JPH03166950A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH03166950A JPH03166950A JP30520489A JP30520489A JPH03166950A JP H03166950 A JPH03166950 A JP H03166950A JP 30520489 A JP30520489 A JP 30520489A JP 30520489 A JP30520489 A JP 30520489A JP H03166950 A JPH03166950 A JP H03166950A
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Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインク滴を飛翔させ記録紙等の媒体上にインク
像を形成するプリンタ等インクジェット記録装置に関し
、さらに詳細にはインクジェットプリンタヘッドに関す
る。
像を形成するプリンタ等インクジェット記録装置に関し
、さらに詳細にはインクジェットプリンタヘッドに関す
る。
複数のノズルを有するノズル形成基板と、ノズルの各々
に対向して1対1に配置された圧力発生部材からなる圧
電変換器と、この圧電変換器とノズル形成基板との間隙
及び圧電変換器の周辺を満たすインクとを備え、印加電
圧により圧電変換器を変位させてインクをノズルから吐
出させるオンデマンド型インクジェットヘッドは、特公
昭60−8953号公報に開示されている。この構造の
インクジェットヘッドは、圧電変換器がノズル形成基板
に対してほぼ直角方向に変位することと、ノズルメニス
カスのインク流路が短いため、インクの吐出効率および
吐出安定性が高く、インク中に気泡・ゴミ等の異物が混
入した場合でもこの影響を受けずに正常動作が可能であ
るという利点を有している。
に対向して1対1に配置された圧力発生部材からなる圧
電変換器と、この圧電変換器とノズル形成基板との間隙
及び圧電変換器の周辺を満たすインクとを備え、印加電
圧により圧電変換器を変位させてインクをノズルから吐
出させるオンデマンド型インクジェットヘッドは、特公
昭60−8953号公報に開示されている。この構造の
インクジェットヘッドは、圧電変換器がノズル形成基板
に対してほぼ直角方向に変位することと、ノズルメニス
カスのインク流路が短いため、インクの吐出効率および
吐出安定性が高く、インク中に気泡・ゴミ等の異物が混
入した場合でもこの影響を受けずに正常動作が可能であ
るという利点を有している。
しかし前記の従来技術では、圧力発生部材表iのノズル
形成基板に対向する面にNi等の金属4を配置し、その
面に対向する面に金メッキ等に,り電極を配置し、その
間に圧電素子をはさんで一た。この金属板と電極間に電
圧をかけると圧電E子の厚み方向に電界を発生し、圧電
素子はd315果により圧力発生部材の長手方向に収縮
するが、圧力発生部材のノズル形成基板側には、電界に
,っては変形しない金属板が配置されているため、圧力
発生部材はノズル形成基板と.垂直方向にたりんでいた
。このように圧力発生部材は金属板とI電素子を2層構
造にする必要があり、大変形時Gは2層間の接合部分で
応力が不連続になり、接f面に大きなせん断応力がかか
り剥離する等の間1点を有していた。また従来の製造方
法では、圧づ発生部材は圧電素子板に金属板を接合し構
成し゜・いたが、これでは接合時に圧電素子に外力がか
ズリ、圧電素子が薄いと欠ける、割れる等の問題ズあり
、強度の問題から圧電素子を50μm以下番薄くするこ
とは難しかった。従って圧電素子の厚み方向に電圧をか
けて圧力発生部材を変形させる場合に十分な電界強度を
得るには、圧力発生部材の印加電圧を高くせざるを得す
、圧力発生部材駈動回路コスト上昇、回路内絶縁破壊等
の問題を有していた。
形成基板に対向する面にNi等の金属4を配置し、その
面に対向する面に金メッキ等に,り電極を配置し、その
間に圧電素子をはさんで一た。この金属板と電極間に電
圧をかけると圧電E子の厚み方向に電界を発生し、圧電
素子はd315果により圧力発生部材の長手方向に収縮
するが、圧力発生部材のノズル形成基板側には、電界に
,っては変形しない金属板が配置されているため、圧力
発生部材はノズル形成基板と.垂直方向にたりんでいた
。このように圧力発生部材は金属板とI電素子を2層構
造にする必要があり、大変形時Gは2層間の接合部分で
応力が不連続になり、接f面に大きなせん断応力がかか
り剥離する等の間1点を有していた。また従来の製造方
法では、圧づ発生部材は圧電素子板に金属板を接合し構
成し゜・いたが、これでは接合時に圧電素子に外力がか
ズリ、圧電素子が薄いと欠ける、割れる等の問題ズあり
、強度の問題から圧電素子を50μm以下番薄くするこ
とは難しかった。従って圧電素子の厚み方向に電圧をか
けて圧力発生部材を変形させる場合に十分な電界強度を
得るには、圧力発生部材の印加電圧を高くせざるを得す
、圧力発生部材駈動回路コスト上昇、回路内絶縁破壊等
の問題を有していた。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、圧力発生部材に印加する電圧が
低くても十分な変位が得られ、大変形時にも層構造の接
合部の剥離等がない圧力発生部材を製造可能にすること
にある。これにより安価でインク滴吐出の安定した、印
字品質のよいインクジェットヘッドを提供することがで
きる。
の目的とするところは、圧力発生部材に印加する電圧が
低くても十分な変位が得られ、大変形時にも層構造の接
合部の剥離等がない圧力発生部材を製造可能にすること
にある。これにより安価でインク滴吐出の安定した、印
字品質のよいインクジェットヘッドを提供することがで
きる。
上記課題を解決するため本発明のインクジェットヘッド
は、梁状の圧力発生部材を片持ち支持し、印加電圧によ
り前記圧力発生部材を変形させインクを加圧し、インク
滴をノズルから飛翔させ、記録紙上に付着させて画像を
形成するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生
部材表面の1面の外周部分に正極または負極の電極が配
設され、前記表面の中央部に前記電極に相対する極性を
持つ、前記圧力発生部材長手方向に帯状の電極が配設さ
れていることを特徴とする。
は、梁状の圧力発生部材を片持ち支持し、印加電圧によ
り前記圧力発生部材を変形させインクを加圧し、インク
滴をノズルから飛翔させ、記録紙上に付着させて画像を
形成するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生
部材表面の1面の外周部分に正極または負極の電極が配
設され、前記表面の中央部に前記電極に相対する極性を
持つ、前記圧力発生部材長手方向に帯状の電極が配設さ
れていることを特徴とする。
また、前記圧力発生部材のノズル形成基板に垂直な方向
の厚みが50μm以下であることを特徴とする。
の厚みが50μm以下であることを特徴とする。
本発明は圧力発生部材の1面のみに正極と負極の電極を
配置するので、両電極の間隔は圧力発生部材を構成する
圧電素子の厚み番二関係なく狭くすることができ、圧電
素子内の電界強度を変える事なく駈動電圧を低くするこ
とができる。またこの電極の配置により、圧電素子内に
電極に近いほど強く、遠いほど弱い連続的な電界分布を
発生させることが可能になる。これにより電極に近いほ
ど大きく、遠いほど小さい連続的な応力分布が発生する
ため、圧力発生部材内でせん断力の集中がなく応力破壊
しにくくなる。
配置するので、両電極の間隔は圧力発生部材を構成する
圧電素子の厚み番二関係なく狭くすることができ、圧電
素子内の電界強度を変える事なく駈動電圧を低くするこ
とができる。またこの電極の配置により、圧電素子内に
電極に近いほど強く、遠いほど弱い連続的な電界分布を
発生させることが可能になる。これにより電極に近いほ
ど大きく、遠いほど小さい連続的な応力分布が発生する
ため、圧力発生部材内でせん断力の集中がなく応力破壊
しにくくなる。
以下本発明の詳細を実施例により図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は本発明におけるインクジェットヘッドを搭載し
たプリンタの斜視図であって、記録媒体lは送りローラ
ー2,3の押圧によりプラテン4に捲き回され、記録の
進行に従い矢印5の方向に搬送される。ガイド軸6.7
に案内されプラテン4の軸に平行な方向に移動可能なキ
ャリッジ8上には、複数のノズルを有するインクジェッ
トヘッド9が搭載されており、矢印10の方向に移動し
つつ各々のノズルからインク滴を吐出して記録媒体上に
インク像を形成する。
たプリンタの斜視図であって、記録媒体lは送りローラ
ー2,3の押圧によりプラテン4に捲き回され、記録の
進行に従い矢印5の方向に搬送される。ガイド軸6.7
に案内されプラテン4の軸に平行な方向に移動可能なキ
ャリッジ8上には、複数のノズルを有するインクジェッ
トヘッド9が搭載されており、矢印10の方向に移動し
つつ各々のノズルからインク滴を吐出して記録媒体上に
インク像を形成する。
第2図は本発明の実施例を示すインクジェットヘッド断
面図である。ノズル形成基板31に配置されたノズル3
0と対応する位置に圧力発生部材23がスペーサ−32
を介してノズル形成基板31に接合され、圧力発生部材
23とノズル形成基板3lの間隔gが5μmがら20μ
mとなるように構成されている。圧力発生部材23は圧
電素子21と2本の電極20からなる。ノズル形成基板
31とケーシング35によって囲まれる空間にはインク
33が満たされ、圧力発生部材23はインク33の中に
浸されている。
面図である。ノズル形成基板31に配置されたノズル3
0と対応する位置に圧力発生部材23がスペーサ−32
を介してノズル形成基板31に接合され、圧力発生部材
23とノズル形成基板3lの間隔gが5μmがら20μ
mとなるように構成されている。圧力発生部材23は圧
電素子21と2本の電極20からなる。ノズル形成基板
31とケーシング35によって囲まれる空間にはインク
33が満たされ、圧力発生部材23はインク33の中に
浸されている。
第3図は本発明の実施例を示すインクジェットヘッドの
圧力発生部材23の図である。圧力発生部材23の圧電
素子21の厚6tは100μm以下、幅bは500μm
以下、長さ1は3mm以下である。電極20は圧力発生
部材23のノズル形成基板31と反対側の一面にのみ、
その面の外周部分を囲む形で配置されている。また電極
26は圧力発生部材23の中央部に長手方向に帯状に配
設されていて、電極20と電極26は間隔eを介して電
気的に絶縁されている。電極20と電極26の厚みt.
はlOμm以下、幅Xは100μm以下である。電[i
20と電極26間に電圧22を印加すると電界40が圧
電素子21内に発生する。
圧力発生部材23の図である。圧力発生部材23の圧電
素子21の厚6tは100μm以下、幅bは500μm
以下、長さ1は3mm以下である。電極20は圧力発生
部材23のノズル形成基板31と反対側の一面にのみ、
その面の外周部分を囲む形で配置されている。また電極
26は圧力発生部材23の中央部に長手方向に帯状に配
設されていて、電極20と電極26は間隔eを介して電
気的に絶縁されている。電極20と電極26の厚みt.
はlOμm以下、幅Xは100μm以下である。電[i
20と電極26間に電圧22を印加すると電界40が圧
電素子21内に発生する。
電界40は圧電素子21内では電極20および電極26
に近いほど強く、遠いほど弱い。この電界40によって
圧電素子21は歪むが、圧電素子21の圧電定数d3+
による歪41は電極20に近いほど大きく、遠いほど小
さくなり、圧電素子21内で連続的な分布をする。この
歪41によって圧力発生部材23は第4図に示すように
たわむ。この際、電liji20と電極26の間隔eを
狭くすれば、圧電素子21の厚みtに関係なく電界40
は間隔eに反比例して大きくなるため、圧力発生部材2
3のたわみ量は大きくなる。この際電界40が圧電素子
21内で厚みt方向に連続的に分布するので、圧力発生
部材23内部で発生する応力も連続でせん断力の集中が
なく、圧力発生部材23は破壊しにくくなる。
に近いほど強く、遠いほど弱い。この電界40によって
圧電素子21は歪むが、圧電素子21の圧電定数d3+
による歪41は電極20に近いほど大きく、遠いほど小
さくなり、圧電素子21内で連続的な分布をする。この
歪41によって圧力発生部材23は第4図に示すように
たわむ。この際、電liji20と電極26の間隔eを
狭くすれば、圧電素子21の厚みtに関係なく電界40
は間隔eに反比例して大きくなるため、圧力発生部材2
3のたわみ量は大きくなる。この際電界40が圧電素子
21内で厚みt方向に連続的に分布するので、圧力発生
部材23内部で発生する応力も連続でせん断力の集中が
なく、圧力発生部材23は破壊しにくくなる。
第5図(a), (b), (c)は第2図に示し
たインクジェットヘッドの圧力発生部材23の長手方向
の断面図、第5図(d), (e). (f)はノ
ズル中心軸を通る圧力発生部材23の幅方向の断面図で
ある。第5図(a)と(d)、 (b)と(e)、 (
C)と(f)はそれぞれ対応する。
たインクジェットヘッドの圧力発生部材23の長手方向
の断面図、第5図(d), (e). (f)はノ
ズル中心軸を通る圧力発生部材23の幅方向の断面図で
ある。第5図(a)と(d)、 (b)と(e)、 (
C)と(f)はそれぞれ対応する。
第5図(a)および(d)に示すように、ノズル形成基
板31に配置されたノズル30と対応する位置に圧力発
生部材23がスペーサ−32を介してノズル形成基板3
1に接合され、圧力発生部材23とノズル形成基板31
の間隔gが5μmから20μmとなるように構成されて
いる。ノズル形成基板31とケーシング35によって囲
まれる空間にはインク33が満たされ、圧力発生部材2
3はインク33の中に浸されている。第5図(e)に示
すように電fi20と電極26間に電圧22を印加する
と圧電素子21内には電界40が発生する。その結果第
5図(b)に示すように圧電素子21内には圧電定数d
31により歪41が発生し、圧力発生部材23はたわん
で、先端は矢印25方向に変位する。その後第5図(f
)に示すように電1fi20と電極26間を短絡すると
電極26に貯っていた電荷が放電し、圧力発生部材23
は矢印42の方向に変位しインク滴34をノズル30よ
り吐出する。
板31に配置されたノズル30と対応する位置に圧力発
生部材23がスペーサ−32を介してノズル形成基板3
1に接合され、圧力発生部材23とノズル形成基板31
の間隔gが5μmから20μmとなるように構成されて
いる。ノズル形成基板31とケーシング35によって囲
まれる空間にはインク33が満たされ、圧力発生部材2
3はインク33の中に浸されている。第5図(e)に示
すように電fi20と電極26間に電圧22を印加する
と圧電素子21内には電界40が発生する。その結果第
5図(b)に示すように圧電素子21内には圧電定数d
31により歪41が発生し、圧力発生部材23はたわん
で、先端は矢印25方向に変位する。その後第5図(f
)に示すように電1fi20と電極26間を短絡すると
電極26に貯っていた電荷が放電し、圧力発生部材23
は矢印42の方向に変位しインク滴34をノズル30よ
り吐出する。
以上の実施例では、電極20と電極26が圧力発生部材
23の片面にのみ配置されているので、電界40の強度
は圧電素子21内で厚み方向に分布し、これによって圧
力発生部材23はたわむ。
23の片面にのみ配置されているので、電界40の強度
は圧電素子21内で厚み方向に分布し、これによって圧
力発生部材23はたわむ。
この際、圧電素子21内で電界40は連続的に分布する
のでせん断応力集中がなく、圧力発生部材23は破壊し
難くなる。また、従来のように圧電素子21と金属板を
接合してたわませる必要がなく、圧電素子21が接合に
よって外力がかかり破壊することがない。これらの理由
から本実施例では圧力発生部材23の厚みを従来に比べ
て薄くすることが可能となる。
のでせん断応力集中がなく、圧力発生部材23は破壊し
難くなる。また、従来のように圧電素子21と金属板を
接合してたわませる必要がなく、圧電素子21が接合に
よって外力がかかり破壊することがない。これらの理由
から本実施例では圧力発生部材23の厚みを従来に比べ
て薄くすることが可能となる。
第6図は本発明の圧力発生部材23を複数個配列した斜
視図である。圧力発生部材23は電極26側に配設され
たドライバ25によって駆動される。本実施例では圧力
発生部材23の表面を囲むように電極20を配置してい
るために圧力発生部材23を複数個、横手方向に一列に
配置した場合、隣合った圧力発生部材23の隣接した電
極20を共有できる。これにより、複数個圧力発生部材
23を配設した場合、−電[i20を一筆書きのように
一本で構成し、電極本数を減らして構造を簡略′化する
ことができる。
視図である。圧力発生部材23は電極26側に配設され
たドライバ25によって駆動される。本実施例では圧力
発生部材23の表面を囲むように電極20を配置してい
るために圧力発生部材23を複数個、横手方向に一列に
配置した場合、隣合った圧力発生部材23の隣接した電
極20を共有できる。これにより、複数個圧力発生部材
23を配設した場合、−電[i20を一筆書きのように
一本で構成し、電極本数を減らして構造を簡略′化する
ことができる。
第7図(a),(b).(c).(d),(e)(f)
. (g)は本発明におけるインクジェットヘッドの
製造工程を示す図である。本発明では従来の物に比べて
圧力発生部材の厚みを薄くすることができるので、以下
に示す実施例のように圧電素子21を薄膜技術によって
その厚さが50μm以下となるように構成することが可
能となる。
. (g)は本発明におけるインクジェットヘッドの
製造工程を示す図である。本発明では従来の物に比べて
圧力発生部材の厚みを薄くすることができるので、以下
に示す実施例のように圧電素子21を薄膜技術によって
その厚さが50μm以下となるように構成することが可
能となる。
第7図(a)においてノズル形成基板31の材料はセラ
ミックで、レーザー加工によってノズル30が開けられ
、また段差35が配置されている。
ミックで、レーザー加工によってノズル30が開けられ
、また段差35が配置されている。
段差の高さyは5μmから20μmである。次に第7図
(b)に示すようにノズル形成基板31の溝部56にフ
ォトレジスト50を積層し、更にその上に第7図(C)
に示すように圧電素子21を積層する。この実施例では
圧電素子21としてPZTを用いている。この際、PZ
Tは薄膜技術を用いて積層し、その厚みtは40μm以
上50μm以下である。こうしてできた物を高温環境に
さらしてPZTを焼結し、さらに圧電素子21の上に第
7図(d)に示すような電極パターン52を用いて、金
を蒸着すると第7図(e)に示すように金電極20が構
成される。金電極20の幅Xは50μm以上100μm
以下である。さらに第7図(f)に示すような電極パタ
ーン60を用いて、金を蒸着すると第7図(g)に示す
ように金電極26が構成される。ここに第7図(h)に
示すように圧力発生部材パターン54をフォトレジスト
によって積層し、エッチング液によって圧電素子21を
分割するための溝55をエッチングする。
(b)に示すようにノズル形成基板31の溝部56にフ
ォトレジスト50を積層し、更にその上に第7図(C)
に示すように圧電素子21を積層する。この実施例では
圧電素子21としてPZTを用いている。この際、PZ
Tは薄膜技術を用いて積層し、その厚みtは40μm以
上50μm以下である。こうしてできた物を高温環境に
さらしてPZTを焼結し、さらに圧電素子21の上に第
7図(d)に示すような電極パターン52を用いて、金
を蒸着すると第7図(e)に示すように金電極20が構
成される。金電極20の幅Xは50μm以上100μm
以下である。さらに第7図(f)に示すような電極パタ
ーン60を用いて、金を蒸着すると第7図(g)に示す
ように金電極26が構成される。ここに第7図(h)に
示すように圧力発生部材パターン54をフォトレジスト
によって積層し、エッチング液によって圧電素子21を
分割するための溝55をエッチングする。
フォトレジスト50.54を取り除くと、第7図(i)
に示すようなインクジェットヘッドが構成される。圧力
発生部材23の#bは200μm以上600JJm以下
、長さlは0.5mm以上3mm以下、厚みtは40μ
m以上50μm以下である。厚みtが40μm以上50
μm以下と従来のものに比べて薄くなることによって、
薄膜技術によって製造が可能になり、製造コストが下が
り、大量生産が可能になる。
に示すようなインクジェットヘッドが構成される。圧力
発生部材23の#bは200μm以上600JJm以下
、長さlは0.5mm以上3mm以下、厚みtは40μ
m以上50μm以下である。厚みtが40μm以上50
μm以下と従来のものに比べて薄くなることによって、
薄膜技術によって製造が可能になり、製造コストが下が
り、大量生産が可能になる。
以上述べたように本発明のインクジェットヘッドは、圧
力発生部材表面の1面の外周部分に正極または負極の電
極が配股され、その表面の中央部に前記電極に相対する
極であって、圧力発生部材長手方向に帯状の電極が配股
されていることによって、圧力発生部材の圧電素子の厚
みに関係なく電極間の距離を狭くできるもので、圧電素
子にかかる電界強度を変えることなく駆動電圧を低くで
きる効果がある。これにより圧力発生部材駈動回路の簡
略化、電極絶縁処理の簡略化が可能で、コストの低減で
きる利点がある。また、圧力発生部材の一表面を囲む形
で電極を配置しているために圧力発生部材を多数、横手
方向に一列に配置した場合、隣合った圧力発生部材の隣
接した電極を共通とすることができ、構造を簡略化する
ことができる。また、電極を圧力発生部材の一表面のみ
に配置することによって、圧電素子内に電極に近いほど
強く、遠いほど弱い連続的な電界分布を発生させること
が可能になる。これにより電極に近いほど大きく、遠い
ほど小さい連続的な応力分布が発生するため、せん断力
の集中がなく、圧力発生部材が応力破壊しにくくなる。
力発生部材表面の1面の外周部分に正極または負極の電
極が配股され、その表面の中央部に前記電極に相対する
極であって、圧力発生部材長手方向に帯状の電極が配股
されていることによって、圧力発生部材の圧電素子の厚
みに関係なく電極間の距離を狭くできるもので、圧電素
子にかかる電界強度を変えることなく駆動電圧を低くで
きる効果がある。これにより圧力発生部材駈動回路の簡
略化、電極絶縁処理の簡略化が可能で、コストの低減で
きる利点がある。また、圧力発生部材の一表面を囲む形
で電極を配置しているために圧力発生部材を多数、横手
方向に一列に配置した場合、隣合った圧力発生部材の隣
接した電極を共通とすることができ、構造を簡略化する
ことができる。また、電極を圧力発生部材の一表面のみ
に配置することによって、圧電素子内に電極に近いほど
強く、遠いほど弱い連続的な電界分布を発生させること
が可能になる。これにより電極に近いほど大きく、遠い
ほど小さい連続的な応力分布が発生するため、せん断力
の集中がなく、圧力発生部材が応力破壊しにくくなる。
したがって従来より寿命の長い、インク滴吐出特性の安
定したインクジェットヘッドを提供できるのである。
定したインクジェットヘッドを提供できるのである。
また、,圧力発生部材が破壊し難くなることによって、
圧電素子の厚みを従来に比べて薄くすることが可能であ
る。これによって薄いバルクの圧電素子を使ったり、N
膜技術によって圧力発生部材の製造が可能になり、製造
コストが下がり、大量生産も可能になる。
圧電素子の厚みを従来に比べて薄くすることが可能であ
る。これによって薄いバルクの圧電素子を使ったり、N
膜技術によって圧力発生部材の製造が可能になり、製造
コストが下がり、大量生産も可能になる。
なお、本実施例では圧力発生部材形状が直方体であるが
、このことは圧力発生部材の形状になんら制限を加える
ものではなく、本発明においては圧力発生部材の形状は
表面上に電極を配置することが可能であればどのような
形状をしていてもよいことは発明の主旨状明白である。
、このことは圧力発生部材の形状になんら制限を加える
ものではなく、本発明においては圧力発生部材の形状は
表面上に電極を配置することが可能であればどのような
形状をしていてもよいことは発明の主旨状明白である。
またノズルに関しても、本実施例では形状がストレート
穴、またはホーン穴であるがであるが、このことはノズ
ル形状に何ら制限を加えるものではなく、本発明におい
てはノズルがどのような形状をしていてもよいことは発
明の主旨上明白である。
穴、またはホーン穴であるがであるが、このことはノズ
ル形状に何ら制限を加えるものではなく、本発明におい
てはノズルがどのような形状をしていてもよいことは発
明の主旨上明白である。
第1図は本発明による一実施例を示すインクジェットヘ
ッドを搭載したプリンタの斜視図。 第2図は本発明によるインクジェットヘッドの断面図。 第3図は本発明による圧力発生部材の斜視図。 第4図は本発明による圧力発生部材の変形図。 第5図(a). (b), (c)は本発明による
インクジェットヘッドの縦断面図、 (d).(e)(
f)は本発明によるインクジェットッドの横断面図。 第6図゛は本発明による圧力発生部材を複数個配列した
斜視図, 第7図(a).(b).(c).(d).(e)(f)
.(g),(h),(i)は本発明によるインクジェッ
トヘッドの製造工程を示す斜視図.1 記録媒体 9 インクジェットヘッド 20 電i 21 圧電素子22 印加
電圧 23 圧力発生部材25 3 0 3 2 3 4 5 0 5 4 ドライバ ノズル スペーサー インク滴 フォトレジスト フォトレジスト 2 6 31 3 3 3 5 5 2 電極 ノズル形成基板 インク 段差 電極パターン 以上
ッドを搭載したプリンタの斜視図。 第2図は本発明によるインクジェットヘッドの断面図。 第3図は本発明による圧力発生部材の斜視図。 第4図は本発明による圧力発生部材の変形図。 第5図(a). (b), (c)は本発明による
インクジェットヘッドの縦断面図、 (d).(e)(
f)は本発明によるインクジェットッドの横断面図。 第6図゛は本発明による圧力発生部材を複数個配列した
斜視図, 第7図(a).(b).(c).(d).(e)(f)
.(g),(h),(i)は本発明によるインクジェッ
トヘッドの製造工程を示す斜視図.1 記録媒体 9 インクジェットヘッド 20 電i 21 圧電素子22 印加
電圧 23 圧力発生部材25 3 0 3 2 3 4 5 0 5 4 ドライバ ノズル スペーサー インク滴 フォトレジスト フォトレジスト 2 6 31 3 3 3 5 5 2 電極 ノズル形成基板 インク 段差 電極パターン 以上
Claims (2)
- (1)梁状の圧力発生部材を片持ち支持し、印加電圧に
より前記圧力発生部材を変形させインクを加圧し、イン
ク滴をノズルから飛翔させ、記録紙上に付着させて画像
を形成するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発
生部材表面の1面の外周部分に正極または負極の電極が
配設され、前記表面の中央部に前記電極に相対する極性
を持つ、前記圧力発生部材長手方向に帯状の電極が配設
されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - (2)前記圧力発生部材のノズル形成基板に垂直な方向
の厚みが50μm以下であることを特徴とする請求項1
記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30520489A JPH03166950A (ja) | 1989-11-25 | 1989-11-25 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30520489A JPH03166950A (ja) | 1989-11-25 | 1989-11-25 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03166950A true JPH03166950A (ja) | 1991-07-18 |
Family
ID=17942305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30520489A Pending JPH03166950A (ja) | 1989-11-25 | 1989-11-25 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03166950A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6243114B1 (en) | 1997-11-27 | 2001-06-05 | Fujitsu Limited | Ink jet head providing improved printing resolution and printing speed |
US20130216084A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Kabushiki Kaisha Audio-Technica | Unidirectional condenser microphone and method for adjusting acoustic resistance |
-
1989
- 1989-11-25 JP JP30520489A patent/JPH03166950A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6243114B1 (en) | 1997-11-27 | 2001-06-05 | Fujitsu Limited | Ink jet head providing improved printing resolution and printing speed |
US20130216084A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Kabushiki Kaisha Audio-Technica | Unidirectional condenser microphone and method for adjusting acoustic resistance |
US9113261B2 (en) * | 2012-02-22 | 2015-08-18 | Kabushiki Kaisha Audio-Technica | Unidirectional condenser microphone and method for adjusting acoustic resistance |
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