JPH0315170B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

産業上の利用分野 本発明は、投光装置または走査装置に使用され
る照明装置に関する。 従来技術 この種の照明装置は米国特許第4241390号（特
許出願第671405号）および米国特許第4068947号
（特許出願第671653号）に示されている。 しかしながら従来装置においては、視野絞りを
設けることのできない場所に被照面がある場合
に、アーチ形光源からの光を一様にかつ効率良く
照射して、この被照面へアーチ形の像を正確に形
成することは技術上の困難性を有していた。 発明の解決すべき問題点 本発明の課題は、アーチ形光源からの光を、視
野絞りを設けることのできない場所に被照面があ
る場合にこの被照面に、アーチ形の像として結像
させることである。 問題点を解決するための手段 前記の課題は、特許請求の範囲に示されている
ように、アーチ形光源の光を、アーチ形スリツト
と反射フイールド部材を用いて中間像を形成して
から被照面へ案内する構成により、解決されてい
る。 実施例の説明 次に本発明を実施例について図面により詳細に
説明する。 第１図は、第２図から第１１図までの各図面に
示された実施例を従来技術と関連づけて立体的に
示す参考図である。第１図において、光源はアー
チ形の水銀ランプ５０２から成る。第１凹面ミラ
ー５０４の中央にはアパーチヤ５０６が設けられ
る。第２凸面ミラー５０８はプレート５１０の上
側に設けられる。プレート５１０は水銀ランプ５
０２からの可視光線及び紫外線を通過させる適当
な透明材料から成る。フイールドレンズ５１４と
フイールドレンズ５１６との間にはアーチ形スリ
ツト５１２が設けられる。アーチ形スリツト５１
２には、第１凹面ミラー５０４と第２凸面ミラー
５０８と平面ミラー５１１により、水銀ランプ５
０２のアーチ形像が結像する。フイールドレンズ
５１４，５１６は平凸球面レンズのセグメントか
ら成る。アーチ形スリツト５１２は、平面ミラー
５１３，５１５及び変換ミラー５１８によりスク
リーン２２０に結像する。スクリーン２２０は例
えばリーダの近傍において担体上を移転する。こ
のようにしてスクリーン２２０には被照部分２２
３が生ずる。被照部分２２３はアーチ形である。
結像装置は米国特許第3748015号明細書に記載し
た理論に従つて構成され、結像装置の対称軸線は
被照部分２２３の曲率中心を通過する。被照部分
２２３をこのような形状に形成すれば、軸線に対
し環状にすることができる。そしてこのように結
像装置を構成し、被照部分２２３を軸線に対し環
状にすることにより、米国特許第3748015号明細
書の記載のように、結像装置を最適に修正するこ
とができる。 高圧水銀アークランプ５０２の照明器具（カバ
ー）を適正な形状に形成することにより、環状光
源として高圧水銀アークランプ５０２が働くよう
にする。適正な形状の照明器具を具備する水銀ラ
ンプ５０２については、米国特許第3878419号明
細書に記載がある。水銀ランプ５０２からの光
は、第１凹面ミラー５０４と第２凸面ミラー５０
８とフイールドレンズ５１４，５１６により結像
される。第１凹面ミラー５０４と第２凸面ミラー
５０８とフイールドレンズ５１４，５１６とから
成る反射対物光学系の入射ひとみはほぼ第２凸面
ミラー５０８に結像される。第２凸面ミラー５０
８は照射装置の集光系のアパーチヤを部分的に遮
蔽する。但し第２凸面ミラー５０８による遮蔽
は、光源のどの結像点でもほとんど等しい程度で
ある。入射のひとみはフイールドレンズ５１４，
５１６によりアパーチヤ絞り５１９に結像する。
アパーチヤ絞り５１９は、変換ミラー５１８の前
方に焦点距離に等しい間隔を置いて配置される。
変換ミラー５１８はアパーチヤ絞り５１９のコリ
メートした像を形成する。これは照明装置の射出
ひとみである。アーチ形スリツト５１２は変換ミ
ラー５１８によりスクリーン２２０の被照部分２
２３に結像する。このようにしてスクリーン２２
０には視野絞りが形成される。照明装置の集光系
の構成部分は、アーチ形水銀ランプ５０２の曲率
中心が対称軸線５０３にあり、対称軸線５０３が
共通の軸線であるように配置される。この場合照
明装置の集光系は、米国特許第3821763号明細書
に記載されたオフアクシス形環状被照光学結像方
式に基づく環状被照面光学装置として働く。必要
に応じてアパーチヤ絞り５１９の大きさを調節
し、後続の結像装置に加わるスクリーン２２０で
の照明の部分的干渉の度合を調節することができ
る。 以上の説明から明らかなように、第１図の集光
系を環状被照面光学装置として用いれば、被照物
に光を照射して光電変換する光学装置においてそ
の都合環状被照面を均一に照明することができ
る。 第２図は本発明の実施例を示す。第２図の実施
例において、高圧水銀ランプ５０２′はアーチ形
である。高圧水銀ランプ５０２′は第１図の実施
例の水銀ランプ５０２と同じである。高圧水銀ラ
ンプ５０２′のアーチ形プラズマの曲率中心は、
照明装置の集光装置の光軸５０３′にある。高圧
水銀ランプ５０２′のプラズマないしアークを拡
大して面１５に結像させるため、第１凹面ミラー
５０４′と第２凸面ミラー５０８′を設ける。高圧
水銀ランプ５０２′のアークは第１凹面ミラー５
０４′及び第２凸面ミラー５０８′で反射する。こ
のように第１凹面ミラー５０４′と第２凸面ミラ
ー５０８′は反射対物光学系を構成する。 第１凹面ミラー５０４′は例えばパイレツクス
ガラスから成る。他方第２凸面ミラー５０８′は
例えばアルミニウムから成る。第２凸面ミラー５
０８′は窓５１０′にマウントされる。窓５１０′
は例えば溶融シリカから形成される。窓５１０′
は第２凸面ミラー５０８′を支持し、更に光学系
をエアジエツトから遮蔽する。エアジエツト（図
示されていない）は、水銀ランプ５０２′を冷却
する際に使用する。第１凹面ミラー５０４′には
アパーチヤが設けられる。アパーチヤはスリツト
５０６′として形成される。水銀ランプ５０２′の
アークの拡大像はスリツト５０６′を通過し、面
１５に達する。第１凹面ミラー５０４′と第２凸
面ミラー５０８′とから成る反射対物光学系の入
射ひとみは第２凸面ミラー５０８′の充分近くに
ある。従つて第２凸面ミラー５０８′による遮蔽
は最小であり、水銀ランプ５０２′のアークの像
全体にわたりほとんど一定である。 視野絞りを配置できない場所に正確な環状被照
面を形成するため、照明装置に中間結像位置を設
ける。そしてこの中間結像位置にアーチ形スリツ
トを配置する。第２図の実施例では部材１９が面
１５に設けられ、視野絞りとして用いられる。部
材１９はアーチ形スリツト５１２′を有する。ア
ーチ形スリツト５１２′の曲率中心は光軸にある。
最終的な像の形状はアーチ形スリツト５１２′の
形状に応じて定まる。 光源のすべての部分からの光を光学系の所望の
アパーチヤ絞りの方向に指向させるには、フイー
ルド部材が必要である。このフイールド部材は、
アーチ形光源の全部の部分からの光を視野絞りへ
案内するために、さらに環状被照体をこのアーチ
形光源からの光で一様に照射するために用いられ
る。第２図の実施例では反射形またはカタジオプ
トリツク（catadioptric）形のフイールド部材を
用いる。該フイールド部材は環状被照面の照明装
置に使用されるのであるから、光軸を中心とする
回転面の一部分でなければならない。アーチ形ス
リツト５１２′を通過した光は、カタジオプトリ
ツク円柱状部材２１の内部における全反射により
反射する。円柱状部材２１の円柱面２２の曲率中
心は光軸５０３′にある。円柱状部材２１は、円
柱軸を含み円柱を通る面により切断してなる円柱
セグメント又は円柱軸に平行で円柱を通る面によ
り切断してなる円柱セグメントから形成される。
円柱状部材２１は溶融シリカ等の透明屈折部材か
ら成り、紫外線に対する透明度は高い。アーチ形
スリツト５１２′の個々の点で結像する光の円錐
光束の中心光線は、光軸５０３′から離れて進行
する。該円錐光束の先端は、第２図において第２
凸面ミラー５０８′の若干左側にある点を通る光
軸５０３′にある。円柱状部材２１は該円錐光束
を反射させる。そして反射光の円錐光束の先端
は、円形アパーチヤ絞り５１９′の位置で光軸５
０３′に達する。 屈折材料を用いると、像の色に変化が生ずる。
しかし像の色が変わつても、ほとんどの場合使用
上支障はないといつてもいい。円柱状部材２１は
フイールドレンズとして働き、環状被照面の照
明・集光装置に使用すれば極めて効果的である。
円柱状部材２１の他の変形については第３図〜第
１０図の説明の際に詳説する。 円柱状部材２１からの光は非球面部材２３によ
り屈折する。非球面部材２３は例えば溶融シリカ
から成る。非球面部材２３で屈折した光は次いで
円形アパーチヤ絞り５１９′を通る。円形アパー
チヤ絞り５１９′は、その曲率中心が光軸５０
３′にあるように配置される。非球面部材２３は
アーチ形スリツト５１２′の結像の収差を修正し、
一層シヤープなスリツト像を形成する。これに反
し非球面部材２３を用いなければ、それ程シヤー
プなスリツト像を得ることはできない。 アパーチヤ絞り５１９′を通過した光は、非球
面ミラー又は球面ミラー５１８′により反射され
る。非球面ミラー又は球面ミラー５１８′は例え
ばパイレツクスから成る。円柱状部材２１と非球
面部材２３と凹面ミラー５１８′は、アーチ形ス
リツト５１２′がフオーカルプレーン２２０′の部
分２２３′として結像するように働く。フオーカ
ルプレーン２２０′は照明すべき場所である。ア
パーチヤ絞り５１９′は、例えば球面ミラー５１
８′の前方に焦点距離の間隔を置いて配置される。
更にフオーカルプレーン２２０′において観察し
た場合に射出ひとみが無限遠に生ずるように、ア
パーチヤ絞り５１９′が配置される。フオーカル
プレーン２２０′は米国特許出願第339860号明細
書に記載されたシステムの場合には、超小型回路
のマスクに相当する。 必要に応じて化学線フイルタ２５を設け、ミラ
ー５１８′からの反射光が化学線フイルタ２５を
通過するように構成することもできる。化学線フ
イルタ２５は通例、位置整定プロセスの際に挿入
配置される、化学線フイルタ２５により紫外線を
除去することができる。従つて感光部材が露光さ
れないようにすることができる。アパーチヤ絞り
５１９′を調節可能に構成し、フオーカルプレー
ン２２０′における照明の部分的干渉度を調節す
ることができる。 スペースの配慮が重要な問題になる場合には、
第２図の実施例は極めて有利である。第２図の実
施例に用いる第１凹面ミラー５０４′の直径は例
えば17.8cmで足りるが、第１図の実施例に用いる
第１凹面ミラー５０４の直径は同じ効果を得るた
めに25.4cmなければならない。 第３図は本発明の更に他の実施例を示す。第３
図の実施例において、高圧水銀ランプ５０２″は
アーチ形である。高圧水銀ランプ５０２″は第１
図の水銀ランプ５０２及び第２図の水銀ランプ５
０２′と同じである。高圧水銀ランプ５０２″のア
ーチ形プラズマの曲率中心は、照明・集光装置の
光学軸５０３″にある。高圧水銀ランプ５０２″の
アーチ形プラズマ（アーク）の拡大像を面１５″
に形成するため、第１凹面ミラー５０４″と第２
凹面ミラー５０８″を設ける。高圧水銀ランプ５
０２″のアーク光は第１凹面ミラー５０４″と第２
凸面ミラー５０８″で反射する。従つて第１凹面
ミラー５０４″と第２凸面ミラー５０８″とは全体
で反射対物光学系を構成する。第３図の実施例で
は第１凹面ミラー５０４″にアパーチヤを設けて
ない。第２凸面ミラー５０８″は部分２７から成
る。非球面レンズの凸面の半分の領域が反射面と
してコーテイングされ、この反射面としてコーテ
イングされた領域が部分２７である。水銀ランプ
５０２″からの光は、反射面としてコーテイング
された半分の領域２７により遮蔽されない。即ち
水銀ランプ５０２″からの光は、透明な半分の領
域２９を介して第１凹面ミラー５０４″に達する。
そして反射面としてコーテイングされた半分の領
域２７は第２凸面ミラー５０８″として働く。こ
のように第２凸面ミラー５０８″は、中心線に90゜
の角度をなししかもｆ／0.8の拡がり角度を有す
るアークでも、遮蔽することはない。更に90゜よ
り大きい角度をなししかもｆ／0.8より大きい拡
がり角度のアークでも、180゜及びｆ／∞のアーク
までは、第２凸面ミラー５０８″がアークを遮蔽
しないようにすることができる。 部材１９″にはアーチ形スリツト５１２″が設け
られる。アーチ形スリツト５１２″の曲率中心は
光軸にある。部材１９″は面１５″の位置に配置さ
れ、視野絞りとして働く。第２図で説明したよう
に、最終的な像の形状はアーチ形スリツト５１
２″の形状に応じて定まる。アーチ形スリツト５
１２″を通過した光は反射体２１″により反射す
る。反射体２１″は、その曲率中心が光軸５０
３″にあるように配置される。反射体２１″のトロ
イダル凹面２２″はアーチ形スリツト５１２″の像
を反射する。トロイダル凹面２２″には２つの有
限長半径の曲率が設けられる。反射体２１″から
の光は円形アパーチヤ絞り５１９″を通過する。
アパーチヤ絞り５１９″は、その曲率中心が光軸
５０３″にあるように配置される。円形アパーチ
ヤ絞り５１９″を通過した光は球面ミラー又は非
球面ミラー５１８″で反射する。反射体２１″と凹
面ミラー５１８″は、照明すべき場所であるフオ
ーカルプレーン２２０″の部分２２３″にアーチ形
スリツト５１２″を結像する。第２図の実施例の
場合と同様に、アパーチヤ絞り５１９″は変換ミ
ラー５１８″の前方に焦点距離の間隔を置いて配
置される。更にフオーカルプレーン２２０″にお
いて観察した場合に射出ひとみが無限遠に生ずる
ように、アパーチヤ絞り５１９″が配置される。 像が光軸に監視80゜の角度をなしｆ／3.5である
場合の第３図の実施例の構成パラメータを下記の
表に示す。

【表】

【表】 第４図は本発明の実施例を示す。第４図の実施
例は第３図の実施例に類似する。但し第４図の実
施例は、非球面ミラーに５１８″と結像プレーン
２２０″との間に比較的長い間隔を設ける必要が
ある場合に使用される。第４図の実施例では、第
３図の絞り５１９″の代わりに、弱凸面ミラー３
０が設けられる。このようにすれば、中継光学系
は逆望遠鏡的結像系として働く弱凸面ミラー３０
はアパーチヤ絞りとしても働き、ミラー５１８″
の前方に焦点距離の間隔を置いて配置される。従
つて結像プレーン２２０″から観察した入射ひと
みは無限遠にある。ミラー５１８″と結像プレー
ン２２０′との間の間隔は、凸面ミラー３０の倍
率を調節することにより調節することができる。
凸面ミラー３０の前方に位置する第４図の実施例
の光学系の構成は、第３図の実施例においてアパ
ーチヤ絞り５１９″の前方に位置する光学系の構
成と同じである。アーチ形スリツト５１２″の像
は、照明すべき場所であるフオーカルプレーン２
２０″の部分２２３″に形成される。 第５図は本発明の他の実施例を示す。第５図の
実施例の構成は第３図の実施例の構成に類似す
る。但し第５図の実施例のフイールド部材２１
と第３図の実施例のフイールド部材２１″とが異
なる。第５図の実施例のフイールド部材２１は
カタジオプトリツク形反射トロイダルフイールド
部材から成る。フイールド部材２１はトロイダ
ル凹面２２を有する。アーチ形スリツト５１
２″からの光はトロイダル凹面２２で反射する。
トロイダル凹面２２には２つの有限長半径の曲
率が設けられる。トロイダル凹面２２は光軸５
０３″を中心に円形セグメントを回転することに
より得られる。従つてトロイダル凹面２２は光
軸５０３″を中心とする回転面の一部分である。
前記円形セグメントの曲率中心は光軸５０３″に
ある。フイールド部材２１は透明屈折材料（例
えば溶融シリカ）から成る。フイールド部材２１
は紫外光に対して極めて高い透明度を有する。
フイールド部材２１は入射平面３４と射出球面
３６を有する。射出球面３６の曲率中心は光軸５
０３″にある。射出球面３６の曲率中心を、アパ
ーチヤ絞り５１９″におけるひとみの像のほぼ中
心に位置させれば、カタジオプトリツク形フイー
ルド部材２１における像の変色を最小限におさ
えることができる。 第２図〜第５図の実施例のフイールド部材２
１，２１″，２１をそれぞれ他の実施例のフイ
ールド部材として使用することもできる。更に第
６図〜第１１図に図示したフイールド部材を第２
図〜第５図のいずれの実施例にも使用することが
できる。第６図〜第１１図では、フイールド部材
において観察した光学系の入射ひとみは３８とし
て略示されている。他方ひとみの像は４０として
略示されている。入射ひとみ及びひとみの像の曲
率中心はいずれも光軸５０３にある。 第６図はフイールド部材の実施例を示す。第６
図のフイールド部材２１ａの形状は極めて簡単で
ある。フイールド部材２１ａは反射円柱面２２ａ
を有する。反射円柱面２２ａの円柱軸は光軸５０
３に一致する。第６図から明らかなように、入射
ひとみ３８を通過して反射面２２ａの位置に又は
反射面２２ａの近傍に環状の像を形成する環のす
べての点は、ひとみの像を通過する。第７図は、
第６図のフイールド部材２１ａをカタジオプトリ
ツクに形成した実施例を示す。第７図の実施例に
おいて、フイールド部材２１ｂは反射円柱面２２
ｂを有する。反射円柱面２２ｂの円柱軸は光軸５
０３に一致する。第７図の実施例は、第２図のフ
イールド部材２１に類似する。但し第７図のフイ
ールド部材２１ｂでは、環状被照領域の中心が円
柱面２２ｂにある。他方第２図の実施例では、ア
ーチ形スリツト５１２′が設けられ、環状被照領
域の中心はアーチ形スリツト５１２′にある。両
者の相違については後述する。第２図のフイール
ド部材２１と第６図のフイールド部材２１ａと第
７図のフイールド部材２１ｂは環状被照領域の長
さ方向に沿つてのみフイールド部材として働く。
環状被照領域の環が狭い場合には、フイールド部
材２１，２１ａ，２１ｂが環状被照領域の長さ方
向に沿つてのみフイールド部材として働いても差
し支えない。しかし環状被照領域の環を広くする
必要がある場合には、環状被照領域の半径方向毎
に異なつた個所を通過する光が形成するひとみの
像の位置は相異なる。これを第６図の破線により
示す。そこで第３図のトロイダル凹面２２″と第
８図のトロイダル凹面２２ｃと第９図のトロイダ
ル凹面２２ｄを、それぞれ第２図の円柱状部材２
１と第６図のフイールド部材１２ａと第７図のフ
イールド部材２１ｂの代わりに用いる。このよう
にすれば、環状被照領域の半径方向毎に異なつた
個所を通過する光が形成するひとみの像の位置が
相異ることはない。トロイダル凹面２２″，２２
ｃ，２２ｄを用いれば、ひとみを結像させる際充
分な倍率を実現することができる。 第８図のトロイダル凹面２２ｃ及び第９図のト
ロイダル凹面２２ｄはそれぞれ、光軸５０３を中
心に円形セグメントを回転することにより得られ
る。即ちトロイダル凹面２２ｃ，２２ｄは光軸５
０３を中心にする回転面の一部分である。 該円形セグメントの曲率中心は光軸５０３にあ
る。第６図の円柱状フイールド部材２１ａは、第
８図のトロイダル凹面２２ｃを有するフイールド
２１ｃに特別な構成を与えた場合に相当する。即
ち第８図のフイールド部材２１ｃにおいて、前記
円形セグメントの曲率中心を無限遠に達し、前記
円形セグメントの孤を直線にすれば、第６図の円
柱状フイールド部材２１ａが得られる。第９図は
第８図のフイールド部材２１ｃをカタジオプトリ
ツク形に変形した例を示す。第９図において、第
８図のトロイダル凹面２２ｃに相応する反射面２
２ｄは、透明屈折材料に反射面を設けることによ
り形成される。第８図の実施例は第３図の実施例
に類似する。但し第８図では、環状被照領域の中
心がトロイダル凹面２２ｃにある。他方第３図の
実施例の場合には、環状被照領域の中心の場所に
アーチ形スリツト５１２″が設けられる。 第２図〜第４図及び第６図〜第９図のフイール
ド部材２１，２１″，２１ａ〜２１ｄでは、光軸
５０３′，５０３″，５０３と入射ひとみに集束す
る光線とが成す角度と、光軸５０３′，５０３″，
５０３と拡散してひとみの像を形成する光束とが
成す角度とは等しい。他方第１０図では、光軸と
入射ひとみに集束する光線とが成す角度は、光軸
と拡散してひとみの像を形成する光束とが残す角
度とは異なる。これはフイールド部材２１ｅの形
状に基づく。フイールド２１ｅは第９図のカタジ
オプトリツク形フイールド部材２１ｄの変形であ
る。トロイダル凹面２２ｅは第９図のトロイダル
凹面２２ｄと同じである。フイールド部材２１ｅ
の球面３６ｅの曲率中心は光軸５０３にある。球
面３６ｅは第９図のフイールド部材２１ｄの射出
平面の代わりに設けられる。第１０図のカタジオ
プトリツク形フイールド部材２１ｅにおいて、射
出面の３６ｅの曲率中心がほぼひとみの像４０の
中心にあるようにすれば、結像の変色を最小限に
おさえることができる。 例えば使用できるスペースの関係上、第１０図
の構成及び配置を必要に応じて逆転させることも
できる。即ち、第１０図の実施例においてひとみ
の像４０と入射ひとみ３８とを交換し、フイール
ド部材２１ｅの入射面と射出面とを交換するので
ある。このようにすれば、ひとみの像において結
像する光線束と光軸５０３とが成す角度は、入射
ひとみの集束する光線と光軸５０３とが成す角度
より大きい。 第１０図の実施例は第５図の実施例に類似す
る。但し第１０図の実施例では、環状被照領域の
中心はトロイダル凹面２２ｅにある。他方第５図
の実施例では、環状被照領域の中心の位置する場
所にアーチ形スリツト５１２″が設けられる。 集束する光線と光軸とが成す角度と、拡散する
光線と光軸とが成す角度とが相異なるようにする
他の実施例を第１１図に示す。他の実施例の場合
と同様、第１１図の実施例の反射面２２ｆはトロ
イダル面として形成される。トロイダル反射面２
２ｆの曲率中心は光軸５０３にある。但し他の実
施例の場合と異なり、トロイダル反射面２２ｆの
中心からの法線は光軸５０３に対し垂直ではな
い。 既述のように、第６図〜第１１図のフイールド
部材では、環状被照領域の中心はトロイダル面に
ある。しかし環状被照領域の中心がトロイダル面
にあつても、フイールド部材自体の働きは、環状
被照領域の像がフイールド部材の外部に位置する
がフイールド部材の近傍にある第２図〜第５図の
場合と同じである。第２図〜第５図の実施例で
は、既述のように、環状被照領域の位置にアーチ
形スリツト５１２′，５１２″が設けられる。第２
図〜第５図の実施例では、環状被照領域の結像に
非点収差が生じる。即ち、半径方向のエレメント
の焦点と、法線方向のエレメントの焦点とが相異
なる位置にある。しかしこの非点収差は環状被照
面の照明装置では好ましい。スリツトの子午像点
ではスリツトのエツジがシヤープな焦点を結び、
他方照明に伴い生ずる残りの変化はアーチ形領域
に沿い平均化され消失するからである。 以上のように本発明の環状被照面の照明装置で
は、環状被照面が充分均一に照明され、収差が小
さく、構成が簡単である。更に反射光学系を使用
することにより、紫外線領域を含む広いスペクト
ル域にわたり均一な照明を実現することができ
る。しかも視野絞りを設けることのできない場所
に被照面がある場合、環状被照面の形状を極めて
正確に形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、第２図から第１１図に示されている
本発明の実施例を従来技術と関連づけて示すため
の参考図の斜射略図、第２図〜第５図は本発明の
実施例の略図、第６図〜第１１図はフイールド部
材の実施例の略図である。 ５０２，５０１′，５０２″……水銀ランプ、５
０３，５０３′，５０３″……光軸、５０４，５０
４′，５０４″……第１凹面ミラー、５０６，５０
６′……アパーチヤ、５０８，５０８′，５０８″
……第２凸面ミラー、５１２，５１２′，５１
２″……アーチ形スリツト、５１９，５１９′，５
１９″……アパーチヤ絞り、５１８，５１８′，５
１８″……変換ミラー、２２０，２２０′，２２
０″……フオーカルプレーン、２２３，２２３′，
２２３″……被照部分、１９，１９″……視野絞
り、２１，２１″，２１，２１ａ〜２１ｅ……
フイールド部材、２２，２２ａ，２２ｂ……円柱
面、２２″，２２、２２ｂ〜２２ｆ……トロイ
ダル凹面、２５……化学線フイルタ、３４……入
射面、３６……射出面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 照明装置であつて、該照明装置はアーチ形光
   源５０２′，５０２″と、第１凹面ミラー５０４′，
   ５０４″と第２凸面ミラー５０８′，５０８″とア
   ーチ形スリツト５１２′，５１２″と反射フイール
   ド部材２１，２１″，２１とアパーチヤ絞り５
   １９′，５１９″と第２凹面ミラー５１８′，５１
   ８″とから構成される反射光学装置および、環状
   被照面２２３′，２２３″を備えており、前記反射
   光学装置は前記アーチ形光源のアーチ形の像を前
   記アーチ形スリツトおよび前記環状被照面に結像
   させるようにし、前記第２凹面ミラーを除いた各
   部材の軸を照明装置の軸と一致させ、前記反射フ
   イールド部材はアーチ形光源の全部の部分からの
   光をアパーチヤ絞り５１９′へ案内することを特
   徴とする照明装置。