JPH03156353A - ガス成分分析方法および装置 - Google Patents
ガス成分分析方法および装置Info
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- JPH03156353A JPH03156353A JP9041071A JP4107190A JPH03156353A JP H03156353 A JPH03156353 A JP H03156353A JP 9041071 A JP9041071 A JP 9041071A JP 4107190 A JP4107190 A JP 4107190A JP H03156353 A JPH03156353 A JP H03156353A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は複数ガス成、分で構成されるガス体中のガス
成分を迅速に、しかも連続的に同時分析することができ
る方法および装置に関−４−る。
成分を迅速に、しかも連続的に同時分析することができ
る方法および装置に関−４−る。
この発明は各種製造業における排ガス分析あるいは密閉
系内のガス成分分析に利用される。
系内のガス成分分析に利用される。
［従来の技術］
各種製造業において、排ガスの分析は製造工程管理上あ
るいは環境問題などの点で重要である。
るいは環境問題などの点で重要である。
−・方、一般の分析機器によるガス分析では試料ガスの
サンプリングか必要であり、主にガス分析装置として利
用されているガスクロマトグラフやＩＣＰ発光分光分析
装置などでは大量の試料カスを検出器へ導入てきない、
あるいは分析時間が長いなどの問題がある。そのため、
排ガス経路などのガス流通経路において複数のガス成分
を迅速に、しかも連続的に同時分析することは困難であ
る。
サンプリングか必要であり、主にガス分析装置として利
用されているガスクロマトグラフやＩＣＰ発光分光分析
装置などでは大量の試料カスを検出器へ導入てきない、
あるいは分析時間が長いなどの問題がある。そのため、
排ガス経路などのガス流通経路において複数のガス成分
を迅速に、しかも連続的に同時分析することは困難であ
る。
半導体ガスセンサは、金属酸化物表面におけるガスの吸
脱着によりガスを検出するセンサであり、通常ガス警報
器として利用されている。半導体ガスセンサは連続的に
ガス濃度をモニターすることがてきるか、ガス選択性の
付与が困難であり、上記ガス分析装置のように複数のガ
ス成分を同時に分析することはできない。この問題点を
克服するために、複数個の半導体ガスセンサを用いて、
複数ガス成分の同時分析を試みた例（第７回化学センサ
研究発表会 １７７、１９８８あるいはセンサ技術 ｖ
ｏｌ、７． Ｎｏ、５．１９８７など）がある。しかし
、いずれの場合もある体積中に存在するガス成分を分析
した例であり、ガス流通セルに半導体ガスセンサを設置
し、連続的に複数ガス成分の同時分析を行また例はない
。
脱着によりガスを検出するセンサであり、通常ガス警報
器として利用されている。半導体ガスセンサは連続的に
ガス濃度をモニターすることがてきるか、ガス選択性の
付与が困難であり、上記ガス分析装置のように複数のガ
ス成分を同時に分析することはできない。この問題点を
克服するために、複数個の半導体ガスセンサを用いて、
複数ガス成分の同時分析を試みた例（第７回化学センサ
研究発表会 １７７、１９８８あるいはセンサ技術 ｖ
ｏｌ、７． Ｎｏ、５．１９８７など）がある。しかし
、いずれの場合もある体積中に存在するガス成分を分析
した例であり、ガス流通セルに半導体ガスセンサを設置
し、連続的に複数ガス成分の同時分析を行また例はない
。
［発明が解決しようとする課！！Ｉ］
各種製造業における排ガス分析には迅速性、連続性とと
もに複数ガス成分の同時分析が不可欠である。しかし、
従来のガス分析装置ではガス流通経路から直接検出器へ
ガスを導入することは困難であり、サンプリングを必要
とした。このため、ガス流通経路における複数ガス成分
の同時分析という面では迅速性、連続性の点で問題があ
った。
もに複数ガス成分の同時分析が不可欠である。しかし、
従来のガス分析装置ではガス流通経路から直接検出器へ
ガスを導入することは困難であり、サンプリングを必要
とした。このため、ガス流通経路における複数ガス成分
の同時分析という面では迅速性、連続性の点で問題があ
った。
一方、半導体ガスセンサは単一のガス成分であれば、迅
速にしかも連続的に分析を行うことができるが、複数ガ
ス成分を同時分析することは困難であった。
速にしかも連続的に分析を行うことができるが、複数ガ
ス成分を同時分析することは困難であった。
そこて、本発明は複数ガス成分で構成されるガス体中の
ガス成分を迅速に、しかも連続的に同時分析することが
できる方法および装置を提供する。
ガス成分を迅速に、しかも連続的に同時分析することが
できる方法および装置を提供する。
［課題を解決するための手段］
以上の問題を解決するため、本発明者らは次の方法およ
び装置を発明した。すなわち、本発明のガス成分分析方
法は半導体ガスセンサを２個またはそれ以上配置したガ
ス流通セルに、酸素または酸素を含む不活性ガスと混合
したガス体を連続的に一定流着で供給し、各センサから
の出力電圧信号をそのまま用いる、あるいは相互に補正
計算することにより複数ガス成分で構成されるガス体中
のガス成分を同時に定量することを特徴としている。上
記方法を実現するために、本発明のガス成分分析装置は
、複数成分で構成されているガスの流通経路から分岐し
てガスを採取レ一定流量のガスとするガス採取部と、該
ガス採取部に酸素または酸素を含む不活性ガスを供給す
る酸素供給部と、ガス採取部に連結しガス供給口および
排出口に接続したガス流通路を内部に有して２個または
それ以上の半導体ガスセンサをガス流通路に対して直角
に直列に配置し周囲を恒温槽としたガス流通セル、およ
び、流通セル内の各センサからの出力信号からガス成分
濃度を計算する装置、とからなる複数成分ガス流通経路
内のガス組成を連続かつオンラインで定量可能としたこ
とを特徴としている。また、一定容積中に存在する複数
ガス成分で構成されるガス体に対して、本発明のガス成
分分析装置は、ガス体を−・定量採取し、一定流量のガ
スとするガス採取部と、該ガス採取部に酸素または酸素
を含む不活性ガスを供給する酸素供給部と、ガス採取部
に連結しガス供給口および排出口に接続したガス流通路
を内部に有して２個またはそれ以上の半導体ガスセンサ
をガス流通路に対して直角に直列に配置し周囲を恒温槽
としたガス流通セル、および、流通セル内の各センサか
らの出カイ３号からガス成分を計算する装置、とからな
る一定容積中に存在する複数ガス成分の組成を連続かつ
オンラインて定量可能としたことを特徴としている。
び装置を発明した。すなわち、本発明のガス成分分析方
法は半導体ガスセンサを２個またはそれ以上配置したガ
ス流通セルに、酸素または酸素を含む不活性ガスと混合
したガス体を連続的に一定流着で供給し、各センサから
の出力電圧信号をそのまま用いる、あるいは相互に補正
計算することにより複数ガス成分で構成されるガス体中
のガス成分を同時に定量することを特徴としている。上
記方法を実現するために、本発明のガス成分分析装置は
、複数成分で構成されているガスの流通経路から分岐し
てガスを採取レ一定流量のガスとするガス採取部と、該
ガス採取部に酸素または酸素を含む不活性ガスを供給す
る酸素供給部と、ガス採取部に連結しガス供給口および
排出口に接続したガス流通路を内部に有して２個または
それ以上の半導体ガスセンサをガス流通路に対して直角
に直列に配置し周囲を恒温槽としたガス流通セル、およ
び、流通セル内の各センサからの出力信号からガス成分
濃度を計算する装置、とからなる複数成分ガス流通経路
内のガス組成を連続かつオンラインで定量可能としたこ
とを特徴としている。また、一定容積中に存在する複数
ガス成分で構成されるガス体に対して、本発明のガス成
分分析装置は、ガス体を−・定量採取し、一定流量のガ
スとするガス採取部と、該ガス採取部に酸素または酸素
を含む不活性ガスを供給する酸素供給部と、ガス採取部
に連結しガス供給口および排出口に接続したガス流通路
を内部に有して２個またはそれ以上の半導体ガスセンサ
をガス流通路に対して直角に直列に配置し周囲を恒温槽
としたガス流通セル、および、流通セル内の各センサか
らの出カイ３号からガス成分を計算する装置、とからな
る一定容積中に存在する複数ガス成分の組成を連続かつ
オンラインて定量可能としたことを特徴としている。
［作用コ
カス流通セル中を一定流量で流れるガスの濃度は、半導
体ガスセンサの素子の抵抗変化、あるいはセンサ出力電
圧の変化として検出される。ガス中の複数のガス成分は
それらか総合された形として各センサで検出されるが、
個々のセンサの複数ガス成分に対する検量線に基づき、
各ガスの成分がそれぞれ定量される。
体ガスセンサの素子の抵抗変化、あるいはセンサ出力電
圧の変化として検出される。ガス中の複数のガス成分は
それらか総合された形として各センサで検出されるが、
個々のセンサの複数ガス成分に対する検量線に基づき、
各ガスの成分がそれぞれ定量される。
半導体ガスセンサはガス流通路に対して直角に、かつガ
ス流通路に沿って直列に配置されており、また検出部の
周囲は恒温槽となっている。したがって、ガス流による
センサ素子の温度低下および雰囲気温度の変化が抑えら
れ、所要の分析積度が保持される。
ス流通路に沿って直列に配置されており、また検出部の
周囲は恒温槽となっている。したがって、ガス流による
センサ素子の温度低下および雰囲気温度の変化が抑えら
れ、所要の分析積度が保持される。
［実施例］
以下、本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明の装置の概略を示している。
第１図に示すように＼、複数ガス成分で構成されるガス
体に流通経路から一定流量のガスを分岐したガス採取部
１には減圧弁２、圧力計３、流量計４、マスフローコン
トローラー５およびシャットオフバルブ６が順次配列さ
れ、三方コック７の方の入口に連絡している。また、酸
素供給＃、８、減圧弁９、圧力計ｌＯ１流量計１１、マ
スフローコントローラー】２およびシャットオフバルブ
１３が順次配列され、上記三方コック７の他方の入口に
連絡している。三方コック７の出口は検出部１６に接続
されている。検出部１６には、インターフェイス＋９を
介してＣＰＵ２０が接続され、ＣＰＵ２０には表示装置
２１が接続されている。
体に流通経路から一定流量のガスを分岐したガス採取部
１には減圧弁２、圧力計３、流量計４、マスフローコン
トローラー５およびシャットオフバルブ６が順次配列さ
れ、三方コック７の方の入口に連絡している。また、酸
素供給＃、８、減圧弁９、圧力計ｌＯ１流量計１１、マ
スフローコントローラー】２およびシャットオフバルブ
１３が順次配列され、上記三方コック７の他方の入口に
連絡している。三方コック７の出口は検出部１６に接続
されている。検出部１６には、インターフェイス＋９を
介してＣＰＵ２０が接続され、ＣＰＵ２０には表示装置
２１が接続されている。
検出部１６は第２図に示すようにケーシング３１を有し
、ケーシング３１内にガス流通セル３４が設けられてい
る。ケーシング３１は耐熱性材料３２で内張すされてお
り、恒温槽となっている。ガス流通セル３４にはガス流
通路３５がセル長手方向に沿って貫通している。分析す
べきガス成分の数に対応した数の半導体カスセンサ３７
が、ガス流通路３５に臨むようにしてガス流通セル３４
に取り付けられている。
、ケーシング３１内にガス流通セル３４が設けられてい
る。ケーシング３１は耐熱性材料３２で内張すされてお
り、恒温槽となっている。ガス流通セル３４にはガス流
通路３５がセル長手方向に沿って貫通している。分析す
べきガス成分の数に対応した数の半導体カスセンサ３７
が、ガス流通路３５に臨むようにしてガス流通セル３４
に取り付けられている。
こねら半導体ガスセンサ３７は、ガス流通路３５に対し
て直角であり、かつガス流通路３５に沿って直列に並ん
でいる。この実施例では、半導体ガスセンサ３７はＳｎ
Ｏ２半導体よりなっている。センサ取付は部には０リン
グ３９を装着し、ガス流通セル３４内の気密を保つよう
にしている。ガス流通セル３４の入側にはガス供給管４
１が、また出側にはガス排出管４２かそれぞれ接続され
ている。ガス供給管４１には電気ヒータ４４か取り付け
られており、電気ヒータ４４により一定温度に加熱され
たガスの温度を測定するための温度計４６が、ガス流通
セル３４に取り付けられている。
て直角であり、かつガス流通路３５に沿って直列に並ん
でいる。この実施例では、半導体ガスセンサ３７はＳｎ
Ｏ２半導体よりなっている。センサ取付は部には０リン
グ３９を装着し、ガス流通セル３４内の気密を保つよう
にしている。ガス流通セル３４の入側にはガス供給管４
１が、また出側にはガス排出管４２かそれぞれ接続され
ている。ガス供給管４１には電気ヒータ４４か取り付け
られており、電気ヒータ４４により一定温度に加熱され
たガスの温度を測定するための温度計４６が、ガス流通
セル３４に取り付けられている。
半導体ガスセンサ１個を配置できるガス流通セル３４を
分析すべきガス成分の数だけ用意し、これらをガス経路
１５に対して直列に配置してもよい。
分析すべきガス成分の数だけ用意し、これらをガス経路
１５に対して直列に配置してもよい。
第３図は半導体ガスセンサ１個を配置できるガス流通セ
ル３４を示している一０第３図に示すガス検出部の部材
は第２図に示すものと同様の部材であるので、同一の参
照符号を付けている。この場合は、特に原理の異なるセ
ンサを組合せて用いる時に有効である。例えば、半導体
ガスセンサと水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）あるいは
表光光度検出器（ＦＰＤ）を組み合わせて用いる場合な
どは安定して測定が行えた。
ル３４を示している一０第３図に示すガス検出部の部材
は第２図に示すものと同様の部材であるので、同一の参
照符号を付けている。この場合は、特に原理の異なるセ
ンサを組合せて用いる時に有効である。例えば、半導体
ガスセンサと水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）あるいは
表光光度検出器（ＦＰＤ）を組み合わせて用いる場合な
どは安定して測定が行えた。
ガスセンサの個数および種類を問わず、センサはガス流
通路内に配置される。したがって、ガスによるセンサ素
子の温度低下を防ぐために、ガス流通経路３５に対して
直角にセンサが配置できるようにガス流通セル３４は設
計されている。ガス流通路３５に対向するように配置す
るとセンサ素子の温度低下を招き、分析結果が不安定と
なり好ましくなかった。
通路内に配置される。したがって、ガスによるセンサ素
子の温度低下を防ぐために、ガス流通経路３５に対して
直角にセンサが配置できるようにガス流通セル３４は設
計されている。ガス流通路３５に対向するように配置す
るとセンサ素子の温度低下を招き、分析結果が不安定と
なり好ましくなかった。
前述の例では、検出部１６に配置する検出器は半導体ガ
スセンサである。しかし、分析すべきガス成分に対応し
て接触燃焼式ガスセンサや定電位電解式ガスセンサ、あ
るいは従来のガスクロマトグラフに用いられているＦＩ
Ｄ、ＦＰＤなどの検出器を用いてもよい。これらの検出
器を用いる場合、接触燃焼式ガスセンサ以外は酸素供給
源８は必要ない。
スセンサである。しかし、分析すべきガス成分に対応し
て接触燃焼式ガスセンサや定電位電解式ガスセンサ、あ
るいは従来のガスクロマトグラフに用いられているＦＩ
Ｄ、ＦＰＤなどの検出器を用いてもよい。これらの検出
器を用いる場合、接触燃焼式ガスセンサ以外は酸素供給
源８は必要ない。
つぎに、Ｆ記のように構成された本発明の装置によりガ
スを分析する方法について説明する。
スを分析する方法について説明する。
ガス流通経路２５に接続されたガス採取部１から導入さ
れた分析すべき試料ガスを舐圧弁２で所定の圧力に設定
し、流量計４およびマスフローコントローラ５で一定流
量とし、ガス体供給管２２で酸素供給源８から供給され
る酸素供給管１４と合流させる。試料ガスと酸素が混合
されたガスＩ５は、複数の半導体ガスセンサを配置した
検出部１６に流入する。個々の半導体ガスセンサからの
出力電圧信号１８はインターフェイス１９を介してＣＰ
Ｕ２０へ送られ、それらの信号をもとに補正計ｐを行っ
た後、複数ガス成分の定量結果が表示装置２１に表示さ
れる。ここで、酸素供給源８は、半導体ガスセンサの抵
抗が表面に吸着している酸素量に応して変化し、その変
化によってガス濃度を検知するために必要なものであり
、水分を除去した酸素、あるいは空気を用いる。必要に
応じて不活性ガスをキャリヤーとして混合して用いても
よい。また、検出部１６の周囲には恒温槽１７を配置し
、雰囲気温度の変化によるセンサ感度の変化を防止する
ために３０〜６０℃の一定温度に保持した。
れた分析すべき試料ガスを舐圧弁２で所定の圧力に設定
し、流量計４およびマスフローコントローラ５で一定流
量とし、ガス体供給管２２で酸素供給源８から供給され
る酸素供給管１４と合流させる。試料ガスと酸素が混合
されたガスＩ５は、複数の半導体ガスセンサを配置した
検出部１６に流入する。個々の半導体ガスセンサからの
出力電圧信号１８はインターフェイス１９を介してＣＰ
Ｕ２０へ送られ、それらの信号をもとに補正計ｐを行っ
た後、複数ガス成分の定量結果が表示装置２１に表示さ
れる。ここで、酸素供給源８は、半導体ガスセンサの抵
抗が表面に吸着している酸素量に応して変化し、その変
化によってガス濃度を検知するために必要なものであり
、水分を除去した酸素、あるいは空気を用いる。必要に
応じて不活性ガスをキャリヤーとして混合して用いても
よい。また、検出部１６の周囲には恒温槽１７を配置し
、雰囲気温度の変化によるセンサ感度の変化を防止する
ために３０〜６０℃の一定温度に保持した。
これらの装置を用い、試料ガス中の複数カス成分を分析
するためには、試料ガスの流量は１００〜１０００ａ＋
Ｑ／ｍｉｎ、酸素供給源８としての酸素あるいは空気の
流量は１〜５ ｆｆｉ／ｍｉｎの範囲で、その混合ガス
１５中の酸素濃度がＩ（ｎ以上になるように設定する。
するためには、試料ガスの流量は１００〜１０００ａ＋
Ｑ／ｍｉｎ、酸素供給源８としての酸素あるいは空気の
流量は１〜５ ｆｆｉ／ｍｉｎの範囲で、その混合ガス
１５中の酸素濃度がＩ（ｎ以上になるように設定する。
また、半導体ガスセンサ素子の温度低下を防ぐために１
．混合ガス１５の総流量は５１７ｍ１ｎ以下に設定する
。
．混合ガス１５の総流量は５１７ｍ１ｎ以下に設定する
。
試料ガス中の複数のガス成分は、そわらが総合された形
として各センサで検出される。各センサからの出力電圧
信号を随時ＣＰＵ２０で取り込み、それらの信号をもと
に補正計算を行うことで、複数ガス成分で構成されるガ
ス体中のガス成分を迅速に、しかも連続的に同時分析す
ることができる。補正計算の方法としては、あらかじめ
個々のセンサに対して単一ガス成分の検量線を作成して
おく。個々のセンサの複数ガス成分に対する検量線は単
一カス成分の検量線をもとに作成することができ、この
ようにして作成した検量線に分析すべき試料ガスに対し
て取り込んだ信号を代入する。その結果、センサの数に
対応した数だけの関係式が作成されることになり、これ
をもとに補正計算することで、センサの数に対応した数
だけのガス成分を分析することができる。
として各センサで検出される。各センサからの出力電圧
信号を随時ＣＰＵ２０で取り込み、それらの信号をもと
に補正計算を行うことで、複数ガス成分で構成されるガ
ス体中のガス成分を迅速に、しかも連続的に同時分析す
ることができる。補正計算の方法としては、あらかじめ
個々のセンサに対して単一ガス成分の検量線を作成して
おく。個々のセンサの複数ガス成分に対する検量線は単
一カス成分の検量線をもとに作成することができ、この
ようにして作成した検量線に分析すべき試料ガスに対し
て取り込んだ信号を代入する。その結果、センサの数に
対応した数だけの関係式が作成されることになり、これ
をもとに補正計算することで、センサの数に対応した数
だけのガス成分を分析することができる。
ここで、複数成分よりなるガスの分析例について説明す
る。
る。
３個の半導体ガスセンサをガス流通セルに直列に配置し
、１１２． Ｇｏ、 Ｃ１１４の３成分混合ガスの分析
を行った。Ｈ，、Ｇｏ、 Ｃ）１４はそれぞれ一定濃度
の標準ガスを績密ガス混合器で混合し、種々の濃度に設
定して］ＯＯｍＱ／ｗｉｎの流量で供給した。３成分の
濃度を順次変化させたときのセンサ出力電圧の様子を第
４図に示す。これらの測定の際に、センサからの出力電
圧信号をインターフェイスを介してｃｐｕに取り込み、
Ｈ，、ＧＯ，ＣＨ，３成分の定量を行フた結果、３成分
ともに１〜＋０００ｐｐ−の濃度範囲において、計算値
との誤差１０９６以内で定量が行えた。また、このとき
の分析遅れ時間は補正計算に要する５〜ｌＯ秒程度であ
り、連続的に分析値を得ることができた。
、１１２． Ｇｏ、 Ｃ１１４の３成分混合ガスの分析
を行った。Ｈ，、Ｇｏ、 Ｃ）１４はそれぞれ一定濃度
の標準ガスを績密ガス混合器で混合し、種々の濃度に設
定して］ＯＯｍＱ／ｗｉｎの流量で供給した。３成分の
濃度を順次変化させたときのセンサ出力電圧の様子を第
４図に示す。これらの測定の際に、センサからの出力電
圧信号をインターフェイスを介してｃｐｕに取り込み、
Ｈ，、ＧＯ，ＣＨ，３成分の定量を行フた結果、３成分
ともに１〜＋０００ｐｐ−の濃度範囲において、計算値
との誤差１０９６以内で定量が行えた。また、このとき
の分析遅れ時間は補正計算に要する５〜ｌＯ秒程度であ
り、連続的に分析値を得ることができた。
以上は、複数ガス成分で構成されるガス体の流通経路か
ら一定流量のガスを分岐し、連続的にガス体中の複数ガ
ス成分を同時定量する場合について述べたが、一定容積
中に存在する複数ガス成分で構成されるガス体について
は、その一定量をポンプあるいはシリンダ等で採取し、
本発明装置に不活性ガスを用いて導入することで上述の
場合と同様、ガス体中の複数ガス成分を同時に定量する
ことができる。
ら一定流量のガスを分岐し、連続的にガス体中の複数ガ
ス成分を同時定量する場合について述べたが、一定容積
中に存在する複数ガス成分で構成されるガス体について
は、その一定量をポンプあるいはシリンダ等で採取し、
本発明装置に不活性ガスを用いて導入することで上述の
場合と同様、ガス体中の複数ガス成分を同時に定量する
ことができる。
［発明の効果］
本発明の方法および装置により、複数ガス成分で構成さ
れるガス体中のガス成分を迅速に、しかも連続的に同時
分析することができるようになり、排ガス分析などガス
濃度の連続的なモニターが必要な製造工程に寄与する効
果は大きい。
れるガス体中のガス成分を迅速に、しかも連続的に同時
分析することができるようになり、排ガス分析などガス
濃度の連続的なモニターが必要な製造工程に寄与する効
果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の装置の全体概略図、第２図は複数セン
サを設置したガス流通セルを有する検出部の縦断面図、
第３図は単一センサを設置したガス流通セルを有する検
出部の縦断面図、第４図は１１、、 ＣＯ，ＣＩＬ混合
ガス分析時のセンサ出力電圧信号を示した図である。
サを設置したガス流通セルを有する検出部の縦断面図、
第３図は単一センサを設置したガス流通セルを有する検
出部の縦断面図、第４図は１１、、 ＣＯ，ＣＩＬ混合
ガス分析時のセンサ出力電圧信号を示した図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、半導体ガスセンサを２個またはそれ以上配置したガ
ス流通セルに、酸素または酸素を含む不活性ガスと混合
したガス体を連続的に一定流量で供給し、各センサから
の出力電圧信号をそのまま用いる、あるいは相互に補正
計算することにより複数ガス成分で構成されるガス体中
のガス成分を同時に定量することを特徴とするガス成分
分析方法。 ２、複数成分で構成されているガスの流通経路から分岐
してガスを採取し一定流量のガスとするガス採取部と、
該ガス採取部に酸素または酸素を含む不活性ガスを供給
する酸素供給部と、ガス採取部に連結しガス供給口およ
び排出口に接続したガス流通路を内部に有して２個また
はそれ以上の半導体ガスセンサをガス流通路に対して直
角に直列に配置し周囲を恒温槽としたガス流通セル、お
よび、流通セル内の各センサからの出力信号からガス成
分濃度を計算する装置、とからなる複数成分ガス流通経
路内のガス組成を連続かつオンラインで定量可能とした
ことを特徴とするガス成分分析装置。 ３、ガス体を一定量採取し、一定流量のガスとするガス
採取部と、該ガス採取部に酸素または酸素を含む不活性
ガスを供給する酸素供給部と、ガス採取部に連結しガス
供給口および排出口に接続したガス流通路を内部に有し
て２個またはそれ以上の半導体ガスセンサをガス流通路
に対して直角に直列に配置し周囲を恒温槽としたガス流
通セル、および、流通セル内の各センサからの出力信号
からガス成分濃度を計算する装置、とからなる一定容積
中に存在する複数ガス成分の組成を連続かつオンライン
で定量可能としたことを特徴とするガス成分分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9041071A JPH03156353A (ja) | 1989-08-28 | 1990-02-23 | ガス成分分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21871989 | 1989-08-28 | ||
| JP1-218719 | 1989-08-28 | ||
| JP9041071A JPH03156353A (ja) | 1989-08-28 | 1990-02-23 | ガス成分分析方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156353A true JPH03156353A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=16724368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9041071A Pending JPH03156353A (ja) | 1989-08-28 | 1990-02-23 | ガス成分分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03156353A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007309770A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Hitachi Ltd | 油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油中ガスの分析方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045685A (ja) * | 1973-08-25 | 1975-04-23 | ||
| JPS6067850A (ja) * | 1983-09-15 | 1985-04-18 | パウル ケビン クリフオ−ド | 雰囲気中の選択された数のガスを選択的に検出，測定，識別する装置 |
| JPS60250228A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-10 | Kawasou Denki Kogyo Kk | 高温ガスの採取方法及び採取装置 |
| JPS6466537A (en) * | 1987-09-08 | 1989-03-13 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for analyzing hydrogen in gas |
-
1990
- 1990-02-23 JP JP9041071A patent/JPH03156353A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5045685A (ja) * | 1973-08-25 | 1975-04-23 | ||
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| JP2007309770A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Hitachi Ltd | 油中ガス分析装置、油中ガス分析装置を備えた変圧器、及び油中ガスの分析方法 |
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