JPH03160352A

JPH03160352A - 試料像表示装置

Info

Publication number: JPH03160352A
Application number: JP1299965A
Authority: JP
Inventors: Masao Kawai; 河合　政夫
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1989-11-18
Filing date: 1989-11-18
Publication date: 1991-07-10
Anticipated expiration: 2013-12-02
Also published as: JP2830214B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は試料面を走査して測定結果を画像表示する装置
における表示装置に関する。

（従来の技術）電子線マイクロアナライザで試料面の元素分析を行い、
複数の試料構成元素の分布を画像表示する場合、元素毎
に色を変えて一百像として表示することか行われている
。また一つの元素の濃度分布を表示するのに、濃度ラン
ク別に色を変えて表示することも行われている。

他方試料面の異種の分析或は測定結果を同時に一画面と
して表示すると、二つの結果を別々の画像として表示す
るよりも相互比較がやり易く、試料面の構造とか組織に
ついてより分かり易い表示となることがある。例えば、
走査型電子顕微鏡による試料面の形状とか組織について
の表示画面に試料面の同じ場所の元素分析結果を重ねて
表示すると、試料構成元素の或るものが試料面の構造の
どのような個所に集中して来るかと云うようなことが一
度に誤りなく認識できる。このような場合に従来は単に
２種の画像を無彩色で二重写しにして表示するか、夫々
の画像を色を変えて、各々単色の濃淡画像として二重写
ししていた。

（発明が解決しようとする課題）無彩色の二種の画像を二重写しする方法は、二種の画像
が一方が文字とかグラフで、他方が形状構造の影像と云
うように異質であるときは両方の画像を区別して見るこ
とができるが、試料面の同一部分の二種の分析法による
結果の画像表示の場合、二種の画像は似たようなパター
ンになるので二種の画像を識別して見ることが困難であ
る。夫々の画像を異る色の濃淡画像として二重写しする
方法は二種の画像を識別して見ることは可能であるが、
走査型電子顕微鏡によ゛る試料面の像のように本来立体
感のある画面を明暗画像でなしに、単一色の濃淡として
表わすと、却って形状構造が見難い画像となり、これに
他の分析結果を他の色で重ねた場合、二色の中間の種々
な段階の混合色が現れ、画像は大へん見難いものとなる
。二重写しの一方が走査型電子顕微鏡の像でなくても、
二色の画像の二重写しは混合色の問題もあり、画面全体
の色の変化が繁雑となって、大へん見難いものとなる。

本発明は試料面の同一部分の二種の分析測定結果を一つ
の画面で同時表示する場合に、上述した従来例の難点を
排除し、見易い画像を得ることを目的とする。

（課題を解決するための手段）試料面のＪ％種の分析法による複数種の分析測定結果の
画像表示において、一つの分析測定結果を無彩色明暗画
像とし、他の分析測定結果を彩色百像として重ね表示す
るようにした。

（作用〉試料面の一つの分析測定手段による分析測定結果はいわ
ゆる白黒画像で表示され、その画像が同し試料面の他の
分析測定結果により彩色されることになる。従って白黒
画像で表わされている情報が色彩により更に修飾補足さ
れることになって、単なる白黒画像の二重写しとか異る
色のカラー表示の二重写しが、各画像が同格の立場で互
いに干渉する結果甚だ見難いものになるのと異り、白黒
画像とカラー画像とが一方がベースの情報他方が修飾補
足の情報と云うように異る立場で相補的に重なるので、
多量の情報を混乱なく観取することが可能となる。

（実施例〉図に本発明の一実施例を示す。この実施例は電子線マイ
クロアナライザに本発明を適用したもので、１は電子銃
、ｅは電子ビーム、２は走査コイルでＳは試料である。

電子ビームの照射を受けた試料からは、Ｘ＃，２次電芋
、反射電子，オージェ電子等の種々な２次放射線が放射
される。試料から放射されたＸ線はＸ線分光器３で分光
され、Ｘ線検出器４により検出゛される。試料から放射
される種々な電子のうちの一つ、例えば２次電子が電子
検出器５で検出される。ＸｖＡ検出器４の出力信号はプ
リアンプＰＡｘ，波高分析器６を経て、表示用ＣＲＴ７
に影像信号として入力されることになる。電子検出器５
の出力信号もプリアンプＰＡｅ，ビデオアンプ８を経て
ＣＲＴ７に入力されることになる。９は切換え回路で、
ＸｖＡ検出信号と電子検出信号の何れをＣＲＴ７に入力
するかの選択切換えおよび表示色の選択切換えを行う。

ＣＲＴ７はカラーＣＲＴで竺原色信号夫々のドライバＲ
　Ｄ　ｒ　ｅ　Ｇ　Ｄ　ｒ　，Ｂ　Ｄ　ｒから、三原色
影像信号を入力される。切換え回路９でＳｃ，Ｓｋは連
動した切換えスイッチで、４つの固定接点を有し、両方
の可動接点がＸ線検出系の波高分析器６の出力端子に接
続されている。スイッチＳｋは表示色の選択切換えを行
うスイッチで、可動接点を選び接点ｉに切換えておくと
、スイッチＳｃの可動接点も連動して選び接点ｉ゛に接
続し、このどきは切換えスイッチＳｗがオンになり、電
子検出系のビデオアンブ８の出力がＳｗを通して三原色
の各ドライバＲＤｒ．ＧＤｒ．ＢＤｒに入力され、ＣＲ
Ｔには例えば２次電子像が白黒画像として表示される。

スイッチＳｋを例えば固定接点ｂに切換えると、Ｓｃも
固定接点ｂ゛に切換わる。

スイッチＳｃにおいて遊び接点以外の固定接点ａｂ’　
　ｃ’何れも一つにまとめられてスイッチＳｗを制御し
、これらの接点を通して、波高分析器６からパルス信号
が入ったときだけスイッチＳＷをオフにする。さて、ス
イッチＳｋ，Ｓｃが夫々固定接点ｂ．ｂ″に切換わると
、波高分析器６から出力されるＸ線検出パルス信号はＣ
ＲＴ７の緑色のドライバＧＤｒに入力されて、ＣＲＴ上
の一つの画像位ｉ！（試料上で或る元素のＸ１ａが放射
された点に対応）に緑の輝点を表わし、この間電子横田
信号の影像信号はカットされている。Ｘ線検出パルスが
ない間はスイッチＳｗがオンになっており、ＣＲＴには
試料から放射される２次電子等による影像が黒白で表示
される。検出しようとする元素の多い部分ではその元素
のＸ線の検出信号が多いから、ＣＲＴ画面でその部分で
は緑色の点の数が多くなり、視覚的には緑が濃く見える
。

スイッチＳｗは図には接点式のスイッチで書いてあるが
、実際は高速動作可能な半導体スイッチが用いられてい
る。１０はＣＲＴの動作および試料走査用電子ビームの
偏向を同期的に行わせる電子線走査制御装置である。１
１はレートメータで、波高分析器６の出力パルス左計数
率信号に変換する。この信号は元素濃度を信号の強弱で
表わしたもので、試料面の元素濃度分布の影像信号であ
る。このレートメータの出力およびビデオアンブ８の出
力を夫々画像メモリＭｘ，Ｍｅｌ：記憶させ、後刻この
両方の記憶信号をーフレームずつ交互に再生してＣＲＴ
７にＭｘの再生信号は単一カラー信号とし、Ｍｅの再生
信号は白黒画像（：ｓ”７として表示させることにより
、電子線像とｘｈ像を白黒画像とカラー画像の二重写し
として表示させることができる。

（発明の効果〉本発明によれば、複数種の分析測定結果を一画面に同時
表示して、しかも夫々の画像が相互に邪魔し合うことな
く相浦的に表示されて、複数の分析測定結果を一画面上
で直接比較することが容易となり、分析測定結果の解読
が容易適確にできるようになる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例装置のブロック図である。１・・・電子銃、２・・・走査コイル、Ｓ・・・試料、
３・・・Ｘ線分光器、４展Ｘ線検出器、５・・・電子検
出器、６・・・波高分析器、７・・・カラーＣＲＴ，８
・・・ビデオアンプ、９・・・切換えスイッチ、１０・
・・走査ホリ御装置、１１・・・レートメータ、ＲＤｒ
，ＢＤｒ・・・三原色ドライバ、Ｍｘ，Ｍｅ・・・画像
メモリ。

Claims

【特許請求の範囲】

試料面を走査する複数種の分析測定手段と、試料面の像
を表示するカラー表示手段と、上記複数種の分析測定手
段の一つの出力信号を無彩色明暗影像信号とする手段と
、他の分析測定手段の出力を任意選択した単色影像信号
とする手段と、これら両信号を交互或は一つの信号がな
い間他の信号を表示するように上記カラー表示手段に入
力する切換え手段とを備えた試料像表示装置。