JPH01139436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01139436U JPH01139436U JP3590588U JP3590588U JPH01139436U JP H01139436 U JPH01139436 U JP H01139436U JP 3590588 U JP3590588 U JP 3590588U JP 3590588 U JP3590588 U JP 3590588U JP H01139436 U JPH01139436 U JP H01139436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- semiconductor
- side plates
- manufacturing jig
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案に係る半導体製造治具の第１
の実施例を示した斜視図、第２図はその縦断正面
図、第３図は第２の実施例を示した斜視図、第４
図はその片側縦断正面図、第５図は第３の実施例
を示した斜視図、第６図はその縦断正面図である
。第７図は従来のキヤリアを示した斜視図、第８
図はその縦断正面図、第９図は第７図のキヤリア
の部分拡大平面図である。 １１，１９，２４……キヤリア、１２……側板
、１３……端板、１４……溝、１５……半導体ウ
エーハ、１６，２３，２６……半導体ウエーハ押
え部材。
の実施例を示した斜視図、第２図はその縦断正面
図、第３図は第２の実施例を示した斜視図、第４
図はその片側縦断正面図、第５図は第３の実施例
を示した斜視図、第６図はその縦断正面図である
。第７図は従来のキヤリアを示した斜視図、第８
図はその縦断正面図、第９図は第７図のキヤリア
の部分拡大平面図である。 １１，１９，２４……キヤリア、１２……側板
、１３……端板、１４……溝、１５……半導体ウ
エーハ、１６，２３，２６……半導体ウエーハ押
え部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 所定の間隔をもつて対向配置した一対の側板の
内面に、半導体ウエーハを保持する多数の溝を一
定間隔で形成した半導体製造治具において、 上記側板の半導体ウエーハ挿入端面側より半導
体ウエーハの周縁に当接する半導体ウエーハ押え
部材を設けたことを特徴とする半導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590588U JPH01139436U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3590588U JPH01139436U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139436U true JPH01139436U (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=31262534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3590588U Pending JPH01139436U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139436U (ja) |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP3590588U patent/JPH01139436U/ja active Pending