JPH031537U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031537U JPH031537U JP6153689U JP6153689U JPH031537U JP H031537 U JPH031537 U JP H031537U JP 6153689 U JP6153689 U JP 6153689U JP 6153689 U JP6153689 U JP 6153689U JP H031537 U JPH031537 U JP H031537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- side plates
- processing jig
- wafer processing
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 2
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハ処理治具
の実施例を示す斜視図、第２図はその横断正面図
である。第３図は従来のキヤリアを示した斜視図
、第４図はその横断正面図、第５図は第３図のキ
ヤリアの部分拡大図、第６図はキヤリアの搬送要
領を示す斜視図、第７図は従来のキヤリアに半導
体ウエーハ押え部材を装着した状態を示す斜視図
である。 ２２，２３……側板、２６……溝、２７…半導
体ウエーハ、２８……押え片。
の実施例を示す斜視図、第２図はその横断正面図
である。第３図は従来のキヤリアを示した斜視図
、第４図はその横断正面図、第５図は第３図のキ
ヤリアの部分拡大図、第６図はキヤリアの搬送要
領を示す斜視図、第７図は従来のキヤリアに半導
体ウエーハ押え部材を装着した状態を示す斜視図
である。 ２２，２３……側板、２６……溝、２７…半導
体ウエーハ、２８……押え片。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 所定の間隔をもつて対向配置した一対の側板の
内面に、半導体ウエーハを保持する多数の溝を一
定間隔で形成し、かつ、弾性を有する樹脂を素材
とした半導体ウエーハ処理治具において、 上記側板の少なくとも一方の側板の上縁に、外
側寄りに弾性変形可能な押え片を、半導体ウエー
ハの周縁と当接可能に内側寄りに一体に突設した
ことを特徴とする半導体ウエーハ処理治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6153689U JPH031537U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6153689U JPH031537U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031537U true JPH031537U (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=31589868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6153689U Pending JPH031537U (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031537U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831319U (ja) * | 1971-08-27 | 1973-04-17 | ||
| JPS5137112U (ja) * | 1974-08-30 | 1976-03-19 | ||
| JP2002356966A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Otis:Kk | 雨樋支持具 |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP6153689U patent/JPH031537U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831319U (ja) * | 1971-08-27 | 1973-04-17 | ||
| JPS5137112U (ja) * | 1974-08-30 | 1976-03-19 | ||
| JP2002356966A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Otis:Kk | 雨樋支持具 |
| JP4653905B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2011-03-16 | 株式会社オーティス | 雨樋支持具 |