JPH03159024A - カラー陰極線管螢光面形成用露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、ブラックマトリクスを備え各色螢光体を夫々
ストライブ状に塗布したシャドウマスク方式インライン
形電子銃カラー陰極線管の、白色均一性を向上させる。

ホトリソグラフ技術によるブラックマトリクス形成用露
光装置に関する。

［従来の技術］ ブラックマトリクスを偏え各色螢光体を夫々ストライブ
状に塗布したシャドウマスク方式インライン形電子銃カ
ラー陰極線管の螢光面の形成法については、従来から種
々の方法が提案されている。

例えば、特開昭５６−１３４４５号には、ブラックマト
リクス開口部形成用ホトレジスト膜を露光するときの線
状光源の長さを螢光体ストライプ形成のために感光性螢
光体膜を露光するときの線状光源の長さよりも短くして
、ブラックマトリクスのストライプ状開口の有効径より
も螢光体ストライプの有効径を大きくする技術が記載さ
れている。

［発明が解決しようとする課題〕 上記方式のカラー陰極線管の螢光面をホトリソグラフ技
術により形成する際には、各色に対応する３本の塩７−
銃が同一水平面内に配列されているから、第３図に示す
ように、露光時の光源位置を、上記電子銃位置に対応す
るように偏移させて行う。

しかし、第４図に示すように、中央電子・銃（通常は緑
色用）に対応する位置に光源を置いた場合には、パネル
内面の中央から水平方向左右対称な照度分布になるが、
側方電子・銃（通常、−・力は赤色用、他方は青色用）
に対応する位置に光源を置いた場合には、パネル内面の
照度分布はパネル中央から水平方向左右に非対称になり
、パネルの両端近傍での照度差はかなり人きく、このよ
うな露光によって形成された螢光面では、ブラックマト
リクスのストライプ状開口の幅が、一方の端部では青〉
緑〉赤の順となって白色となるべきところがシアン味が
かり、他方の端部では赤〉緑〉青の順となって白色とな
るべきところが黄味がかってしまい、白色むら均一性劣
化の一因となっていた。

上記の問題に対しては、光源位置がパネル中火に正対し
ている中央電子銃（緑）対応の場合には、左右対称に次
第に照度が低下して行くのを補正する対称形元旦補正フ
ィルタを、光源位置を側方電子・銃対応位置に偏移させ
た場合には、偏移により光源に近くなった側では透過率
を低く、偏移により光源から遠くなった側の透過率を高
くした非対称形元旦補正フィルタを組合せて対処してい
た。

しかし、フィルタ製作自体も困難であり、また、緑、１
′ｉ、赤のためのに九時にそれぞれ異なるフィルタを使
用しなければならず、管理が複雑となり、精度維持が国
電であるなどの問題が生じていた。

本発明は、上記、各色、　ｔ５に側方電子銃に対応した
露光時に、パネル内面に生ずる照度差を緩和できるよう
にしたカラー陰極線管螢光面形成用露光装置を提供する
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段］ シャドウマスク方式カラー陰極線管螢光面の隣接する螢
光体ストライプの間を埋めて外部から螢光面を照射する
光を吸収して反射を防止するブラックマトリクスを、ホ
トリソグラフ技術により形成するための螢光体ストライ
プに平行な線状光源を用いた露光装置において、中央電
子銃に対応するブラックマトリクス開口位置を露光する
ためにパネル内面中央に正対して光源を置いた場合はパ
ネル内面の中央に対し水平方向左右両側対称位置から見
た光源の長さが同一に見え、側方電子銃に対応する開口
位置を露光するために上記中央位置から光源を側方に偏
移させて置いた場合はパネル内面の中央に対し水平方向
左右両側対称位置から見た光源の長さが、見る位置が、
光源を偏移させた方向と同じ側にあれば短く、光源を偏
移させた方向と反対の側にあれば長くなるような手段を
、光源とシャドウマスクの中間に挿入して、光源位置偏
移によるパネル内面での露光時の照度差を緩和させるこ
とにした。

平行する多数の縦列夫々に縦に複数個の縦長スロッ１−
を配設したシャドウマスクを介してスロットに平行な第
２図に示すような線状光源により露光する場合、光源長
さＱの決定は、シャドウマスクの上下に隣接するスロッ
ト間の境界部が露光面上で消えて均一な幅のストライプ
状開口部が形成されるように、Ｐを光源からシャドウマ
スクまでの距離、Ｑをシャドウマスクからパネル内面ま
での距ａ、ｐＶをシャドウマスクのスロットの縦力、向
ピッチとしたとき、下式により求められる。

（Ｐ＋Ｑ） ａ≧　　ＱｘＰｖ ０寸法は光源が中央電子銃位置にある場合は左右対称で
良く、側方電子銃に対応させて光源を側方に偏移させて
置いた場合は、パネル内面の中央に対し光源を偏移させ
た方向と同じ側では光源との距離が近くなるから、その
側に対してはΩ寸法を短くして光量を減らし、光源を偏
移させた方向と反対の側では光源との距離が遠くなるか
ら、その側に対してはΩ寸法を長くして光量を増やすこ
とにしたのである。

上記のような作用をさせる手段として、後に詳述するよ
うに具体的には光源を収納する個所のパネル寄りに一方
の側への光路を拡げると他方の側への光路を狭めるよう
な回転遮蔽板を配設し、光源の偏移に応じてカムにより
回転させる。

［作用］ 上記回転遮蔽板を備えていない従来通常の光源を用いた
場合、パネルの水型方向端部での３色対応露光時の照度
差は、照度はパネル内面と光源間の距離の自乗に逆比例
するので、９０度偏向管ではｎ、赤（側方−Ｑ、７−銃
に対応する色）差が４〜６％。

１１０度偏向管で８〜１０％止し、ブラックマトリクス
のストライブ状開口幅差に換算すると５〜１０μｍの差
となり、３色のアンバランスが生じ、白色むら劣化の一
因となる。そのため本発明では。

中央電子銃（０川）対応露光時の照度をＪ！準に側方電
子銃（赤、青用）対応露光時の照度を、光源の長さを左
右で変えることにより中火の場合と同一になるようにし
たのである。

［実施例コ ストライプ形カラー陰極線管の螢光面形成に使用する露
光装置の光源部は、第２図に示すようになっている。ブ
ロック１に図示の如く超高圧水銀灯２を挿入し、そのア
ーク発光部３からの光で露光する。光源の縦方向長さ、
即ち、ブロック１の開口長ρは、既述の如く、Ｐを光源
からシャドウマスクまでの距離、Ｑをシャドウマスクか
らパネル内面までの距離、ｐｖをシＡ・ドウマスクのス
ロットの縦方向ピッチとして下記の値となる。

（Ｐ＋Ｑ） Ｑ≧　Ｑ　　Ｘ　Ｐ　ｙ 上記のような線状光源を備えた光源部を、第３図に示す
ように、緑対応の場合はパネル中央に正対した位置で、
赤、青対応の場合は、側方電子銃位置に偏移させた状態
で露光を行う、この露光時に、従来のような、特別な補
正手段を設けてない光源を用いた場合には、第４図に示
すように、パネル内面上の照度は、０川では左右両端で
差がないが、赤、青用では大きな差が生じてしまい、各
色用ストライプ状開口の幅にもアンバランスが生じ、白
色むら劣化を生ずる。

こ汎に対し、第１図（ａ）に示す本発明に係る露光装置
用光源では、螢光体ストライブの方向に平行に配置され
た超高圧水銀灯２のアーク発光部３の光を利用すること
は従来同様であるが、発光部の上部パネル側に、端部を
スプリング４で連結した扇形の遮蔽板５，５′を発光部
３を挾んで対称に、ピン６．６′を軸に回転自在に取付
けである。

この回転遮蔽板５，５′のスプリングで連結した端部に
はそれぞれカムフォロアとなるローラ７．７′が取付け
られ、それらの間にテーパカム１２が挾まれている。こ
のように遮蔽板５．５′を取付けた光源部を、第１図（
ｂ）に側面図を示すように、緑、青、赤のための露光用
光源位置に偏移させる稼働ベース８上に取付け、固定ベ
ース９に取付けたモータ１０、偏心カム１１を介して稼
働ベース８を移動させることにより緑、青、赤の３色に
対する露光を行う、更に前記遮蔽板５．５′の端部に取
付けたローラ７．７′に、固定ベース９に固定した台形
状のテーパカム１２を当接させて取付けである。これで
、稼働ベース８の移動に伴って、回転遮蔽板５．５′は
テーパカム１２の傾斜角にならって傾斜する。ここで先
ず、第１図（ｃ−２）に示すように、光源を中心位置に
置いて、遮蔽板の傾斜角を０、つまり其の縁が水平にな
るように取付け：Ａ整を行う、そうすると、青、赤のた
めの露光時には、第１図（ｃ　−１）、（ｃ　−２）に
示すように、光源部を取付けた稼働ベース８が移動する
とカムにより遮蔽板５．５′が回転して、光源が中心か
ら偏移した側では両遮蔽板の赫の間の開口長が緑の場合
よりも短くなって此の側の照度を下げるように作用し、
光源の偏移と反対の側では両遮蔽板の縁の間の開口長が
緑の場合よりも長くなって此の側の照度を上げるように
作用する。

テーパカムの傾斜角度を適当に定めることによって、光
源位置を偏移させたことに伴うパネル内面端部における
各色に対する露光時の照度の差を自動的（＆ｌ械的）に
緩和することができ、その結果。

パネル端部に於いても、各色用ストライプ状開口の幅を
同一に形成させることが容易になり、白色むら均一性を
向上させることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば比較的簡単な機構を
付加するだけで、自動的にストライプ状開口の幅をパネ
ルの両端部近傍でも各色同一に形成させることが可能に
なり、調整を含めて作業が従来よりも容易になり１表、
ｊ；品質が安定する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明に係る光源部のｉＩ１面図、第１
図（ｂ）は本発明に係る光源部近彷の側面図、第１図（
ｃ　−１）、（ｃ　−２）、（ｃ　＝３）は本発明に係
る光源に取付けた照度補正用の回転遮蔽板の作用説明図
、第２図は従来の光源を示す斜視図、第３図は各色に応
じて露光光源を移動させた状態を示す図。 第４図は光源とパネルの間に補正手段がない場合の各色
対応露光時のパネル面上のＩＭ度分布を示す図である。 ２・・・超高圧水銀灯、　３・アーク発光部、　４・・
・スプリング、５，５’・・・遮蔽板、　Ｇ、６′・・
・ピン、　　７．７’・・・ローラ、　　８・・・稼働
ベース。 ９・・・固定ベース、　　１０・・・モータ、、、１１
・・・偏心カム、 １２・・・テーパカム。 第 図 （０） （ｂ） ３−アーク得妃音ト １２−テーパカム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、シャドウマスク方式カラー陰極線管螢光面の隣接す
   る螢光体ストライプの間を埋めて外部から螢光面を照射
   する光を吸収して反射を防止するブラックマトリクスを
   、ホトリソグラフ技術により形成するための螢光体スト
   ライプに平行な線状光源を用いた露光装置において、中
   央電子銃に対応するブラックマトリクス開口位置を露光
   するためにパネル内面中央に正対して光源を置いた場合
   はパネル内面の中央に対し水平方向左右両側対称位置か
   ら見た光源の長さが同一に見え、側方電子銃に対応する
   開口位置を露光するために光源を上記中央位置から側方
   に偏移させて置いた場合はパネル内面の中央に対し水平
   方向左右両側対称位置から見た光源の長さが、見る位置
   が、光源を偏移させた方向と同じ側にあれば短く、光源
   を偏移させた方向と反対の側にあれば長くなるような手
   段を、光源とシャドウマスクの中間に挿入して、光源位
   置偏移によるパネル内面での露光時の照度差を緩和した
   ことを特徴とするカラー陰極線管螢光面形成用露光装置
   。