JPH03140256A - 端面型サーマルプリンタヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、印字の解像度及び絶縁性に優れた安価な端面
型サーマルプリンタヘッド及びその製造方法に関する。

（従来の技術） サーマルプリンタヘッドとして、従来より平面型のサー
マルプリンタヘッドと端面型のサーマルプリンタヘッド
が開発されている。

平面型サーマルプリンタへ・ラドは、セラミ・ｌクス焼
結体で形成したヘッド基板の主平面上に−列に連結され
た発熱体を設けると共に、この発熱体に連なる櫛状の電
極パターンをヘッド基板表面に設けて構成され、所要の
発熱体部位を選択的に発熱させるものである。このよう
な平面型サーマルプリンタヘッドにおいては、ヘッド基
板の全表面上にドライバ回路を搭載することが多く、記
録紙をドライバ回路との接触から避けるため、記録紙を
曲げて印字することが必要であった。また、印字の際に
は記録紙への押圧力が必要なことからサーマルプリンタ
ヘッド自体に曲げ剛性が必要とされ、薄肉化に関して限
界があるという問題があった。

このような問題を解決するために、例えば、特開昭６０
−１９５５８号公報には、端面型のサーマルプリンタヘ
ッドが発案されている。ここに開示されたサーマルプリ
ンタヘッドにおいては、ヘッド基板の主平面上に設けら
れたドライバ回路から端面部上に設けられた発熱体まで
を導通する櫛状の電極パターンを形成するにあたり、フ
ォトエツチングの手法によって形成することが困難であ
ることによりヘッド基板自体を半導体シリコンで作成す
るとともに、拡散によって端面部に抵抗体を形成すると
いう面倒かつ効果な方法が採用されている。

また、特開平１−１１０１６３号公報にはヘッド基板の
主平面部及び端面部の中間部までフォトエツチングによ
り電極パターンを形成した後、端面部にさらに角度を変
几てフォトエツチングするという２段階のフォトエツチ
ングによって櫛状の電極パターンを形成するという方式
が採用されており、この方法によれば２段階にフォトエ
ツチングすることにより位置のずれが生じ、位ＷＩＭ度
が劣るという欠点がある。

また、上記いずれの公報においても、セラミックスス焼
結体の平面上にドライバ回路の接続用電極パターン及び
帰路回路電極パターンを直接形成しているので、セラミ
ックス焼結体とそれら電極材料とのマツチングの上で、
セラミックス焼結体表面をグレーズする必要があり、ま
たヘッド基台との電気接触の問題で絶縁性シート等を介
することが必要であった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、グレーズが不要で、かつ絶縁性に優れ、
印字解像度の優れた端面型サーマルプリンタヘッド及び
その製造方法を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明の端面型サーマルプリンタヘッドは、絶縁性セラ
ミックス焼結体の内部に、導電材料よりなる複数の線状
体が略平行に埋設されていると共に、各線状体の端部が
セラミックス焼結体の端面よりそれぞれ露出し、一つの
線状体の露出部と他の線状体の露出部とが抵抗発熱体で
接続されていることを特徴とし、そのことにより上記目
的が達成される。

また、本発明の端面型サーマルプリンタヘッドの製造方
法は、絶縁性セラミックスを主成分とするグリーンシー
トの表面に感光性樹脂組成物を用いてレジストパターン
を形成する工程と、該レジストパターンに設けられた凹
部に導電材料を充填した後、該レジストパターンを除去
することにより導電材料よりなる複数の線状体を、その
両端部がグリーンシートの両端縁までほぼ至るようグリ
ーンシートの表面に形成する工程と、該線状体が表面に
形成されたグリーンシートの表面に他のグリーンシート
を積層して積層体を形成すると共に、積層体内に線状体
を埋設する工程と、積層体の端面部に露出した線状体の
露出部と他の線状体の露出部とを抵抗発熱体で接続する
と共に積層体を焼成する工程と、を包含し、そのことに
より上記目的が達成される。

以下に本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施！Ｉ５様に係る端面型サーマル
プリンタヘッドの斜視図である。

第１図において、ｌは略板状のセラミックス焼結体であ
り、２及び３は導電材料よりなる線状体であり、通常は
２をドライバ回路接続用電極、３を帰路電極として用い
る。また、図中４は抵抗発熱体である。

上記線状体２．３はセラミックス焼結体ｌの−端面１ａ
から相対同する他端面１ｂへ向かって、セラミックス焼
結体１内に複数埋設されており、複数の線状体２．２、
・・・　３．３、・・・は互いに平行に配設され、かつ
それぞれの線状体２．３はセラミックス焼結体ｌの端面
部ｌａｘ　Ｉｂの長手方向に沿って２列状態で配設され
ている。

そして、セラミックス焼結体１の一方の端面部１ｂにお
いて、各線状体２．３の端部は露出しており、この露出
部２ａ、３ａは抵抗発熱体４によって接続されている。

各列の線状体２．３の露出部２ａ、２ｂは同数で、かつ
相対応する位置に配置されており、対応する各線状体２
．３の露出部２ａ、３ａは抵抗発熱体４によって接続さ
れている。

また、このセラミックス焼結体１の端面部１ｂのエツジ
部は、感熱紙やインクリボンが破損するのを防止するた
めに曲率加工が施されている。なお、この端面部１ｂに
紙との摩耗を避けるために保護ガラス層を設けてもよい
。

上記セラミックス焼結体１は、セラミックス粉末を主体
とする焼結体であり、絶縁性を有するものである。セラ
ミックス粉末としては、例えばアルミナ、ジルコニア、
アグネシア、サイアロン、スピネル、ムライト、結晶化
ガラス、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等
の粉末及びＭｇ０−Ｓ　１０２−ＣａＯ系、Ｂ２（ｈ−
Ｓｉ０２系、ＰｂＯ−Ｂ２０ａ−ＳｉＯ２系、ＣａＯ−
ＳｉＯ２ＣａＯ−５ｉＯ２−系、ＰｂＯ−５１０２−Ｂ
ｚＯ３−ＣａＯ系等のガラスフリット粉末があげられ、
単独もしくは二種類以上併用される。

上記導電材料としては、例尤ば金、銀、白金、パラジウ
ム、銅、アルミニウム、ニッケル、イリジウム、ロジウ
などの金属およびこれらの合金や、金屑酸化物、金属窒
化物、金属炭化物があげられる。また上記抵抗発熱体と
しては、酸化ルテニウム、ホウ化ランタン、窒化タンタ
ル、タンタル−錫合金、ニッケルークロ五合金、クロム
−アルミニウム合金、モリブデン、タンタル、タングス
テン、白金、炭化硅素及びこれらの酸化物などがあげら
れる。

上記のような端面型サーマルプリンタヘッドは、例えば
以下の方法によって製造することができる。

第１図に示すドライバ回路接続用電極と帰路電極を内在
するセラミックス焼結体を得るには、まず、絶縁性材料
を主成分とする２枚のグリーンシー）９．１０の表面に
ドライバ回路接続用電極パターン１１と帰路電極パター
ン１２をそれぞれ形成させ、これらを第２図（ａ）に示
すように各電極パターン１１．１２が外側を向くように
積層する。同時に各グリーンシート９．ｌＯの外側面に
パターンが形成されていないグリーンシー）１３．１３
を積層して所定厚さの積層体１４を作成する。パターン
が形成されていないグリーンシート１３の積層枚数はサ
ーマルプリンタヘッドの所望とする厚さに応じて変える
ことができ、また上記パターン１２．１３が形成されて
いるグリーンシー）９．１０の間にパターンが形成され
ていないグリーンシートを所定枚数挟んでもよい。

さらに、１枚のグリーンシートの表裏面にそれぞれの電
極パターンを形成し、この両面にパターンが形成されて
いないグリーンシートを積層してもよい。

ＩＣ等との接続用の端子が必要な場合は、第１図に示し
たように外側に重ねるグリーンシート１３．１３を小寸
法として電極パターン１１．１２の一部を露出しておけ
ばよい。このようにして、積層体１４の内部には導電材
料からなる複数の線状体２，３が所定間隔をおいて一列
に配置されたドライバ回路接続用電極パターン１１と、
帰路電極パターン１２がそれぞれ平行に埋設され、それ
らの端部が積層体１４の端面部に露出することになる。

次いで、このドライバ回路接続用電極パターン１１の露
出部と帰路電極パターン１２の露出部とを抵抗発熱体で
接続し、所定温度で焼成を行うことにより端面型サーマ
ルプリンタヘッドが得られる。

通常使用にあたっては紙との摩耗の面から端面部に保護
ガラス層が形成され、また、端面部のエツジで感熱紙や
インクリボンが破損するおそれのある場合には焼成前ま
たは焼成後、エツジに曲率加工を施せばよい。

更に詳しく説明すると、上記のグリーンシートは上記し
たセラミックス粉末を主体とする焼成前の成形体であっ
て、焼成後に絶縁性を有するものである。グリーンシー
トの製造方法は任意の方法を採用してよ＜、例えばセラ
ミックス粉末をプレス成形してもよいが、グリーンシー
トはその表面に電極パターンを形成した後、複数枚積層
圧着されるのであり、圧着の際に電極パターンがセラミ
ックス粉末で完全に包み込まれることが必要となるので
、ある程度の柔軟性を有するものが良い。

従って、グリーンシートは上記セラミックス粉末と有機
結合剤と必要ならば溶剤とを混合した混合物を射出成形
、押出成形、圧縮成形、流延成形等の成形法で成形する
のが好ましく、特に、ポリエステルフィルム、ガラス板
等の基材上にスラリー状にした混合物をドクターブレー
ドによって塗布した後乾燥する、いわゆるドクターブレ
ード法によって成形するのが好ましい。上記の有機結合
剤としては、例えばポリビニルブチラール、ポリビニル
アルコール、ポリ（メタ）アクリレート、セルロース、
デキストリン、ポリエチレンワックス、澱粉、カゼイン
などの高分子材料及びジオクチルフタレート、ジブチル
フタレート、ポリエチレングリコールなどの可塑剤があ
げられる。また、上記の溶剤としては、例えばメタノー
ル、エタノール、フタノール、プロパツール、メチルエ
チルケトン、アセトン、酢酸エチル、トルエン、水等が
あげられる。有機結合剤や溶剤の添加量は、グリーンシ
ートの製造条件等により適宜決定すればよいが、通常、
セラミックス粉末１００ｆ！ｉ量部に対し、有機結合剤
は５〜３０重量部の範囲内で、溶剤は２０〜１００重量
部の範囲内で添加するのが適当である。

導電材料よりなる線状体の電極パターンをグリーンシー
トの表面に形成する方法は、種々の方法を採用すること
が可能であり、例えば導電ペーストをスクリーン印刷や
凹板印刷でグリーンシート表面に印刷する方法なども採
用されるが、印字の解像度を上げる上では以下に示す方
法が好ましい。

すなわち、感光性樹脂組成物をグリーンシート表面に積
層し、所定の電極パターンを有するフォトマスクを重ね
て、露光、現像することにより電極パターンに相当する
レジストパターンを形成し、このレジストパターンに設
けられた凹部に導電材料を充填した後、レジストパター
ンを除去すればよい。

露光に際して活性光線源として紫外線、電子線、エック
ス線等を使用すれば、１μｍ程度の線幅の電極パターン
を形成することが可能となる。感光性樹脂組成物として
は、ドライフィルムホトレジストとして市販されている
もの等が好適に使用されるが、グリーンシートに有機溶
剤可溶の有機結合剤を含む場合は、溶剤現像するとグリ
ーンシートが破壊されることがあるので、アルカリ現像
タイプのドライフィルムホトレジストを使用するのが好
ましく、また、グリーンシート１０に水溶性の有機結合
剤を含む場合は、アルカリ現像するとグリーンシートが
破壊されることがあるので、溶剤現像タイプのドライフ
ィルムホトレジストを使用するのが好ましい。このよう
なドライフィルムホトレジストでグリーンシートの表面
に電極ツマターンを形成するには、従来から回路基板等
の作製に採用されている種々の方法を採用することが可
能であり、例えばグリーンシート表面にアルカリ現像タ
イプのドライフィルムホトレジストを圧着もしくは熱溶
融着して、その上に電極パターンが設けられたホトマス
クを重ね合わせ、高圧水銀灯等で活性光線を照射して露
光し、照射部分の感光性樹脂組成物を硬化させてからホ
トマスクを剥離して、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム等を溶解したアルカリ水溶液で現像
する方法等が好ましく採用される。又、ガラス板、ステ
ンレス板、アルミニウム板等の支持体上に感光性樹脂組
成物の電極パターンを形成し、これをグリーンシートの
表面に転写する方法等も採用される。

レジストパターンの凹部に充填される導電材料としては
、例えば金、銀、白金、パラジウム、銅、アルミニウム
、ニッケル、イリジウム、ロジウなどの金属およびこれ
らの合金や、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物を含
む導電性ペースト（塗料）が好適に使用される。

レジストパターンの凹部に導電材料を充填する方法とし
ては種々の方法を採用できるが、例えばグリーンシート
表面に前述の導電材料のペーストを塗布し、スキージや
ヘラ等を用いて０．１〜２０ｋｇ／ｃ１１２の圧力で該
ペーストを引き伸ばしながらレジストパターンの凹部に
押し込むが好ましい。尚、レジストパターン上に残った
導電材料のペーストは拭き取るなどして除去すればよい
。

導電材料を充填した後のレジストパターンの除去は、該
レジストパターンが感光性樹脂組成物で形成されている
場合、現像に用いた現像液等をスプレーすることにより
行われるが、該レジストｌくターンの感光性樹脂組成物
は活性光線の照射で硬化しているので、レジストパター
ン形成時の現像条件では剥離しにくい。従って、感光性
樹脂組成物の硬化の程度に応じて現像時間を長くするか
、現像液の温度を上げるか、或いは現像液の濃度を上げ
るかして除去することが好ましい。このようにレジスト
パターンを除去して電極ノ櫂ターンをグリーンシート表
面に形成した後、必要に応じて８０〜１６０℃でｉｏ〜
６０分保持し、導電材料中の残存溶剤を飛散させて固化
させるのが好ましい。

次に、ドライバ回路接続用電極パターンと帰路電極パタ
ーンが形成されたグリーンシートとを、各電極パターン
が外側を向くように背面同士を重ね合わせ、各グリーン
シートの両表面に電極パターンの形成されていないグリ
ーンシートを重ね合わせた後圧着する。圧着条件は適宜
決定すればよいが、通常２０〜１８０℃で、１〜２００
ｋｇ／　ｃｍ２の圧力下に１〜１０分間圧着するのが適
当である。また、積層枚数は上記したように必要とされ
る端面型サーマルプリンタヘッドの厚さに応じて決定す
ればよい。

複数のグリーンシート間に電極パターンが埋設された積
層体は、その端面にドライバ回路接続用電極パターンと
帰路電極パターンの端部がそれぞれ露出している。

次に、ドライバ回路接続用電極と帰路電極の端部をそれ
ぞれ対応させて抵抗発熱体で接続するのであるが、その
接続方法としては、スクリーン印刷、凹板印刷で印刷す
る方法、端面部の全面に抵抗発熱体を形成した後フォト
エツチングする方法なども採用されるが、印字の解像度
を上げる上では、電極パターンを形成したのと同様に感
光性樹脂組成物を用いて形成したレジストパターンの凹
部に抵抗発熱体材料を充填した後、該レジス）ノｆター
ンを除去する方法が好ましい。各抵抗発熱体はドツトご
とに切り離して形成するのが好ましい。

抵抗発熱体としては、上記した酸化ルテニウム、ホウ化
ランタン、窒化タンタル、タンタル−錫合金、ニッケル
ークロム合金、クロム−アルミニウム合金、モリブデン
、タンタル、タングステン、白金、炭化硅素及びこれら
の酸化物などを含むペースト（塗料）が用いられ、これ
らをスキージ、ヘラ等でレジストパターンの凹部に充填
すればよい。また、これらをイオンブレーティング、ス
パッタリング等で蒸着してもよい。該レジストパターン
の除去も電極パターンの形成時と同様に行えばよい。抵
抗発熱体の形成は、積層体の焼成後に行ってもよいが、
焼成後に抵抗発熱体を形成する場合には上記ペーストと
マツチさせる必要があって焼成体表面をグレーズする必
要があるので、焼成前に抵抗発熱体の形成を行うのが好
ましい。抵抗発熱体が形成された積層体は必要に応じて
端面部のエツジを曲率に加工する。

次いで、この積層体を焼成するが、焼成条件はセラミッ
クス粉末の種類に応じて適宜決定すればよい。一般には
１〜ｂ し、４００〜６００℃で１〜５時間保持して積層体１０
を脱脂し、その後７００−１８００℃で１〜５時間保持
して焼成するのが適当である。

また、使用に際して感熱紙との摩擦の点から端面部に耐
摩擦層を形成することが多く、その場合は酸化タンタル
、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化硅素、炭化硅素
、窒化硅素などを蒸着してもよいし、低融点ガラスペー
ストを塗布して焼成してもよい。

（作用） 本発明の端面部サーマルプリンタヘッドは、線状体が絶
縁性を有するセラミックス焼結体の内部に埋設されてい
るので、電極パターンを焼結体で被覆して絶縁すること
ができる。また、線状体を焼結体の表面にマツチさせる
ためのグレーズを行う必要がない。

さらに、本発明の端面型サーマルプリンタヘッドを製造
するには、グリーンシートの表面に直接ペースト等で電
極パターンを形成した後、積層して積層体内部に線状体
を形成し、この積層体端面に露出した線状体の端部間に
抵抗発熱体を接続すると共に焼成しているので、従来の
セラミックス焼結体の基板表面に直接電極パターン及び
発熱体を形成する場合のようにグレーズする必要がない
上に、感光性樹脂を用いて抵抗発熱体をドツトごとに切
り離して形成できるため、櫛状の電極パターンを用いる
端面型サーマルプリンタヘッドに比べ解像度に優れてい
る。

（実施例） 本発明を実施例について以下に説明する。

なお、以下に「部」とあるのは「重量部Ｊを意味する。

Ｘ１１口。

アルミナボールミルに、平均ｍ径３μｍのアルミナ粉末
を４０部、平均粒径５μ璽のＰｂＯ−５ｉＯ２−Ｂｚ０
３−ＣａＯ系ガラスフリフトを６０部、ポリビニルブチ
ラールを１２部、ジブチルフタレートを４．５部、メチ
ルエチルケトンを２４部、トルエンを１８部、インプロ
ピ／Ｌ／　７　／Ｌ／　）−ルを１８部、５ｏｌｖｅｎ
ｔ　ＢＩａｃｋ７を０．５部供給し、３時間混練してス
ラリーを得た。このスラリーをドクターブレード型グリ
ーンシート作製機に供給し、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム上に塗布、乾燥して、厚さ６０μｍ、縦横寸
法が２０Ｘ　Ｌｏｏｍｍのグリーンシートを作製した。

一方、メタクリル酸メチル−メタクリル酸ｎ−ブチル−
アクリル酸共重合体（８／２／２．Ｍｗ：　１５万）を
６０部、２．２−−ビス（４−メタクリロ手シジエトキ
シフェニル）プロパンをｔｓ＆　へキサメチレンジアク
リレートを１５部、２，４−ジメチルチオキサントンを
２部、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルを２部、マラ
カイトグリーンを０．０５部、バラメトキシフェノール
を０．１部、メチルエチルケトンを２０部均一に溶解さ
せて感光液を得、この感光液を厚す２０μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム上に塗布、乾燥して、厚さ
２５μｍのドライフィルムホトレジストを作製した。

このドライフィルムホトレジストを上記グリーンシート
に１００℃、３　ｋｇ／　Ｃｍ２で熱ラミネートし、ド
ライフィルムホトレジストの上に電極パターンを有する
陰画のホトマスクを密着させて、３ｋＷ高圧水銀灯から
５０ｃｓ＋の距離で紫外線を３５ｍＪ／ｃ■２の照射ｊ
ｌで露光した。そしてドライフィルムホトレジストの支
持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離
し、３０℃の炭酸ナトリウムのＩＩＩＩ盟％水溶液をＩ
ｋｇ／ｃｉ＋２でスプレーして３０秒で現像し、線幅４
０μｍ１　線間隔６０μｍの電極パターンをグリーンシ
ート表面にシート短辺と平行に形成した。

このグリーンシートの表面に、導電性ペースト（Ａｇ：
　Ｐｄ＝８０：　２０．日中マッセイ■製、Ｔ　Ｒ４９
４０）を塗布し、３ｋｇ／ａｍ”の圧で押さえたスキー
ジを移動して、レジストパターン間に導電性ペーストを
充填し、常温で６０分乾燥させた。

次いで、このグリーンシートに３０℃の炭酸ナトリウム
の１重量％水溶液を１　ｋｇ／　ｃｍ２でスプレーして
２分現像し、ドライフィルムホトレジストのパターンを
剥離し、　１２０℃で２０分乾燥して、線幅８０μｍ、
線間隔４０Ｂｍ、厚さ１２μｍ、長さ２ｈ＋ｍの電極パ
ターンをグリーンシート表面に形成した。

このグリーンシートを電極パターンが外側に位置するよ
う２枚重ね、この両面に電極パターンの形成されていな
いグリーンシートをそれぞれ２００枚重し、１６０℃、
１００ｋｇ／ｃ＋ｉ２の圧力で３分間プレスして、厚さ
２５ｍｍ、、縦横寸法が２０ｘ　Ｌｏｏｍｍの積層体を
得た。次いで、短辺方向を５１切断し電極パターンの端
部を露出させた積層体を得た。

次いで、この端面に前述のドライフィルムレジストで厚
さ１５μ穐のものを熱ラミネートし、上記と同条件で露
光、現像し、線幅２０μ諺、線間隔２０μ真の細線パタ
ーンを形成した。

この端面に抵抗ペースト（Ｒｕ０２、日中マッセイ■製
、ＲＸ−１１０３Ｂ）を塗布し、上記と同様にして細線
パターン間に充填し、該電極パターンを剥離した後、乾
燥して抵抗ペーストの細線パターンを形成した。

次いで、この積層体の端面部のエツジを削り曲率加工を
施した。

次いで、この積層体を加熱炉に入れて５℃／ｈｒの昇温
速度で昇温し、５００℃で２時間保持して脱脂し、更に
１００’Ｃ／ｈｒの昇温速度で昇温し８６０℃で２時間
焼成して、端面部サーマルプリンタヘッドを得た。

実１ｌＬＬ 実施例１と同様にしてグリーンシート上にドライフィル
ムフォトレジストの細線パターンを形成した後、この表
面に金ペースト（平均粒径１．５μ謂、粘度４６００ｐ
ｓ）を用いて電極パターンを形成した。

抵抗発熱体等の形成は実施例１と同様にして行い、端面
型サーマルプリンタヘッドを得た。

（発明の効果） 本発明の端面部サーマルプリンタヘッドは、絶縁性及び
印字解像度が優れており、また本発明の方法によれば、
従来のようなグレーズが不要であって比較的簡単かつ安
価に端面型サーマルプリンタヘッドを製造することがで
きる。

４　　　　　の　　　な１ 第１図は本発明の一実施例に係る端面型サーマルプリン
タヘッドの斜視図、第２図（ａ）（ｂ）は本発明の端面
型サーマルプリンタヘッドの製造方法の一例を説明する
工程図である。

ｌ・・・セラミックス焼結体、２．３・・・線状体、４
・・・抵抗発熱体、９．１０．１３・・・グリーンシー
ト、１４・・・積層体。

以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、絶縁性セラミックス焼結体の内部に、導電材料より
   なる複数の線状体が略平行に埋設されていると共に、各
   線状体の端部がセラミックス焼結体の端面よりそれぞれ
   露出し、一つの線状体の露出部と他の線状体の露出部と
   が抵抗発熱体で接続されていることを特徴とする端面型
   サーマルプリンタヘッド。 ２、絶縁性セラミックスを主成分とするグリーンシート
   の表面に感光性樹脂組成物を用いてレジストパターンを
   形成する工程と、 該レジストパターンに設けられた凹部に導電材料を充填
   した後、該レジストパターンを除去することにより導電
   材料よりなる複数の線状体を、その両端部がグリーンシ
   ートの両端縁までほぼ至るようグリーンシートの表面に
   形成する工程と、該線状体が表面に形成されたグリーン
   シートの表面に他のグリーンシートを積層して積層体を
   形成すると共に、積層体内に線状体を埋設する工程と、 積層体の端面部に露出した線状体の露出部と他の線状体
   の露出部とを抵抗発熱体で接続すると共に積層体を焼成
   する工程と、 を包含する端面型サーマルプリンタヘッドの製造方法。