JPH03167438A - 動的面出入り測定装置 - Google Patents
動的面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH03167438A JPH03167438A JP30672889A JP30672889A JPH03167438A JP H03167438 A JPH03167438 A JP H03167438A JP 30672889 A JP30672889 A JP 30672889A JP 30672889 A JP30672889 A JP 30672889A JP H03167438 A JPH03167438 A JP H03167438A
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- Japan
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- mirror
- laser beam
- laser
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザプリンタ等に用いられるポリゴンミラ
ーを使ったレーザスキャニング装ｉｆの評価装置に関す
るものである。
ーを使ったレーザスキャニング装ｉｆの評価装置に関す
るものである。
（従来の技ｖｆＩ）
レーザプリンタでは、高解像度，高印字品質むどの性能
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも，レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの鯖度で加工組立てを行ない，
ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証しな
ければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがスピ
ンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキャ
ナの寸法、而倒れ等の加工精度などの光学特性を静的に
測定する方法は実用化されている。しかし、スキャナが
高速に回転している状態での動的な而の出入り（軸ぶれ
を含む）を実測する有効な手段がなく、装１？Ｌに実装
のうえ印字の結果でその良否を判定する方法を採用する
しかなかった．（発明が解決しようとする課題） 前記従来の方法では，作業効率が低く生産性の向上が期
待できず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が切望されていた。
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも，レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの鯖度で加工組立てを行ない，
ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証しな
ければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがスピ
ンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキャ
ナの寸法、而倒れ等の加工精度などの光学特性を静的に
測定する方法は実用化されている。しかし、スキャナが
高速に回転している状態での動的な而の出入り（軸ぶれ
を含む）を実測する有効な手段がなく、装１？Ｌに実装
のうえ印字の結果でその良否を判定する方法を採用する
しかなかった．（発明が解決しようとする課題） 前記従来の方法では，作業効率が低く生産性の向上が期
待できず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が切望されていた。
又、動的な面の出入り量が、ミラー面全体に渡ってどの
ようになっているかを測定できれば回転中のミラーの歪
みの程度を知ることができるため高精度なスキャナの評
価、解析に有用となる。
ようになっているかを測定できれば回転中のミラーの歪
みの程度を知ることができるため高精度なスキャナの評
価、解析に有用となる。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、
実施例に対応する第工図で説明すると、回転しているポ
リゴンミラ−１に第１のレーザ光源２から出射されたレ
ーザビームＬ１をｎ個のビームスプリッタＢ１．Ｂ２・
・・・・・Ｂｎでｎ個のレーザビームＬａｌ，Ｌａ２・
・・・・・Ｌａｎに分けて入射し、その反射されたレー
ザビームＬｂｌ，Ｌｂ２・・・・・・Ｌｂｎがシリンド
リカルレンズ７を通り，通過後のレーザビームの位置を
検出する位置検出器ＤＩ，Ｄ２・・・・・・Ｄｎに入射
し、更に第２のレーザ光源４から出射されたレーザビー
ムＬ３はハーフミラー５を通過させ、その通過したレー
ザビームＬ４をポリゴンミラ−１に入射し、その反射さ
れたレーザビームＬ５を前記ハーフミラー５に入射し，
その反射光Ｌ６をトリガ発生器６に入射するように構成
したものである。
実施例に対応する第工図で説明すると、回転しているポ
リゴンミラ−１に第１のレーザ光源２から出射されたレ
ーザビームＬ１をｎ個のビームスプリッタＢ１．Ｂ２・
・・・・・Ｂｎでｎ個のレーザビームＬａｌ，Ｌａ２・
・・・・・Ｌａｎに分けて入射し、その反射されたレー
ザビームＬｂｌ，Ｌｂ２・・・・・・Ｌｂｎがシリンド
リカルレンズ７を通り，通過後のレーザビームの位置を
検出する位置検出器ＤＩ，Ｄ２・・・・・・Ｄｎに入射
し、更に第２のレーザ光源４から出射されたレーザビー
ムＬ３はハーフミラー５を通過させ、その通過したレー
ザビームＬ４をポリゴンミラ−１に入射し、その反射さ
れたレーザビームＬ５を前記ハーフミラー５に入射し，
その反射光Ｌ６をトリガ発生器６に入射するように構成
したものである。
（作用）
本発明によれば，多数のレーザビームＬａ １，Ｌａ２
・・・・・・Ｌａｎをポリゴンミラ−１のミラー而に入
射し、その反射したレーザビームＬｂ ｌ，Ｌｂ２・・
・・・・Ｌｂｎの位置ずれ量は面の出入り成分に比例す
るためポリゴンミラ−１のある面中の走査方向の面出入
り量の測定が可能となる。
・・・・・・Ｌａｎをポリゴンミラ−１のミラー而に入
射し、その反射したレーザビームＬｂ ｌ，Ｌｂ２・・
・・・・Ｌｂｎの位置ずれ量は面の出入り成分に比例す
るためポリゴンミラ−１のある面中の走査方向の面出入
り量の測定が可能となる。
更に、第２のレーザ光源４から出射されたレーザ光Ｌ３
はハーフミラー５を通過し、ポリゴンミラ−１に入射す
る，このレーザビームＬ３も同様にポリゴンの回転に伴
って走査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射
レーザビームＬ４が垂直になったとき、反射レーザビー
ムＬ５がハーフミラー５に入射し、その反射光Ｌ６がト
リガ発生器６に入射する．従ってポリゴンミラ−１が同
図のような状態になったとき、トリガ発生器６からトリ
ガ信号が発生し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出
力信号をａ測すれば動的面出入り量が測定される。
はハーフミラー５を通過し、ポリゴンミラ−１に入射す
る，このレーザビームＬ３も同様にポリゴンの回転に伴
って走査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射
レーザビームＬ４が垂直になったとき、反射レーザビー
ムＬ５がハーフミラー５に入射し、その反射光Ｌ６がト
リガ発生器６に入射する．従ってポリゴンミラ−１が同
図のような状態になったとき、トリガ発生器６からトリ
ガ信号が発生し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出
力信号をａ測すれば動的面出入り量が測定される。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を説明する図であって、第ｌ
のレーザ光源２からほぼ平行なレーザビームＬｌが出射
され，ｎ個、例えば５個のビームスプリッタＢｌ，Ｂ２
・・・・・・Ｂ５で分けられレーザビームＬａｌ，Ｌａ
２・・・・・・Ｌａ５を発生させる．ビームスプリツタ
の反射率はＢｌ，Ｂ２・・・・・・Ｂ５の順で１−２−
’，２−’，２−３．２−”，Ｓ”としてレーザビーム
Ｌａｌ．Ｌａ２・・・・・・Ｌａ５のレーザパワーを等
しくする。
のレーザ光源２からほぼ平行なレーザビームＬｌが出射
され，ｎ個、例えば５個のビームスプリッタＢｌ，Ｂ２
・・・・・・Ｂ５で分けられレーザビームＬａｌ，Ｌａ
２・・・・・・Ｌａ５を発生させる．ビームスプリツタ
の反射率はＢｌ，Ｂ２・・・・・・Ｂ５の順で１−２−
’，２−’，２−３．２−”，Ｓ”としてレーザビーム
Ｌａｌ．Ｌａ２・・・・・・Ｌａ５のレーザパワーを等
しくする。
このレーザビームＬａ １，Ｌａ ２・・・・・・Ｌａ
５を角度をもって、回転しているポリゴンミラ−１．に
入射する。入射されたレーザビームＬａｌ，Ｌａ２・・
・・・・Ｌａｎはポリゴンミラーの回転に伴い走査する
がポリゴンミラーが同図の様な状態になった時，ポリゴ
ンミラーからの反射光Ｌｂｌ，Ｌｂ２・・・・・・Ｌｂ
５はシリンドリカルレンズ７を通り、レーザビーム位置
検出器Ｄｉ，Ｄ２・・・・・・Ｄ５に入射する。
５を角度をもって、回転しているポリゴンミラ−１．に
入射する。入射されたレーザビームＬａｌ，Ｌａ２・・
・・・・Ｌａｎはポリゴンミラーの回転に伴い走査する
がポリゴンミラーが同図の様な状態になった時，ポリゴ
ンミラーからの反射光Ｌｂｌ，Ｌｂ２・・・・・・Ｌｂ
５はシリンドリカルレンズ７を通り、レーザビーム位置
検出器Ｄｉ，Ｄ２・・・・・・Ｄ５に入射する。
このシリンドリカルレンズ７はポリゴンミラーの副走査
方向のビーム位置ずれになる面倒れを同時に発生してい
るので、これによるビーム位置検出器３の出力誤差を低
減するためのものである。
方向のビーム位置ずれになる面倒れを同時に発生してい
るので、これによるビーム位置検出器３の出力誤差を低
減するためのものである。
また、第２のレーザ光源４から出射されたレーザ光Ｌ３
はハーフミラー５を通過しポリゴンミラ−１に入射する
。このレーザビームＬ ３も同様にポリゴンの回転に伴
って走査するが同図のようにボリゴンのミラー面と入射
レーザビームＬ４が垂直になったとき、反射レーザビー
ムＬ５がハーフミラー５に入射し、その反射光Ｌ６がト
リガ発生器６に入射する。従ってポリゴンミラ−１が同
図のような状態になったとき，トリガ発生器６からトリ
ガ信号が発生し、その瞬間の前記ビーム｛！’Ｚ置検出
器の出力ｆａ号をｍ測すれば動的面出入り量が測定され
る。ここで第２図によりレーザビームＬａｌを例に、而
出入り量の計算方法を説明すると、レーザピームＬａｌ
が，ポリゴンミラ一面が状態Ａの時、反射光はＬ ｂ
１のようになる．ここで面が出て状態Ｂになった時の反
射光は，Ｌｃとなる。ここでビームの移動量を図のよう
にｄ１とすると面出入り量ｄＯは ｄｏ＝ｄ１ｃｏｓ （０／２） となる。
はハーフミラー５を通過しポリゴンミラ−１に入射する
。このレーザビームＬ ３も同様にポリゴンの回転に伴
って走査するが同図のようにボリゴンのミラー面と入射
レーザビームＬ４が垂直になったとき、反射レーザビー
ムＬ５がハーフミラー５に入射し、その反射光Ｌ６がト
リガ発生器６に入射する。従ってポリゴンミラ−１が同
図のような状態になったとき，トリガ発生器６からトリ
ガ信号が発生し、その瞬間の前記ビーム｛！’Ｚ置検出
器の出力ｆａ号をｍ測すれば動的面出入り量が測定され
る。ここで第２図によりレーザビームＬａｌを例に、而
出入り量の計算方法を説明すると、レーザピームＬａｌ
が，ポリゴンミラ一面が状態Ａの時、反射光はＬ ｂ
１のようになる．ここで面が出て状態Ｂになった時の反
射光は，Ｌｃとなる。ここでビームの移動量を図のよう
にｄ１とすると面出入り量ｄＯは ｄｏ＝ｄ１ｃｏｓ （０／２） となる。
この様に反射レーザビームＬｂｌ，Ｌｂ２，・・・Ｌ
ｂ ｎの位同ずれを側定できるので面の出入り量を求め
ることができる． （発明の効果） 以］−．、詳細に説明したように本発明によれば、レー
ザ光を２個用いることによりスキャナモー夕が同転して
いるときの動的な面の出入り量が８１リ定できる。
ｂ ｎの位同ずれを側定できるので面の出入り量を求め
ることができる． （発明の効果） 以］−．、詳細に説明したように本発明によれば、レー
ザ光を２個用いることによりスキャナモー夕が同転して
いるときの動的な面の出入り量が８１リ定できる。
また，多数のレーザビームを用いることにより走企方向
の面出入り量がポリゴンミラー面全体に渡ってどのよう
になっているか測定することができる利点を有する。
の面出入り量がポリゴンミラー面全体に渡ってどのよう
になっているか測定することができる利点を有する。
４．＋１２１面の帥Ｉ１１な説明
第１ １％／Ｉは木発明の一丈施例を示すスキャナの動
的面出入りｉＩ１リ定賀ｉＩ″゛Ｃの構成同、第２１ツ
１は木失施例の動作Ｊ＞＋ｆデ１！を説明する同である
．１・・ポリゴンミラー ２・・・第１のレーザ光源 ４・・・第２のレーザ光源 ５・・・ハーフミラー ６・・・１〜リガ発ｌ１ミ器 ７・・・シリンドリカノレレンズ １１１，１１２・・・・１３ ｎ・・・ビーｌ１スブリ
ソタＤ Ｉ ， Ｄ ２ − − Ｄ ｎ−レーザビ−
１ｚ 侍Ｙｌ検出オ｛特許出紅｛人 コパルＳ（（ ＝（一株人会社
的面出入りｉＩ１リ定賀ｉＩ″゛Ｃの構成同、第２１ツ
１は木失施例の動作Ｊ＞＋ｆデ１！を説明する同である
．１・・ポリゴンミラー ２・・・第１のレーザ光源 ４・・・第２のレーザ光源 ５・・・ハーフミラー ６・・・１〜リガ発ｌ１ミ器 ７・・・シリンドリカノレレンズ １１１，１１２・・・・１３ ｎ・・・ビーｌ１スブリ
ソタＤ Ｉ ， Ｄ ２ − − Ｄ ｎ−レーザビ−
１ｚ 侍Ｙｌ検出オ｛特許出紅｛人 コパルＳ（（ ＝（一株人会社
Claims (1)
- 第１のレーザ光源（２）から出射されたレーザビーム（
Ｌ１）をｎ個のビームスプリッタ（Ｂ１）、（Ｂ２）・
・・・・・（Ｂｎ）を介してｎ個のレーザビーム（Ｌａ
１）、（Ｌａ２）・・・・・・（Ｌａｎ）に分け、回転
しているポリゴンミラー（１）に入射し、その反射され
たレーザビーム（Ｌｂ１）、（Ｌｂ２）・・・・・・（
Ｌｂｎ）をシリンドリカルレンズ７を通して、通過後の
レーザビームの位置を検出する位置検出器（Ｄ１）、（
Ｄ２）・・・・・・（Ｄｎ）に入射し、更に第２のレー
ザ光源（４）から出射されたレーザビーム（Ｌ３）をハ
ーフミラー（５）を通過させ、その通過したレーザビー
ム（Ｌ４）をポリゴンミラー（１）に入射し、その反射
されたレーザビーム（Ｌ５）を前記ハーフミラー（５）
に入射し、その反射光（Ｌ６）をトリガ発生器（６）に
入射するように構成したことを特徴とする動的面出入り
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30672889A JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30672889A JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167438A true JPH03167438A (ja) | 1991-07-19 |
| JPH0682081B2 JPH0682081B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17960582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30672889A Expired - Lifetime JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682081B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30672889A patent/JPH0682081B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682081B2 (ja) | 1994-10-19 |
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