JPH03144305A - 光角度センサ - Google Patents
光角度センサInfo
- Publication number
- JPH03144305A JPH03144305A JP1283509A JP28350989A JPH03144305A JP H03144305 A JPH03144305 A JP H03144305A JP 1283509 A JP1283509 A JP 1283509A JP 28350989 A JP28350989 A JP 28350989A JP H03144305 A JPH03144305 A JP H03144305A
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- JP
- Japan
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- light
- glass plate
- optical
- angular displacement
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
一対の光フアイバ間を伝送する光の結合効率を変化させ
ることにより、回転物体の角度変位を連続的に検出する
光角度センサに関し、 光信号をそのまま用いて角度変位を連続的に検出するこ
とが可能な小型の光角度センサを提供することを目的と
し、 光を出射する光ファイバと該出射光を平行光束にするレ
ンズとからなる光入力部と、前記平行光束を絞るレンズ
と該絞られた光が入射する光ファイバとよりなる光出力
部と、該平行光束の光軸に表面をほぼ直交させ該光軸に
対して傾斜可能に前記光入力部と光出力部との間に配置
された板ガラスと、内壁に互いに逆ねじの関係にある2
条の螺旋溝を有し、該螺旋溝で前記板ガラスの対向する
二辺を摺動自在に保持し、外部より与えられた角度変位
鮭より前記板ガラスを光軸に対して傾ける回転円筒体と
を有する構成である。
ることにより、回転物体の角度変位を連続的に検出する
光角度センサに関し、 光信号をそのまま用いて角度変位を連続的に検出するこ
とが可能な小型の光角度センサを提供することを目的と
し、 光を出射する光ファイバと該出射光を平行光束にするレ
ンズとからなる光入力部と、前記平行光束を絞るレンズ
と該絞られた光が入射する光ファイバとよりなる光出力
部と、該平行光束の光軸に表面をほぼ直交させ該光軸に
対して傾斜可能に前記光入力部と光出力部との間に配置
された板ガラスと、内壁に互いに逆ねじの関係にある2
条の螺旋溝を有し、該螺旋溝で前記板ガラスの対向する
二辺を摺動自在に保持し、外部より与えられた角度変位
鮭より前記板ガラスを光軸に対して傾ける回転円筒体と
を有する構成である。
本発明は、一対の光フアイバ間を伝送する光の結合効率
を変化させることにより、回転物体の角度変位を連続的
に検出する光角度センサに関する。
を変化させることにより、回転物体の角度変位を連続的
に検出する光角度センサに関する。
従来、回転体の角度変位を検出するセンサとして、電気
的または磁気的手段によるものが多く利用されているが
、これらのセンサは電気抵抗または磁気抵抗等の変化を
電気信号として検出するために、検出信号の伝達が電磁
誘導等のノイズに影響され設置する環境に制約があるこ
とおよび検出精度がノイズによって損なわれるなどの問
題があった。
的または磁気的手段によるものが多く利用されているが
、これらのセンサは電気抵抗または磁気抵抗等の変化を
電気信号として検出するために、検出信号の伝達が電磁
誘導等のノイズに影響され設置する環境に制約があるこ
とおよび検出精度がノイズによって損なわれるなどの問
題があった。
そこで本願発明者は、光ファイバと集束性ロッドレンズ
を用いて光により角度変位を検出するセンサを提案した
。(特願昭63−280677 。
を用いて光により角度変位を検出するセンサを提案した
。(特願昭63−280677 。
光切換装置)
第3図は従来の光角度センサの要部を示す斜視図である
。図において被測定角度変位に連動して回転する回転体
6に取付けた一本の出射光ファイバ7と、該出射光ファ
イバ7の回転軌跡と同心円になるように配列した複数本
の入射光ファイバ8a〜8nとを、集束性ロッドレンズ
9を介して対向させたものである。集束性ロッドレンズ
9は長さlを適切に選べば一端面9aから入射された光
10を、他端面9bにおいて中心軸91に関して点対称
となる位置から出射する性質を有するので、出射光ファ
イバ7の回転に伴ってロッドレンズ9を介して光が伝播
される入射光ファイバが切り換わる。従って複数の入射
光ファイバ88〜8nの何れから光信号が出射している
かを検知することにより角度変位量を検出することがで
きる。
。図において被測定角度変位に連動して回転する回転体
6に取付けた一本の出射光ファイバ7と、該出射光ファ
イバ7の回転軌跡と同心円になるように配列した複数本
の入射光ファイバ8a〜8nとを、集束性ロッドレンズ
9を介して対向させたものである。集束性ロッドレンズ
9は長さlを適切に選べば一端面9aから入射された光
10を、他端面9bにおいて中心軸91に関して点対称
となる位置から出射する性質を有するので、出射光ファ
イバ7の回転に伴ってロッドレンズ9を介して光が伝播
される入射光ファイバが切り換わる。従って複数の入射
光ファイバ88〜8nの何れから光信号が出射している
かを検知することにより角度変位量を検出することがで
きる。
上記従来の光角度センサは出射光ファイバとして複数本
の光ファイバを用いているため装置が大型化すること、
及び有限太さの光ファイバを同心円上に配列するため角
度変位測定の分解能に限界があり連続的に角度変位を測
定できないという問題点があった。
の光ファイバを用いているため装置が大型化すること、
及び有限太さの光ファイバを同心円上に配列するため角
度変位測定の分解能に限界があり連続的に角度変位を測
定できないという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み創出されたもので、光信号を
そのまま用いて角度変位を連続的に検出することが可能
な小型の光角度センサを提供することを目的とする。
そのまま用いて角度変位を連続的に検出することが可能
な小型の光角度センサを提供することを目的とする。
第1図は本発明の光角度センサの要部を示す断面図であ
る。
る。
本発明の光角度センサは、第1図に示す如く、光を出射
する光ファイバ11と該出射光を平行光束5にするレン
ズ12とからなる光入力部1と、前記平行光束5を絞る
レンズ22と該絞られた光が入射する光ファイバ21と
よりなる光出力部2と、該平行光束5の光軸に表面をほ
ぼ直交させ該光軸に対して傾斜可能に前記光入力部1と
光出力部2との間に配置された板ガラス3と、内壁に互
いに逆ねじの関係にある2条の螺旋溝41.42を有し
、該螺旋溝41.42で前記板ガラス3の対向する二辺
を摺動自在に保持し、外部より与えられた角度変位によ
り前記板ガラス3を光軸に対して傾ける回転円筒体4と
を有する構成である。
する光ファイバ11と該出射光を平行光束5にするレン
ズ12とからなる光入力部1と、前記平行光束5を絞る
レンズ22と該絞られた光が入射する光ファイバ21と
よりなる光出力部2と、該平行光束5の光軸に表面をほ
ぼ直交させ該光軸に対して傾斜可能に前記光入力部1と
光出力部2との間に配置された板ガラス3と、内壁に互
いに逆ねじの関係にある2条の螺旋溝41.42を有し
、該螺旋溝41.42で前記板ガラス3の対向する二辺
を摺動自在に保持し、外部より与えられた角度変位によ
り前記板ガラス3を光軸に対して傾ける回転円筒体4と
を有する構成である。
回転円筒体に角度変位が無い状態では、第1図図(a)
の如く、光入力部lから出射した平行光束13はガラス
板3を透過して直進し、光量の全部が光出力部2に入射
する。回転円筒体が被測定回転変位に連動して回転する
と、第1図図(b)に示す如くガラス板3の両端を支持
する2条の螺旋溝41゜42が互いに逆方向へ進みガラ
ス板3は平行光束13に対してθの如く傾く。この傾き
によってガラス板を透過した平行光束13の光軸にずれ
が生じ光出力部2の光ファイバ21に入射する光量は角
度変位が無い場合に比べて減少する。従って角度変位を
光出力部の光量の減少として検出することができる。
の如く、光入力部lから出射した平行光束13はガラス
板3を透過して直進し、光量の全部が光出力部2に入射
する。回転円筒体が被測定回転変位に連動して回転する
と、第1図図(b)に示す如くガラス板3の両端を支持
する2条の螺旋溝41゜42が互いに逆方向へ進みガラ
ス板3は平行光束13に対してθの如く傾く。この傾き
によってガラス板を透過した平行光束13の光軸にずれ
が生じ光出力部2の光ファイバ21に入射する光量は角
度変位が無い場合に比べて減少する。従って角度変位を
光出力部の光量の減少として検出することができる。
以下添付図により本発明の実施例の構成と動作を説明す
る。
る。
第1図は本発明の光角度センサを示す断面図、第2図は
本発明の実施例を示す一部破断斜視図である。なお全図
を通じて同一符号は同一対象物を表す。
本発明の実施例を示す一部破断斜視図である。なお全図
を通じて同一符号は同一対象物を表す。
第1図および第2図において、1は平行光束5を出射す
る光入力部で、出射された平行光束5はガラス板3を透
過して光出力部2に入射するように、光入出力部1.2
を対向させ光軸を合わせて結合ロンド14a、 14b
等で固定されている。これらの光入出力部1.2はそれ
ぞれ光ファイバ11,21、凸レンズ12.22を外殻
筒で所定に保持してなる。
る光入力部で、出射された平行光束5はガラス板3を透
過して光出力部2に入射するように、光入出力部1.2
を対向させ光軸を合わせて結合ロンド14a、 14b
等で固定されている。これらの光入出力部1.2はそれ
ぞれ光ファイバ11,21、凸レンズ12.22を外殻
筒で所定に保持してなる。
ガラス板3は所定の厚さと屈折率を有し、対向する2辺
の中央部が突出して摺動部31.32が形成されており
、結合ロッド14a、 14bが遊嵌して光軸に対して
傾くことができるように支持されている。
の中央部が突出して摺動部31.32が形成されており
、結合ロッド14a、 14bが遊嵌して光軸に対して
傾くことができるように支持されている。
4は回転円筒体で上記入出力部2.3を囲繞するように
配置され、図示しない機械的連結手段により被検出角度
変位に従動して回転するようになっている。そしてこの
回転円筒体4の内壁には、前記ガラス板3の摺動部31
.32を係合して摺動自在に位置決めする2条の螺旋溝
41.42が所定の周長にわたって形成されている。こ
の2条の螺旋溝41゜42の進み方向は互いに逆ねじの
関係になっている。図は回転円筒体4に外部からの角度
変位が印加されていない状態を示しており、ガラス板3
の表面が平行光束5の光軸に直交しており光入力部1か
ら出射された平行光束5はガラス板3を直進透過し光出
力部2に全光束が入射する。(第1図の(a)の参照) このような構成を有する角度センサの回転円筒体4が外
部からの角度変位によって、例えば矢印Aの方向に回転
すると、螺旋溝41にガイドされた左側の摺動部31は
矢印Bの如く前方へ、また螺旋溝32にガイドされた右
側の摺動部42は矢印Cの如く後方へ移動し、ガラス板
3を光軸に対して傾斜せさる。すると第1図の(b)で
示す如く、平行光束5がガラス板3に垂直に入射しなく
なるので、ガラス板3を通過した平行光束5の光軸かに
ずれが生じて光出力部2に入射する光量が減る。このよ
うに角度変位に対応して光入出力部間の光結合効率が変
化するのでこの関係を予め求めておけば回転変位を光結
合係数の変化量として検出することかできる。
配置され、図示しない機械的連結手段により被検出角度
変位に従動して回転するようになっている。そしてこの
回転円筒体4の内壁には、前記ガラス板3の摺動部31
.32を係合して摺動自在に位置決めする2条の螺旋溝
41.42が所定の周長にわたって形成されている。こ
の2条の螺旋溝41゜42の進み方向は互いに逆ねじの
関係になっている。図は回転円筒体4に外部からの角度
変位が印加されていない状態を示しており、ガラス板3
の表面が平行光束5の光軸に直交しており光入力部1か
ら出射された平行光束5はガラス板3を直進透過し光出
力部2に全光束が入射する。(第1図の(a)の参照) このような構成を有する角度センサの回転円筒体4が外
部からの角度変位によって、例えば矢印Aの方向に回転
すると、螺旋溝41にガイドされた左側の摺動部31は
矢印Bの如く前方へ、また螺旋溝32にガイドされた右
側の摺動部42は矢印Cの如く後方へ移動し、ガラス板
3を光軸に対して傾斜せさる。すると第1図の(b)で
示す如く、平行光束5がガラス板3に垂直に入射しなく
なるので、ガラス板3を通過した平行光束5の光軸かに
ずれが生じて光出力部2に入射する光量が減る。このよ
うに角度変位に対応して光入出力部間の光結合効率が変
化するのでこの関係を予め求めておけば回転変位を光結
合係数の変化量として検出することかできる。
このような光センサは、光ファイバを伝播する光をその
まま角度変位の検出に用いるので電磁ノイズの影響を受
けないため高精度の角度検出ができる。また、光ファイ
バの一対の対向させるだけなので、第3図の従来例より
小型で簡単な構造になり、しかも角度変位に連続的に追
随するので測定精度が向上する。
まま角度変位の検出に用いるので電磁ノイズの影響を受
けないため高精度の角度検出ができる。また、光ファイ
バの一対の対向させるだけなので、第3図の従来例より
小型で簡単な構造になり、しかも角度変位に連続的に追
随するので測定精度が向上する。
本発明の光角度センサによれば、被検出角度変位を、光
結合系内に設けた板ガラスの光軸に対する傾きに変換し
、この傾きによって光入出力部間の光軸がずらせて光結
合効率が変化させるので、電磁誘導等の悪影響を受ける
ことなく小型で簡単な構造でかつ角度変位を連続的に検
出可能な光角度センサを実現することができる。
結合系内に設けた板ガラスの光軸に対する傾きに変換し
、この傾きによって光入出力部間の光軸がずらせて光結
合効率が変化させるので、電磁誘導等の悪影響を受ける
ことなく小型で簡単な構造でかつ角度変位を連続的に検
出可能な光角度センサを実現することができる。
第1図は、本発明の光角度センサを示す断面図、第2図
は、本発明の光角度センサの実施例の一部破断斜視図、 第3図は、従来の光角度センサの要部を示す斜視図、 である。 図において、 l・・・光入力部、 11−光ファイバ、12−・
−・凸レンズ、 2−光出力部、21・−光ファ
イバ、 22−凸レンズ、3−ガラス板、 31
.32・・−摺動部、4・一回転円筒体、 41.4
2−・螺旋溝、5−・・平行光束、 である。 (α) 角度変位なし くb)角度實位為Cノ
は、本発明の光角度センサの実施例の一部破断斜視図、 第3図は、従来の光角度センサの要部を示す斜視図、 である。 図において、 l・・・光入力部、 11−光ファイバ、12−・
−・凸レンズ、 2−光出力部、21・−光ファ
イバ、 22−凸レンズ、3−ガラス板、 31
.32・・−摺動部、4・一回転円筒体、 41.4
2−・螺旋溝、5−・・平行光束、 である。 (α) 角度変位なし くb)角度實位為Cノ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光を出射する光ファイバ(11)と該出射光を平行光束
(5)にするレンズ(12)とからなる光入力部(1)
と、 前記平行光束(5)を絞るレンズ(22)と該絞られた
光が入射する光ファイバ(21)とよりなる光出力部(
2)と、 該平行光束(5)の光軸に表面をほぼ直交させ該光軸に
対して傾斜可能に前記光入力部(1)と光出力部(2)
との間に配置された板ガラス(3)と、内壁に互いに逆
ねじの関係にある2条の螺旋溝(41、42)を有し、
該螺旋溝(41、42)で前記板ガラス(3)の対向す
る二辺を摺動自在に保持し、外部より与えられた角度変
位により前記板ガラス(3)を光軸に対して傾ける回転
円筒体(4)と、を有することを特徴とする光角度セン
サ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1283509A JPH03144305A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1283509A JPH03144305A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光角度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03144305A true JPH03144305A (ja) | 1991-06-19 |
Family
ID=17666462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1283509A Pending JPH03144305A (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光角度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03144305A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100475484B1 (ko) * | 1997-04-14 | 2005-07-01 | 박병림 | 굴절각측정센서및측정장치그리고굴절각측정방법 |
US8049897B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-11-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reticle defect inspection apparatus and inspection method using thereof |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1283509A patent/JPH03144305A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100475484B1 (ko) * | 1997-04-14 | 2005-07-01 | 박병림 | 굴절각측정센서및측정장치그리고굴절각측정방법 |
US8049897B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-11-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reticle defect inspection apparatus and inspection method using thereof |
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