KR100308233B1 - 음극선관노광장치의광량보정필터 - Google Patents

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소시 후카오
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가네꼬 히사시
닛본 덴기 가부시끼가이샤
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Abstract

음극선관의 노광장치에 이용하는 광량보정필터에 있어서, 샤도우마스크와의 간섭무늬를 방지한다.
광량보정필터(1)의 유효면부(2)를 다수의 정방형의 것으로 분할하며, 각각의 소구화(5)를 정방형의 불투명부(3)과, 투명한 그 외의 부분(4)을 가지며, 상기 불투명부(3)의 정방형 부분의 면적을 바꾸어, 소망하는 투과율을 갖도록 한 광량보정필터(1)에 있어서, 정방형의 소구화(5) 및 불투명부(3), 투명부(4)를 음극선관의 수평방향에 대해 45°기울인 배열로 구성함으로써, 종래와 동일한 묘화피치(A)이면서도, 광량보정필터의 수평, 수직피치를 종래의 1/(루트 2)로 할 수 있으며, 저렴하게 샤도우마스크와의 간섭무늬를 방지할 수 있다.

Description

음극선관노광장치의 광량보정필터
본 발명은 칼라음극선관의 블랙매트릭스 및 형광체막을 형성할 때에 사용되는 노광장치에 조합되는 광량보정필터에 관련한 것이다.
칼라음극선관은, 블랙매트릭스 및 그 개구부에 적, 녹, 청 3색의 형광체를 도트모양 혹은 스트라이프모양으로 패널내면에 다수배치하고, 이 형광체를 색선별전극인 샤도우마스크를 통해 전자총으로부터 발사된 전자빔에 의해 선택적으로 자극하여, 이에 따라 소망하는 영상을 비추도록 되어 있다.
이 경우, 블랙매트릭스 및 형광체는, 통상 도 3에 도시된 것과 같은 노광장치(16)를 이용하여 형성된다.
즉, 노광장치(16)에서는, 광원(11)에서 발생한 광을 그 광원(11)의 외관상 위치를 보정하기 위한 보정렌즈(12)를 통해 샤도우마스크(13)의 마스크공을 통해 패널(14)내면의 감광제 및 감광성 슬러리(slurry)(15)를 노광하여 감광시켜, 그것을 현상, 처리함으로써, 소망하는 도트 혹은 스트라이프의 조합으로 이루어지는 블랙매트릭스 및 형광체막을 형성한다.
여기에서, 패널(14)내면에 형성되는 블랙매트릭스 및 형광체의 도트의 크기 혹은 스트라이프의 폭은, 각각의 패널(14)내면상 위치에 따라 결정된 노광량에 따라 정해진다.
통상, 패널(14)내면에 형성하는 도트의 크기 혹은 스트라이프의 폭이 적정치가 되도록 노광하기 위한 광량분포를 얻기 위해서, 광에 대한 소망하는 투과율분포를 가진 광량보정필터(10)가, 광원(11)과 샤도우마스크(13)의 사이에 배치된다.
광량보정필터(10)에 소망하는 투과율분포를 갖게 하기 위해, 도 4에 도시된 것과 같이 광량보정필터(10)의 유효면부(20)를 다수의 소구화로 분할하고, 불투명한 부분(30)과 투명한 그 외의 부분(40)의 면적을 변화시켜, 소망하는 투과율을 얻는다.
광량보정필터(10)의 제조상 용이함으로, 종래, 도 4에 도시된 A치수를 100∼250㎛으로 하여 정방형의 소구화로 분할하고, 패널(14)의 수평방향 및 수직방향에 평행하게 배열시켰다.
그런데, 최근 음극선관은 높은 정밀도와 미세화가가 진행되고 있고, 샤도우마스크(13)의 마스크공의 피치가 작아지고 있다.
이로 인해, 종래의 광량보정필터(10)의 소구화의 피치 A가 충분히 작지 않으면 샤도우마스크(13)와의 간섭무늬(moire)가 발생한다.
그러나, 광량보정필터(10)의 소구화의 피치를 불투명한 부분(30)을 묘화하는 묘화기의 정밀도 이상으로 작게 하면, 묘화패턴에 따른 얼룩이 발생하므로, 제조코스트상 피치 A는 최소 100∼150㎛정도가 된다.
이로 인해, 특히, 고정밀과 미세한 스트라이프 음극선의 노광시에 간섭무늬가 발생하는 결점이 있었다.
도 1은 본 발명의 광량보정필터의 평면도이며,
도 2는 본 발명의 광량보정필터의 유효면부의 확대도이며,
도 3은 일반적인 노광장치의 구성도이며,
도 4는 종래의 광량보정필터의 유효면부의 확대도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 광량보정필터 2 : 유효면부
3 : 불투명부 4 : 투명부
5 : 묘화소구화 16 : 노광장치
본 발명은, 유효면부를 다수로 분할하고, 각각의 소구화를 불투명한 정방형의 부분으로, 투명한 그 외의 부분을 가지며, 상기 불투명한 정방형 부분의 면적을 바꿈으로써 소망하는 투과율을 갖도록 한 광량보정필터에 있어서, 정방형의 소구화 및 불투명부분의 배열을, 음극선관의 수평방향에 대하여, 예를들면 45°기울인 구성으로 되어 있다.
상기 구성에 따르면, 종래와 동일한 묘화피치이면서, 수평 및 수직피치를 1/(루트2)로 할 수 있으며, 샤도우마스크와의 간섭무늬를 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 광량보정필터의 평면도이며, 도 2는 광량보정필터유효면부의 확대도이다.
이 실시 형태에 따르면, 광량보정필터(1)의 유효부면부(2)를 한 변이 100∼250㎛인 정방형의 소구화(5)로 분할하고, 각각의 소구화(5)의 정방형의 불투명부분(3)과, 투명한 그 외 부분(투명부)(4)의 배열을, 패널의 수평방향에 대해 45°기울인다.
이와 같이 함으로써, 수평 및 수직의 피치가 묘화의 소구화의 피치의 1/(루트2)이 되는 이점이 있다.
이상 설명한 것과 같이, 본 발명은, 정방형의 소구화 및 각각의 소구화의 정방형의 불투명부분과 투명부분의 배열을, 패널의 수평방향에 대해 45°기울임으로써, 종래와 동일한 묘화피치이면서, 묘화기의 정밀도를 향상시키는 일없이, 종래와 동일한 제조코스트로, 수평 및 수직피치를 종래의 1/(루트2)로 할 수 있다.
이에 따라, 샤도우마스크의 피치에 대한 광량보정필터의 피치를, 저렴한 가격으로, 종래보다 작게 할 수 있고, 간섭무늬를 방지하는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 음극선관노광장치에 이용하는 광량보정필터에 있어서, 그 유효면부를 다수의 소구화들로 분할하여 각각의 소구화를 정방형의 불투명부분과 투명한 그 외의 부분으로 나누며, 상기 불투명부분들의 폭을 바꾸어 소망하는 투과율분포를 갖도록 하고 동시에 정방형의 소구화들 및 불투명부들의 배열을 음극선관의 수평방향에 대하여 소정의 경사각도로 기울인 것을 특징으로 하는 음극선관노광장치의 광량보정필터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 경사각도를 45°로 한 음극선관노광장치의 광량보정필터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 정방형의 소구화의 한 변의 길이를 100~250㎛으로 한 음극선관노광장치의 광량보정필터.
KR1019980039977A 1997-10-29 1998-09-25 음극선관노광장치의광량보정필터 KR100308233B1 (ko)

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