JPH03134501A - 座標測定機の検出ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば座標測定機用の検出ヘッドであって、
検出ピンを担持する部材を備えており、該部材は、複数
の案内部を介して三次元の全方向に可動的に支承されて
いて、そして該部材には変位運動を検出する測定システ
ムが関係付けられている検出ヘッドに関する。 ［従来の技術］ この種の″測定〜型の検出ヘッドは、ケーシングに対す
る検出ピンの相対運動を変位運動の問も、即ち接触状態
においても認識することが可能であり、したがって座標
測定機の計算機は、測定機械のスケールによって与えら
れた位置の測定値に変位量を加算し、それでもって機器
の測定容積中の検出域の位置を任意の時点で特定するこ
とができる。それゆえ前記検出ヘッドは持にいわゆｊ走
査法に適しており、この場合測定すべき工作物は、その
表面に沿って継続的に宿触・しつつ滑動する検出ピンに
よって走査される。 それゆえ工作物と最初に接触した瞬間にのみトリガ信号
を供給する一切換え型の検出ヘッドとは対照的に、前記
−測定″検出ヘッドは、検出ピンを可動的に支承する案
内部に関係付けられｆＳ　ｆｐ４えば可動コイル又は光
電走査式スケールの形式の少なくとも３つの直線測定シ
ステムを大抵有している。 測定型の公知の検出ヘッドの案内部は、大抵座標測定機
自体の案内部と同様に、デカルト座標系の軸に沿って方
向付けられ、かつ互いに重ねて構成されている。即ちＸ
−案内部はｙ−案内部を担持し、更にｙ−案内部上には
２−案内部が装着されている。この種の検出ヘッドは例
えば米国特許第３８６’　９７９９号明苧書に開示され
ている。そこでは案内部は、互いに取付けられた弾性四
辺体として構成されている。米国特許第４６１１４０３
号明細書に開示された検出ヘッドも原理的に極めて類似
した構造を有している。しかしながらその検出ヘッドの
場合、案内部の摩擦は１重なり合って滑動する部材間の
空気軸受によって零になっている。 前記構造によれば、個々の座標方向の可動質量は異なる
大きさである。なぜなら少なくとも１つの案内部は、他
の２つの座標方向のための案内部材を同時に担持しなけ
ればならないからである。それに応じて個々の軸線に沿
った動的な特性も非常に異なっており、その結果特に迅
速な走査−運転の際には、検出ピンと工作物との間にさ
まざまな力が発生する。前記測定力の変動によって測定
精度が低下せしめられる。 西独国特許発明第３２３４４７１号明細書には、検出ピ
ンを２自由度を持つ平坦な案内部上で２つの座標方向に
関して可動的に支承している検出ヘッドが開示されてい
る。しかしながらこの例においても、該当する平面に対
して垂直な方向の第３の案内部は前記平坦な案内部の上
に載置されており、その結果再び異なる可動質量が個々
の案内方向に沿って生じている。その上前記検出ヘッド
は、２自由度を持つ案内部の平面内での外輪上の検出ピ
ンの不測のねじれを排除するために、付加的なねじれ防
止装置を必要とする。前記ねじれ防止装置は測定精度の
決定に関与するので、同様に非常に正確に構成しなけれ
ばならない、したがってこれは僅かとは言えない付加的
なコストを意味している。 ［発明が解決しようとしている課題］ 本発明の課題は、全ての変位方向に関して本質的に同一
の可能なかぎり小さな質量を有する測定型の検出ヘッド
を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 前記課題は、請求項１の特徴部分に記載の事項にしたが
って、前記可動部材が、互いに独立的に直線的に案内さ
れた少なくとも３つの中間体において間接的に可動的に
支承されていることにより解決される。 本発明によれば前記案内部はつまり互いに重ねて配置さ
れるのではなく、３つ又は４つのいわば″隣接配置され
た″補助案内部がそこに備えられるのであって、その結
果全ての変位運動に関して同一の可動質量を有する全体
として完全に対称的な構造が実現される。それに応じて
前記補助案内部の方向は、直交座標系の３つの空間方向
と必ずしも一致する必要はなく、有利には互いに平行に
配置することができ、その結果検出ヘッドのコンパクト
でスリムな構造が得られる。 その上対称的な構造ゆえに、非常に多数の同じ部材を使
用することが可能である。これは製造を簡単にするとと
もに、検出ヘッドを安価にする。 検出ヘッドの可動部材を直線的に案内される中間体の上
に間接的に位置せしめる支持構造は、可動部材の位１が
あらゆる調整運動に際して中間体の特定の位置に一義的
に関係付けられるように構成されている。即ちこの場合
には、中間体の運動を検出し得るように、測定システム
の能動的部分を検出ヘッドのケーシング内に固定的に配
置すること、並びにそれから検出ピンの位置を算出する
ことが極めて簡単になるのである。 検出ヘッドの可動部材を支承するために、合目的的には
、互いに角度的に調節された３つの平坦な表面が同可動
部材に備えられており、同表面をもって同可動部材は各
中間体の対応する対向面に沿って案内される。この場合
前記案内表面は、ケーシングに固定された部材における
中間体の直線案内部と同様に、ガスないし空気軸受によ
って摩擦無しにすることができる。しかしながら、可動
部材を、直線的に案内された３つの中間体においてそれ
ぞれ２つの接触点を介して支承することも可能である。 全部で６個の接触点によって、検出ヘッドの可動部材の
位置は同様に常に一義的に決定され、そして各接触点を
例えば各表面間で転勤するボールとして構成することに
より、いずれにせよ摩擦を十分に回避することができる
。 中間体における可動部材の案内性は、各部材を当接せし
めるところの初期荷重に依存している。前記初期荷重（
例えばいわゆる自己吸込み式の空気軸受がそれを可能に
する。）が、中間体における可動部材の軸受自体によっ
て生ぜしめられない限りは、可動部材と中間体との間の
少なくとも３つの軸受を事前に付勢するために有効な別
の軸受を、検出ヘッドの可動部材のために用意しなけれ
ばならない、ここでは特に有利には、前記第１の少なく
とも３つの軸受の初期荷重を同数の別の軸受によって発
生させており、この場合前記別の軸受は、検出ヘッドの
可動部材における対応する表面によって構成されており
、同各表面は前記第１の軸受の各表面に対して平行であ
る。この場合には案へ部の初期荷重の大きさを測定力と
無関係に調節することができる。 有利な実施形態においては、中間体を駆動するところの
例えば空圧ピストン又は可動スプールのような力発生機
に基づいて前記測定力を積極的に生ぜしめることができ
る。またこのような積極的な測定力の調整は、例えば工
作物に向かって移動する際に検出ピンを特定方向へ事前
に変位させ、それでもって自由移動性を高めること、並
びに測定すべき工作物の表面に沿ってどの方向で走査さ
れるかに応じて、特定の変位方向を比較的柔軟に又は硬
直的に調節することを可能にするものである。 本発明のその他の利点は、添付された第１〜７図に基づ
〈実施例の以下の説明から明らかになる。 ［実施例］ 第１ａ図ないし第１ｂ図に示された検出ヘッドは、１側
面に向かって開口したシリンダ状のケーシング（１）を
有しており、同ケーシング内に同心的に同じく不動のリ
ング（２）が装着されている。前記リング（２）からは
、周囲に角度的に１２０°ずらして取付けられた３つの
案内部材＜２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）がケーシング（１
）の開口に向かって突き出ている。各２つの案内部材（
２０）の内側に向けられた側面は、検出機の縦軸線に沿
って空気軸受を介して摺動する案内片（１９ａ、１９ｂ
、１９ｃ）のための直線案内部を構成している。前記案
内片（１９）は六角形の角柱であって、この場合向３つ
の案内片（１９ａ〜ｃ）の、ケーシング（１）の下面の
開口に面した各底面は、検出機の縦軸線に対しである角
度で面取りされるとともに、１つの四面体形状の空間を
限定している。 前記各面には固有の検出ピン支持体（３）が隣接してお
り、同支持体の上側面はそれに応じて同様に四面体の形
状又は六面体の角部の形状を有している。検出ピン支持
体（３）は検出ヘッドの固有の可動部材であって、その
下側面において検出ピン受容部（１３）を担持している
。 前記検出ピン受容部には検出ピン（１１）が交換円板（
１２）をもって隣接している。受容部く１３）ないし交
換円板（１２）の形状及び動作Ｂ様については詳細には
説明しない、むしろこれに関しては米国特許第４６３７
１１９号明細書を参照されたい。 直線的に移動する案内片（１９ａ〜ｃ）は、リング（２
）内に装着された圧力媒体シリンダによって付勢されて
おり、そのピストン（１６ａ　−ｃ　）は案内片（１９
ａ〜ｃ）の上側面に取付けられている。各ピストン（１
６ａ　”　ｃ　）をシリンダ内壁に対して密封するとこ
ろのベローズが符号（１７ａ〜ｃ）で示されている。 前記各圧力媒体シリンダから、ピストン（１６ａｚｃ）
を貫通して延びる通路（１８ａ〜ｃ）を介して、検出ピ
ン支持体（３）を案内片（１９ａ　−ｃ　）の傾斜面に
おいて支えるところの空気軸受並びに案内片（１９ａ〜
ｃ）を案内部材（２０ａ〜ｃ）の表面において滑動的に
支えるところの空気軸受に給気が行われる。 検出ピン支持体（３）と案内片（１９ａ〜ｃ）の間で空
気軸受を付勢するために、同検出ピン支持体（３）は、
その上面にねじ込まれた引張りロッド（４）を介して円
板（５）と結合している。前記円板の下側面には、同様
に１２０′ずつずらして配置された３つの加圧ピストン
（６ａｚｃ）が、相応の加圧シリンダ内でベローズ（７
ａ〜ｃ）によって密封されて案内されている、この場合
引張りロッド（４）は、ケーシングに固定されたリング
（２）の中心開口（１０）を貫通している。ピストン（
６ａ〜ｃ）は環状の板（９）において支えられており、
同板は、３個の空気軸受によって、リング（２）の上側
面において検出機の縦軸線に対して直角に浮動するよう
に支承されている。前記空気軸受には同様にリング（５
）の加圧シリンダによってピストン（６ａ〜ｃ）内の通
路（８ａ〜ｃ）を介して給気が行われる。圧力媒体シリ
ンダへの給気管路は見通しを良くするために図示の実施
例においては省略されている。 案内片（１９ａ〜ｃ）のケーシング（１）に面した側面
にはガラススケール（１５ａ〜ｃ）が接着されており、
同ガラススケールは、ケーシング（１）の内側面の対応
する走査ヘッド（１４ａ　−ｃ　）によって走査される
。前記３つの長さ測定システム（１４ａ／１５ａ、１４
ｂ／１５ｂ、１４ｃ／１５ｃ）に基づいて、検出機の縦
軸線の方向に沿った案内片＜１９ａ〜ｃ）の下側におけ
る３つの四面体表面の位置が正確に特定される。 前記検出ヘッドの動作Ｒａ！は次の通りである。 圧力媒体シリンダによって３つのピストン（１６ａ〜ｃ
）に及ぼされる圧力を同一の値に設定し、かつ付属部材
を含む検出ピン支持体（３）の重量を補償する分だけ更
に圧力媒体シリンダ（６ａ　−ｃ　）の圧力を高めれば
、検出ピン支持体（３）を、図示の位置にほぼ相当する
ところの中心位置に極めて簡単に保持することができる
。検出過程の途中で検出ピン支持体（３）は工作物と検
出ピン（１１）との接触により移動せしめられる。この
場合検出ピン支持体は、一方では案内片（１９ａ％Ｃ）
の傾斜面に沿って摺動し、他方では同案内片をその直線
案内部に沿って検出機の縦軸線の方向に移動せしめる。 これは案内片（１９ａ、１９ｂ）における相応の矢印に
よって示唆されている。測定システム（１４ａ〜ｃ／１
５ａ〜ｃ）は、案内片（１９ａ　−ｃ　）の前記移動を
測定する。この３つの測定値から、検出ピン支持体（３
）の位置が、滑り面の傾斜によって与えられた線形関係
に対応して常に一義的に算出される。これは、検出ピン
支持体（３）の面と案内片（１９ａ＝ｃ）の面が互いに
接触し続けること、ないし該当する空気軸受の隙間が一
定に保たれること（これは引張りロッド（４）と結合し
ている部材（５〜９）に基づいて付勢することにより保
証されている。）を前提としている。 この点に関して更に説明すると、検出ピン支持体（３）
と案内片（１９ａ〜ｃ）の各面間の空気軸受にいわゆる
自己吸込み空気軸受を使用する場合には、前記のように
付勢する必要はなくなり、したがって部材（５〜９）を
省略することができる。前記自己吸込み空気軸受は、空
気供給管路の他に、軸受に隣接する表面領域に負圧を発
生させるための吸込み管路を付加的に有している。この
空気軸受は特に米国特許第４５５８９０９号明細書に記
載されている。 第２ａ図には、多くの点で変更された検出ヘッドの択一
的な実施例が示されている。符号（２１）で示された固
定のケーシング内に、検出ピン（３１）の方向に突出す
る１２０°ずつずらされた３本の支持棒（３３）を介し
て、平坦な表面を有する板（２２）を保持するところの
保持部材が組込まれている。前記表面上において、加圧
シリンダのベローズ〈２７）によってシールされたピス
トン（２６）が空気軸受（２９）により浮遊している。 前記加圧シリンダは板（２５）の中心孔によって構成さ
れており、同板において、同様に検出ピン（３１）に向
かって下方へ突き出る４本の指状の支持棒を介して、検
出ヘッドの可動部材、即ち検出ピン支持体（２３）が吊
り下げられている。前記構成において、可動部材の３本
の支持棒（３３）は、板（２５）の相応の大きな寸法の
３つの開口（３０）を貫通し、これによって可動の検出
ピンの横方向の移動を許容している。 検出ピン支持体（２３）のケーシングに面している側に
は、逆四辺形ピラミッド状の窪みを構成するところの、
検出ピンの軸線に対して傾斜した４つの斜面が設けられ
ている。この４つの斜面上に４つの案内片（３９ａ〜ｄ
）の対向面が載置されている。この場合も、検出ピン支
持体（２３）の４つの斜面と案内片の対向面との間に空
気軸受が配置されている。この構成は通路（３８ａ〜ｄ
）によって示唆されている。 案内片（３９ａ〜ｄ）は、４本の指状の案内部材（４０
ａ〜ｄ）の表面付近において検出ピンの軸線に沿って直
線的に案内されている。案内片（３９ａ〜ｄ）には同様
に再び加圧シリンダが関係付けられており、この場合対
応するピストンは符号（３６ａ〜ｄ）で、そしてダイア
フラムは符号（３７ａ〜ｄ）で示されている。前記加圧
シリンダは支持板（２２）の下側面の穴によって構成さ
れている。 更に前記支持板（２２）の下側面には同心的に支持部材
（３２）がねじ込まれており、同支持部材は、検出ピン
側の端部において、案内片（３９ａ　−ｄ　）に接着さ
れたスケール（３５ａ〜ｄ）のための、ケーシング（３
４）内に取付けられた４つの読取ヘッドを備えている。 第１ａ図の場合と逆の配置の前記傾斜した各案内面の利
点は、横方内に突出する検出ピン（３１ｂないし３１ｃ
）をもって工作物に紙平面側から接触するような場合の
検出ピンのねじり運動に対する比較的高い剛性にあると
思われる。 このような比較的高いねじり剛性は、４本の案内部材（
４０ａ　−ｄ　）の間で空気軸受を介して案内された案
内片（３９ａ〜ｄ）のねじり力が同案内部材（４０ａ　
−ｄ　）の表面に対して垂直に指向することにより生ず
る。その他の利点は案内片の４位置での対称性に根拠が
ある。この場合案内片の運動は、検出ヘッドが取付けら
れている測定機のデカルト座標系に単純に関係付けられ
る。更に、適当なロック機構によって例えば向かい合っ
ている一対の案内片（３９ａ／３９ｃ又は３９ｂ／３９
ｄ）の相対運動を防止することにより、個々の変位方向
を機械的に拘束することが可能である。これは２つの水
平座標ｘ、ｙの拘束に相当する。 第２ａ図及び第２ｂ図に示された検出ヘッドの動作態様
は、本質的には第１ａ図及び第１ｂ図のものと一致する
。案内片（３９ａ〜ｄ）の傾斜した下側面と検出ピン支
持体（２３）の対向面との間の各空気軸受は、逆向きの
力を及ぼす単一のピストン（２６）と関係しつつ加圧ピ
ストン（３６ａ〜ｄ）を通じて互いに支え合い、それで
いて各表面の摩擦のない滑りを許容している。検出ピン
支持体（２３）が中央位置に存在するか又は測定すべき
工作物の方向に前もって向けられるように圧力が調節さ
れる。工作物との接触により検出ピンないし検出ピン支
持体（２３）が移動すると、同検出ピン支持体（２３）
の横運動に際して案内片（３９ａ　−ｄ　）が同検出ピ
ン支持体（２３）の表面上で滑動して、上下運動を実行
する。その運動が測定システム（３４ａ　〜ｄ　／　３
５　ａ　〜ｄ　）によって把握される。 第３ａ図及び第３ｂ図の実施例には、第１ａ図のものと
比較してほんの僅かに変更された検出ヘッドが示されて
いる。それゆえ同図においては、同一ないし機能的に同
等の部材に対して、同一の参照数字にその都度１００を
加えた数字が使用されている。それゆえ単に第１ａ図の
検出ヘッドと比較した相違点ないし利点を述べるだけで
十分である。 第３ａ図の検出ヘッドの場合加圧ピストンとしてボール
（１１６ａ、ｂ、ｃ）が使用されており、同ボールは、
案内片（１１９ａ　＝　ｃ　）の上側面の磨き仕上げさ
れた端面（１２４ａ〜ｃ）をその都度点状に押圧する。 これは多くの利点を有する。１つには空気が加圧シリン
ダがら側面的にボールの付近を通過して流れるために同
ボールは完全に摩擦なしで移動し、そして傾くことも排
除されている。その結果直線的に案内される案内片（１
１９ａ〜ｃ）には横向きの力は全く作用しない、その上
この種の加圧ピストンにおいては圧力媒体シリンダから
空気が常に漏洩しているので、シリンダ内の圧力を供給
された空気量に基づいて非常に細かくＩＩＩ御すること
が可能である。 その他の変更は、検出ピン支持体（１０３）を案内片（
１１９ａｚｃ）の表面に付勢するために利用されるとこ
ろの、検出ヘッドの領域に認められる。このために同様
にボール状の３個の加圧ピストン（１０６ａ〜ｃ）が備
えられており、同加圧ピストンはリング（１０２）の上
側面の対応するシリンダ内に挿入されている。 前記ボール（１０６ａ〜ｃ）上にリング（１０９）が縦
方向に可動的に位置している。前記リング（１０９）上
では、引張りロッド（１０４）を介して検出ピン支持体
（１０３）と結合している板（１０５）が再び同様に浮
遊している。 このような構成は、全ての圧力媒体シリンダが検出ヘッ
ドの固定部分に取付けられていて、その結果検出ヘッド
の可動部材用の、望ましくない反力を可動部材に及ぼす
であろうと思われる柔軟な供給管路を全く必要としない
という利点を有する。この種の柔軟な供給管路が検出ヘ
ッドの空気軸受用として必要になることもない。 なぜなら、検出機の縦軸線に沿って案内片（１１９ａｚ
ｃ）を案内するところの空気軸受用の供給管路は、リン
グ（１０９）を案内するための空気軸受用の供給管路と
同様に、ケーシングに固定された部材（１２０ａ〜ｃな
いし１２１ａ〜ｃ）内でのみ延長しているからである。 案内片（１１９ａｚｃ）において検出ピン支持体（１０
３）を滑動せしめるところの空気軸受は、ケーシングに
おいて案内片（１１９ａ〜ｃ）を案内している軸受圧力
をもって直接給気される。 これは第３ｂ図の斜視図から明らかである。それによれ
ば、軸受部材（１２０ａ）（第３ａ図）内の空気ノズル
（１３２ａ及び１３３ａ）近傍の案内片の前記表面の２
つの案内面（１３０ａ及び１３０ｂ）内にそれぞれ１つ
のスリット（１３１ａないし１３１ｂ＞が設けられてい
る。前記スリットは案内方向に沿って延びている。前記
各スリットから案内片の前記表面の傾斜面の２つの空気
ノズル（１３４ａないし１３４ｂ）へ管路が通じている
。 可動リング（１０９）の上側面の空気軸受に給気するた
めに、全く同一の手段が選択されている。前記リング上
で、検出ピン支持体（１０３）を支えるために使用され
る円板（１０５）が浮遊している。 検出ヘッドの全ての空気軸受に給気するために、ケーシ
ング（１０１）の外側には接続部材（１３７）が設けら
れている９部材（１０２＞内で環状に延びている通路（
１４０）は、リング（１０９）の軸受用の給気管路と案
内片（１１９ａ　−ｃ　）用の給気管路とを接続してい
る。 検出ヘッドの上部分のボール状のピストン（１０６ａ　
−ｃ　）のための３つの加圧シリンダは１つの接続部材
（１３８）によって共通的に給気される。これに対して
案内片（１１９ａ〜ｃ）を付勢するところのボール（１
１６ａ〜ｃ）用の加圧シリンダは、個別の供給管路（１
３６ａ〜ｃ）に個別的に接続されている。 これは−１第５図における検出ヘッドの空圧的／を気的
制御回路のためのブロック接続図から明らかである。同
図において、空圧シリンダ（１０２ａ、ｂ、ｃ）（同シ
リンダ内においてボール状ピストン（１１６ａ、ｂ、ｃ
）が滑動する。）用の供給管路は符号（１３６ａ、ｂ、
ｃ）によって表示されている。シリンダ（１ｏ２ａ、ｂ
、ｃ）内の圧力を制御し、それによってピストン（１１
６ａ〜ｃ）が案内片（１１９ａ〜ｃ）に及ぼすところの
力を制御するために、各々の管路（１３６ａ〜ｃ）には
、別々に電気的に制御可能な制御弁（１３５ａ〜ｃ）が
接続されている。各制御弁（１３５ａ〜ｃ）は、案内片
（１１９ａ〜ｃ）の位置を測定するところの測定システ
ム（１１４ａ／１１５ａないし１１４ｂ／１１５ｂない
し１１４　ｃ　／　１１５　ｃ　）と組になって位置制
御回路内に存在している。 即ち各々の案内片（１１９ａｚｃ）は１つの個別の制御
回路内に組込まれている。３つの制御回路のコア部分は
、制御に必要な調整量をデータ通信線を介して座漂測定
機の計算ｆｉ（１２７）から得るところのマイクロプロ
セッサ（１２５）である、前記調整量は、例えば、設定
されるべき測定システムの零点である。前記零点に基づ
いて、測定すべき工作物に向かう検出ピン支持体（１０
３）の任意の事前変位をも調節することができる。 検出ピン支持体（１０３）と案内片（１１９ａ〜ｃ）間
の支承面を付勢するところの３個のボール状の加圧ピス
トン（１０６ａ〜ｃ）は加圧シリンダ（１０２ｄ、ｅ、
ｆ）内で案内されている。前記加圧シリンダは調整弁（
１３９）を介して給気圧力ｐＯに共通的に接続されてお
り、また同給気圧力をもって３つの制御弁（１３５ａ〜
ｃ）にも給気が行われている。静止状態において、支持
体（１０３）の検出ピンが力を受けずに零点で保持され
ている場合、圧力媒体シリンダ（１０２ａ＝ｃ）内の圧
力は、検出ピン支持体と検出ピンの重量を補償し得る値
を除けば、シリンダ＜１０２ｄ〜ｆ）内の圧力と同一で
ある。交換された異なる検出ピンの重量への適合は、オ
フセットを制御することによって、即ち３つの制御弁（
１３５ａ〜ｃ）による空気流通量の基本調整によっても
たらされる。 マルチプレクサ（１２４）を介して全ての３つの制御回
路に接続されているマイクロプロセッサ（１２５）は、
同マルチプレクサ（１２４）を介して時間多重運転中に
３つの計数器（１２３ａ、ｂ、ｃ）の示度を調べる。前
記計数器の示度は、測定システム＜１１４ａ〜ｃ／１１
５ａ＝ｃ）によって求められるような、案内片（１１９
ａ〜ｃ）の実際位置をその都度表している。 更にマイクロプロセッサ（１２５）は、測定された位置
の値と計算機（１２７）によって与えられた目標値との
目標／実際比較を行い、そこから３つの制御弁（１３５
ａ〜ｃ）の調整量を算出し、そして第２のマルチプレク
サ（１２６）と３つの制御回路に付属の３つのデジタル
／アナログ変換器（１２８ａ〜ｃ）を介して、前記制御
弁（１３５ａ〜ｃ）を制御する増幅器（１２９ａ〜ｃ）
に相応の信号を供給する。 マイクロプロセッサ＜１２５）内には、３つの制御回路
のためにパラメータが別々にファイルされており、同パ
ラメータによって３つの制御回路の各々の制御特性が決
定される。これは第５図のマイクロプロセッサ（１２５
）内の異なる傾きをもって示された３つのグラフによっ
て象徴されている。制御曲線の傾斜の緩急に基づいて、
加圧ピストン（１１６ａ〜ｃ）から案内片（１１９ａ〜
ｃ）に及ぼされ、それでもって工作物との接触時の変位
運動に対する反作用として検出ピン支持体（１０３）に
及ぼされるところの対向力の柔軟性ないし硬直性が調整
される。このようにして例えば、特に″硬質の一反動特
性を個別の変位方向に付加することにより、同変位方向
を電子的に“クランプ〜することが可能である。更に制
御曲線に基づいて、接触力、即ち測定時に検出ピンと工
作物との間で作用する当接力を調節することができる。 これに相応するパラメータをマイクロプロセッサ（１２
５）は同様に座標測定機の計算！１！（１２７）から受
信する。ここで指摘すべきことは、検出ピン支持体（１
０３）に様々な方向から及ぼされる反力を前述のように
積極的に制御することによって、検出ヘッド（１０１）
を様々な空間方向において調節すること、そしてそれで
もなお検出システムの零点を維持することが更に可能で
あるということである。その上前記システムは十分に迅
速であって、三次元的な旋回運動中の変動モーメントに
対しても応答する。 以上の実施例においては、案内片と検出ピン支持体の対
応する表面との間に常に空気軸受が使用されている。勿
論、第４図の拡大図に明示されているように、空気軸受
に代えて転がり軸受を使用することも可能である。この
場合２つのボール（４１及び４２）を例えばボール保持
器（４４）内に保持させて、案内片（４９）の下側の傾
斜面と検出ピン支持体（４３）の対応する対向面との間
に配置すれば完全に十分である。なぜなら、検出ヘッド
においては少なくとも３つの案内片が必要とされるので
、検出ピン支持体（４３）は少なくとも６箇所で支えら
れるからである。これによってボールが転動するところ
の表面が十分に平坦であることを前提に、検出ピン支持
体の位置は常に一義的に決定される。 更に、検出ピン支持体が直線的な運動のみを実施し得る
ように、案内片の支承部を構成することも必ずしも必要
ではない、検出ピンの旋回運動を３つの中間体ないし案
内片の直線運動に変換するところの相応の実施例が第６
図に示されている８表示を簡素化するために、固定の部
材ないし検出ヘッドのケーシングは取り除かれている。 しかしながらケーシング内を直線的かつ平行に移動し得
る中間体（５９ａ、ｂ、ｃ）が示されている。この中間
体はばね（６０ａ〜ｃ）によって基本位置へ付勢されて
いる。中間体（５９ａ、ｂ、ｃ）の運動は、第１〜３図
に記載されているように、同中間体（５９ａ＝ｃ）の測
定システムによって検出されよう。 各中間体（５９ａ〜ｃ）の端面には、それぞれ１対のシ
リンダ（５８ａ、５８ｂ、５８ｃ）が半径方向に沿って
埋設されている。前記３つのシリンダ対は検出ピン支持
体（５５）に軸受を提供している。検出ピン支持体は、
１２０°の間隔で半径方向外側に突出する３本の腕（５
４ａ　％　Ｃ）と同腕の端部に取付けられたボール（５
６ａ−Ｃ）とによって前記シリンダ対に当接している。 この種の軸受自体はいわゆる切換え検出ヘッド用として
公知である。しかしながらその公知例では接触過程にお
いてその都度検出ピン支持体は３つの軸受の内の少なく
とも１つの軸受において離隔するのであるが、第６図の
実施例では、検出ピン（５３）の旋回運動に際してもボ
ール（５６ａ〜ｃ）は常にシリンダ対（５８ａ〜ｃ）と
接触し続けるように配慮されている。そのために、関係
付けられている付属の中間体（５９ａ　”　ｃ　）に向
けてその都度腕（５４ａ〜ｃ）を引寄せるところの３つ
の引張りばね（５７ａ〜ｃ）が備えられている。 前記構成は、検出ピン（５３）の端部の検出球の位置と
中間体（５９ａ〜ｃ）の直線移動との一義的な関係を保
証しており、この場合に検出ピン（５３）の旋回運動は
、検出ピン支持体と中間体との間の軸受の幾何学的構造
に基づいて同３つの中間体（５９ａ〜ｃ）の直線運動に
変換される。それゆえ相応の逆算によって、ケーシング
に対する中間体（５９ａ　−ｃ　）の移動量から検出球
の位置が、ひいては旋回運動量が確実に求められる。そ
れゆえ公知の切換え検出ヘッドとは対照的に、このよう
な検出ヘッドを用いれば工作物表面の連続的な走査もま
た可能である。 第７図の実施例には、受動的に測定する検出ヘッドが示
されている。この例では固定のケーシングは符号（６１
）で示されており、そして同シリンダ状のケーシング内
に組込まれた同様に固定のシリンダ状のリング（６２）
は、検出ピンの軸線に沿って直線的に移動可能な３つの
中間体（６８ａ〜ｃ）のための案内部を含んでいる。前
記中間体＜　６８　ａ　＝　ｃ　）は、リング（６２）
の両側に配置された２つのばね対（７０ａ／７１ａ、７
０ｂ／７１ｂ、７０ｃ／７１ｃ）によって中心位置に柔
軟に保持されている。 中間体（６８ａ〜ｃ）は、検出ピン（６４）に面する側
にそれぞれＵ字形状のヨーク（６９ａ〜ｃ）を担持して
いる。前記Ｕ字形状のヨークの脚部は、検出ピンの軸線
の回りにその都度１２０°ずつ間隔をおいて半径方向に
配置されており、そして補助案内部として構成された表
面対をもって、その中に挿入された立方体状の検出ピン
支持体（６３）をそれぞれ向かい合っている立方体表面
において把持し得るように、検出ピンの軸線に対して傾
斜せしめられている。 図示の実施例では、立方体の表面とＵ字形状のヨーク（
６９ｂ）の表面との間に、ボールによって構成された二
次元的な転がり軸受が介装されている。しかしながらこ
れに代えて空気軸受を使用してもよい。 立方体を把持するＵ字形状のヨークによって、平面軸受
の初期荷重を、接触過程の間の検出ピンの回避運動に抵
抗する力とは無関係に設定することができる。なぜなら
後者の力は単にばね対（７０／７１）によって決定され
るからである。 接触過程の間に、前記立方体状の検出ピン支持体（６３
）はヨーク（６９ａ〜ｃ）の間で運動して、同ヨークを
、ひいては中間体（６８ａ〜ｃ）をも検出ピンの縦軸線
に沿って移動せしめる。前記運動は、その他の実施例に
おいて説明しているように再び測定システムによって把
握され、そして検出ピン（６４）における検出線の実際
の位置の算出に利用されることになる。 前記各実施例において、各検出ヘッド内には３つないし
４つの案内片が常に平行に移動できるように案内されて
いる。これは確かに検出ヘッドの細長い構造を可能にす
るが、必ずしも必要なものではない、案内片を、例えば
検出機の縦軸線に向かつて半径方向に可動的に案内する
こと又は検出ピン支持体の傾斜面に対して垂直に案内す
ることも同様に可能である。この場合には、検出機の軸
線に関連して、検出ヘッドのどちらかといえば短い平坦
な構成が生ずる。 をもつて、

【図面の簡単な説明】

第１ａ図は、本発明の検出ヘッドの第１の実施例の、検
出機の縦軸線を含む平面に沿った断面図、 第１ｂ図は、第１ａ図の線Ｉｂ−Ｉｂに沿った検出ヘッ
ドの断面図、 第２ａ図は、本発明の検出ヘッドの第２の実施例の、検
出機の縦軸線を含む平面に沿った断面図、 第２ｂ図は、第２ａ図の線１１ｂ−ＩＩｂに沿った検出
ヘッドの断面図、 第３ａ図は、第１ａ図と比べて若干変更された本発明の
第３の実施例の、検出機の縦軸線の平面に沿った断面図
、 第３ｂ図は、第３ａ図の中間体（１１９）の斜視図、 第４図は、第３ａ図の実施例と比べて若干変更された本
発明の検出ヘッドのための中間体の詳細断面図、 第５図は、第３ａ図の検出ヘッドのための電子−空圧制
御回路のブロック接続図、 第６図は、本発明のその他の択一的な実施例の本質的な
部分を示すところの斜視的原理図、第７図は、本発明の
第５の実施例の部分的断面図である。 １．２１，１０１・−・固定のケーシング、３：２３；
４３；５３；６３；　１０３・・・検出ピン支持体（可
動部材）、８ａ、２８．１０８ａ−通路（空気軸受）、
１４ａ〜ｃ／１５ａ〜ｃ；３４ａ　〜ｄ／３５ａ〜ｄ　
；　１１４ａ〜ｃ／１１５ａ〜ｃ・・・測定システム、
１６ａ〜ｃ　；　３６ａ〜ｄ；１１６ａ＝ｃ・・・加圧
ピストン（力発生機）、１８　ａ〜ｃ；　３８　ａ〜ｄ
　；　１１８　ａ〜ｃ；　１３４　ａ　％　Ｃ−通路（
空気軸受）、１９ａ＝ｃ；３９　　ａ　〜ｄ　　；　　
４　９　　ａ　　；　　５　９　　ａ　ヘーフ；　　６
　８　　ａ　Ｓ−ｃ　　；６９　ａ　〜ｃ　；　１１９
　ａｚｃ−案内片（中間体）、４１．４２・・・ボール
、６１・・・ケーシング（検出ヘッド）、１２０ａ〜ｃ
・・・可動部材、１３１ａ。 ｂ・−・スリット（溝）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、例えば座標測定機用の検出ヘッドにして、検出ピン
   を担持する部材を備えており、該部材は、複数の案内部
   を介して三次元の全方向に可動的に支承されていて、そ
   して該部材には変位運動を検出する測定システムが関係
   付けられているものにおいて、前記可動部材（３；２３
   ；５３；６３；１０３）は、互いに独立的に直線的に案
   内された少なくとも３つの中間体（１９ａ〜ｃ；３９ａ
   〜ｄ：５９ａ〜ｃ；６８ａ〜ｃ；６９ａ〜ｃ；１１９ａ
   〜ｃ）において間接的に可動的に支承されている、こと
   を特徴とする座標測定機の検出ヘッド。 ２、前記少なくとも３つの中間体の各案内方向は互いに
   平行である、請求項１記載の検出ヘッド。 ３、前記可動部材（３；２３；１０３）には、互いに角
   度的に調整された少なくとも３つの平坦な表面が設けら
   れており、該各表面をもって、前記可動部材が、前記各
   中間体のそれぞれ１つの対応する対向表面において案内
   されている、請求項１記載の検出ヘッド。 ４、前記平坦な表面の間にガス軸受ないし空気軸受（１
   ８ａ〜ｃ；３８ａ〜ｄ；１３４ａ〜ｃ）が配設されてい
   る、請求項３記載の検出ヘッド。 ５、前記中間体は同様に空気軸受を介して前記検出ヘッ
   ドの固定部材（１２０ａ〜ｃ）に対して直線的に案内さ
   れており、そして前記可動部材（１０３）の前記平坦な
   表面と前記中間体の前記表面との問の前記ガス軸受（１
   ３４ａ、ｂ）へのガス供給は、前記固定部材（１２０ａ
   〜ｃ）と該中間体（１１９ａ）との間に配置されたガス
   軸受から出ている該中間体内に設けられた通路（１３１
   ａ、ｂ）を介して行われる、請求項４記載の検出ヘッド
   。 ６、前記検出ヘッドの前記可動部材（３；２３；１０３
   ）のために少なくとも１つの別の軸受（８ａ、２８、１
   ０８ａ）が備えられており、該軸受は、前記可動部材と
   前記中間体（１９ａ〜ｃ；３９ａ〜ｄ；１１９ａ〜ｃ）
   との間の前記少なくとも３つの軸受（１８ａ〜ｃ；３８
   ａ〜ｄ；１１８ａ〜ｃ）に初期荷重を与えるために利用
   される、請求項１記載の検出ヘッド。 ７、前記第１の少なくとも３つの軸受の初期荷重は、同
   数の別の軸受によって与えられ、この場合前記別の軸受
   は、前記検出ヘッド（６１）の前記可動部材（６３）に
   おける対応する表面によって構成されており、該各表面
   は前記第１の軸受の各表面に対して平行である、請求項
   ３又は６記載の検出ヘッド。 ８、前記可動部材（４３）は、その都度２つの接触点（
   ４１／４２）を介して、３つの独立して直線的に案内さ
   れた中間体（４９ａ）に当接する、請求項１記載の検出
   ヘッド。 ９、前記測定システム（１４ａ〜ｃ／１５ａ〜ｃ；３４
   ａ〜ｄ／３５ａ〜ｄ；１１４ａ〜ｃ／１１５ａ〜ｃ）は
   、前記検出ヘッドの固定のケーシング（１、２１、１０
   １）に相対的な前記中間体の運動を検出する、請求項１
   記載の検出ヘッド。 １０、前記検出ヘッド内には、前記中間体を積極的に駆
   動するための力発生機（１６ａ〜ｃ；３６ａ〜ｄ；１１
   ６ａ〜ｃ）が備えられている、請求項１記載の検出ヘッ
   ド。 １１、前記力発生機は空圧ピストン（１６ａ〜ｃ；３６
   ａ〜ｄ；１１６ａ〜ｃ）又は可動スプールである、請求
   項１０記載の検出ヘッド。 １２、前記測定システム（１１４ａ〜ｃ／１１５ａ〜ｃ
   ）及び前記各中間体の前記力発生機（１１６ａ〜ｃ／１
   ２０ａ〜ｃ）は、それぞれ１つの制御回路に接続されて
   おり、そして該各々の制御回路の特性曲線は別々に調整
   可能である、請求項９から１１までのいずれか１項記載
   の検出ヘッド。