JPH03151082A - Bar coating method - Google Patents

Bar coating method

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JPH03151082A
JPH03151082A JP29088089A JP29088089A JPH03151082A JP H03151082 A JPH03151082 A JP H03151082A JP 29088089 A JP29088089 A JP 29088089A JP 29088089 A JP29088089 A JP 29088089A JP H03151082 A JPH03151082 A JP H03151082A
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bar
substrate
coating
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speed
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Seiji Ishizuka
誠治 石塚
Hiroki Saito
博樹 齋藤
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Abstract

PURPOSE:To prevent the sticking of a coating liquid on the rear of a substrate by stopping the rotating speed of a bar for a specific period of time during the time from just before the contact of the terminal part of the substrate with the bar to the completion of the complete contact. CONSTITUTION:The rotating speed of the bar 2 is lowered to <=1/5 the transporting speed of the substrate or the rotation of the bar is stopped when the position just before about 3 to 20mm from the terminal of the substrate 1 comes into contact with the bar 2. The substrate is in succession transported by receiving driving force from a pressing roll 15 under rotation at a specified speed. The coating speed is preferably set at about 0.1 to 20m/min. Paper, plastic film, resin coated paper, etc., having about 0.1 to 10mm thickness are used as the substrate. The contamination of the pressing roll is prevented in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、非連続性基板にバーを用いて塗布する方法に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method of coating a discontinuous substrate using a bar.

具体的には、シート状、円盤状、平板状等の半導体ウェ
ハあるいはその製造に用いられるフォトマスク用フォト
レジスト塗布、プリント基板用ソルダーレジスl布ある
いはガラス基板塗布等や特に液晶カラーテレビ等に使用
される新規なカラーフィルター材料の塗布方法として好
適なバー塗布方法に関するものである。
Specifically, photoresist coating for sheet-shaped, disc-shaped, flat-shaped semiconductor wafers and photomasks used in their manufacture, solder resist cloth for printed circuit boards, glass substrate coating, etc., and especially used for LCD color TVs, etc. The present invention relates to a bar coating method suitable as a coating method for a novel color filter material.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

特公昭58−4589号公報には、可とう性連続フィル
ム(ウェブ)に薄層均一塗布を行うにあたり、回転する
バーの前記ウェブとの接触部の直前において液だまりが
形成されるようにして塗布液を供給し、該バーによりウ
ェブに塗布液を連続的に塗布する方法が開示されている
。この方法では、バーコータにおいて、ウェブとバーが
完全に密着していることが重要であり、ウェブをバーに
対し適切な角度(通常15°〜60°)を持ってラップ
させることにより両者の密着を保っている。
Japanese Patent Publication No. 58-4589 discloses that when uniformly coating a flexible continuous film (web) in a thin layer, a liquid pool is formed just before the contact portion of a rotating bar with the web. A method is disclosed in which a liquid is supplied and the bar continuously applies the coating liquid to the web. In this method, it is important that the web and bar are in complete contact with each other in the bar coater, and by wrapping the web at an appropriate angle (usually 15° to 60°) with respect to the bar, the adhesion between the two can be ensured. I keep it.

これに対して、非連続性基板では基板自身変形しにくく
、又たとえ変形しても非連続(シート状)であるため、
長手方向に張力をかけながらバーにラップさせることは
不可能である。発明者らは特公昭58−4589号のバ
ーコータを非連続性基板の塗布に適用するため、基板を
水平に保持しながら上方より押圧部材をもって基板をバ
ーに押し付けながら塗布を行ったところ、一応の塗布は
できるものの、以下のような重大な問題が発生すること
がわかった。つまり、この方法を数10cm〜2m程度
の非連続性基板(フィルム)を適用すると、 1) 基板の終端部の膜厚が定常部より厚Xなり現像残
りなどの問題を引き起こし、又、 2) 基板の終端部において基板の裏に塗布液が付着す
る場合があり、そのときは押圧部材や他工程を汚す、 といった問題が生じた。
On the other hand, with a discontinuous substrate, the substrate itself is difficult to deform, and even if it deforms, it is discontinuous (sheet-like), so
It is not possible to wrap the bar under tension in the longitudinal direction. In order to apply the bar coater of Japanese Patent Publication No. 58-4589 to coating a discontinuous substrate, the inventors applied the coating while holding the substrate horizontally and pressing the substrate against the bar with a pressing member from above. Although it can be applied, it has been found that the following serious problems occur. In other words, if this method is applied to a discontinuous substrate (film) of several tens of centimeters to two meters in length, 1) the film thickness at the end of the substrate becomes X thicker than in the steady region, causing problems such as undeveloped parts, and 2) There are cases where the coating liquid adheres to the back side of the substrate at the end of the substrate, causing problems such as contaminating the pressing member and other processes.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従って、本発明は非連続性基板に塗布液を塗布するにあ
たり、基板終端部における塗布上の問題を解決したバー
塗布方法を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a bar coating method that solves the coating problem at the terminal end of a substrate when applying a coating liquid to a discontinuous substrate.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記問題の発生する理由を解析した結果、バーと基板と
の接触部の直前において形成される液だまりの液の一部
が基板終端部において、そのまま基板に転写することに
起因することがわかった。
After analyzing the reason for the occurrence of the above problem, it was found that part of the liquid in the liquid pool that forms just before the contact area between the bar and the board is transferred to the board at the end of the board. .

そして、上記問題は基板の終端部がバーと接触する直前
から完全に接触が完了するまでの間、バーの回転速度を
基板速度の115以下もしくは、停止することによって
達成された(態様1)。尚、定常塗布部においては、通
常、基板とバーとのスリップにより基板またはバーの振
動または基板表面の擦傷を防ぐため、バーの速度は基板
の速度とほぼ等しくなるように駆動される。
The above problem was solved by reducing the rotational speed of the bar to 115% of the substrate speed or stopping it from just before the end of the substrate contacts the bar until the contact is completely completed (Aspect 1). In the regular coating section, the speed of the bar is normally driven to be approximately equal to the speed of the substrate in order to prevent vibration of the substrate or the bar or scratches on the surface of the substrate due to slip between the substrate and the bar.

また、上記問題は基板の終端部がバーから離れる直前か
ら完全に離れるまでの間、押圧ロールを上方に移動する
ことにより塗布バーと押圧ロールの間隙を広げ、押圧ロ
ールと基板が接触しないようにすることによって達成さ
れた(態様2)。
In addition, the above problem can be solved by moving the pressure roll upward from just before the end of the substrate leaves the bar until it completely leaves the bar, thereby widening the gap between the application bar and the pressure roll to prevent the pressure roll from coming into contact with the substrate. This was achieved by (Aspect 2).

本発明の態様1によれば、バーと基板との接触部の直前
に形成される液だまりの量をバー回転の低下または停止
により減少させることができる。
According to the first aspect of the present invention, the amount of a liquid pool formed immediately before the contact portion between the bar and the substrate can be reduced by reducing or stopping the rotation of the bar.

尚、バーの回転速度を低下(または停止)させる位置は
基板終端から3〜20m+n手前、さらに好ましくは5
〜10mm手前がよい。停止位置が手前すぎると塗布膜
厚の不均一な部分が基板の内側まではいることになり不
経済であり、逆に停止位置が遅すぎると十分な厚塗り防
止効果が得られないからである。
The position where the rotational speed of the bar is reduced (or stopped) is 3 to 20 m + n from the end of the board, more preferably 5 m + n from the end of the board.
~10mm closer is better. If the stop position is too early, parts with uneven coating film thickness will penetrate inside the substrate, which is uneconomical.On the other hand, if the stop position is too late, sufficient thick coating prevention effect will not be obtained. .

態様2によれば、基板終端部において押圧ロールが基板
とはなれ、基板が押圧ロールにより塗布バーに押し付け
られなくなるが、基板の自重により基板と塗布バーの密
着は維持され、塗布が行われる。尚、押圧ロールを移動
させる位置は、外乱(押圧ロールの移動による押し付は
圧の急激な変化)による塗布面状の乱れが定常塗布部に
人らないよう、できる限り基板終端近く、好ましくは基
板終端から10mm以内、さらに好ましくは5mm以内
がよい。
According to the second aspect, the pressure roll separates from the substrate at the end of the substrate, and the substrate is no longer pressed against the coating bar by the pressure roll, but the close contact between the substrate and the coating bar is maintained due to the weight of the substrate, and coating is performed. The position to which the pressure roll is moved should be as close to the end of the substrate as possible, preferably as close to the end of the substrate as possible so that the coating surface is not disturbed by disturbances (pressing due to movement of the pressure roll causes sudden changes in pressure) in the regular application area. The distance from the end of the substrate is preferably within 10 mm, more preferably within 5 mm.

態様2は特に、基板の厚さが薄い場合、例えば1.5順
以下の場合、基板の終端部に塗布液が裏まわりするのを
有効に防止することができる。
Particularly in the case where the thickness of the substrate is thin, for example, when the thickness is 1.5 or less, it is possible to effectively prevent the coating liquid from flowing to the end portion of the substrate.

次に、本発明の実施態様について図面を用いて説明する
Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.

第1図は本発明のバー塗布方法を示す概略図であり、第
2図は第1図のバー塗布装置の一部拡大断面図である。
FIG. 1 is a schematic view showing the bar coating method of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the bar coating apparatus of FIG. 1.

バー2は、その全長または一部にわたりバー支持部材6
によって水平かつ回転可能に支持され、バー2の一端に
は図示されていない回転駆動手段が接続されている。
The bar 2 has a bar support member 6 over its entire length or a part thereof.
The bar 2 is horizontally and rotatably supported by the bar 2, and a rotation drive means (not shown) is connected to one end of the bar 2.

バー支持部材6は、堰部材5及び5′によって囲まれ、
核層部材5の一部に設けられた給液口4より供給された
塗布液3が、バー支持部材6と堰部材5との間に液貯蔵
部8を形成するように構成する。
The bar support member 6 is surrounded by weir members 5 and 5';
The coating liquid 3 supplied from a liquid supply port 4 provided in a part of the core layer member 5 forms a liquid storage part 8 between the bar support member 6 and the weir member 5.

塗布されるべき基板1は、パスロール14と押圧ロール
15によりバー2の回転方向に向かって基板1の下面が
バー2の頂点に接するように水平に搬送される。
The substrate 1 to be coated is conveyed horizontally by a pass roll 14 and a pressure roll 15 in the direction of rotation of the bar 2 so that the lower surface of the substrate 1 is in contact with the top of the bar 2.

第2図は、回転するバー2が液貯蔵部8から塗布液3を
汲み上げ、基板1の下面との接触点に形成された液溜り
9を介して塗布液3を基板lの下面に転移させ、同時に
計量掻き落しを行い(バー2の作用による)所定膜厚の
塗膜7を形成させる様子を示している。
In FIG. 2, a rotating bar 2 draws up a coating liquid 3 from a liquid reservoir 8 and transfers the coating liquid 3 to the bottom surface of a substrate 1 through a liquid pool 9 formed at a point of contact with the bottom surface of a substrate 1. , shows how a coating film 7 of a predetermined thickness is formed by simultaneously performing measured scraping (by the action of the bar 2).

本発明において塗布を均一に行うためには、基板1とバ
ー2とを全幅に渡って密着させることが重要である。
In the present invention, in order to uniformly apply the coating, it is important to bring the substrate 1 and the bar 2 into close contact over the entire width.

第1図は、パスロール14と押圧ロール−15により基
板1を搬送する方式を示している。この方式では、パス
ロール14は基板1の下面にできるだけ接触しないよう
にエッヂロールを用いることが望ましく、その場合のバ
ーは第3図に示すような段付きバー16を用いたり、第
5図に示すように耳部のワイヤー溝をハンダなどでつぶ
したバーを用いてその表面の液をブレード21でかき落
とす方法を使用したりして基板の両サイドに未塗布部分
を作ることにより塗布後の塗膜でパスロール14を汚す
のを防ぐことができる。また、抑えロール15は表面に
ゴムのような弾性体を設けたものを用いると、全幅に渡
って基板1と役付きバー16とを密着させる上で好適で
ある。尚、第5図中、21はブレード、22は塗布面、
23はワイヤ部分、24はワイヤ溝つぶし部分を表わす
FIG. 1 shows a system in which a substrate 1 is conveyed by a pass roll 14 and a pressure roll 15. In this method, it is preferable to use an edge roll as the pass roll 14 so as to avoid contact with the lower surface of the substrate 1 as much as possible, and in this case, the bar may be a stepped bar 16 as shown in FIG. For example, by using a bar with the wire grooves in the ears crushed with solder, etc., and scraping off the liquid on the surface with the blade 21, creating uncoated areas on both sides of the board, it is possible to remove the coating after coating. The film can prevent the pass roll 14 from becoming dirty. Further, it is preferable to use a presser roll 15 having an elastic body such as rubber on its surface in order to bring the substrate 1 and the working bar 16 into close contact over the entire width. In addition, in Fig. 5, 21 is the blade, 22 is the coating surface,
23 represents a wire portion, and 24 represents a wire groove crushing portion.

本発明において均一塗布を行う上で重要な要素は、液溜
り9を最適な形状に維持することである。
In the present invention, an important element for uniform application is to maintain the liquid reservoir 9 in an optimal shape.

基板塗布においては基板1が断続的に送られてくるため
、液溜り9は断続的に形成される。従って、基板1がバ
ー2と接触すると同時に液溜り9が定常の状態に形成さ
れるように工夫する必要がある。
During substrate coating, the substrate 1 is intermittently fed, so the liquid pool 9 is intermittently formed. Therefore, it is necessary to devise a method so that the liquid pool 9 is formed in a steady state as soon as the substrate 1 comes into contact with the bar 2.

第4図に示すバー塗布装置10において、バー2の回転
を止めたときに液溜り9を形成すべき側に供給された塗
布液が作る液面の高さLlとバー2の頂点の高さL2と
の距離aを0.5〜4.5市の範囲に、更に好ましくは
、1.0〜4.0 mの範囲にとることにより、液溜り
9が速やかに定常の形状に形成される。
In the bar coating device 10 shown in FIG. 4, when the rotation of the bar 2 is stopped, the height Ll of the liquid level created by the coating liquid supplied to the side where the liquid pool 9 is to be formed and the height of the top of the bar 2. By setting the distance a to L2 in the range of 0.5 to 4.5 m, more preferably in the range of 1.0 to 4.0 m, the liquid pool 9 is quickly formed into a steady shape. .

第4図における距離aが4.5鮒より大きくなった場合
、第2図における液溜り9が定常の状態に形成されるま
でに時間が掛かり、基板lの先頭部の膜厚が不安定にな
り易いとともに定常状態に達した後も、液溜り9の形状
が幅方向に不均一になりやすく、タテムラが発生しやす
い。逆に、前記距離aが0.5 mmに満たない場合は
、液溜り9が大きくなり塗布の不均一を生じ易い。
If the distance a in FIG. 4 is larger than 4.5 mm, it will take time for the liquid pool 9 in FIG. 2 to reach a steady state, and the film thickness at the top of the substrate l will become unstable. Even after reaching a steady state, the shape of the liquid pool 9 tends to become uneven in the width direction, and vertical unevenness tends to occur. On the other hand, if the distance a is less than 0.5 mm, the liquid pool 9 becomes large and tends to cause uneven coating.

上記距離aが所定の範囲(目標液面高さ)となるように
堰部材5の高さを適当に調整する。この際、堰部材5の
高さを目標液面高さと同じレベルにして塗布液を多少オ
ーバーフローさせながら目標液面高さを簡易に維持でき
る。しかし塗布液量節約等の理由からオーバーフローを
防止したい場合には、堰部材5の高さを目標液面高さ以
上に設定することもできる。但し、この場合にはバーの
回転により液面レベルを検出しなから送液量をコントロ
ールするのが好ましい。一般に塗布液をオ−バーフロー
させる場合、送液量が過剰の場合を除キオーバーフロー
は全幅均一には起きず部分的に発生することが多い。こ
の際、塗布液によってはオーバーフロ一部分に対してス
ジ状に塗布膜厚の不均一を生じる場合がある。従って、
このような場合には、第2図に示されるようにバーの前
後の堰部材5の高さを変えて、低い方の堰部材からオー
バーフローさせたり、堰部材の一部(塗布幅の外側が好
ましい)をやや低くしてオーバーフローをその場所に限
定させることもできる。
The height of the weir member 5 is adjusted appropriately so that the distance a falls within a predetermined range (target liquid level height). At this time, by setting the height of the weir member 5 to the same level as the target liquid level height, the target liquid level height can be easily maintained while allowing the coating liquid to overflow to some extent. However, if it is desired to prevent overflow for reasons such as saving the amount of coating liquid, the height of the weir member 5 can be set to be higher than the target liquid level height. However, in this case, it is preferable to control the amount of liquid fed without detecting the liquid level by rotating the bar. Generally, when a coating liquid is caused to overflow, the overflow does not occur uniformly across the entire width, but often occurs locally, unless the amount of liquid fed is excessive. At this time, depending on the coating liquid, the thickness of the coating may become uneven in the form of streaks in a portion of the overflow. Therefore,
In such a case, as shown in Fig. 2, the heights of the weir members 5 before and after the bar may be changed to allow overflow from the lower weir member, or a part of the weir member (outside of the coating width) may be overflowed. (preferably) can be made slightly lower to limit overflow to that location.

一方、第4図に示される堰部材5とバー2との距離c、
eについても適宜窓めることができる。
On the other hand, the distance c between the weir member 5 and the bar 2 shown in FIG.
e can also be windowed as appropriate.

c、eが大きくても塗布の点から問題はないが、コータ
ーが大きくなるとともにコーター内に貯蔵される液量が
多くなるので好ましくない。一方、Cが狭すぎると液溜
り9から塗布液が堰部材を越えて部分的に流れ易くなり
安定な状態で液溜りを形成しにくくなる。又、eが狭す
ぎるとバーの回転により下流側の液面レベルが下がり、
空気が巻き込まれ易くなるので好ましくない。
Even if c and e are large, there is no problem in terms of coating, but it is not preferable because the coater becomes larger and the amount of liquid stored in the coater increases. On the other hand, if C is too narrow, the coating liquid from the liquid pool 9 tends to partially flow over the weir member, making it difficult to form a liquid pool in a stable state. Also, if e is too narrow, the downstream liquid level will drop due to the rotation of the bar,
This is not preferable because air tends to get trapped.

従って、C及びeを3〜20mmに設定するのがよい。Therefore, it is preferable to set C and e to 3 to 20 mm.

本発明において、態様lでは第1図において基板1の終
端から3〜20mm手前の位置がバー2に接触したとき
にバーの回転速度を基板搬送速度の115以下に低下さ
せるか、又はバーの回転を停止する。基板は引きつづき
一定速度で回転中の押圧ロール15より駆動力を受けて
搬送される。又、態様2では第1図において押圧ロール
15を上方に移動させて塗布バー2と押圧ロール15と
の間隙を広げて、基板終端部において塗布液が基板の裏
に付着するという問題を解決する。
In embodiment 1 of the present invention, when a position 3 to 20 mm before the end of the substrate 1 contacts the bar 2 in FIG. stop. The substrate is conveyed under the driving force of the press roll 15, which continues to rotate at a constant speed. Furthermore, in the second embodiment, the pressure roll 15 is moved upward in FIG. 1 to widen the gap between the coating bar 2 and the pressure roll 15, thereby solving the problem of the coating liquid adhering to the back side of the substrate at the end of the substrate. .

本発明に用いられるバー2の材質は、強度および耐薬品
性の面で金属(特にステンレス鋼)が多くの場合望まし
いが、それに限定されることなくナイロン等のプラスチ
ックファイバーを巻いたワイヤーバーや、ゴム製やプラ
スチック製の溝付きバーも用いられる。
The material of the bar 2 used in the present invention is preferably metal (particularly stainless steel) in many cases in terms of strength and chemical resistance, but is not limited thereto, and may be a wire bar wrapped with plastic fiber such as nylon, Grooved bars made of rubber or plastic are also used.

ワイヤーバーとしては、この他に巻かれたワイヤーの外
周表面を平に研磨して基板1との接触面積を増したラフ
ピングバーも用いることができる。
As the wire bar, a roughing bar in which the outer peripheral surface of a wound wire is polished flat to increase the contact area with the substrate 1 can also be used.

バー2の径は6.0〜30.0 mm、更に好ましくは
6.0〜20.0 mmの範囲が良(、これ以上では塗
膜に縦スジ状の不均一を生じやすく、これ以下では制作
が困難になる。
The diameter of the bar 2 should preferably be in the range of 6.0 to 30.0 mm, more preferably 6.0 to 20.0 mm. It becomes difficult to produce.

バー2がワイヤーバーの場合のワイヤー径は、必要とす
る塗布膜厚に応じ選ばれるが、ワイヤーの断面が円形で
あり、基板速度とバー回転周速度が同速度の場合には、
湿潤塗布膜厚は基板速度や塗布液物性によらず、次の関
係式で求められる。
When the bar 2 is a wire bar, the wire diameter is selected depending on the required coating film thickness, but if the cross section of the wire is circular and the substrate speed and the bar rotational peripheral speed are the same speed,
The wet coating film thickness is determined by the following relational expression, regardless of the substrate speed or the physical properties of the coating liquid.

即ち、 tζ70d 但し、t・・・湿潤塗布膜厚(μm)、d・・・ワイヤ
ー径(mm)、 しかし、良好な塗布面状を得るためには、ワイヤー径の
範囲は好ましくは0.05〜1.0mm、更に好ましく
は0.05〜0.7 mmの範囲がよい。
That is, tζ70d However, t... Wet coating film thickness (μm), d... Wire diameter (mm) However, in order to obtain a good coating surface condition, the wire diameter range is preferably 0.05 -1.0 mm, more preferably 0.05-0.7 mm.

バー2がIN=tきバーの場合の溝ピッチは、通常l 
mm以下であり更に好ましくは0.7 mm以下がよい
When bar 2 is a bar with IN=t, the groove pitch is usually l
mm or less, more preferably 0.7 mm or less.

溝の断面形状は正弦曲線に近いものが適しているが、必
ずしもこれに限定されることなく他の形状も用いられる
It is suitable that the cross-sectional shape of the groove is close to a sinusoidal curve, but it is not necessarily limited to this and other shapes may also be used.

上記のラフピングバーあるいは溝付きバーの場合の湿潤
塗布膜厚は、それぞれの断面における凸部の頂点を結ん
だ線よりも下方にある空間の単位長さ当りの容積によっ
て決り、空間容積が等しいワイヤーバーと概略向等の湿
潤塗布膜厚を与えることが分かっており、いずれの場合
も上記好適な範囲内において適切な形状のバーを選択す
ることができる。
In the case of the above-mentioned rough pin bar or grooved bar, the wet coating thickness is determined by the volume per unit length of the space below the line connecting the vertices of the convex parts in each cross section. It has been found that the wet coating film thickness can be given in the approximate direction, and in either case, a bar with an appropriate shape can be selected within the above-mentioned preferred range.

これらの知見を基にしたバー形状の選択により、湿潤塗
布量が4cc/m’の薄層塗布から約70cc/m″程
度の厚膜塗布まで安定に塗布することができる。
By selecting the bar shape based on these findings, stable coating can be achieved from a thin coating with a wet coating amount of 4 cc/m' to a thick coating of approximately 70 cc/m''.

本発明における塗布速度は、塗布面状や操作性の面から
0.1〜20m/minの範囲、更に好ましくは0.2
〜lQm/minの範囲がよい。
The coating speed in the present invention is in the range of 0.1 to 20 m/min, more preferably 0.2 m/min from the viewpoint of coating surface condition and operability.
A range of ~lQm/min is preferable.

本発明におけるバー2の回転周速度は、一般に塗布速度
と同速度にすると基板1とのスリップがなく好ましいが
、基板1とスリップしても基板表面を傷付けるなどの問
題がない場合は、液溜り9が安定に保たれる範囲内にお
いてバー2の回転周速度を低速にする方が良好な塗布面
状が得られることが多い。
In general, it is preferable to set the rotation peripheral speed of the bar 2 at the same speed as the coating speed to avoid slipping with the substrate 1. A better coated surface condition can often be obtained by lowering the rotational circumferential speed of the bar 2 within a range in which the rotation speed of the bar 2 is kept stable.

本発明において塗布される基板は特に限定されず、例え
ば、紙、プラスチックフィルム、レジンコート紙、金属
板、硝子板などがあげられ、その厚さも限定されないが
、0.1〜10mm程度のものが好適に使用される。
The substrate to be coated in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include paper, plastic film, resin coated paper, metal plate, glass plate, etc., and the thickness is also not limited, but a substrate of about 0.1 to 10 mm is preferred. Preferably used.

本発明における基板1のサイズは特に限定されない。一
般にガラス基板の場合はサイズが大きくなると表面の平
面性が悪くなりがちであるが、第1図に示した押圧ロー
ル15の表面に弾性体を設けたものを用いることにより
、1mX1m(厚さ2mω)の方形ガラス板でも充分に
均一に塗布できることがMgI2されている。尚、基板
1の形状は方形、円形いずれの形状でも良好に塗布可能
であり、形状は特に限定されるものではない。
The size of the substrate 1 in the present invention is not particularly limited. In general, in the case of glass substrates, the surface flatness tends to deteriorate as the size increases, but by using a pressure roll 15 with an elastic body on the surface shown in FIG. ) has been shown to be able to be coated sufficiently evenly on a square glass plate. Note that the substrate 1 can be well coated with either a rectangular or circular shape, and the shape is not particularly limited.

本発明の方法により種々の液を非連続性基板に塗布でき
る。塗布液の組成及び物性は特に限定されないが、粘度
100cp以下、特に50cp以下のものが好適に塗布
される。
The method of the present invention allows a variety of liquids to be applied to discontinuous substrates. Although the composition and physical properties of the coating liquid are not particularly limited, those having a viscosity of 100 cp or less, particularly 50 cp or less are suitably applied.

本発明の方法により好適にカラーフィルターを製造する
ことができる。通常、撮像装置や表示装置においてカラ
ー画像を扱う場合は、通常可視光線の波長を分割して取
り出し、光電変換し、増幅、搬送、増幅の工程を経て電
気エネルギーを光に変換し、対応する色光に戻し、色光
を組み立てて表示する方法が行なわれている。一般には
、画像濃度を表わす最小単位である絵素毎にB(青)、
G(緑)、R(赤)の3つの波長に分割して扱っており
、自己発光しない撮像装置や液晶テレビのような表示装
置はそのだめのフィルターを必要とし、これをカラーフ
ィルターと呼んでいる。
Color filters can be suitably manufactured by the method of the present invention. Normally, when handling color images in an imaging device or display device, the wavelength of visible light is divided and extracted, photoelectrically converted, and the electrical energy is converted into light through the steps of amplification, transport, and amplification, and the corresponding colored light is generated. A method of displaying colored light by assembling it is being used. In general, each pixel, which is the smallest unit expressing image density, is colored B (blue).
The wavelengths are divided into three wavelengths: G (green) and R (red), and non-self-emitting imaging devices and display devices such as LCD TVs require additional filters, which are called color filters. There is.

カラーフィルターの製造に、使用される、顔料によって
着色された感光性組成物は、米国特許第3、549.3
67号明細書等に開示されている付加重合性不飽和モノ
マー、光重合開始剤およびバインダーからなる光重合性
感光性組成物およびポリマーの主鎖または側鎖に不飽和
二重結合残基を持つ光架橋型フォトポリマーが有用であ
る。
Pigment-colored photosensitive compositions used in the production of color filters are disclosed in U.S. Pat. No. 3,549.3.
A photopolymerizable photosensitive composition comprising an addition-polymerizable unsaturated monomer, a photopolymerization initiator, and a binder disclosed in No. 67, etc., and a polymer having an unsaturated double bond residue in the main chain or side chain. Photocrosslinkable photopolymers are useful.

該光重合性感光性組成物中の付加重合性不飽和モノマー
は、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和
基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物である。
The addition polymerizable unsaturated monomer in the photopolymerizable photosensitive composition is a compound having at least one addition polymerizable ethylenically unsaturated group and a boiling point of 100° C. or higher at normal pressure.

例えば、ポリエチレングリコールモノ (メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールモノ (メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等
の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリプロ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルエタントリ (メタ)アクリレート、ネオペンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ (メタ) アクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラ (メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(
メタ)アクリレート、メリメチロールプロパントリ (
アクリロイルオキシフロビル)エーテル、トリ (アク
リロイロキシエチル)インシアヌレート、グリセリンや
トリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレン
オキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メ
タ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708
号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193
号各公報心配載されているようなウレタンアクリレート
類、特開昭48−64183号、特公昭49−4319
1号、特公昭52−30490号各公報に記載されてい
るポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ
)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート
類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートをあげ
ることが出来る。更に、日本接着協会誌Vol、 20
、N(L7.300〜308頁に光硬化性モノマー及び
オリゴマーとして紹介されているものも使用できる。使
用量は、5〜50wt%(以下%と省略する)好ましく
は、10〜40%である。
For example, monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth)acrylate, polypropylene glycol mono (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate; polyprolene glycol di(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, etc. ) acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, hexanediol(
meth)acrylate, melimethylolpropane tri(
Acryloyloxyfurovir) ether, tri(acryloyloxyethyl)in cyanurate, polyfunctional alcohols such as glycerin and trimethylolethane added with ethylene oxide or propylene oxide and then converted into (meth)acrylates. -41708
No., Special Publication No. 50-6034, Japanese Patent Publication No. 51-37193
Urethane acrylates as described in each publication, JP-A-48-64183, JP-A-49-4319
Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates and epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth)acrylic acid described in Japanese Patent Publication No. 1 and Japanese Patent Publication No. 52-30490 can be mentioned. I can do it. Furthermore, Japan Adhesive Association Journal Vol. 20
, N (L7. Those introduced as photocurable monomers and oligomers on pages 300 to 308 can also be used. The amount used is 5 to 50 wt% (hereinafter abbreviated as %), preferably 10 to 40%. .

光重合開始剤としては、米国特許第2.367、660
号明細書に開示されているビシナールポリケトアルドニ
ル化合物、米国特許第2,367.661号および第2
.367.670号明細書に開示されているα−カルボ
ニル化合物、米国特許第2.448.828号明細書に
開示されているアシロ゛インエーテル、米国特許第2.
722,512号明細書に開示されているα−炭化水素
で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3.
046,127号および第2.951,758号明細書
に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3.5
49,367号明細書に開示されているトリアリルイミ
ダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ
、特公昭51−48516号公報に開示されているベン
ゾチアゾール系化合物/トリハロメチ−ルーS−)リア
ジン系化合物、特願昭61−186238号公報に記載
されている感光性S−)!Jアジン化合物、米国特許第
4,239,850号明細書に開示されているトリハロ
メチル−5−トリアジン系化合物、米国特許第4,21
2.976号明細書に記載されているオキサジアゾール
化合物等があげられる。
As a photopolymerization initiator, U.S. Patent No. 2.367, 660
Vicinal polyketaldonyl compounds disclosed in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2
.. 367.670, the acyloin ethers disclosed in U.S. Pat. No. 2.448.828, U.S. Pat.
722,512, the α-hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds disclosed in U.S. Patent No. 3.
046,127 and 2.951,758, U.S. Patent No. 3.5
49,367, a combination of triallylimidazole dimer/p-aminophenyl ketone, and a benzothiazole compound/trihalomethyl-S-) liazine compound disclosed in Japanese Patent Publication No. 48516/1983. , the photosensitive S-) described in Japanese Patent Application No. 61-186238! J azine compounds, trihalomethyl-5-triazine compounds disclosed in U.S. Pat. No. 4,239,850, U.S. Pat. No. 4,21
Examples include oxadiazole compounds described in No. 2.976.

使用量は固形分比で約0.2〜20%、好ましくは0.
5〜15%である。
The amount used is about 0.2 to 20% in terms of solid content, preferably 0.2 to 20%.
It is 5-15%.

バインダーは、モノマーに対して相溶性のある線状有機
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー
、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−3
4327号、特公昭58−12577号、特公昭54−
25957号、特開昭59−53836号、特開昭59
−71048、号明細書に記載されているようなメタク
リル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重
合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分
エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側
鎖にカルボン酸を有する酸性セルロ7ス誘導体がある。
The binder is preferably a linear organic polymer that is compatible with the monomer, is soluble in an organic solvent, and can be developed with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic polymers include polymers having carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615 and JP-B-Sho 54-3.
No. 4327, Special Publication No. 12577, Special Publication No. 1977-
No. 25957, JP-A No. 59-53836, JP-A No. 59-Sho.
-71048, methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, itaconic acid copolymers, crotonic acid copolymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers. Similarly, there are acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain.

この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させ
たものなども有用である。特にこれらのなかでベンジル
(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体や
ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/
および他のモノマーとの多元共重合体が好適である。こ
の他に水溶性ポリマーとして、ポリビニールピロリドン
やポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール等
も有用である。また硬化皮膜の強度をあげるためにアル
コール可溶性ナイロンや2.2−ビス−(4−ヒドロキ
シフェニル)−フロパンとエピクロルヒドリンのポリエ
ーテルなども有用である。これらのポリマーは任意な量
を混合させることができるが、90%を越えることは形
成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。好
ましくは30〜85%である。
In addition, polymers having hydroxyl groups to which acid anhydrides are added are also useful. Among these, benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid copolymer and benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid/
and multi-component copolymers with other monomers are preferred. Other useful water-soluble polymers include polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and polyvinyl alcohol. Alcohol-soluble nylon and polyether of 2,2-bis-(4-hydroxyphenyl)-furopane and epichlorohydrin are also useful in order to increase the strength of the cured film. These polymers can be mixed in any amount, but if it exceeds 90%, it will not give favorable results in terms of the strength of the image formed. Preferably it is 30-85%.

以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好
ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノ
ール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール
、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4.4’−チ
オビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2
.2’ −メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が
有用である。
In addition to the above, it is preferable to further add a thermal polymerization inhibitor, such as hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, etc. '-thiobis(3-methyl-6-t-butylphenol), 2
.. 2'-methylenebis(4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, and the like are useful.

通常市販のモノマー中には、適量の熱重合防止剤が添加
されている。
A suitable amount of thermal polymerization inhibitor is usually added to commercially available monomers.

光架橋型フォトポリマーとしては、例えば、特開昭52
−96696号に開示されているポリエステル化合物、
英国特許第1,112,277号、同第1.313.3
90号、同第1.341.004号、同第1.377.
747号、特開昭55−23941号等の各明細書に記
載のポリビニールシンナメート系感光性ポリマーなどが
含まれる。
As a photocrosslinkable photopolymer, for example, JP-A-52
- the polyester compound disclosed in No. 96696,
British Patent No. 1,112,277, British Patent No. 1.313.3
No. 90, No. 1.341.004, No. 1.377.
They include polyvinyl cinnamate-based photosensitive polymers described in specifications such as No. 747 and JP-A No. 55-23941.

該感光性組成物の有用な有機溶剤は、グリコールエーテ
ル系のメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピル
セロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテル、プ
ロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコ
ールプロピルエーテルおよびそのアセテート系、すなわ
ち、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、フロビルセロソルブアセテート、フロピレン
ゲリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリ
コールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルプロビルエーテルアセテートが有用である。また酢酸
エステル系では、アミルアセテート、ブチルアセテート
、プロピルアセテート、エチルアセテートが、ケトン系
では、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、
アセトン、シクロヘキサノンが、その他ジメチルホルム
アミド、ジメチルスルホオキサイド、メチルピロリドン
、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル等が有用であり、そ
れぞれのアルキル基は、直鎖でも枝分かれの異性体でも
よい。
Useful organic solvents for the photosensitive composition include glycol ether-based methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cellosolve, propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, propylene glycol propyl ether and their acetates, i.e., methyl cellosolve acetate; Ethyl cellosolve acetate, flobyl cellosolve acetate, flopylene gellicol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol probyl ether acetate are useful. Acetate esters include amyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, and ethyl acetate, and ketones include methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone,
Acetone, cyclohexanone, dimethylformamide, dimethylsulfoxide, methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, ethyl lactate, and the like are useful, and each alkyl group may be a linear or branched isomer.

溶液濃度は、3〜70%の範囲で利用できるが、より好
ましい範囲は、15〜50%である。
The solution concentration can range from 3% to 70%, with a more preferred range being 15% to 50%.

また色材は、例えば、アゾ系、アンスラキノン系、キサ
ンチン系、キナクリドン系、インジゴ系、ジオキサジン
系、インダンスロン系、イソインドリノン系、フタロシ
アニン系、トリフェニルメタン系、ニトロソ系、ペリレ
ン系、イソインドリン系の顔料が有用であり、例えば、
フタロシアニンブルー(C,1,ピグメントブルー15
:6またはC,1,ピグメントブルー15:3:例えば
、東洋インキ製造■製のリオノールブルーES、チバガ
イキー社製のクロモブルーA3R)、フタロシアニング
リーン(C,1,ピグメントグリーン7.36、または
C,1,ピグメントグリーン37:例え′ば、東洋イン
キ製造側腹のりオノールグリーン2YS)、ペリレン系
顔料(C11,ピグメントレッド155、アントラキノ
ン系顔料(C,I、ピグメントレッド177:例えば、
東洋インキ製造■製のリオノーゲンレッドGD、チバガ
イギー社製のクロモフタルレッドBRN)等が有用であ
り、更に色補正のためにC,1,ピグメントエロー83
、C’、1.ピグメントエロー154:・例えば、東洋
インキ製造■製のリオノーゲンエロー30.C11,ピ
グメントバイオレット23:例えば、東洋インキ製造■
製のリオノーゲンバイオレットRL等が特に好ましい。
The coloring materials include, for example, azo, anthraquinone, xanthine, quinacridone, indigo, dioxazine, indanthrone, isoindolinone, phthalocyanine, triphenylmethane, nitroso, perylene, Isoindoline pigments are useful, e.g.
Phthalocyanine Blue (C, 1, Pigment Blue 15
:6 or C,1, Pigment Blue 15:3: For example, Lionor Blue ES manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■, Chromo Blue A3R manufactured by Ciba Gaiki Co., Ltd.), Phthalocyanine Green (C,1, Pigment Green 7.36, or C , 1, Pigment Green 37: For example, Toyo Ink Manufactured Side Glue Onol Green 2YS), Perylene pigment (C11, Pigment Red 155, Anthraquinone pigment (C, I, Pigment Red 177: For example,
Lionogen Red GD (manufactured by Toyo Ink Seisakusho), Chromophthal Red BRN (manufactured by Ciba Geigy), etc. are useful, and C, 1, Pigment Yellow 83, etc. are also useful for color correction.
,C',1. Pigment Yellow 154: For example, Lionogen Yellow 30 manufactured by Toyo Ink Manufacturing ■. C11, Pigment Violet 23: For example, Toyo Ink Manufacturing ■
Particularly preferred are Lionogen Violet RL manufactured by Co., Ltd.

該色材は、上記光硬化型感光性組成物に分散して着色感
光性組成物を製造する。
The coloring material is dispersed in the photocurable photosensitive composition to produce a colored photosensitive composition.

感光層中に占める該顔料の比率は、固形分比で5〜90
%であり、より好ましくは10〜60%である。
The proportion of the pigment in the photosensitive layer is 5 to 90 in terms of solid content.
%, more preferably 10 to 60%.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、非連続基板の終端部の裏側に塗液がま
わるのを有効に防止することができる。
According to the present invention, it is possible to effectively prevent the coating liquid from going around to the back side of the terminal end of the discontinuous substrate.

特に請求項1記載の方法によれば、非連続基板の終端部
における膜厚増加をも防止できる。
In particular, according to the method according to claim 1, it is possible to prevent an increase in film thickness at the end portion of a discontinuous substrate.

よって、本発明の塗布方法によれば、効率的に塗布基板
を生産することができ、また、水平状態で塗布できるの
でガラス基体のように剛性が高く、曲がり難いものの塗
布に好適である。
Therefore, according to the coating method of the present invention, coated substrates can be efficiently produced, and since coating can be performed in a horizontal state, it is suitable for coating materials that are highly rigid and difficult to bend, such as glass substrates.

従って、半導体ウェハあるいはその製造に用いられるフ
ォトマスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソル
ダーレジスト塗布あるいはガラス基板塗布等にふいて、
大サイズ基板、あるいは任意形状の基板に対しても均一
塗布が可能であり、また、塗布液のロスが少ない経済的
にも優れた塗布方法が提供される。
Therefore, when wiping photoresist coating for semiconductor wafers or photomasks used in their manufacture, solder resist coating for printed circuit boards, glass substrate coating, etc.
The present invention provides an economically superior coating method that enables uniform coating even on large-sized substrates or substrates of arbitrary shapes, and reduces loss of coating liquid.

又、本発明の方法をカラーフィルターの製造方法に適用
すると、着色された感光性組成物の溶液を大きな面積に
ムラ無く塗布することができる。
Further, when the method of the present invention is applied to a method for manufacturing a color filter, a solution of a colored photosensitive composition can be evenly applied over a large area.

従って、本発明の方法によって、液晶カラーデイスプレ
ー、液晶カラーテレビ、カラー撮像管、カラーイメージ
センサ−などが安価に且つ容易に製造できる。
Therefore, by the method of the present invention, liquid crystal color displays, liquid crystal color televisions, color image pickup tubes, color image sensors, etc. can be manufactured easily and at low cost.

次に実施例により本発明を説明する。Next, the present invention will be explained with reference to examples.

〔実施例〕〔Example〕

実施例1 第1図及び第2図に示すバー塗布装置10を用い、大き
さ45cmX 45cm、厚さ1.1mmのガラス基板
上に7オトレジスト液を塗布した。バー2は12mm径
のステンレス河に0.15 mmの径のステンレス鋼ワ
イヤーを巻いたものを用いた。
Example 1 Using the bar coating device 10 shown in FIGS. 1 and 2, 7 Otoresist solution was applied onto a glass substrate measuring 45 cm x 45 cm and 1.1 mm thick. As the bar 2, a stainless steel wire having a diameter of 0.15 mm was wound around a stainless steel wire having a diameter of 12 mm.

第4図における、バー2の回転を止めたときに液溜り9
を形成すべき側に供給された塗布液が作る液面の高さL
+ とバー2の頂点の高さL2との距離aは2鮒に維持
した。又、Cとeの距離をそれぞれ8mmにした。
In Fig. 4, when the rotation of the bar 2 is stopped, the liquid pool 9
The height L of the liquid level created by the coating liquid supplied to the side where the
The distance a between + and the height L2 of the top of bar 2 was maintained at 2 carp. Further, the distances between C and e were each set to 8 mm.

基板の搬送速度を3m/分とし、定常塗布部におけるワ
イヤーバーの回転速度は基板と同速の3m/分とした。
The conveyance speed of the substrate was 3 m/min, and the rotational speed of the wire bar in the steady application section was 3 m/min, which was the same speed as the substrate.

(i)基板終端部においてバーの回転速度を変化させな
かった場合、基板a端部には幅5〜10mmで定常部の
3〜lO倍の厚塗りが生じ、時折裏回りにより膜厚ロー
ル15に汚れが発生した。
(i) When the rotational speed of the bar is not changed at the end of the substrate, a thick coating of 5 to 10 mm in width and 3 to 10 times as thick as the steady portion occurs at the end of the substrate a, and occasionally due to the reverse rotation, the film thickness roll 15 Dirt occurred on the surface.

(ii )基板終端部より5mm手前からバーの回転を
停止させた場合、基板終端部の厚塗り幅は3mm以内、
厚塗り量は定常部の2倍以内となった。また基板終端で
の裏回りは全く生じなかった。
(ii) If the rotation of the bar is stopped 5 mm before the end of the board, the thick coating width at the end of the board must be within 3 mm.
The amount of thick coating was within twice that of the steady area. Further, no back-turning occurred at the end of the substrate.

実施例2 第1図と第2図に示すバー塗布装置10を用い、大きさ
45cmX45cm、厚さ0.7 mmのガラス基板上
にフォトレジスト溶液を塗布した。第4図における、バ
ー2の回転を止めたときに液溜り9を形成すべき側に供
給された塗布液が作る液面の高さL+ とバー2の頂点
の高さL2との距離aは2+11111に維持した。又
、Cとeの距離をそれぞれ8m山にした。
Example 2 Using the bar coating device 10 shown in FIGS. 1 and 2, a photoresist solution was applied onto a glass substrate measuring 45 cm x 45 cm and 0.7 mm thick. In FIG. 4, the distance a between the height L+ of the liquid level created by the coating liquid supplied to the side where the liquid pool 9 is to be formed when the rotation of the bar 2 is stopped and the height L2 of the top of the bar 2 is It was maintained at 2+11111. Also, the distance between C and e was set to 8m each.

押圧ロール15は直径10cmのアルミロールの表面に
厚さ2mmのゴムをライニングしたものを用い、バー2
は12a+m径のステンレス鋼に0.15 mmの径の
ステンレス鋼ワイヤーを巻いた物を運んだ。
The pressure roll 15 is an aluminum roll with a diameter of 10 cm and a rubber lining with a thickness of 2 mm on the surface.
carried a 12a+m diameter stainless steel wire wrapped with 0.15 mm diameter stainless steel wire.

なお押、圧ロールとバーの間隙は0.5 mmとした。The gap between the pressing roll and the bar was 0.5 mm.

また基板の搬送速度(押圧ロールの回転速度およびエッ
ジロール140回転速度によって規定される)および塗
布バーの回転速度はいずれも3m/分とした。
Further, the conveyance speed of the substrate (defined by the rotation speed of the pressure roll and the rotation speed of the edge roll 140) and the rotation speed of the coating bar were both 3 m/min.

(i)基板終端部において押圧ロールの位置を変化させ
なかった場合、全てのサンプルにて基板終端部で裏回り
が生じ、押圧ロール15に汚れが発生した。
(i) When the position of the pressure roll was not changed at the end of the substrate, in all samples, back-turning occurred at the end of the substrate, and staining occurred on the pressure roll 15.

(ii)基板終端部より5m手前から押圧ロールを0.
5鮒上方に移動させ押圧ロールと基板が接触しないよう
にした場合、全サンプルにおいて裏回りは全く生じず、
よって押圧ロール汚れも発生しなかった。
(ii) Starting from 5m before the end of the board, move the pressure roll to 0.0m.
5 When the crucian carp was moved upward to prevent contact between the pressure roll and the substrate, no turning occurred at all in all samples.
Therefore, no staining of the press roll occurred.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明のバー塗布方法の概略図、第2図は第1
図の塗布方法で用いる塗布装置の一部拡大断面概略図、
第3図は段付きバーの斜視図、第4図は第1図のバー塗
布装置においてバーの回転を止めた時の液溜まり面の位
置を示す説明図、第5図は両端溝つぶしバー使用の概略
図である。 1・・・・基板、     2・・・・バー3・・・・
塗布液、     4・・・・給液孔、5・・・・堰部
材、     6・・・・バー支持部材、7・・・・塗
膜、      8・・・・液貯蔵部、9・・・・液溜
り、    10・・・・バー塗布装置、14・・・・
バスロール、  15・・・・押圧ロール、16・・・
・段付きバー 第 図 第 図 第 2 図 第 図
Fig. 1 is a schematic diagram of the bar coating method of the present invention, and Fig. 2 is a schematic diagram of the bar coating method of the present invention.
A partially enlarged cross-sectional schematic diagram of the coating device used in the coating method shown in the figure.
Fig. 3 is a perspective view of the stepped bar, Fig. 4 is an explanatory diagram showing the position of the liquid pool surface when the bar rotation is stopped in the bar coating device shown in Fig. 1, and Fig. 5 uses a bar with grooves on both ends. FIG. 1... Board, 2... Bar 3...
Coating liquid, 4...Liquid supply hole, 5...Weir member, 6...Bar support member, 7...Coating film, 8...Liquid storage part, 9...・Liquid pool, 10... Bar coating device, 14...
Bath roll, 15...press roll, 16...
・Stepped Bar Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram Diagram II

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非連続性基板を塗布バーと押圧部材とで挟持しな
がら移動させ、該基板に接触しつつ同基板と同方向に回
転するバーの前記基板との接触部の直前において液溜り
が形成される様に塗布液を供給し、該バーにより前記基
板に塗布液を塗布するバー塗布方法において、前記基板
の終端部が該バーと接触する直前から完全に接触が完了
するまでの間、バーの回転速度が基板速度の1/5以下
もしくは、バーの回転を停止することを特徴とするバー
塗布方法。
(1) A discontinuous substrate is moved while being held between a coating bar and a pressing member, and a liquid pool is formed immediately before the contact portion of the bar that rotates in the same direction as the substrate while contacting the substrate. In a bar coating method in which a coating liquid is supplied so that the coating liquid is applied to the substrate by the bar, the bar is applied from just before the terminal end of the substrate contacts the bar until the contact is completely completed. A bar coating method characterized in that the rotation speed of the bar is 1/5 or less of the substrate speed or the rotation of the bar is stopped.
(2)非連続性基板を塗布バーと押圧ロールとで挟持し
ながら水平に移動させ、該基板に接触しつつ同方向に回
転するバーの前記基板との接触部の直前において液溜り
が形成される様に塗布液を供給し、該バーにより前記基
板に塗布液を塗布するバー塗布方法において、前記基板
の終端部が該バーから離れる直前から完全に離れるまで
の間、押圧ロールを上方に移動することにより塗布バー
と押圧ロールとの間隙を広げ、押圧ロールと基板が接触
しないようにすることを特徴とするバー塗布方法。
(2) A discontinuous substrate is moved horizontally while being held between a coating bar and a pressure roll, and a liquid pool is formed immediately before the contact portion of the bar that rotates in the same direction while contacting the substrate with the substrate. In a bar coating method in which a coating liquid is supplied to the substrate and the coating liquid is applied to the substrate by the bar, a pressure roll is moved upward from just before the terminal end of the substrate leaves the bar until it completely leaves the bar. A bar coating method characterized by widening the gap between the coating bar and the pressure roll to prevent the pressure roll and the substrate from coming into contact with each other.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05138097A (en) * 1991-11-25 1993-06-01 Fuji Photo Film Co Ltd Hard substrate coating apparatus
JPH05337413A (en) * 1992-06-10 1993-12-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Method for applying coating liquid on substrate surface by roll coater
JP2015531673A (en) * 2012-08-09 2015-11-05 ディーエスエム アイピー アセッツ ビー.ブイ. Roll coating method and apparatus
WO2022075217A1 (en) * 2020-10-06 2022-04-14 富士フイルム株式会社 Coating apparatus, inkjet printing apparatus, and coating method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05138097A (en) * 1991-11-25 1993-06-01 Fuji Photo Film Co Ltd Hard substrate coating apparatus
JPH05337413A (en) * 1992-06-10 1993-12-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Method for applying coating liquid on substrate surface by roll coater
US5631048A (en) * 1992-06-10 1997-05-20 Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd. Method of forming a thin film on the surface of a substrate using a roll coater
JP2015531673A (en) * 2012-08-09 2015-11-05 ディーエスエム アイピー アセッツ ビー.ブイ. Roll coating method and apparatus
WO2022075217A1 (en) * 2020-10-06 2022-04-14 富士フイルム株式会社 Coating apparatus, inkjet printing apparatus, and coating method

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