JPH03137836A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JPH03137836A
JPH03137836A JP27387889A JP27387889A JPH03137836A JP H03137836 A JPH03137836 A JP H03137836A JP 27387889 A JP27387889 A JP 27387889A JP 27387889 A JP27387889 A JP 27387889A JP H03137836 A JPH03137836 A JP H03137836A
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JP
Japan
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magneto
optical recording
film
recording medium
intermediate layer
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Application number
JP27387889A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichiro Nakao
健一郎 中尾
Katsusuke Shimazaki
勝輔 島崎
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH03137836A publication Critical patent/JPH03137836A/en
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Abstract

PURPOSE:To prevent or to limit permeation of corrosive elements from a resin substrate by providing an intermediate layer containing no corrosive element and comprising such material that prevents permeation of corrosive elements between the resin substrate and a thin film layer. CONSTITUTION:The intermediate layer 2 is provided on side 1a where signal patterns are formed of the resin substrate 1, on which a thin film layer 3 containing at least a magneto-optical recording film is deposited. The substrate 1 consists of transparent resin material such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polymethylpentene, epoxy, etc. The intermediate layer 2 contains no corrosive element such as Cl, S, and F, and consists of such material that prevents permeation of these corrosive elements. Further, such a material, for example, tetrabutyl tin, that can easily make bonds with corrosive elements is added to the material of the intermediate layer 2 to trap the corrosive elements in the layer 2.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光磁気記録媒体に係り、特に、基板上に形成さ
れる光磁気記録膜の防蝕手段に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magneto-optical recording medium, and particularly to a means for preventing corrosion of a magneto-optical recording film formed on a substrate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来より、樹脂製基板の信号パターン形成面に少なくと
も光磁気記録膜を含む薄膜層を形成して成る光磁気記録
媒体が提案されている。
Conventionally, magneto-optical recording media have been proposed in which a thin film layer containing at least a magneto-optical recording film is formed on a signal pattern forming surface of a resin substrate.

光磁気記録膜は、例えば希土類−遷移金属系の非晶質合
金のような磁性材料によって形成されており、腐蝕され
やすい。また、光磁気記録膜の膜厚ハ、30〜50(n
m)程度に形成されるので。
The magneto-optical recording film is made of a magnetic material such as a rare earth-transition metal-based amorphous alloy, and is easily corroded. In addition, the film thickness of the magneto-optical recording film is 30 to 50 (n
m).

僅かな衝撃で損傷されやすい。ががる不都合を防止する
ため、光磁気記録膜の表面には、通常保護膜が被着され
る。
Easily damaged by the slightest impact. In order to prevent the problem of peeling, a protective film is usually applied to the surface of the magneto-optical recording film.

ところで、前記光磁気記録膜の腐蝕は、従来、樹脂製基
板や保護膜を通して浸透する水が原因であると認識され
ており、光磁気記録膜の表面に防水性の保護膜を形成す
る等の耐食処理が提案されている。
By the way, it has been recognized that the corrosion of the magneto-optical recording film is caused by water penetrating through the resin substrate and the protective film, so it has been recognized that the corrosion of the magneto-optical recording film is caused by water penetrating through the resin substrate and the protective film. Anti-corrosion treatments have been proposed.

防水処理が施された光磁気記録媒体は、何らの防水処理
も施されていない光磁気記録媒体に比べて、延命効果が
認められる。
A magneto-optical recording medium that has been subjected to waterproofing has a longer lifespan effect than a magneto-optical recording medium that has not been subjected to any waterproofing.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

然るに、光磁気記録媒体には、実用上、より長寿命であ
ることが要求されるのであって、従来の防蝕手段では未
だ不充分である。
However, magneto-optical recording media are practically required to have a longer lifespan, and conventional corrosion protection measures are still insufficient.

本願出願人は、研究の結果、光磁気韻a膜の腐蝕につい
て以下の事実を知得した。
As a result of research, the applicant of the present application has learned the following facts regarding the corrosion of magneto-optical a film.

■光磁気記録膜は高温高湿雰囲気中で腐蝕し易(、高温
低湿雰囲気中ではほとんど腐蝕しない。
■Magneto-optical recording films are easily corroded in high-temperature, high-humidity environments (but hardly corrode in high-temperature, low-humidity environments.

但し、ガラス基板を用いると高温高湿の雰囲気中でも光
磁気記録膜が腐蝕しにくい。
However, when a glass substrate is used, the magneto-optical recording film is less likely to corrode even in a high temperature and high humidity atmosphere.

■分析の結果、腐蝕した光磁気記録膜は水酸化物になっ
ていることが確認された。
■As a result of analysis, it was confirmed that the corroded magneto-optical recording film had become a hydroxide.

■腐蝕した光磁気記録膜からは塩素、イオウ、フッ素な
どの!1蝕性元素が検出される。
■Chlorine, sulfur, fluorine, etc. are released from the corroded magneto-optical recording film! 1 Corrosive elements detected.

■光磁気記録膜の腐蝕は、基板との界面から起る。■Corrosion of the magneto-optical recording film occurs from the interface with the substrate.

■樹脂製基板中には塩素、イオウ、フッ素などの腐蝕性
元素が検出される。
■Corrosive elements such as chlorine, sulfur, and fluorine are detected in resin substrates.

これらの事実から、光磁気記録膜の腐蝕メカニズムは、
以下の通りであると推定される。
From these facts, the corrosion mechanism of magneto-optical recording film is
It is estimated that the following is true.

まず、樹脂製基板中に含まれる腐蝕性元素が光磁気記録
膜中の金属元素と化学反応を起す。腐蝕性元素が塩素(
C1)、これと化学反応を起す光磁気記録媒体の金属元
素がテルビウム(Tb;、2価の金属)である場合を例
にとってこの化学反応を化学式にて説明すると、以下の
通りである。
First, corrosive elements contained in the resin substrate cause a chemical reaction with metal elements in the magneto-optical recording film. The corrosive element is chlorine (
Taking as an example the case where the metal element of the magneto-optical recording medium that causes a chemical reaction with C1) is terbium (Tb; a divalent metal), this chemical reaction is explained using a chemical formula as follows.

T b + 3 CI−→TbCl3−  +2 e・
 ・ ・ ・ ・(1) 次に、この反応によって生成されたTbC14と保護膜
を通して外部から侵入してきた水分が下記の化学反応を
起す。
T b + 3 CI-→TbCl3- +2 e・
・ ・ ・ ・(1) Next, the TbC14 generated by this reaction and the moisture that has entered from the outside through the protective film cause the following chemical reaction.

TbC1:i−+2820 一+T b (OH) z +28  + 3 CI−
”・(2)さらに、この反応によって生成されたC1−
が再び前記第(1)式の化学反応を生じ、腐蝕が連続的
に進行する。
TbC1: i-+2820 1 + T b (OH) z +28 + 3 CI-
”・(2) Furthermore, C1− produced by this reaction
The chemical reaction of formula (1) occurs again, and corrosion progresses continuously.

従って、光磁気記録膜の腐蝕は、腐蝕性元素および水分
のうち少なくともいずれか一方の侵入を防止することに
よって防止することができる。然るに、樹脂製基板は多
少とも透水性があり、これを完全に止めることは困難で
、そのための処理を施すと、光磁気記録媒体が大幅にコ
スト高になる。
Therefore, corrosion of the magneto-optical recording film can be prevented by preventing the intrusion of at least one of corrosive elements and moisture. However, resin substrates have some degree of water permeability, and it is difficult to completely prevent water permeability, and if treatments are applied to prevent this, the cost of the magneto-optical recording medium will increase significantly.

これに対し、光磁気記録膜への腐蝕性元素の侵入を防止
することは、基板と光磁気記録膜を含む薄膜層との間に
中間層を形成することによって比較的簡単に実施し得る
On the other hand, it is possible to prevent corrosive elements from entering the magneto-optical recording film relatively easily by forming an intermediate layer between the substrate and the thin film layer containing the magneto-optical recording film.

本発明は、かかる知見に基づいてなされたものであって
、光磁気記録膜への腐蝕性元素の侵入を防止することに
よって光磁気記録膜の腐蝕を防止し、もって長寿命の光
磁気記録媒体を提供することを目的とするものである。
The present invention has been made based on this knowledge, and is capable of preventing corrosion of a magneto-optical recording film by preventing corrosive elements from entering the magneto-optical recording film, thereby providing a long-life magneto-optical recording medium. The purpose is to provide the following.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、前記の目的を達成するため、樹脂製基板の信
号面に、少な・くとも1層の光磁気記録膜を含む薄膜層
を形成して成る光磁気記録媒体において、前記樹脂製基
板と薄膜層との間に、前記光磁気記録膜を腐蝕する腐蝕
性元素を含有せず、かつ腐蝕性元素の透過を妨げる物質
から成る中間層を設けた。
In order to achieve the above object, the present invention provides a magneto-optical recording medium in which a thin film layer including at least one magneto-optical recording film is formed on the signal surface of a resin substrate. An intermediate layer made of a substance that does not contain corrosive elements that corrode the magneto-optical recording film and prevents the permeation of corrosive elements was provided between the magneto-optical recording film and the thin film layer.

前記腐蝕性元素を含有せず、かつ腐蝕性元素の透過を妨
げる物質としては、腐蝕性元素が全く侵入し得ない物質
を用いても良いし、侵入した腐蝕性元素を捕獲し、薄膜
層への移動を妨げるような物質を用いることもできる。
As the substance that does not contain any corrosive elements and prevents the corrosive elements from permeating, a substance to which the corrosive elements cannot penetrate at all may be used, or a substance that captures the corrosive elements that have invaded and transfers them to the thin film layer. It is also possible to use a substance that prevents the movement of.

〔作用〕[Effect]

樹脂製基板と光磁気記録膜との間に前記の中間層を設け
ると、光磁気記録膜の腐蝕の主原因である樹脂製基板中
の腐蝕性元素が光磁気記録膜に侵入せず、光磁気記録膜
の腐蝕が防止される。よって、耐食性に優れた長寿命の
光情報記録媒体を提供することができる。
By providing the above-mentioned intermediate layer between the resin substrate and the magneto-optical recording film, the corrosive elements in the resin substrate, which are the main cause of corrosion of the magneto-optical recording film, do not enter the magneto-optical recording film, and the optical Corrosion of the magnetic recording film is prevented. Therefore, it is possible to provide an optical information recording medium with excellent corrosion resistance and long life.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明に係る光磁気記録媒体の全体構成を示す
要部断面図であって、樹脂製基板1の信号パターン形成
面1aに中間層2が形成され、この中間層2上に少なく
とも光磁気記録膜を含む薄膜層3が積層されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view of main parts showing the overall structure of a magneto-optical recording medium according to the present invention, in which an intermediate layer 2 is formed on a signal pattern forming surface 1a of a resin substrate 1, and on this intermediate layer 2 at least A thin film layer 3 including a magneto-optical recording film is laminated.

樹脂製基板lは、例えばポリカーボネート(PC)、ポ
リメチルメタクリレート(PMMA)、ポリメチルペン
テン、エポキシなどの透明な樹脂材料によって形成され
る。樹脂製基板1の片面には、記録/再生用放射線ビー
ム(例えばレーザビーム)を案内するプリグループやプ
リフォーマット信号を表示するプリピット(第2図〜第
5図参照)等の信号パターンが凹凸の形で形成されてい
る。
The resin substrate 1 is made of a transparent resin material such as polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA), polymethylpentene, or epoxy. One side of the resin substrate 1 has an uneven signal pattern such as a pre-group for guiding a recording/reproducing radiation beam (for example, a laser beam) and a pre-pit for displaying a pre-format signal (see Figs. 2 to 5). formed in the shape.

前記信号パターンは、基板材料の種類に応じて適宜の方
法で形成される。例えば、PCやPMMA等の熱可塑性
樹脂については射出成形法が適し、エポキシなどの熱硬
化性樹脂については所に12P法(光硬化性樹脂法)や
注型法が適する。さらに、紫外線硬化性樹脂については
注型法が適する。
The signal pattern is formed by an appropriate method depending on the type of substrate material. For example, injection molding is suitable for thermoplastic resins such as PC and PMMA, and 12P method (photocurable resin method) and casting method are suitable for thermosetting resins such as epoxy. Furthermore, a casting method is suitable for ultraviolet curable resins.

中間層2は、塩素やイオウ、それにフッ素といった腐蝕
性元素を含有せず、かつこれらの腐蝕性元素の透過を妨
げる物質から形成される。具体的には、窒化シリコン(
SiiNx、但し、3≦X≦4)、酸化シリコン(Si
Ox、但し、1≦X≦2)、スチレンのプラズマ重合体
、ポリエチレン、ポリビニルアルコール、硝酸セルロー
ス、アクリレート系紫外線硬化樹脂などを挙げることが
できる。さらに、これらの物質中に、例えばテ1〜ラブ
チルスズなどの腐蝕性元素と結合しやすい物質を添加し
、中間層2で腐蝕性元素を捕獲するようにすることもで
きる。
The intermediate layer 2 is formed from a material that does not contain corrosive elements such as chlorine, sulfur, and fluorine and prevents the permeation of these corrosive elements. Specifically, silicon nitride (
SiiNx, however, 3≦X≦4), silicon oxide (Si
Examples include Ox (1≦X≦2), styrene plasma polymer, polyethylene, polyvinyl alcohol, cellulose nitrate, acrylate-based ultraviolet curing resin, and the like. Furthermore, it is also possible to add a substance that easily binds to a corrosive element, such as Te1-butyltin, to these substances, so that the intermediate layer 2 captures the corrosive element.

中間層2は、薄膜層3の内周端3aおよび外周端3bを
保護するため、第1図に示すように、薄膜WI3の形成
領域よりも広範囲に形成することが好ましい。
In order to protect the inner circumferential end 3a and outer circumferential end 3b of the thin film layer 3, the intermediate layer 2 is preferably formed over a wider area than the thin film WI3, as shown in FIG.

中間層2の形成手段としては、中間層材料の種類に応じ
て、スパッタ法、真空蒸着法、プラズマ重合法、スピン
塗布法などの薄膜形成手段を適用することができる。
As a means for forming the intermediate layer 2, thin film forming means such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, a plasma polymerization method, a spin coating method, etc. can be applied depending on the type of intermediate layer material.

薄膜層3は、少なくとも1層の光磁気記録膜から構成さ
れ、必要に応じて他の材料から成る1ないし複数層の薄
膜と光磁気記録膜との積層体を用いることもできる。
The thin film layer 3 is composed of at least one magneto-optical recording film, and if necessary, a laminate of one or more thin films made of other materials and the magneto-optical recording film can also be used.

第2図〜第5図に薄膜層3の膜構造を例示する。The film structure of the thin film layer 3 is illustrated in FIGS. 2 to 5.

第2図の光磁気記録媒体においては、薄膜層3が、前記
中間層2側より、光磁気記録膜4と、前記樹脂製基板1
よりも高屈折率の誘電体にて形成される誘電体膜5と、
金属製保護膜6とから成る3M構造になっている。なお
、この図において、7はプリグループ、8はプリピット
を示す。
In the magneto-optical recording medium of FIG. 2, the thin film layer 3 is arranged from the intermediate layer 2 side to the magneto-optic recording film 4 and the resin substrate
A dielectric film 5 formed of a dielectric having a higher refractive index than
It has a 3M structure consisting of a metal protective film 6. In this figure, 7 indicates a pre-group, and 8 indicates a pre-pit.

光磁気記録膜4は1例えばTbFeCo、TbFe、T
eCo、TbFe−GdTbFe、TbDyFe、Tb
DyFaCo、GdTbFa。
The magneto-optical recording film 4 is made of 1, for example, TbFeCo, TbFe, T
eCo, TbFe-GdTbFe, TbDyFe, Tb
DyFaCo, GdTbFa.

G d T b F e Co 、 Q d T b 
F e G e 、 G d Co 。
G d T b F e Co , Q d T b
F e G e , G d Co .

GdTbCo、TbFe/GdFe、TbFe/GdF
eCo、TbNiFe、DyFeGdCo。
GdTbCo, TbFe/GdFe, TbFe/GdF
eCo, TbNiFe, DyFeGdCo.

MnCuB i、(貴金属) −TbFeなど、公知に
属する任意の光磁気記録材料をもって形成することがで
きる。
It can be formed using any known magneto-optical recording material such as MnCuBi or (noble metal) -TbFe.

誘電体膜5は、光磁気記録膜4と金属製保護膜6との間
で再生用光の多重反射を生じさせ、見掛は上のカー回転
角を大きくして高CN比の再生信号を得るために設けら
れるものであって、屈折率が前記樹脂製基板1よりも大
きな誘電体をもって形成される。誘電体材料としては、
酸化シリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウムなど任
意のものを用いることができるが、光磁気記録膜4の腐
蝕を防止するため、非酸化物系のものが特に好ましい。
The dielectric film 5 causes multiple reflections of the reproduction light between the magneto-optical recording film 4 and the metal protective film 6, and apparently increases the above Kerr rotation angle to produce a reproduction signal with a high CN ratio. It is formed of a dielectric material whose refractive index is larger than that of the resin substrate 1. As a dielectric material,
Any material such as silicon oxide, silicon nitride, or aluminum nitride can be used, but non-oxide materials are particularly preferred in order to prevent corrosion of the magneto-optical recording film 4.

金属製保護膜6は、例えばアルミニウムなど、高反射率
の金属材料をもって形成される。
The metal protective film 6 is formed of a highly reflective metal material such as aluminum.

第3図の光磁気記録媒体においては、薄膜層3が、前記
中間層2側より、光磁気記録膜4と、前記樹脂製基板1
よりも高屈折率の誘電体にて形成される誘電体膜5と、
金属製反射膜9と、樹脂製保護膜10とから成る4層構
造になっている。
In the magneto-optical recording medium of FIG. 3, the thin film layer 3 is arranged from the intermediate layer 2 side to the magneto-optical recording film 4 and the resin substrate 1
A dielectric film 5 formed of a dielectric having a higher refractive index than
It has a four-layer structure consisting of a metal reflective film 9 and a resin protective film 10.

金属製反射膜9は、例えばアルミニウムなど、高反射率
の金属材料をもって形成される。
The metal reflective film 9 is formed of a metal material with high reflectance, such as aluminum.

また、樹脂製保護膜10は、透水性が少ない任意の樹脂
材料をもって形成することができるが、生産性が高いこ
とから、紫外線硬化性樹脂が特に好ましい。
Further, the resin protective film 10 can be formed using any resin material with low water permeability, but ultraviolet curable resin is particularly preferred because of its high productivity.

その他、同一の符号が付された部分については、第2図
の場合と同様に形成される。
Other parts with the same reference numerals are formed in the same manner as in FIG. 2.

第4図の光磁気記録媒体においては、薄膜層3が、前記
中間層2側より、前記樹脂製基板lよりも高屈折率の誘
電体にて形成される第1誘電体膜11と、光磁気記録膜
4と、前記第1誘電体膜11と同様の材料にて形成され
る第2誘電体膜12と。
In the magneto-optical recording medium of FIG. 4, the thin film layer 3 includes, from the intermediate layer 2 side, a first dielectric film 11 formed of a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate l; a magnetic recording film 4; and a second dielectric film 12 made of the same material as the first dielectric film 11.

金属製保護膜6とから成る4層構造になっている。It has a four-layer structure consisting of a metal protective film 6.

前記第1誘電体膜11および第2誘電体膜12は、第2
図の誘電体膜5と同じ材料をもって形成される。
The first dielectric film 11 and the second dielectric film 12 are
It is formed using the same material as the dielectric film 5 shown in the figure.

その他、同一の符号が付された部分については、第2図
の場合と同様に形成される。
Other parts with the same reference numerals are formed in the same manner as in FIG. 2.

第5図の光磁気記録媒体においては、薄膜層3が、前記
中間層2側より、前記樹脂製基板1よりも高屈折率の誘
電体にて形成される第1誘電体膜11と、光磁気記録膜
4と、前記第1誘電体膜11と同様の材料にて形成され
る第2誘電体膜12と、金属製反射膜9と、樹脂製保護
膜10とから成る5層構造になっている。
In the magneto-optical recording medium of FIG. 5, the thin film layer 3 includes, from the intermediate layer 2 side, a first dielectric film 11 formed of a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate 1; It has a five-layer structure consisting of a magnetic recording film 4, a second dielectric film 12 made of the same material as the first dielectric film 11, a metal reflective film 9, and a resin protective film 10. ing.

本例の光磁気記録媒体を構成する各部分の材質について
は、第2図ないし第4図のいずれかにて説明したものと
同じであるので、重複を避けるため、該当する部分に同
一の符号を表示して説明を省略する。
The material of each part constituting the magneto-optical recording medium of this example is the same as that explained in any of Figures 2 to 4, so to avoid duplication, the same reference numerals are used for the corresponding parts. will be displayed and the explanation will be omitted.

前記薄膜層3は、例えば真空蒸着法やスパッタ法などの
真空成膜法によって形成される。
The thin film layer 3 is formed, for example, by a vacuum film forming method such as a vacuum evaporation method or a sputtering method.

以下、本発明の実験例を示し、本発明の効果に言及する
Hereinafter, experimental examples of the present invention will be shown, and the effects of the present invention will be discussed.

〈第1実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、RFスパ
ッタ法により5i3Nx(但し、3≦X≦4)製の中間
層を形成した。成膜条件は第1表に示す通りである。
<First Experimental Example> An intermediate layer made of 5i3Nx (3≦X≦4) was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by RF sputtering. The film forming conditions are as shown in Table 1.

次いで、前記中間層上に、TbFeCo系の光磁気記録
膜を積層した。この光磁気記録膜の成膜条件は、第2表
に示す通りである。
Next, a TbFeCo-based magneto-optical recording film was laminated on the intermediate layer. The film-forming conditions for this magneto-optical recording film are as shown in Table 2.

く第2実施例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、RFスパ
ッタ法により5iOy(但し、1≦y≦1)製の中間層
を形成した。成膜条件は第4表に示す通りである。
Second Example> An intermediate layer made of 5iOy (where 1≦y≦1) was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by RF sputtering. The film forming conditions are as shown in Table 4.

次に、この光磁気記録膜上に誘電体膜として、窒化シリ
コン膜を積層した。この誘電体膜の成膜条件は、第3表
に示す通りである。
Next, a silicon nitride film was laminated as a dielectric film on this magneto-optical recording film. The conditions for forming this dielectric film are as shown in Table 3.

以下、第1実施例と同様にして、前記中間層上に光磁気
記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順次積層した。
Thereafter, in the same manner as in the first embodiment, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on the intermediate layer.

最後に、この誘電体膜上に金属保護膜として、アルミニ
ウム合金膜を積層し、第1図および第2図に示した光磁
気記録媒体を作製した。
Finally, an aluminum alloy film was laminated as a metal protective film on this dielectric film to produce the magneto-optical recording medium shown in FIGS. 1 and 2.

く第3実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、電子ビー
ム蒸着法により5iOx(但し、1≦X≦2)製の中間
層を形成した。成膜条件は第5表に示す通りである。
Third Experimental Example> An intermediate layer made of 5iOx (1≦X≦2) was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by electron beam evaporation. The film forming conditions are as shown in Table 5.

である。It is.

第5表 以下、第1実施例と同様にして、前記中間層上に光磁気
記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを積層して第1図お
よび第2図に示した光磁気記録媒体を作製した。
From Table 5 onwards, in the same manner as in the first embodiment, a magneto-optical recording film, a dielectric film and a metal protective film are laminated on the intermediate layer to produce the magneto-optical recording shown in FIGS. 1 and 2. A medium was prepared.

く第4実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、プラズマ
重合法によりスチレンプラズマ重合膜の中間層を形成し
た。成膜条件は第6表に示す通り以下、第1実施例と同
様にして、前記中間層上に光磁気記録膜と誘電体膜と金
属製保護膜とを積層して第1図および第2図に示した光
磁気記録媒体を作製した。
Fourth Experimental Example> An intermediate layer of a styrene plasma polymerized film was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by plasma polymerization. The film forming conditions are as shown in Table 6. In the same manner as in the first embodiment, a magneto-optical recording film, a dielectric film and a metal protective film were laminated on the intermediate layer. The magneto-optical recording medium shown in the figure was manufactured.

〈第5実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、抵抗加熱
蒸着法によりポリエチレン製の中間層を形成した。成膜
条件は第7表に示す通りである。
<Fifth Experimental Example> A polyethylene intermediate layer was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by resistance heating vapor deposition. The film forming conditions are as shown in Table 7.

以下、第1実施例と同様にして、前記中間層上に光磁気
記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを積層して第1図お
よび第2図に示した光磁気記録媒体を作製した。
Thereafter, in the same manner as in the first embodiment, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were laminated on the intermediate layer to produce the magneto-optical recording medium shown in FIGS. 1 and 2. did.

〈第6実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、スピン塗
布法によりポリビニルアルコール製の中間層を形成した
。具体的な中間層形成方法は以下の通りである。
<Sixth Experimental Example> An intermediate layer made of polyvinyl alcohol was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず、重合度2000、鹸化度88.0%のポリビニル
アルコール粉末を用意し、このポリビニルアルコール中
に含まれる酢酸ソーダを除去するため、水によるデカン
テーションを数回繰り返した。
First, polyvinyl alcohol powder with a degree of polymerization of 2000 and a degree of saponification of 88.0% was prepared, and decantation with water was repeated several times to remove sodium acetate contained in the polyvinyl alcohol.

次いで、このポリビニルアルコールに水を加え、60〜
80℃に加熱して2時間程度かく拌し、水に2.5重量
%のポリビニルアルコールを完全に溶解した。
Next, water was added to this polyvinyl alcohol, and 60~
The mixture was heated to 80° C. and stirred for about 2 hours to completely dissolve 2.5% by weight of polyvinyl alcohol in water.

次いで、この水溶液に、ポリビニルアルコールに対して
約10重量%の重クロム酸アンモニウムを添加し、完全
に溶解した。
Next, about 10% by weight of ammonium dichromate based on polyvinyl alcohol was added to this aqueous solution and completely dissolved.

さらに、異物を除去するため0.2μmのフィルタにて
この水溶液をろ過し、下地層形成用のポリビニルアルコ
ールと重クロム酸アンモニウムの水溶液を作製した。
Further, this aqueous solution was filtered through a 0.2 μm filter to remove foreign matter, and an aqueous solution of polyvinyl alcohol and ammonium dichromate for forming the base layer was prepared.

次に、基板の信号パターン面に前記のポリビニルアルコ
ールと重クロム酸アンモニウムの水溶液をスピン塗布し
た。
Next, the aqueous solution of polyvinyl alcohol and ammonium dichromate was spin coated on the signal pattern surface of the substrate.

次に、この膜に超高圧水銀ランプにて紫外線を数分間照
射し、ポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウム
を架橋させて両者の錯体を形成した。これによって、ポ
リカーボネート製基板の信号パターン面に前記錯体から
成る中間層を約80nmの厚さに形成した。
Next, this film was irradiated with ultraviolet rays for several minutes using an ultra-high pressure mercury lamp to crosslink polyvinyl alcohol and ammonium dichromate to form a complex of the two. As a result, an intermediate layer made of the complex was formed to a thickness of about 80 nm on the signal pattern surface of the polycarbonate substrate.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

く第7実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、スピン塗
布法により酢酸鉛を含有したポリビニルアルコール製の
中間層を形成した。具体的な中間層形成方法は以下の通
りである。
Seventh Experimental Example> An intermediate layer made of polyvinyl alcohol containing lead acetate was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず、前記第6実験例に説明した方法によってそれと同
一のポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニウムの
水溶液を作製した。
First, the same aqueous solution of polyvinyl alcohol and ammonium dichromate was prepared by the method explained in the sixth experimental example.

次いで、このポリビニルアルコールと重クロム酸アンモ
ニウムの水溶液に、ポリビニルアルコールに対して約5
重量%の酢酸鉛粉末を加え、完全に溶解した。
Next, add about 5% of the polyvinyl alcohol to the aqueous solution of polyvinyl alcohol and ammonium dichromate.
% by weight of lead acetate powder was added and completely dissolved.

次に、このポリビニルアルコールと重クロム酸アンモニ
ウムと酢酸鉛の水溶液を基板の信号パターン面にスピン
コードしたのち、これに紫外線を照射して膜厚が約80
nmの中間層を形成した。
Next, this aqueous solution of polyvinyl alcohol, ammonium dichromate, and lead acetate was spin-coded onto the signal pattern surface of the substrate, and then ultraviolet rays were irradiated to coat it to a film thickness of about 80 mm.
An intermediate layer of 100 nm was formed.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

〈第8実験例〉 ポリカーボネート基板の信号パターン面に、スピン塗布
法により硝酸セルロース製の中間層を形成した。具体的
な中間層形成方法は以下の通りである。
<Eighth Experimental Example> An intermediate layer made of cellulose nitrate was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず5分子量が22万で、イソプロピルアルコールを約
30重量%含有した硝酸セルロースとメタノールを、重
量比にして15:985の割合で用意した。
First, cellulose nitrate having a molecular weight of 220,000 and containing about 30% by weight of isopropyl alcohol and methanol were prepared in a weight ratio of 15:985.

次に、メタノールに硝酸セルロースを加え、10数時間
かく拌して完全に溶解した。
Next, cellulose nitrate was added to methanol and stirred for 10 hours to completely dissolve.

次に、この溶液をフィルタでろ過したのち、ポリカーボ
ネート基板の信号パターン面にスピン塗布した。
Next, this solution was filtered, and then spin-coated onto the signal pattern surface of a polycarbonate substrate.

次に、この薄膜を自然乾燥し、約80nmの厚さの硝酸
セルロース製中間層とした。
Next, this thin film was air-dried to form an intermediate layer made of cellulose nitrate with a thickness of about 80 nm.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

く第9実験例〉 ポリカーボネート製基板M号パターン面に、スピン塗布
法によりテトラブチルスズを含有した硝酸セルロース製
の中間層を形成した。具体的な中間層形成方法は以下の
通りである。
Ninth Experimental Example> An intermediate layer made of cellulose nitrate containing tetrabutyltin was formed on the M pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず、前記第8実験例に説明した方法によってそれと同
一の硝酸セルロースのメタノール溶液を作製した。
First, a methanol solution of cellulose nitrate identical to that described in the eighth experimental example was prepared.

次いで、この硝酸セルロースのメタノール溶液に、硝酸
セルロースに対して約5重量%のテトラブチルスズを加
え、完全に溶解した。
Next, about 5% by weight of tetrabutyltin based on the cellulose nitrate was added to the methanol solution of cellulose nitrate and completely dissolved.

次に、この溶液をフィルタでろ過したのち、ポジカ一基
板−ト製基板の信号パターン面にスピン塗布した。
Next, this solution was filtered through a filter, and then spin-coated onto the signal pattern surface of a positive substrate.

次に、この薄膜を自然乾燥し、約80nmの厚さのテト
ラブチルスズ含有硝酸セルロース製中間層を形成した。
Next, this thin film was air-dried to form an intermediate layer made of cellulose nitrate containing tetrabutyltin and having a thickness of about 80 nm.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

く第10実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、スピン塗
布法によりアクリレート系紫外線硬化樹脂製の中間層を
形成した。具体的な中間層形成方法は以下の通りである
10th Experimental Example> An intermediate layer made of an acrylate ultraviolet curable resin was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず、アクリレート系紫外線硬化樹脂(例えば、スリー
ボンド社製の商品名「スリーボンド30X400J)を
イソプロピルアルコールに完全に溶解した。
First, an acrylate-based ultraviolet curing resin (for example, "ThreeBond 30X400J" manufactured by ThreeBond) was completely dissolved in isopropyl alcohol.

次に、この溶液をフィルタでろ過してポリカーボネート
製基板の信号パターン面にスピン塗布し、この膜中に残
留している溶剤を除去するため、80℃で数分間ベーキ
ングした。
Next, this solution was filtered through a filter, spin-coated onto the signal pattern surface of a polycarbonate substrate, and baked at 80° C. for several minutes to remove the solvent remaining in the film.

次に、この薄膜にメタルハライドランプより紫外線を照
射し、約1100nの厚さのアクリレート系紫外線硬化
樹脂製中間層とした。
Next, this thin film was irradiated with ultraviolet rays from a metal halide lamp to form an intermediate layer made of an acrylate ultraviolet curing resin with a thickness of about 1100 nm.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

〈第11実験例〉 ポリカーボネート製基板の信号パターン面に、スピン塗
布法によりテトラブチルスズを含有したアクリレート系
紫外線硬化樹脂製の中間層を形成した。具体的な中間層
形成方法は以下の通りである。
<Eleventh Experimental Example> An intermediate layer made of an acrylate ultraviolet curing resin containing tetrabutyltin was formed on the signal pattern surface of a polycarbonate substrate by spin coating. A specific method for forming the intermediate layer is as follows.

まず、前記第10実験例に説明した方法によってそれと
同一のアクリレート系紫外線硬化樹脂溶液を作製した。
First, the same acrylate-based ultraviolet curing resin solution was prepared by the method explained in the 10th experimental example.

次いで、この溶液に、アクリレート系紫外線硬化樹脂に
対して約1重量%のテトラブチルスズを加え、完全に溶
解した。
Next, approximately 1% by weight of tetrabutyltin based on the acrylate-based ultraviolet curable resin was added to this solution and completely dissolved.

次いで、前記第10実験例と同様にして、スピン塗布、
ベーキング、紫外線照射を行って、約1100nの厚さ
のテトラブチルスズ含有アクリレート系紫外線硬化樹脂
製中間層を形成した。
Next, in the same manner as in the 10th experimental example, spin coating,
Baking and ultraviolet irradiation were performed to form an intermediate layer made of an acrylate ultraviolet curable resin containing tetrabutyltin and having a thickness of approximately 1100 nm.

最後に、この中間層上に、第1実施例の場合と同一の条
件の下で光磁気記録膜と誘電体膜と金属製保護膜とを順
次積層し、第1図および第2図に示した光磁気記録媒体
を作製した。
Finally, a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film were sequentially laminated on this intermediate layer under the same conditions as in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2. A magneto-optical recording medium was fabricated.

本発明に係る前記各実験例の光磁気記録媒体と、何ら防
蝕処理がなされていない光磁気記録媒体とを60℃×9
0%RH雰囲気中に放置して加速環境試験を行った。第
6図にこの加速環境試験結果を示す。このグラフの横軸
には試験時間が、また縦軸には薄膜層の反射率が目盛ら
れており、本発明に係る光磁気記録媒体のデータが実線
で、また従来例に係る光磁気記録媒体のデータが2点鎖
線で表示されている。但し、測定光は波長が780nm
のレーザであり、測定結果を示す線はそれぞれ3枚の同
種試料平均値である。
The magneto-optical recording medium of each of the above experimental examples according to the present invention and the magneto-optical recording medium without any anti-corrosion treatment were heated at 60°C x 9
An accelerated environmental test was conducted by leaving the sample in a 0% RH atmosphere. Figure 6 shows the results of this accelerated environmental test. The horizontal axis of this graph is the test time, and the vertical axis is the reflectance of the thin film layer.The solid line is the data for the magneto-optical recording medium according to the present invention, and the data for the magneto-optical recording medium according to the conventional example. The data is shown with a two-dot chain line. However, the wavelength of the measurement light is 780 nm.
The lines showing the measurement results are the average values of three samples of the same type.

このグラフから明らかなように、樹脂製基板に何ら防蝕
処理がなされていない光磁気記録媒体は約24時間で反
射率が大幅に低下し始めるのに対し、基板に防腐触性元
素下地膜を成膜した本実施例の光情報記録媒体は、いず
れも2000時間経過後も全く反射率の低下が認められ
なかった。以上の試験結果より、本発明の光磁気記録媒
体は、薄膜層の耐食性の向上に顕著なる効果があること
が判明した。
As is clear from this graph, the reflectance of magneto-optical recording media whose resin substrates have not been subjected to any anti-corrosion treatment begins to decrease significantly after about 24 hours, whereas No decrease in reflectance was observed in any of the coated optical information recording media of this example even after 2000 hours. From the above test results, it was found that the magneto-optical recording medium of the present invention has a remarkable effect on improving the corrosion resistance of the thin film layer.

なお、前記各実験例においては、樹脂製基板としてポリ
カーボネート製基板を例にとって説明したが、エポキシ
樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルペンテン
、ポリオレフィン等、他の樹脂製基板についても同様の
効果がある。
In each of the above experimental examples, a polycarbonate substrate was used as an example of the resin substrate, but similar effects can be obtained with other resin substrates such as epoxy resin, polymethyl methacrylate, polymethyl pentene, and polyolefin.

また、前記各実験例においては、薄膜層が光磁気記録膜
と誘電体膜と金属製保護膜の3層構造に形成された光磁
気記録媒体を例にとって説明したが、第3図ないし第5
図に示したような他の薄膜構造を有する光磁気記録媒体
についても同様の効果がある。
Furthermore, in each of the above experimental examples, explanations have been given by taking as an example a magneto-optical recording medium in which the thin film layer is formed in a three-layer structure consisting of a magneto-optical recording film, a dielectric film, and a metal protective film.
Similar effects can be obtained with magneto-optical recording media having other thin film structures as shown in the figure.

また、前記各実施例においては、腐蝕性元素として塩素
の影響のみについて説明したが、このほか例えばイオウ
やフッ素などに起因する金属層の腐蝕にも同様の効果が
ある。
Further, in each of the above embodiments, only the influence of chlorine as a corrosive element has been described, but a similar effect is also exerted on corrosion of a metal layer caused by, for example, sulfur or fluorine.

本発明の要旨は、樹脂製基板と光磁気記録膜との間に腐
蝕性元素を透過しにくい材料をもって中間層を形成した
点にあるが、これに加えて、他の防蝕処理を組合せるこ
とは任意に行い得る。他の防蝕処理としては、■基板に
、酸素プラズマ、スパッタエッチ、グロー放電、電子ビ
ーム、紫外線などのエネルギを照射する。■基板にベー
キング処理を施す、■基板材料としてもともと腐蝕性元
素の含有率が低いものを選択する、といった手段がある
The gist of the present invention is that an intermediate layer is formed between the resin substrate and the magneto-optical recording film using a material that is difficult for corrosive elements to pass through, but in addition to this, other anti-corrosion treatments may be combined. can be done arbitrarily. Other anticorrosion treatments include: (1) irradiating the substrate with energy such as oxygen plasma, sputter etching, glow discharge, electron beam, and ultraviolet rays; There are two methods: 1. Baking the substrate; 2. Selecting a material with a low content of corrosive elements as the substrate material.

さらに、樹脂製基板の光ビーム入射面に、例えばガラス
など、不透水性にして樹脂製基板よりも高硬度の層を前
記中間層と併せて形成することもできる。
Furthermore, a water-impermeable layer made of glass or the like and having a higher hardness than the resin substrate can be formed on the light beam incident surface of the resin substrate together with the intermediate layer.

その他、前記実施例に示した光磁気記録媒体を2枚貼り
合せて両面記録形の光磁気記録媒体としたり、光磁気記
録媒体にマグネットクランプ用のハブを付設する等の手
段については、必要に応じて適宜採用することができる
In addition, measures such as laminating two magneto-optical recording media shown in the above embodiment to form a double-sided recording type magneto-optical recording medium, or attaching a hub for magnetic clamping to the magneto-optical recording medium may be provided as necessary. It can be adopted as appropriate.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によると、樹脂製基板から
の腐蝕性元素のしみ出しを防止もしくは著しく制限する
ことができる。よって、高温高湿雰囲気中に放置しても
光磁気記録膜と腐蝕性元素との化学反応が起らないか、
あるいはこれらの化学反応の進行速度が遅くなり、光磁
気記録媒体の寿命を格段に延長することができる。
As explained above, according to the present invention, seepage of corrosive elements from a resin substrate can be prevented or significantly restricted. Therefore, even if left in a high-temperature, high-humidity atmosphere, there is no chemical reaction between the magneto-optical recording film and corrosive elements.
Alternatively, the progress speed of these chemical reactions is slowed down, and the life of the magneto-optical recording medium can be significantly extended.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は全て本発明を説明するためのものであって、第1図
は光磁気記録媒体の一例を示す断面図、第2図〜第5図
は薄膜層の各種積層構造を示す要部断面図、第6図は本
発明の詳細な説明するグラフである。 1・・・・・・樹脂製基板、2・・・・・・中間層、3
・・・・・・薄膜層、4・・・・・・光磁気記録膜、5
・・・・・・誘電体膜、6・・・・・・金属製保護膜、
7・・・・・・プリグループ、8・・・・・・プリピッ
ト、9・・・・・・金属製反射膜、10・・・・・・樹
脂製保護膜、11・・・・・・第1誘電体膜、12・・
・・・・第2誘電体膜。 第1図 第2図 第3 図 第4 図 第5 図 第6 図 試験時間(H「)
The figures are all for explaining the present invention, and FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a magneto-optical recording medium, and FIGS. 2 to 5 are main part cross-sectional views showing various laminated structures of thin film layers. , FIG. 6 is a graph illustrating the invention in detail. 1...Resin substrate, 2...Intermediate layer, 3
...Thin film layer, 4... Magneto-optical recording film, 5
...Dielectric film, 6...Metal protective film,
7... Pre-group, 8... Pre-pit, 9... Metal reflective film, 10... Resin protective film, 11... First dielectric film, 12...
...Second dielectric film. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Exam time (H'')

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光磁気記録膜を腐蝕する腐蝕性元素が混入された
樹脂製基板の信号面に、少なくとも1層の光磁気記録膜
を含む薄膜層を形成して成る光磁気記録媒体において、
前記樹脂製基板と薄膜層との間に、前記腐蝕性元素を含
有せず、かつ前記腐蝕性元素の透過を妨げる物質から成
る中間層を設けたことを特徴とする光磁気記録媒体。
(1) In a magneto-optical recording medium in which a thin film layer containing at least one magneto-optical recording film is formed on the signal surface of a resin substrate mixed with a corrosive element that corrodes the magneto-optical recording film,
A magneto-optical recording medium characterized in that an intermediate layer is provided between the resin substrate and the thin film layer and is made of a substance that does not contain the corrosive element and prevents the corrosive element from passing through.
(2)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記中
間層を、塩素、イオウ、およびフッ素から選択された少
なくとも1種類の腐蝕性元素を含有せず、かつ塩素、イ
オウ、およびフッ素から選択された少なくとも1種類の
腐蝕性元素の透過を妨げる物質にて形成したことを特徴
とする光磁気記録媒体。
(2) The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the intermediate layer does not contain at least one corrosive element selected from chlorine, sulfur, and fluorine, and is selected from chlorine, sulfur, and fluorine. 1. A magneto-optical recording medium characterized in that it is formed of a substance that prevents the transmission of at least one corrosive element.
(3)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記中
間層を、窒化シリコン(Si_3Nx、但し、3<x<
4)、酸化シリコン(SiOx、但し、1<x<2)、
スチレンのプラズマ重合体、ポリエチレン、ポリビニル
アルコール、硝酸セルロース、アクリレート系紫外線硬
化樹脂から選択された少なくとも1種類の物質を用いて
形成したことを特徴とする光磁気記録媒体。
(3) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, the intermediate layer is made of silicon nitride (Si_3Nx, where 3<x<
4), silicon oxide (SiOx, 1<x<2),
1. A magneto-optical recording medium characterized in that it is formed using at least one substance selected from styrene plasma polymer, polyethylene, polyvinyl alcohol, cellulose nitrate, and acrylate ultraviolet curing resin.
(4)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記中
間層中に、前記腐蝕性元素と結合しやすい少なくとも1
種類の物質を添加したことを特徴とする光磁気記録媒体
(4) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, in the intermediate layer, there is at least one element that easily combines with the corrosive element.
A magneto-optical recording medium characterized by adding various kinds of substances.
(5)請求項4記載の光磁気記録媒体において、前記腐
蝕性元素と結合しやすい物質として、テトラブチルスズ
および酢酸鉛のうち少なくともいずれか一方の物質を前
記中間層中に添加したことを特徴とする光磁気記録媒体
(5) The magneto-optical recording medium according to claim 4, wherein at least one of tetrabutyltin and lead acetate is added to the intermediate layer as a substance that easily combines with the corrosive element. magneto-optical recording medium.
(6)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記薄
膜層が、前記中間層側より、光磁気記録膜と、前記樹脂
製基板よりも高屈折率の誘電体にて形成される誘電体膜
と、金属製保護膜とから成る3層構造になつていること
を特徴とする光磁気記録媒体。
(6) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, the thin film layer includes, from the intermediate layer side, a magneto-optical recording film and a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate. A magneto-optical recording medium characterized by having a three-layer structure consisting of a film and a metal protective film.
(7)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記薄
膜層が、前記中間層側より、光磁気記録膜と、前記樹脂
製基板よりも高屈折率の誘電体にて形成される誘電体膜
と、金属製反射膜と、樹脂製保護膜とから成る4層構造
になつていることを特徴とする光磁気記録媒体。
(7) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, the thin film layer includes, from the intermediate layer side, a magneto-optical recording film and a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate. A magneto-optical recording medium characterized by having a four-layer structure consisting of a film, a metal reflective film, and a resin protective film.
(8)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記薄
膜層が、前記中間層側より、前記樹脂製基板よりも高屈
折率の誘電体にて形成される第1誘電体膜と、光磁気記
録膜と、前記第1誘電体膜と同様の材料にて形成される
第2誘電体膜と、金属製保護膜とから成る4層構造にな
つていることを特徴とする光磁気記録媒体。
(8) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, the thin film layer includes, from the intermediate layer side, a first dielectric film formed of a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate; A magneto-optical recording medium having a four-layer structure consisting of a magnetic recording film, a second dielectric film made of the same material as the first dielectric film, and a metal protective film. .
(9)請求項1記載の光磁気記録媒体において、前記薄
膜層が、前記中間層側より、前記樹脂製基板よりも高屈
折率の誘電体にて形成される第1誘電体膜と、光磁気記
録膜と、前記第1誘電体膜と同様の材料にて形成される
第2誘電体膜と、金属製反射膜と、樹脂製保護膜とから
成る5層構造になつていることを特徴とする光磁気記録
媒体。
(9) In the magneto-optical recording medium according to claim 1, the thin film layer includes, from the intermediate layer side, a first dielectric film formed of a dielectric material having a higher refractive index than the resin substrate; It has a five-layer structure consisting of a magnetic recording film, a second dielectric film made of the same material as the first dielectric film, a metal reflective film, and a resin protective film. magneto-optical recording medium.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI470750B (en) * 2012-05-24 2015-01-21 Univ Nat Taipei Technology A heat dissipation device for transparent atom trapping chip

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