルタイムで補正して高精
度にジツタ測定ができる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来例の
構成図である。 １・・・レーザ光源 ２・・・ビームスプリッタ ４・・・半透明鏡 ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｅ，５ｄ−ビーム位置センサ６・
・・光源 ７・・・光走査装置 ２ｌ・・・反射ミラ ２２・・・回転多面鏡 ２３ａ， ２３ｂ・・・光ディテクタ ２４・・・カウンタ Ｌ １ ＝ Ｌ２ ，Ｌ ３ ，Ｌ ４ ＊ Ｌ ５
，Ｌ ６ ，Ｌ ７ − Ｌａ ，Ｌｂ・・・光ビーム
構成図である。 １・・・レーザ光源 ２・・・ビームスプリッタ ４・・・半透明鏡 ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｅ，５ｄ−ビーム位置センサ６・
・・光源 ７・・・光走査装置 ２ｌ・・・反射ミラ ２２・・・回転多面鏡 ２３ａ， ２３ｂ・・・光ディテクタ ２４・・・カウンタ Ｌ １ ＝ Ｌ２ ，Ｌ ３ ，Ｌ ４ ＊ Ｌ ５
，Ｌ ６ ，Ｌ ７ − Ｌａ ，Ｌｂ・・・光ビーム
Claims (2)
- （１）光源（６）から出射された光ビーム（Ｌ７）をポ
リゴンスキャナ（７）に入射させ、走査した光ビーム（
Ｌ５）、（Ｌ６）をビーム位置センサ（５ｅ）、（５ｄ
）にそれぞれ入射せしめて、ジッタを測定する光走査装
置のジッタ測定装置において、 光源（１）から発せられた光ビーム（Ｌ１）を前記ポリ
ゴンスキャナ（７）の近傍に設けられた半透明鏡（４）
に入射させ、その透過した光ビーム（Ｌ３）及び反射し
た光ビーム（Ｌ４）を前記ビーム位置センサ（５ｅ）、
（５ｄ）の近傍に設けられたビーム位置センサ（５ｂ）
、（５ｃ）に入射する構成を付加したことを特徴とする
光走査装置ジッタ測定装置。 - （２）光源（１）から半透明鏡（４）の間にビームスプ
リッタ（２）を設け、分けられた光ビーム（Ｌ２）を直
接ビーム位置センサ（５ａ）に入射させる構成とするこ
とを特徴とする請求項１記載の光走査装置ジッタ測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30673089A JPH03167440A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 光走査装置のジッタ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30673089A JPH03167440A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 光走査装置のジッタ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167440A true JPH03167440A (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=17960609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30673089A Pending JPH03167440A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 光走査装置のジッタ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03167440A (ja) |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30673089A patent/JPH03167440A/ja active Pending
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