JPH03159849A - スキッド防止ブレーキ装置 - Google Patents
スキッド防止ブレーキ装置Info
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- JPH03159849A JPH03159849A JP30136889A JP30136889A JPH03159849A JP H03159849 A JPH03159849 A JP H03159849A JP 30136889 A JP30136889 A JP 30136889A JP 30136889 A JP30136889 A JP 30136889A JP H03159849 A JPH03159849 A JP H03159849A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 27
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 5
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
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- Regulating Braking Force (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、急制動時や低μ路制動時において車輪ロック
を防止するスキッド防止ブレーキ装置に関する。
を防止するスキッド防止ブレーキ装置に関する。
(従来の技術)
従来、制動時にタイヤ−路面間のスリップ率が所定以上
である時にスリップ率が最適の範囲に収束するようにブ
レーキ液圧を増減保持し、急制動時や低μ路制動時にお
いて車輪ロックを防止するスキッド防止ブレーキ装置と
しては、例えば、実開昭62−118769号公報に記
載されているものが知られている。
である時にスリップ率が最適の範囲に収束するようにブ
レーキ液圧を増減保持し、急制動時や低μ路制動時にお
いて車輪ロックを防止するスキッド防止ブレーキ装置と
しては、例えば、実開昭62−118769号公報に記
載されているものが知られている。
この従来出典には、ブレーキ庸圧の増圧時に制動力の細
かな制御に対応する必要から、ブレーキ浦圧アクチュエ
ータとホイールシリンダとの間のブレーキ液圧路に絞り
を設け、流量を制限して増圧幅を抑える構造が示されて
いる。
かな制御に対応する必要から、ブレーキ浦圧アクチュエ
ータとホイールシリンダとの間のブレーキ液圧路に絞り
を設け、流量を制限して増圧幅を抑える構造が示されて
いる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来のスキッド防止フレーキ
装置にあっては、緩増圧時における増圧幅をある値以下
に抑える絞りが常時フレーキ7夜圧路のブレーキ;夜の
流れに対して作用する固定絞りとなっている為、スキッ
ド防止非作動による制動時にはフレーキマスタシリンダ
側のブレーキ,夜圧の立上がりに対してホイールシリン
ダ側のフレキ浦圧の立上がりが遅れ、結果として、ベダ
ル踏力に対して制動力の応答遅れが発生するという問題
があった。
装置にあっては、緩増圧時における増圧幅をある値以下
に抑える絞りが常時フレーキ7夜圧路のブレーキ;夜の
流れに対して作用する固定絞りとなっている為、スキッ
ド防止非作動による制動時にはフレーキマスタシリンダ
側のブレーキ,夜圧の立上がりに対してホイールシリン
ダ側のフレキ浦圧の立上がりが遅れ、結果として、ベダ
ル踏力に対して制動力の応答遅れが発生するという問題
があった。
本発明は、上述のような問題に看目してなされたもので
、フレーキ庸圧の増減保持制御によるスキット防止ブレ
ーキ装置において、スキット防止作動時の緩増圧制御確
保と、スキット防止非作動時の高制動応答性確保との両
立を図ることを課題とする。
、フレーキ庸圧の増減保持制御によるスキット防止ブレ
ーキ装置において、スキット防止作動時の緩増圧制御確
保と、スキット防止非作動時の高制動応答性確保との両
立を図ることを課題とする。
(課四を解決するための手段)
上記課題を解決するために本発明のスキッド防止ブレー
キ装置では、スキッド防止作動時には絞り効果を持たせ
、スキッド防止非作動時には絞り効果を解除する可変絞
り手段を設けた。
キ装置では、スキッド防止作動時には絞り効果を持たせ
、スキッド防止非作動時には絞り効果を解除する可変絞
り手段を設けた。
即ち、ブレーキマスタシリンダから各車輪のホイールシ
リンダに至るブレーキ液圧路の途中に設けられ、制動時
にタイヤ−路面間のスリップ率が所定以上である時にス
リップ率が最適の範囲に収束するようにブレーキ液圧を
増減保持するブレーキ滝圧アクチュエータと、前記ブレ
ーキ液圧の増減保持によるスキッド防止作動時かどうか
を検出するスキッド防止作動検出手段と、前記ブレーキ
液圧アクチュエータと前記ホイールシリンダとの間のブ
レーキ液圧路に設けられ、スキッド防止作動による制動
時には絞り効果を持たせ、スキッド防止非作動による制
動時には絞り効果を解除する可変絞り手段とを備えてい
る事を特徴とする。
リンダに至るブレーキ液圧路の途中に設けられ、制動時
にタイヤ−路面間のスリップ率が所定以上である時にス
リップ率が最適の範囲に収束するようにブレーキ液圧を
増減保持するブレーキ滝圧アクチュエータと、前記ブレ
ーキ液圧の増減保持によるスキッド防止作動時かどうか
を検出するスキッド防止作動検出手段と、前記ブレーキ
液圧アクチュエータと前記ホイールシリンダとの間のブ
レーキ液圧路に設けられ、スキッド防止作動による制動
時には絞り効果を持たせ、スキッド防止非作動による制
動時には絞り効果を解除する可変絞り手段とを備えてい
る事を特徴とする。
(作 用)
スキッド防止作動による制動時には、スキッド防止作動
検出手段においてブレーキ冫夜圧の増減保持によるスキ
ッド防止作動時であるとの検出に基づき可変絞り手段に
絞り効果が持たせられる。
検出手段においてブレーキ冫夜圧の増減保持によるスキ
ッド防止作動時であるとの検出に基づき可変絞り手段に
絞り効果が持たせられる。
従って、スキッド防止作動による制動時には、可変絞り
手段による絞り効果でブレーキ濠の流量が制限され、ホ
イールシリンダに供給されるブレキ,夜圧の増圧幅が抑
えられ、緩増圧による細かな制御が確保される。
手段による絞り効果でブレーキ濠の流量が制限され、ホ
イールシリンダに供給されるブレキ,夜圧の増圧幅が抑
えられ、緩増圧による細かな制御が確保される。
スキッド防止非作動による制動時には、スキッド防止作
動検出手段においてスキッド防止非作動時であるとの検
出に基づき可変絞り手段の絞り効果が解除される。
動検出手段においてスキッド防止非作動時であるとの検
出に基づき可変絞り手段の絞り効果が解除される。
従って、スキッド防止非作動による制動時には、ブレー
キ滴圧アクチュエータとホイールシリンダとの間のブレ
ーキ液圧路において、ホイールシリンダに供給されるブ
レーキ液圧の増圧幅抑制がな〈なり、ベダル踏力に対す
る制動力の十分な応答か確保される。
キ滴圧アクチュエータとホイールシリンダとの間のブレ
ーキ液圧路において、ホイールシリンダに供給されるブ
レーキ液圧の増圧幅抑制がな〈なり、ベダル踏力に対す
る制動力の十分な応答か確保される。
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
まず、構成を説明する。
第1図は実施例のスキッド防止ブレーキ装置Iを適用し
た車両を示す斜視図で、スキッド防止ブレーキ装置1は
、ブレーキベダル4への操作にょり作動するブレーキマ
スタシリンダ2から前後4つの各車輪のホイールシリン
ダ3に至るブレーキ液圧配管5の途中に設けられたブレ
ーキ液圧アクチュエータ6と、車輪回転センサ7からの
信号によりタイヤ−路面間のスリップ率を演算し、スリ
ップ率が所定値以上である時にスリップ率が最適の範囲
に収束するようにブレーキ液圧を増圧・減圧・保持する
指令を前記ブレーキ液圧アクチュエタ6内の電磁弁に出
力するモジュール8とを備えている。
た車両を示す斜視図で、スキッド防止ブレーキ装置1は
、ブレーキベダル4への操作にょり作動するブレーキマ
スタシリンダ2から前後4つの各車輪のホイールシリン
ダ3に至るブレーキ液圧配管5の途中に設けられたブレ
ーキ液圧アクチュエータ6と、車輪回転センサ7からの
信号によりタイヤ−路面間のスリップ率を演算し、スリ
ップ率が所定値以上である時にスリップ率が最適の範囲
に収束するようにブレーキ液圧を増圧・減圧・保持する
指令を前記ブレーキ液圧アクチュエタ6内の電磁弁に出
力するモジュール8とを備えている。
そして、ブレーキ滝圧アクチュエータ6と前記ホイール
シリンダ3との間のブレーキ液圧配管5の途中には、ブ
レーキ滝圧の増減保持によるスキッド防止作動時かどう
かを検出し、スキッド防止作動による制動時には絞り効
果を持たせ、スキッド防止非作動による制動時lこは絞
り効果を解除する可変絞り機構9(可変絞り手段)か設
けられている。
シリンダ3との間のブレーキ液圧配管5の途中には、ブ
レーキ滝圧の増減保持によるスキッド防止作動時かどう
かを検出し、スキッド防止作動による制動時には絞り効
果を持たせ、スキッド防止非作動による制動時lこは絞
り効果を解除する可変絞り機構9(可変絞り手段)か設
けられている。
前記可変絞り機構9は、フレアナット16によりアクチ
ュエータ側ブレーキ1夜圧配管5日が連結されるシリン
ダ栓14と、フレアナット16によりホイールシリンダ
側ブレーキ液圧配管5bが連結されるシリンダ13と、
前記シリンダ栓14とシリンダ13とによって形成され
るシリンダ室12と、該シリンダ室12に図面左右方向
に摺動可能に設けられ、ホイールシリンダ側に小径段1
0aを有するフリーピストン10と、該フリーピストン
10を中立位置に保つ付勢力を与えるバネ11.11と
、前記フリーピストン10の中心軸上に開孔されたオリ
フィス17と、前記フリーピストン10を電磁力により
拘束して絞り効果を持たせるためにシリンダ13のホイ
ーリシリンダ側外周に捲回されたコイル15とを備えて
いる。
ュエータ側ブレーキ1夜圧配管5日が連結されるシリン
ダ栓14と、フレアナット16によりホイールシリンダ
側ブレーキ液圧配管5bが連結されるシリンダ13と、
前記シリンダ栓14とシリンダ13とによって形成され
るシリンダ室12と、該シリンダ室12に図面左右方向
に摺動可能に設けられ、ホイールシリンダ側に小径段1
0aを有するフリーピストン10と、該フリーピストン
10を中立位置に保つ付勢力を与えるバネ11.11と
、前記フリーピストン10の中心軸上に開孔されたオリ
フィス17と、前記フリーピストン10を電磁力により
拘束して絞り効果を持たせるためにシリンダ13のホイ
ーリシリンダ側外周に捲回されたコイル15とを備えて
いる。
そして、前記コイル15には、ブレーキ液圧の増減保持
によるスキッド防止作動時かどうかの検出手段であるリ
レースイッチ20によるON−OFF動作によりON時
に電源22から抵抗19を介して電流が流れるようにな
っている。
によるスキッド防止作動時かどうかの検出手段であるリ
レースイッチ20によるON−OFF動作によりON時
に電源22から抵抗19を介して電流が流れるようにな
っている。
前記リレースイッチ20は、スキッド防止作動時に前記
ブレーキ液圧アクチュエータ6内の油圧ポンブモータ1
8がリレースイッチ21のON動作で起動することを利
用し、このリレースイッチ21と連動するように並列関
係で接続されている。
ブレーキ液圧アクチュエータ6内の油圧ポンブモータ1
8がリレースイッチ21のON動作で起動することを利
用し、このリレースイッチ21と連動するように並列関
係で接続されている。
尚、第1図中23は4WAS警告灯であり、フェイルセ
ーフ作動時に点灯し、アンチスキツド防止の非作動を知
らせる。
ーフ作動時に点灯し、アンチスキツド防止の非作動を知
らせる。
次に、作用を説明する。
(イ)スキッド防止非作動時
スキッド防止非作動による通常のブレーキ操作時には、
リレースイッチ20がOFFであり、コイル15には電
源22からの電流が流れず、フリーピストン10には外
部から何ら拘束力が与えられることがない。
リレースイッチ20がOFFであり、コイル15には電
源22からの電流が流れず、フリーピストン10には外
部から何ら拘束力が与えられることがない。
従って、アクチュエータ側ブレーキ液圧配管5aのブレ
ーキ液圧増加は、フリーピストン10を介して直接ホイ
ールシリンダ側ブレーキ液圧配管5b側へ伝えられ、ペ
ダル踏力に対する制動力の十分な応答が確保される。
ーキ液圧増加は、フリーピストン10を介して直接ホイ
ールシリンダ側ブレーキ液圧配管5b側へ伝えられ、ペ
ダル踏力に対する制動力の十分な応答が確保される。
即ち、アクチュエータ側フレーキ液圧が急上昇すると、
フリーピストン10のオリフィス17をブレーキ浦が流
動しようとしてもフリーピストン10がアクチュエータ
側受圧面積に入力ブレーキ,夜圧を掛け合わせた力によ
りストロークを開始することで、フリーピストン10の
小径段10aかシリンダ12のホイールシリンダ側壁に
接触するまではブレーキ液の流れが生じないで、フリー
ピストン10は単に圧力伝達媒体として作用する。
フリーピストン10のオリフィス17をブレーキ浦が流
動しようとしてもフリーピストン10がアクチュエータ
側受圧面積に入力ブレーキ,夜圧を掛け合わせた力によ
りストロークを開始することで、フリーピストン10の
小径段10aかシリンダ12のホイールシリンダ側壁に
接触するまではブレーキ液の流れが生じないで、フリー
ピストン10は単に圧力伝達媒体として作用する。
C口)スキッド防止作動時
スキッド防止作動によるブレーキ操作時には、ブレーキ
液圧アクチュエータ6内の油圧ポンブモタ18がリレー
スイッチ21のON動作で起動すし、このリレースイッ
チ21と連動してリレースイッチ20がONとなり、コ
イル15には電源22からの電流が印加され、この時発
生する電磁力により、フリーピストン10の小径段10
aがシリンダ12のホイールシリンダ側壁に接触してそ
の動きが固定される。
液圧アクチュエータ6内の油圧ポンブモタ18がリレー
スイッチ21のON動作で起動すし、このリレースイッ
チ21と連動してリレースイッチ20がONとなり、コ
イル15には電源22からの電流が印加され、この時発
生する電磁力により、フリーピストン10の小径段10
aがシリンダ12のホイールシリンダ側壁に接触してそ
の動きが固定される。
即ち、スキッド防止装置1が作動を開始する直前におい
てはアクチュエータ側ブレーキ冫夜圧の増加によりフリ
ーピストン10はホイールシリンダ側に位置する。この
状態でコイル15への通電により電磁力が与えられると
、ホイールシリンダ側に近い位置にあると電磁力により
直ちにフリーピストン10が固定されるし、また、ホイ
7−ルシリンダ側に少し遠い位置にある場合でもスキッ
ド防止装置1による増圧モードでのアクチュエータ側の
ブレーキ液圧上昇によりホイールシリンダ側に近づいて
フリーピストン10が固定される。
てはアクチュエータ側ブレーキ冫夜圧の増加によりフリ
ーピストン10はホイールシリンダ側に位置する。この
状態でコイル15への通電により電磁力が与えられると
、ホイールシリンダ側に近い位置にあると電磁力により
直ちにフリーピストン10が固定されるし、また、ホイ
7−ルシリンダ側に少し遠い位置にある場合でもスキッ
ド防止装置1による増圧モードでのアクチュエータ側の
ブレーキ液圧上昇によりホイールシリンダ側に近づいて
フリーピストン10が固定される。
従って、フリーピストン10が固定されると、ブレーキ
液はオリフィス17内を通って流れるようになり、絞り
効果によりその流量か制限され、ホイールシリンダ3に
供給されるブレーキ液圧の増圧幅か抑えられ、緩増圧に
よる細かな制御が確保される。
液はオリフィス17内を通って流れるようになり、絞り
効果によりその流量か制限され、ホイールシリンダ3に
供給されるブレーキ液圧の増圧幅か抑えられ、緩増圧に
よる細かな制御が確保される。
尚、このコイル15による電磁力とフリーピストン10
の前後圧力差による力の大きさであるか、電磁力に逆ら
う力としては、ホイールシリンダ側圧力がアクチュエー
タ側圧力より高い場合に働くが、これはオリフィス17
を通ってアクチュエータ側へ戻りブレーキ液の抜け遅れ
によって生じる1 0 圧力差が、第3図に示すように最大5kgf/cm2程
度の僅かな圧力差のため、電磁力に逆らってフリピスト
ン10を動かすには至らない。
の前後圧力差による力の大きさであるか、電磁力に逆ら
う力としては、ホイールシリンダ側圧力がアクチュエー
タ側圧力より高い場合に働くが、これはオリフィス17
を通ってアクチュエータ側へ戻りブレーキ液の抜け遅れ
によって生じる1 0 圧力差が、第3図に示すように最大5kgf/cm2程
度の僅かな圧力差のため、電磁力に逆らってフリピスト
ン10を動かすには至らない。
以上説明してきたように、実施例のスキッド防止ブレー
キ装置1にあっては、スキッド防止作動時には絞り効果
を持たせ、スキッド防止非作動時には絞り効果を解除す
る可変絞り機構9を設けた為、スキッド防止作動時の緩
増圧制御確保と、スキッド防止非作動時の高制動応答性
確保との両立を図ることが出来る。
キ装置1にあっては、スキッド防止作動時には絞り効果
を持たせ、スキッド防止非作動時には絞り効果を解除す
る可変絞り機構9を設けた為、スキッド防止作動時の緩
増圧制御確保と、スキッド防止非作動時の高制動応答性
確保との両立を図ることが出来る。
以上、実施例を図面に基づいて説明してきたが、具体的
な構成はこの実施例に限られるものではない。
な構成はこの実施例に限られるものではない。
例えば、実施例では可変絞り手段として、オリフィス1
7を有するフリーピストン10と電磁力を発生するコイ
ル15との組合せ手段の例を示したが、固定オリフィス
を有するブレーキ液圧路と開閉弁を有するブレーキ液圧
路とを並列に設け、スキッド防止作動時には開閉弁を閉
じ固定オリフィスによる絞り効果を持たせ、スキッド防
止非作1 動時には開閉弁を開き固定オリフィスによる絞り効果を
解除する手段や、外部アクチュエータによりオリフィス
開口面積を可変とし、スキツド防止作動時にはオリフィ
ス開口面積を絞り、スキッド防止非作動時にはオリフィ
ス開口面積を開くような手段等、他の手段を適用しても
良い。
7を有するフリーピストン10と電磁力を発生するコイ
ル15との組合せ手段の例を示したが、固定オリフィス
を有するブレーキ液圧路と開閉弁を有するブレーキ液圧
路とを並列に設け、スキッド防止作動時には開閉弁を閉
じ固定オリフィスによる絞り効果を持たせ、スキッド防
止非作1 動時には開閉弁を開き固定オリフィスによる絞り効果を
解除する手段や、外部アクチュエータによりオリフィス
開口面積を可変とし、スキツド防止作動時にはオリフィ
ス開口面積を絞り、スキッド防止非作動時にはオリフィ
ス開口面積を開くような手段等、他の手段を適用しても
良い。
また、スキッド防止作動検出手段として、油圧ポンブモ
ータ18のリレースイッチ21に連動するリレースイッ
チ20による例を示したが、モジュール8からスキッド
防止作動信号を用いるようにしても良い。
ータ18のリレースイッチ21に連動するリレースイッ
チ20による例を示したが、モジュール8からスキッド
防止作動信号を用いるようにしても良い。
(発明の効果)
以上説明してきたように、本発明にあっては、ブレーキ
液圧の増減保持制御によるスキッド防止ブレーキ装置に
おいて、スキッド防止作動時には絞り効果を持たせ、ス
キッド防止非作動時には絞り効果を解除する可変絞り手
段を設けた為、スキッド防止作動時の緩増圧制御確保と
、スキッド防止非作動時の高制動応答性確保との両立を
図ることが出来るという効果が得られる。
液圧の増減保持制御によるスキッド防止ブレーキ装置に
おいて、スキッド防止作動時には絞り効果を持たせ、ス
キッド防止非作動時には絞り効果を解除する可変絞り手
段を設けた為、スキッド防止作動時の緩増圧制御確保と
、スキッド防止非作動時の高制動応答性確保との両立を
図ることが出来るという効果が得られる。
12
第1図は本発明のスキッド防止ブレーキ装置を示す全体
斜視図、第2図は実施例のスキッド防止ブレーキ装置の
要部を示す図、第3図はスキッド防止作動時におけるア
クチュエータ側圧力とホイルシリンダ側圧力とのタイム
チャートである。 1・・・スキッド防止ブレーキ装置 2・・・ブレーキマスタシリンダ 3・・・ホイールシリンダ 4・・・ブレーキペダル 5・・・ブレーキ液圧配管 6・・・ブレーキ液圧アクチュエータ Y・・・車輪回転センサ 8・・・モジュール 9・・・可変絞り機構(可変絞り手段)20・・・リレ
ースイッチ (スキッド防止作動検出手段)
斜視図、第2図は実施例のスキッド防止ブレーキ装置の
要部を示す図、第3図はスキッド防止作動時におけるア
クチュエータ側圧力とホイルシリンダ側圧力とのタイム
チャートである。 1・・・スキッド防止ブレーキ装置 2・・・ブレーキマスタシリンダ 3・・・ホイールシリンダ 4・・・ブレーキペダル 5・・・ブレーキ液圧配管 6・・・ブレーキ液圧アクチュエータ Y・・・車輪回転センサ 8・・・モジュール 9・・・可変絞り機構(可変絞り手段)20・・・リレ
ースイッチ (スキッド防止作動検出手段)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)ブレーキマスタシリンダから各車輪のホィールシリ
ンダに至るブレーキ液圧路の途中に設けられ、制動時に
タイヤ−路面間のスリップ率が所定以上である時にスリ
ップ率が最適の範囲に収束するようにブレーキ液圧を増
減保持するブレーキ液圧アクチュエータと、 前記ブレーキ液圧の増減保持によるスキッド防止作動時
かどうかを検出するスキッド防止作動検出手段と、 前記ブレーキ液圧アクチュエータと前記ホィールシリン
ダとの間のブレーキ液圧路に設けられ、スキッド防止作
動による制動時には絞り効果を持たせ、スキッド防止非
作動による制動時には絞り効果を解除する可変絞り手段
と、 を備えている事を特徴とするスキッド防止ブレーキ装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30136889A JPH03159849A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | スキッド防止ブレーキ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30136889A JPH03159849A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | スキッド防止ブレーキ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03159849A true JPH03159849A (ja) | 1991-07-09 |
Family
ID=17896024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30136889A Pending JPH03159849A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | スキッド防止ブレーキ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03159849A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5788763A (en) * | 1995-03-09 | 1998-08-04 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Manufacturing method of a silicon wafer having a controlled BMD concentration |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP30136889A patent/JPH03159849A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5788763A (en) * | 1995-03-09 | 1998-08-04 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Manufacturing method of a silicon wafer having a controlled BMD concentration |
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