JPH03162740A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH03162740A JPH03162740A JP30251289A JP30251289A JPH03162740A JP H03162740 A JPH03162740 A JP H03162740A JP 30251289 A JP30251289 A JP 30251289A JP 30251289 A JP30251289 A JP 30251289A JP H03162740 A JPH03162740 A JP H03162740A
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は情報の書換え可能な光磁気記録媒体に関する。
〔従来技術］
一般にこの種の光磁気記録媒体は、一定方向に磁界を印
加しつつ、光磁気記録材料をガラス基板面に磁化の方向
を揃えた状態で膜付けして構成され、記録はレーザ光ス
ポットを膜面に照射して加熱し、その部分の磁化の方向
を周辺磁界によって逆転させることによって、また再生
は記録面に直線偏光のレーザ光スポットを照射し、記録
部で生しる反射光の偏光面の回転を検光子を通して光強
度の変化として検出することによって夫々行うようにな
っている。
加しつつ、光磁気記録材料をガラス基板面に磁化の方向
を揃えた状態で膜付けして構成され、記録はレーザ光ス
ポットを膜面に照射して加熱し、その部分の磁化の方向
を周辺磁界によって逆転させることによって、また再生
は記録面に直線偏光のレーザ光スポットを照射し、記録
部で生しる反射光の偏光面の回転を検光子を通して光強
度の変化として検出することによって夫々行うようにな
っている。
この種の光磁気記録媒体においてはその光磁気記録特性
を維持するうえで材料の酸化防止が重要な課題の一つと
されているが、このような材料の酸化に対する配慮が不
要な構造として従来数原子層乃至数十原子層のプラチナ
（ＰＬ）層と数原子層のコバルト層（Ｃｏ）層とを交互
に複数回積層した構造のものが知られている（Ａｐｐｌ
ｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ５４（２４）
１２ Ｊｕｎｅ ２４８１〜２４８３頁． Ｊａｐａｎ
ｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｎｙ
ｓｉｃｓ ｖｏｌ．２８． Ｎｏ．４ Ａｐｒｉｌ．
１９８９＋６５９〜６６０頁）． 〔発明が解決しようとする課題〕 ところでこのようなＰｔ． Ｃｏ層の積層膜における反
射率は全体膜厚が１５０〜２００人で８０％に達し、膜
厚を大きくしてもこれ以上の反射率は向上せず略飽和状
態となり、力一回転角も０．２ｄｅｇで極大値を呈する
から、膜厚は１５０〜２００人程度とするのが望ましい
が、このような薄い積層膜を持つ光磁気記録媒体では再
生用レーザビームスポットを照射したときの積層膜の温
度が上昇し易く、温度上昇はカ一回転角の低下をもたら
し、再生信号の品質劣化を免れ得ないという問題があっ
た。
を維持するうえで材料の酸化防止が重要な課題の一つと
されているが、このような材料の酸化に対する配慮が不
要な構造として従来数原子層乃至数十原子層のプラチナ
（ＰＬ）層と数原子層のコバルト層（Ｃｏ）層とを交互
に複数回積層した構造のものが知られている（Ａｐｐｌ
ｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ５４（２４）
１２ Ｊｕｎｅ ２４８１〜２４８３頁． Ｊａｐａｎ
ｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｎｙ
ｓｉｃｓ ｖｏｌ．２８． Ｎｏ．４ Ａｐｒｉｌ．
１９８９＋６５９〜６６０頁）． 〔発明が解決しようとする課題〕 ところでこのようなＰｔ． Ｃｏ層の積層膜における反
射率は全体膜厚が１５０〜２００人で８０％に達し、膜
厚を大きくしてもこれ以上の反射率は向上せず略飽和状
態となり、力一回転角も０．２ｄｅｇで極大値を呈する
から、膜厚は１５０〜２００人程度とするのが望ましい
が、このような薄い積層膜を持つ光磁気記録媒体では再
生用レーザビームスポットを照射したときの積層膜の温
度が上昇し易く、温度上昇はカ一回転角の低下をもたら
し、再生信号の品質劣化を免れ得ないという問題があっ
た。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは温度による劣化の小さい光磁気記録
媒体を提供するにある。
目的とするところは温度による劣化の小さい光磁気記録
媒体を提供するにある。
本発明に係る光磁気記録媒体は、ｐｔ層と、ＣＯ原子数
に対し５〜４０ａｔｏｍｉｃ％のＦｅ原子数を含むＦｅ
−Ｃｏ合金層とを交互に積層した積層膜を有すること
を特徴とする。
に対し５〜４０ａｔｏｍｉｃ％のＦｅ原子数を含むＦｅ
−Ｃｏ合金層とを交互に積層した積層膜を有すること
を特徴とする。
〔作用］
本発明にあってはこれによって、高温度域でもより大き
なカー回転角を保持し得ることとなる。
なカー回転角を保持し得ることとなる。
〔実施例］
以下本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に説
明する． 第１図は本発明に係る光磁気記録媒体の断面構造図であ
り、図中１は透光性材料である、例えばガラス製の基板
を示している． 基板１上には厚さ１７人のプラチナ（ｐ ｔ）層２と、
厚さ５人の鉄一コバルト（Ｆｅ−Ｃｏ）合金層３とを交
互に複数回（例えば９回程度）繰り返し積層し、基板ｌ
と反対側の最終層をＰＬ層２とし、全体の膜厚を２１５
入に設定してある。
明する． 第１図は本発明に係る光磁気記録媒体の断面構造図であ
り、図中１は透光性材料である、例えばガラス製の基板
を示している． 基板１上には厚さ１７人のプラチナ（ｐ ｔ）層２と、
厚さ５人の鉄一コバルト（Ｆｅ−Ｃｏ）合金層３とを交
互に複数回（例えば９回程度）繰り返し積層し、基板ｌ
と反対側の最終層をＰＬ層２とし、全体の膜厚を２１５
入に設定してある。
Ｆｅ − Ｃｏ合金層３におけるＦｅの原子数はＣｏの
原子数の５〜４０ａｔｏｍｉｃ％である。Ｆｅの原子数
をＣｏの原子数５ 〜４０ａＬｏＩｌ＋ｉｃ％としたの
は４０ａｔｏｍｉｃ％を超えるとカー回転角（ｄｅｇ）
が低下し、また５％未満では、力一回転角の温度劣化防
止効果が十分でないことによる。
原子数の５〜４０ａｔｏｍｉｃ％である。Ｆｅの原子数
をＣｏの原子数５ 〜４０ａＬｏＩｌ＋ｉｃ％としたの
は４０ａｔｏｍｉｃ％を超えるとカー回転角（ｄｅｇ）
が低下し、また５％未満では、力一回転角の温度劣化防
止効果が十分でないことによる。
第２図はＣｏ原子数に対するＦｅ原子数の比率とカ一回
転角との関係を示すグラフであり、横軸にＣｏ原子数に
対するＦｅ原子数のａｔｏｍｉｃ％を、また縦軸にカー
回転角（ｄｅｇ）をとって示してある。このグラフから
明らかな如（Ｃｏの原子数に対するＦｅの原子数が４０
ａｔｏｍｉｃ％を超えるとカー回転角が急激に低下する
ことが解る。
転角との関係を示すグラフであり、横軸にＣｏ原子数に
対するＦｅ原子数のａｔｏｍｉｃ％を、また縦軸にカー
回転角（ｄｅｇ）をとって示してある。このグラフから
明らかな如（Ｃｏの原子数に対するＦｅの原子数が４０
ａｔｏｍｉｃ％を超えるとカー回転角が急激に低下する
ことが解る。
第３図は前述した本発明品におけるｐｉ層２、Ｆｅ −
Ｃｏ合金層３の形成に用いる高周波スパッタ装置の模式
図であり、図中１１は真空槽を示している。真空槽１１
内の下部には隔壁１１ａで隔てられてｐｔターゲット１
２， Ｃｏターゲット１３， 及びＣＯターゲット１
３の表面に５〜４０％の面積を占めるよう並べたＦｅタ
ーゲットｌ４が配設され、また真空槽１１の上部壁中央
には円板形の基板ホルダ１５が水平回転可能に配設され
、その下面に基板ｌを装着するようになっている。
Ｃｏ合金層３の形成に用いる高周波スパッタ装置の模式
図であり、図中１１は真空槽を示している。真空槽１１
内の下部には隔壁１１ａで隔てられてｐｔターゲット１
２， Ｃｏターゲット１３， 及びＣＯターゲット１
３の表面に５〜４０％の面積を占めるよう並べたＦｅタ
ーゲットｌ４が配設され、また真空槽１１の上部壁中央
には円板形の基板ホルダ１５が水平回転可能に配設され
、その下面に基板ｌを装着するようになっている。
そして前記基板ホルダｌ５の軸１５ａと前記各ターゲッ
目２との間及びターゲット１３． １４との間には夫々
高周波電源ｌ６を接続してある。
目２との間及びターゲット１３． １４との間には夫々
高周波電源ｌ６を接続してある。
而してこのようなスバッタ装置にあっては、基板１を基
板ホルダ１５の下面に固定し、真空槽ｌｌ内を所定の真
空度に設定した後、軸１５ａ回りに回転させつつ積層す
べき層材料であるＰｔ． Ｃｏ， Ｆｅの各ターゲッ｝
１２， １３． １４との間に高周波電源ｌ６の電圧を
印加し、ターゲット１２． １３． １４をスパッタし
、スパッタされた材料を基板ｌの表面に導いてこれに付
着させる．即ち、基板ホルダｌ５の回転によって基板１
がｐｔターゲットｌ２と対向する位置及びその近傍を移
動する過程ではＰｔＪｉ２が、また基板１がＣｏ， Ｆ
ｅターゲッ｝３３． ３４と対向する位置又はその近傍
を移動する過程ではＦｅ−Ｇｏ合金層２が積層され、基
板ホルダ１５の回転に伴ってｐｔ層２とＦｅ −Ｃｏ合
金層３とが交互に順次積層形威されてゆくこととなる。
板ホルダ１５の下面に固定し、真空槽ｌｌ内を所定の真
空度に設定した後、軸１５ａ回りに回転させつつ積層す
べき層材料であるＰｔ． Ｃｏ， Ｆｅの各ターゲッ｝
１２， １３． １４との間に高周波電源ｌ６の電圧を
印加し、ターゲット１２． １３． １４をスパッタし
、スパッタされた材料を基板ｌの表面に導いてこれに付
着させる．即ち、基板ホルダｌ５の回転によって基板１
がｐｔターゲットｌ２と対向する位置及びその近傍を移
動する過程ではＰｔＪｉ２が、また基板１がＣｏ， Ｆ
ｅターゲッ｝３３． ３４と対向する位置又はその近傍
を移動する過程ではＦｅ−Ｇｏ合金層２が積層され、基
板ホルダ１５の回転に伴ってｐｔ層２とＦｅ −Ｃｏ合
金層３とが交互に順次積層形威されてゆくこととなる。
第４図は本発明と従来品とにおけるカー回転角の温度特
性を示すグラフであり、横軸に温度（゜Ｃ）を、また縦
軸にカー回転角を（ｄｅｇ）の比（室温下でのカー回転
角に対する比〉をとって示してある。
性を示すグラフであり、横軸に温度（゜Ｃ）を、また縦
軸にカー回転角を（ｄｅｇ）の比（室温下でのカー回転
角に対する比〉をとって示してある。
グラフ中実線は本発明品の、また破線は従来品の各結果
を示している。なお、本発明の試料は厚さ１７人のｐｔ
層と厚さ５人のＦｅ−Ｃｏ合金層（Ｆｅ ： ４０ａ
ｔｏｔｍ ｉ ｃ％）とを９回繰り返し積層した禎ＪＷ
）１１を有する光磁気記録媒体を用いた．一方従来品の
試料は厚さｌ７人のｐｔ層と５人のＣｏ層とを同じく９
回繰り返し積層した積層膜を有する光磁気記録媒体を用
いた。このグラフから明らかなようにカー回転角の低下
が大幅に低減し得ていることが解る。
を示している。なお、本発明の試料は厚さ１７人のｐｔ
層と厚さ５人のＦｅ−Ｃｏ合金層（Ｆｅ ： ４０ａ
ｔｏｔｍ ｉ ｃ％）とを９回繰り返し積層した禎ＪＷ
）１１を有する光磁気記録媒体を用いた．一方従来品の
試料は厚さｌ７人のｐｔ層と５人のＣｏ層とを同じく９
回繰り返し積層した積層膜を有する光磁気記録媒体を用
いた。このグラフから明らかなようにカー回転角の低下
が大幅に低減し得ていることが解る。
以上の如く本発明品にあっては、温度上昇に伴うカー回
転角の低下を抑制することが出来て、再生信号の特性の
向上が図れ、製品品質を大幅に高め得る等本発明は優れ
た効果を奏するものである．
転角の低下を抑制することが出来て、再生信号の特性の
向上が図れ、製品品質を大幅に高め得る等本発明は優れ
た効果を奏するものである．
第１図は本発明品の断面構造図、第２図はＣｏ原子数に
対するＦｅ原子数とカー回転角との関係を示すグラフ、
第３図は本発明品の製造に用いるスバッタ装置の模式図
、第４図はカー回転角の温度特性図である。 ｌ・・・基板 ２・・・ｐｔ層 ３・・・Ｆｅ −
Ｃｏ合金層特許 出願人 三洋電機株式会社
対するＦｅ原子数とカー回転角との関係を示すグラフ、
第３図は本発明品の製造に用いるスバッタ装置の模式図
、第４図はカー回転角の温度特性図である。 ｌ・・・基板 ２・・・ｐｔ層 ３・・・Ｆｅ −
Ｃｏ合金層特許 出願人 三洋電機株式会社
Claims (1)
- １、Ｐｔ層と、Ｃｏ原子数に対し５〜４０ａｔｏｍｉｃ
％のＦｅ原子数を含むＦｅ−Ｃｏ合金層とを交互に積層
した積層膜を有することを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30251289A JPH03162740A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30251289A JPH03162740A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03162740A true JPH03162740A (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=17909857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30251289A Pending JPH03162740A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03162740A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03278344A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 多層構造垂直磁化膜および光磁気記録媒体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162257A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH03152739A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Hitachi Ltd | 光記録媒体 |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP30251289A patent/JPH03162740A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162257A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH03152739A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Hitachi Ltd | 光記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03278344A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 多層構造垂直磁化膜および光磁気記録媒体 |
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