JPH03138851A - 質量分析装置のモード切替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は質量分析装置における各電極に印加する高電圧
を種々のイオン化法に基づいたモードに従って制御装置
と絶縁した状態で容易に切替えるのに好適な質量分析装
置のモード切替え装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、検出器の第１電極と最終電極間に印加す
る電圧の極性を切換える手段および該極性切替時にデー
タ処理装置に対して高電位となった検出器との間を絶縁
しながらにしてデータ収集を行っていた。しかしＥＩ、
ＣＩ、ＥＤ、ＳＩＭＳ。

ＤＩなどのような各イオン化毎にレンズ電極、リペラ電
極、チャンバー、およびそれぞれのイオン化に特有の電
極に制御装置と高電位に絶縁された状態で切替えること
は配慮されていなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は種々のイオン化法に基づいたモ−ドに従
って、制御部およびデータ処理部と電気的に絶縁した状
態で所定の部位に印加する高電圧を容易に切替えること
について問題があった。

本発明の目的は、イオン化毎に印加するべき各電極への
高電圧の切替えを制御装置とは電気的に高圧絶縁した状
態で容易に切替えることにより、質量分析計特有の放電
信号の制御装置およびデータ処理装置への浸入を防ぐ手
段を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、第３図に示す絶縁端子と該
絶縁端子を支えるホルダと該端子の開閉を行うエアシリ
ンダから成る高圧切換え部を、第４図に示すペリフェラ
ルインターフェイスとシリアルインターフェースと光フ
アイバー送受信部とメモリとＣＰＵから成る切替え駆動
回路にて、制御装置からの信号により動作させるもので
ある。

また、不慮の信号変化に対して第５図に示すフローチャ
ートにより切替動作の信頼性を向上させるものである。

〔作用〕

第３図は絶縁端子部を示す。エアーシリンダに供給され
た空気圧によりシリンダと絶縁端子をささえるホルダを
シリンダの長手方向に動作させることにより、ホルダに
固定された絶縁端子に高圧電源より供給された高電圧を
各電極に印加する。

該シリンダに供給するエアーを制御する切替え駆動回路
を第４図に示す。該切替え駆動回路の動作を司どる中央
処理装置（ＣＰＵ）は制御装置より送られたイオン化の
パラメータを光フアイバー送受信部を通り、シリアルイ
ンターフェイスで受け、そのパラメータを現在のイオン
条件を記憶するメモリＤへ記憶する。該メモリには１つ
前のイオン化のパラメータを記憶するＢ領域、センサー
から得られる絶縁端子群の状態を記憶するＣ領域が規定
されている。ＣＰＵはメモリＤより読み出したパラメー
タをペリフエラニルインタフエイスからバッファ１に送
出し、シリンダ駆動回路を駆動し。

絶縁端子群を動作させ、各電極へ所定の電圧を印加する
。さらに絶縁端子群の設定状態をセンサーからバッファ
２で受け、ペリフェラルインターフェイスで読み取り、
メモリＣへ記憶する。これら記憶されたＢ、Ｃ，Ｄのパ
ラメータは第５図に示すフローチャートにより動作し、
第３図で示すエアーシリンダ３０の両端に位置する端子
棒を支えるホルダ２７に接続されている各電極へ接続さ
れている端子３１と各高圧電源へ接続されている端子３
２はメス絶縁棒２８とオス絶縁棒２９の沿面距離により
高圧絶縁され、該ホルダをシリンダへのエアーの人出に
より接点の接触を行うことにより電気的に駆動回路とは
絶縁されていることにより、誤動作することがない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、第２図、第５図によ
り説明する。以下、実施例の構成及び動作の説明を行う
。イオンを生成するイオン源２と該生成されたイオンを
加速および偏向させるレンズ１電極３．レンズ２電極４
．レンズ３電極５と収束・分散させる電場６と磁場７と
該イオンを検出する検出器８を備えた質量分析計１と該
質量分析計へ加速電源９．レンズ１電源１０．レンズ２
電極１１．レンズ３電源１２．電場電源１３゜ＳＩＭ８
１次イオン加速電源１４．印加型＠１５から高電圧をイ
オン化モードに従って供給する絶縁端子群１６と該イオ
ン化モードに応じたパラメータを受ける光フアイバー送
受信部１７を持ったパラメータ設定部１８と該パラメー
タをモード切替回路１９を司どるＣＰＵ２０によりメモ
リ２１へ記憶させるシリアルインターフェイス２２と該
メモリに記憶されたパラメータをバッファ２３を通して
、シリンダ駆動回路２４に設定および絶縁端子群の位置
検出部２５からの状態をバッファ２３を通してメモリに
読み込むペリフェラルインターフェイス２６から構成さ
れている。

パラメータ設定部より得られたイオン化モードごとのパ
ラメータを光フアイバ送受信部を通してシリアルインタ
ーフェイスに送り、該パラメータをＣＰＵは現在のイオ
ン化条件を記憶するメモリＤへ記憶する。該メモリには
前回のイオン化のパラメータを記憶するメモリＢおよび
センサーから得られる絶縁端子群の状態を記憶するメモ
リＣがある。ＣＰＵはメモリＤより読み出したパラメー
タをペリフェラルインターフェイスからバッファ１に送
出し、シリンダ駆動回路を駆動し、絶縁端子群を動作さ
せ、各電極への所定の電圧を印加する。さらに絶縁端子
群の設定状態をセンサーからバッファ２で受け、ペリフ
ェラルインターフェイスで読み取り、メモリＣへ記憶す
る。こうして、第５図のフローチャートに基づいてパラ
メータ設定部からの割り込み待ちをする。絶縁端子群の
実施例を第２図に示す。今、電界脱離モードとしてＦＤ
モードが設定されると、イオン源には正加速電源から高
電圧が供給され、レンズ１電極には正レンズ１電源から
高電圧が供給される。そしてＦＤ電極には電子衝撃モー
ドではイオン源と同電位に保たれるが、ＦＤ電源から高
電圧が供給される。このとき加速電源は±ＯＶ〜±ｌ０
ＫＶ、レンズ電源は±Ｏｖ〜±ｌ０ＫＶ、ＦＤ電源はＯ
Ｖ〜−６ＫＶ程度の電位を持つ。上記状態はエアシリン
ダの空気送出を左側より出２人、出２人、入。

出とすることにより得られるが負加速電源側の接点間、
負レンズ電源側の接点間、ＦＤ電極のイオン源同電位側
の接点間はそれぞれ最大２０　ＫＶ。

２０ＫＶ、１６ＫＶの電位差を持つことになる。

しかし、駆動回路側とは空気圧による動作であるので電
気的に絶縁され、又各絶縁捧の沿面距離を電位差に応じ
て離すことにより接点間の放電も防止することができる
。

〔発明の効果〕

本発明によれば、モード切替え部と駆動回路側を空気圧
による動作のため電気的に絶縁できるので放電信号の制
御側への侵入を防止する効果がある。

また、絶縁端子の接点間の沿面距離は印加電圧に応じて
自由に変えられるので高電圧の電位差に応じて小形化で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は第１図の
絶縁端子群を示す図、第３図は絶縁端子の詳細図、第４
図はモード切替回路図、第５図は動作フローチャートで
ある。 １・・・質量分析計、２・・・イオン源、３・・・レン
ズ１電極、４・・・レンズ２電極、５・・・レンズ３電
極、６・・・電場、７・・・磁場、８・・・検出器、９
・・・加速電源、１０・・・レンズ１電源、１１・・・
レンズ２電源、１２・・・レンズ３電源、１３・・・電
場電源、１４・・・ＳＩＭＳ　１次イオン加速電源、１
５・・・ＦＤ電源、１６・・・絶縁端子群、１７・・・
光フアイバー送受信部、１８・・・パラメータ設定部、
１９・・・モード切替回路、２ｏ・・・ＣＰＵ　（中央
処理装置）、２１・・・メモＩハ２２・・・シリアルイ
ンターフェイス、２３・・・バッファ、２４・・・シリ
ンダ駆動回路、２５・・・位置検出部、２６・・・ペリ
フェラルインタフニーイス、２７・・・ホルダ、２８・
・・メス絶縁棒、２９・・・オス絶ａｍ、３０・・・エ
アシリンダ、３１・・・電極高圧印加端子。 第　１　区 第　２　因 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料をイオン化するイオン化箱（以下チャンバと称
   する）と該イオン化されたイオンを加速する加速電源、
   又押し出し、偏向するリペラ電極とレンズ電極および該
   電極に電圧を印加するリペラ電源とレンズ電源と該イオ
   ンを偏向および収束させる電場および磁場と該収束され
   たイオンを検出する検出器と該イオン量を取込み、処理
   するデータ処理装置と各電源を種々のイオン化法に基づ
   いたモードに従つて制御する制御装置からなる質量分析
   装置において、加速電圧との関係を保ちながら各電極に
   印加する高電圧を種々のイオン化法に基づいたモードに
   従つて制御装置とエアーシリンダにて絶縁した状態で切
   替えることにより、放電信号から制御装置およびデータ
   処理装置を保護することを可能にしたことを特徴とする
   質量分析装置のモード切替え装置。