JPH0313851A - イメージセンサ素子の感度補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、イメージセンサを構成する受光素子の感度
補正方法に関するものである。

［従来の技術］ 例えば、ウェハ異物検査装置においては、ウェハに存在
する異物の位置および大きさを検出するためにイメージ
センサが使用されている。イメージセンサは多数の受光
素子（以下単にイメージセンサ素子という）が直線状に
配列されて構成され、各素子は受光量に比例した電圧を
出力する。また、受光した素子の位置により異物の位置
が知られる。

各素子の感度は、製作技術などによるバラツキがあり、
異物検査などにおける大きさの判定に支障するので、こ
れらの感度を一定値に補正することが必要である。

第２図により異物検査装置におけるイメージセンサ素子
に対する従来の感度補正方法を説明する。

表面が適当な反射面をなす反射板２をとり、これに光ビ
ームＬを照射し、その反射光Ｌ′を投射レンズ３により
イメージセンサ１の各素子Ｉｔ、１２・・・・・・Ｉｎ
に一様に照射する。反射光を受光した各素子の出力電圧
は、走査回路４により逐次読み出され、波高値検出器５
によりそれぞれの波高値が検出されて表示器６に表示さ
れる。表示された波高値に従って、図示しないアンプな
どを調整して各素子の感度が補正されるものである。

［解決しようとする課題］ 上記の補正方法においては、反射板２の表面が一様な反
射性能を有し、各素子１１．１２・・・・・・に均一強
度の光を照射することが必要である。例えば、表面が平
滑なガラスなどは一様ではあるが、正反射するので反射
光が偏って各素子に均一に照射できない。これに対して
全方向に反射する無方向性の反射板があるが、表面があ
る程度粗いのでミクロにみると反射強度にムラがある、
などにより適切な反射板が見当たらない。また、上記の
補正方法においては、各素子の出力電圧をいちいち、表
示器６により読み取り、必要によりこれを記録して補正
作業を行うので、作業の手間が大きく作業時間が意外に
長くかかることが難点である。

この発明は以上に鑑みてなされたもので、イメージセン
サの各素子の感度を効率的に補正する方法を提供するこ
とを目的とするものである。

［課題を解決するための手段コ この発明は、イメージセンサ素子の感度補正方法である
。移動機構に載置され、直線移動する標準微粒子に対し
て適当な光ビームを照射する。光ビームの微粒子による
散乱光を集光レンズにより集光し、集光された散乱光を
イメージセンサの各素子により、微粒子の移動に従って
逐次受光する。

逐次受光した素子の出力電圧を測定して一定の基準値に
補正する。

上記の出力電圧の測定においては、各素子の出力電圧の
波形を、素子の順序に従って、ディスプレイ装置の両面
に一定間隔で一連の波形列としてディスプレイし、画面
を撮影するカメラにより、カメラのシャッターを適当な
時間開放して各素子の出力電圧波形を同時に撮影し、撮
影された映像よりそれらの波高値を計測するものである
。

［作用コ 上記の補正方法においては、従来の反射板の代りに標準
微粒子を使用する。標準微粒子は、ポリスチレン・ラテ
ックスとよばれるプラスチックスを加工して、直径の微
小（ミクロン、またはサブミクロンのオーダー）な粒子
に形成したもので、適当な反射係数を仔してほぼ全方向
に散乱するもので、従来から塵埃測定器の基準として使
用されている。この発明においては、直線移動する微粒
子に照射された光ビームの散乱光を集光レンズにより集
光し、微粒子の移動に従って集光ビームの焦点をイメー
ジセンサの各素子逐次当てて受光する。集光レンズの焦
点距離などを適当に設定することにより、各素子の受光
量を均一としてそれぞれの出力電圧を測定し、各素子に
対して正しい感度補正がなされる。

次に、出力電圧の測定は、素子の順序に従って各出力電
圧の波形をディスプレイ装置に一定の間隔で一連の波形
列としてディスプレイし、これをカメラにより撮影する
。カメラのシャッターを適当な時間開放して露出すると
、各波形が同時に撮影される。撮影された映像より各素
子の出力電圧の波高値が容易に計測されるものである。

［実施例］ 第１図は、この発明によるイメージセンサ素子の感度補
正方法の実施例の構成図を示す。図において、移動機構
７を設け、その載置台７ａに標準微粒子８を載置、また
は付着させる。載置台７ａの表面は当然、無反射塗装し
て打害な反射光が出ないようにする。また、微粒子８は
軽くて飛散し易いのでそれなりの処置を行う。微粒子８
に対して適当な方向より光ビームＬを照射し、微粒子に
よる散乱光Ｓを、集光レンズ９により集光してイメージ
センサ１の素子１１．１２・・・・・・Ｉｎのうちの１
個に焦点を結ぶ。移動機構７により微粒子８が移動して
焦点が各素子の位置に逐次移動する。各素子より逐次出
力される出力電圧は、走査回路４により読み出され、ア
ンプ１０により適当なレベルとされてディスプレイ装置
１１に入力する。入力した出力電圧の波形は、各素子の
順序に一定の間隔でディスプレイされ、これをカメラ１
２で撮影する。カメラシャッターは適当な時間レンズを
開放して露出し、各素子に対する波形を一連として同時
に撮影する。撮影された映像より各素子の出力電圧の波
高値が計測され、感度補正がなされる。

［発明の効果コ 以上の説明により明らかなように、この発明によるイメ
ージセンサ素子の感度補正方法においては、従来の反射
板に代わって移動する微粒子を使用するので、各素子に
照射する光ビームの強度が均一となり、各素子の感度を
正しく補正できる。

また、感度の測定は、各素子の出力電圧をディスプレイ
装置に一連の波形としてディスプレイしてカメラにより
撮影するので、各素子の出力電圧が一挙に測定され、測
定時間が著しく短縮されるもので、イメージセンサを使
用する各種の装置に適用して、素子の感度補正を効率的
に行う効果には優れたものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるイメージセンサ素子の感度補
正方法の実施例の構成図、第２図は、従来の感度補正方
法の説明図である。 １・・・イメージセンサ、１１，１２．Ｉｎ・・・受光
素子、２・・・反射板、　　　　　　３・・・投射レン
ズ、４・・・走査回路、　　　　５・・・波高値検出器
、６・・・表示器、　　　　　７・・・移動機構、７ａ
・・・載置台、　　　　　８・・・標準微粒子、９・・
・集光レンズ、　　　　１０・・・アンプ、１１・・・
ディスプレイ装置、１２・・・カメラ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）移動機構に載置されて直線移動する標準微粒子に
   対して適当な光ビームを照射し、該光ビームの該標準微
   粒子による散乱光を集光レンズにより集光し、該集光さ
   れた散乱光をイメージセンサを構成する複数の受光素子
   のそれぞれにより、上記微粒子の移動に従って逐次受光
   し、該逐次受光した受光素子の出力電圧を測定し、該出
   力電圧を一定の基準値に補正することを特徴とする、イ
   メージセンサ素子の感度補正方法。
2. （２）上記受光素子の出力電圧の測定において、上記各
   受光素子の出力電圧の波形を、上記素子の順序に従って
   、ディスプレイ装置の画面に一定の間隔で一連の波形列
   としてディスプレイし、該画面を撮影するカメラにより
   、カメラのシャッターを適当の時間開放して上記各受光
   素子の出力電圧波形を同時に撮影し、撮影された映像よ
   り各該波形の波高値を計測する、請求項１記載のイメー
   ジセンサ素子の感度補正方法。