JPH031341A - 現像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、現像装置、特に、光デイスク原盤の製造に用
いられる現像装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の現像装置は、チャックテーブルと、モータと、現
像液タンクと、現像液滴下ノズルとを含んで構成される
。

次に、第九（ａ）　、　（ｂ）に示す現像装置について
、現像動作を説明する。

現像はブリウェット、現像、水洗の順で行われる。

まず、チャックテーブルｌに露光済みフォトレジスト原
盤２が真空吸着され、所定の回転数で回転される。

現像液のフォトレジスト膜への浸透性を基板全面にわた
り均一化させたりレジスト表面を活性化させるために現
像前にブリウェットするために、純水または低濃度のア
ルカリ液（例えば１％ＮａＯＨ水溶液など）がブリウェ
ット用ノズル３よりフォトレジスト原盤２上へ供給され
る。

現像液タンク６内は加圧パルプ８が開いた状態で窒素ガ
スＮ２により加圧されている。

ブリウェット終了直後、供給パルプ９が開き、現像液７
が現像液用ノズル４からフォトレジスト原盤２上へ滴下
され、一定ピツチで露光されたパターンが徐々に形成さ
れる。

現像終了後、水洗用多孔ノズル５から純水がフォトレジ
スト原盤２の全面に吐出され、残留している現像液７が
効率よく、洗浄・除去さり、乾燥された後光ディスク原
盤が得られる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような上述した従来の現像装置は現
像液内に気泡が入り易く、気泡を含んだ現像液が露光済
み原盤上に滴下される際、原盤上に気泡が残り、その部
分だけ現像が遅れたり、あるいは全く現像されなかった
りし、このような気泡の存在の結果として数百μｍオー
ダーの大きなパターン不良となり、原盤の歩留りを低下
させるという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の現像装置は、露光済みフォトレジスト原盤を真
空吸着するチャックテーブルと、チャックテーブルを回
転させるモータと、フォトレジスト原盤上に現像液を供
給するノズルと、現像液を貯蔵する貯蔵タンクと、現像
液の脱気を行う為の脱気手段とを含んで構成される。

さらに、本発明の現像装置は、露光済みフォトレジスト
原盤を真空吸着するチャックテーブルと、チャックテー
ブルを回転させるモータと、フォトレジスト原盤上に現
像液を供給するノズルと、現像液を貯蔵する現像タンク
と、現像液の脱気を行うための減圧ポンプとを含んで構
成される。

さらに、本発明の現像装置は、露光済みフォトレジスト
原盤を真空吸着するチャックテーブルと、チャックテー
ブルを回転させるモータと、フォトレジスト原盤上に現
像液を供給するノズルと、現像液を貯蔵する貯蔵タンク
と、現像液の脱気を行うための手段とを含んで構成され
る。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。

第１図（ａ）　、　（ｂ）は本発明の一実施例を示す上
面図および断面図である。

第１図（ａ）　、　（ｂ）に示す現像装置は、現像液７
を貯蔵する現像液　タンク６に調合した現像液７中の気
泡を取り除くために現像液タンク６を減圧する減圧ポン
プ１０を含んで構成される。

まず、調合した現像液７が現像液タンク６内に入れられ
る。このとき、供給パルプ９は閉じられている。減圧ポ
ンプ１０の作動後、減圧パルプ１１が開けられ、現像液
タンク６内が減圧され、圧力ゲージ１２に現像液タンク
６内の圧力が示される。

この減圧により、気泡が液中を上昇し、気中な通じて減
圧ポンプｌＯ側へ引かれる。

一定時間、減圧ポンプ１０が作動し、十分に現像液７中
の気泡が取り除かれたのち、減圧バルブ１１が閉じ、減
圧ポンプｌＯが停止される。

次いで、加圧バルブ８が開き、窒素ガスＮ２が現像液タ
ンク６に充填される。そうして供給パルプ９が開き窒素
ガスＮ、の加圧により現像液７が７オトレジスト原盤２
上に供給される。配管内の空気は、フォトレジスト原盤
２上に滴下する前に現像液用ノズル４が原点位置でブリ
ディスペンスにより取り除かれる。

このようにして簡単な構成で現像液内の脱気ができ、そ
の結果気泡を含まない現像液が原盤上に滴下さｈるので
、パターン不良が防止され、原盤の歩留りを大きく向上
できる。

第２図は本発明の他の実施例を示す断面図である。

第２図に示す現像装置は調合した現像液７中の気泡を取
り除くために現像液７に超音波振動を与える超音波発生
手段として発振器１３と振動子１４を含んで構成される
。

まず、加圧バルブ８．供給バルブ９が共に閉じた状態で
、調合された現像液７が現像液タンク６内に入れられる
。発振器１３と現像液タンク６の下底に取付けられた振
動子１４が一定時間作動することにより、現像液７内に
超音波振動が伝わり、気泡が液中を上昇し脱気が行われ
る。

十分に、現像液７中の気泡が取り除かれた後、発振器１
３と振動子１４の作動が停止される。

次いで、加圧バルブ８が開き、窒素ガスＮ、が現像液タ
ンク６に充填され、現像時に供給バルブ９が開き、窒素
ガスＮ２の加圧により現像液７が点位置にある状態で現
像液が一定量吐出される気ができ、その結果気泡を含ま
ない現像液が原盤上に安定に供給されるので、パターン
不良発生が防止され、原盤歩留りを大きく向上できる。

上述した実施例では、脱気手段として、減圧ポンプを用
いる例ならびに、超音波発生手段を用いる例について述
べたが、脱気手段としてはこれに限定されるものではな
く、脱気を行いうるものならどんな手段であっても良い
ことは言をまたない。

〔発明の効果〕

本発明の現像装置は、現像装置の脱気手段を設けること
により、現像液中の気泡が原因で発生するパターン不良
を防止することができるので、原盤の歩留りを大きく向
上できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　、　（ｂ）は本発明の一実施例を示す上
面図および断面図、第２図は本発明のほかの実施例を示
す上面図および断面図、第３図（ａ）　、　（ｂ）は従
来の一例を示す上面図および断面図である。 １・・・・・・チャックテーブル、２・・・・・・フォ
トレジスト原盤、３・・・・・・ブリウェット用ノズル
、４・・・・・・現像液用ノズル、５・・・・・・水洗
用多孔ノズル、６・・・・・・現像液タンク、７・・・
・・・現像液、８・・・・・・加圧バルブ、９・・・・
・・供給バルブ、１０・・・・・・減圧ポンプ、１１・
・・・・・減圧バルブ、１２・・・・・・圧力ゲージ、
１３・・・・・・発振器、１４・・・・・・振動子、Ｎ
２・・・・・・窒素ガス。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋 第１固

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、露光済みフォトレジスト原盤を吸着するチャックテ
   ーブルと、前記チャックテーブルを回転させるためのモ
   ータと、現像液を貯蔵するための現像液タンクと、前記
   フォトレジスト原盤に前記現像液を供給するための現像
   液滴下ノズルと、前記現像液タンクに貯蔵されている現
   像液の脱気を行なうための脱気手段とを含むことを特徴
   とする現像装置。 ２、露光済みフォトレジスト原盤を真空吸着するチャッ
   クテーブルと、前記チャックテーブルを回転させるため
   のモータと、現像液を貯蔵するための現像液タンクと、
   前記フォトレジスト原盤に前記現像液を供給するための
   現像液滴下ノズルと、前記現像液タンクに貯蔵されてい
   る現像液の脱気を行なうための減圧ポンプとを含むこと
   を特徴とする現像装置。 ３、露光済みフォトレジスト原盤を吸着するチャックテ
   ーブルと、前記チャックテーブルを回転させるためのモ
   ータと、現像液を貯蔵するための現像タンクと、前記フ
   ォトレジスト原盤に前記現像液を供給するための現像液
   滴下ノズルと、前記現像液タンクに貯蔵されている現像
   液に超音波振動を与えて脱気を行なうための超音波発生
   手段とを含むことを特徴とする現像装置。