JPH0314397B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0314397B2 JPH0314397B2 JP271885A JP271885A JPH0314397B2 JP H0314397 B2 JPH0314397 B2 JP H0314397B2 JP 271885 A JP271885 A JP 271885A JP 271885 A JP271885 A JP 271885A JP H0314397 B2 JPH0314397 B2 JP H0314397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- diamond
- film
- cvd method
- speaker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Description
＜産業上の利用分野＞
この発明は高品質のスピーカー振動板の構造に
関するものである。 ＜従来の技術＞ 音響用スピーカーには各種の方式が用いられて
いるが、その中でもダイナミツク型スピーカーが
最も多く用いられている。 この型式は磁束の中で動く可動コイルに接続し
た振動板で音声に変換する原理のものである。 振動板として最も多く用いられている材料は紙
であるが、数百ヘルツ以上では正確な変換がむづ
かしくなる。これを改善するため振動板材料が
種々検討されており、ヤング率をＥ、比重をρと
したときＥ／ρの大きな材料ほど高音域での変換
特性がすぐれていることがわかつてきた。 下記第１表に振動板としての各種材料のヤング
率（Ｅ）、比重（ρ）および（Ｅ）／（ρ）を示
した。
関するものである。 ＜従来の技術＞ 音響用スピーカーには各種の方式が用いられて
いるが、その中でもダイナミツク型スピーカーが
最も多く用いられている。 この型式は磁束の中で動く可動コイルに接続し
た振動板で音声に変換する原理のものである。 振動板として最も多く用いられている材料は紙
であるが、数百ヘルツ以上では正確な変換がむづ
かしくなる。これを改善するため振動板材料が
種々検討されており、ヤング率をＥ、比重をρと
したときＥ／ρの大きな材料ほど高音域での変換
特性がすぐれていることがわかつてきた。 下記第１表に振動板としての各種材料のヤング
率（Ｅ）、比重（ρ）および（Ｅ）／（ρ）を示
した。
【表】
上表の中でベリリウム（Be）が最もすぐれた
材料として用いられている。 ＜発明が解決しようとする問題点＞ Beは加工が難しいために真空蒸着により振動
板を形成するが、元来Be酸化物は毒性を持つて
いることを考慮して排気ガスやベツセル内の付着
物の処理等に工夫が必要である。 このことが価格の高くなる原因ともなつてい
る。 ダイヤモンドは最もＥ／ρが高く、究極的な材
料ではあるが、このダイヤモンドだけで振動板を
形成するほど厚い膜を作ることは時間を要し、経
済的にも好ましくない。 ＜問題点を解決するための手段＞ この発明は、上記した従来のスピーカー振動板
材料の問題点を解決するべく検討の結果、なされ
たものである。 即ち、この発明はダイヤモンドもしくはダイヤ
モンド状カーボン膜層とSi3N4膜層とよりなるこ
とを特徴とするスピーカー振動板であり、２種の
異なる材料を２層以上交互に積層することによつ
て性能の向上した新しい振動板を提供するもので
ある。 ＜作用＞ この発明の振動板の構成をみると、一つは振動
板としては究極的物質のダイヤモンドであり、他
の一つはSi3N4を用いることである。 Si3N4はヤング率は高いが、密度が４とベリリ
ウムより高いために、Ｅ／ρはベリリウムより低
い値となる。しかしながらヤング率がダイヤモン
ドが有するヤング率に最も近い値を示す物質の一
つであるため、このSi3N4とダイヤモンドとの組
合せは、振動板として最も適した組合せであると
考えられるのである。 この発明においては、ダイヤモンド層もSi3N4
層も気相より合成することにより得られる。 Si3N4はダイヤモンドに比べて一般に蒸着速度
が速いのでダイヤモンド単体の振動板を形成する
のに比べて経済的であり、この点からもこの発明
の効果が認められるのである。 ダイヤモンド膜は周知の如く、CVD法、プラ
ズマCVD法、イオンビーム蒸着法、などの何れ
の方法によつても得られ、得られた膜の性質には
差異はない。 またプラズマCVD法やイオンビーム蒸着法に
より得られる非晶質のカーボン膜（いわゆるｉ−
Carbon）でも性能に大差はない。 Si3N4膜はCVD方法、プラズマCVD法、イオ
ンプレーテイング法など何れの方法で作成しても
よく、その性能にも大差はない。 ＜実施例＞ 以下、実施例によりこの発明を説明する。 実施例 １ Mo板上に公知のCVD法にてSi3N4を22.0μｍ厚
蒸着し、その後王水でMoを溶解してSi3N4板を
得た。 次いでこのSi3N4板上に2.45GHzのマイクロ波
を励起源とするプラズマCVD法にてダイヤモン
ド膜を5μｍ被膜した。 かくして得たSi3N4−ダイヤモンド積層構造の
50mmφの振動板をダイナミツク型スピーカーの振
動板として使用したところ、10000〜20000Hzの間
での音圧レベルはその平均値の1.7dB以内であつ
た。 一方、同径のBe振動板では最大2.4dBの誤差が
認められた。 実施例 ２ アルミニウム板に公知プラズマCVD法により
Si3N4膜を、公知のイオンビーム蒸着法にてｉ−
カーボン膜を各々1μｍと0.3μｍ交互に20層重ねて
32μｍ厚の振動板を得た。 かくして得た振動板を50mmφで実施例１と同様
の方法でテストしたところ、1.4dBの誤差しか生
じなかつた。 ＜発明の効果＞ 以上、この発明の振動板は、上記したように特
に高音における周波数特性にすぐれており、従つ
て中音域から高音域にかけての広い領域をカバー
しうるスピーカーとすることができるのである。
材料として用いられている。 ＜発明が解決しようとする問題点＞ Beは加工が難しいために真空蒸着により振動
板を形成するが、元来Be酸化物は毒性を持つて
いることを考慮して排気ガスやベツセル内の付着
物の処理等に工夫が必要である。 このことが価格の高くなる原因ともなつてい
る。 ダイヤモンドは最もＥ／ρが高く、究極的な材
料ではあるが、このダイヤモンドだけで振動板を
形成するほど厚い膜を作ることは時間を要し、経
済的にも好ましくない。 ＜問題点を解決するための手段＞ この発明は、上記した従来のスピーカー振動板
材料の問題点を解決するべく検討の結果、なされ
たものである。 即ち、この発明はダイヤモンドもしくはダイヤ
モンド状カーボン膜層とSi3N4膜層とよりなるこ
とを特徴とするスピーカー振動板であり、２種の
異なる材料を２層以上交互に積層することによつ
て性能の向上した新しい振動板を提供するもので
ある。 ＜作用＞ この発明の振動板の構成をみると、一つは振動
板としては究極的物質のダイヤモンドであり、他
の一つはSi3N4を用いることである。 Si3N4はヤング率は高いが、密度が４とベリリ
ウムより高いために、Ｅ／ρはベリリウムより低
い値となる。しかしながらヤング率がダイヤモン
ドが有するヤング率に最も近い値を示す物質の一
つであるため、このSi3N4とダイヤモンドとの組
合せは、振動板として最も適した組合せであると
考えられるのである。 この発明においては、ダイヤモンド層もSi3N4
層も気相より合成することにより得られる。 Si3N4はダイヤモンドに比べて一般に蒸着速度
が速いのでダイヤモンド単体の振動板を形成する
のに比べて経済的であり、この点からもこの発明
の効果が認められるのである。 ダイヤモンド膜は周知の如く、CVD法、プラ
ズマCVD法、イオンビーム蒸着法、などの何れ
の方法によつても得られ、得られた膜の性質には
差異はない。 またプラズマCVD法やイオンビーム蒸着法に
より得られる非晶質のカーボン膜（いわゆるｉ−
Carbon）でも性能に大差はない。 Si3N4膜はCVD方法、プラズマCVD法、イオ
ンプレーテイング法など何れの方法で作成しても
よく、その性能にも大差はない。 ＜実施例＞ 以下、実施例によりこの発明を説明する。 実施例 １ Mo板上に公知のCVD法にてSi3N4を22.0μｍ厚
蒸着し、その後王水でMoを溶解してSi3N4板を
得た。 次いでこのSi3N4板上に2.45GHzのマイクロ波
を励起源とするプラズマCVD法にてダイヤモン
ド膜を5μｍ被膜した。 かくして得たSi3N4−ダイヤモンド積層構造の
50mmφの振動板をダイナミツク型スピーカーの振
動板として使用したところ、10000〜20000Hzの間
での音圧レベルはその平均値の1.7dB以内であつ
た。 一方、同径のBe振動板では最大2.4dBの誤差が
認められた。 実施例 ２ アルミニウム板に公知プラズマCVD法により
Si3N4膜を、公知のイオンビーム蒸着法にてｉ−
カーボン膜を各々1μｍと0.3μｍ交互に20層重ねて
32μｍ厚の振動板を得た。 かくして得た振動板を50mmφで実施例１と同様
の方法でテストしたところ、1.4dBの誤差しか生
じなかつた。 ＜発明の効果＞ 以上、この発明の振動板は、上記したように特
に高音における周波数特性にすぐれており、従つ
て中音域から高音域にかけての広い領域をカバー
しうるスピーカーとすることができるのである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ダイヤモンドもしくはダイヤモンド状カーボ
ン膜層とSi3N4膜層とよりなることを特徴とする
スピーカー振動板。 ２ ダイヤモンドもしくはダイヤモンド状カーボ
ン膜層とSi3N4膜層が２層以上交互に積層するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスピ
ーカー振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP271885A JPS61161898A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | スピ−カ−振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP271885A JPS61161898A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | スピ−カ−振動板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61161898A JPS61161898A (ja) | 1986-07-22 |
| JPH0314397B2 true JPH0314397B2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=11537086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP271885A Granted JPS61161898A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | スピ−カ−振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61161898A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0459425A1 (en) * | 1990-05-30 | 1991-12-04 | Idemitsu Petrochemical Company Limited | Process for the preparation of diamond |
-
1985
- 1985-01-10 JP JP271885A patent/JPS61161898A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61161898A (ja) | 1986-07-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4135601A (en) | Boron coated diaphragm for use in a loud speaker | |
| CA1058090A (en) | Diaphragms for electroacoustic transducers | |
| CN114697820A (zh) | 振膜、发声装置及麦克风组件 | |
| KR100592100B1 (ko) | 마이크로 스피커의 진동판 | |
| JPH0314397B2 (ja) | ||
| JPH0314396B2 (ja) | ||
| JPH03145900A (ja) | スピーカー用振動板 | |
| JPS59143498A (ja) | スピ−カ−用振動板およびその製造法 | |
| JPH03175800A (ja) | 圧電型スピーカ | |
| JPS59143499A (ja) | スピ−カ−振動板 | |
| US4512435A (en) | Diaphragm for loudspeakers | |
| JPS61244195A (ja) | 音響用振動板 | |
| JPS6338399A (ja) | スピ−カ用振動板 | |
| JPH0434873B2 (ja) | ||
| JPH034697A (ja) | スピーカ振動板 | |
| KR20170117906A (ko) | 음향 진동판, 그 제조방법 및 스피커 | |
| JP2770277B2 (ja) | フィルムコンデンサ | |
| JPS617797A (ja) | セラミツク振動板スピ−カ | |
| JPS58161495A (ja) | スピ−カ用振動板 | |
| JP3762377B2 (ja) | コンデンサ型広帯域マイクロホン | |
| CN1040297A (zh) | 电声转换器 | |
| JPS60237799A (ja) | スピ−カ用振動板 | |
| JPH0396200A (ja) | スピーカ用振動板 | |
| KR830000673B1 (ko) | 스피이커 진동판 | |
| JPS607877B2 (ja) | ボイスコイルボビン |